CN102054413B - 平板状被检查体的测试装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种平板状被检查体的测试装置，其防止被检查体掉落到触头上。测试装置包括：面板承接件，其具有承接平板状被检查体的矩形的面板承接面；探针单元，其具有探针块，该探针块具有按压于上述被检查体的电极的多个触头；多个保护构件，其位于上述面板承接面的外侧。多个保护构件在上述矩形的至少一条边的方向上隔开间隔，而且各保护构件的上端位于上述触头的最高位置的上方。

Description

平板状被检查体的测试装置

技术领域

本发明涉及一种对液晶显示面板那样的平板状被检查体进行测试的装置。

背景技术

关于对液晶显示面板那样的显示用面板进行点亮测试的装置，一般存在包括如下构件的技术：承接被检查体的如检查台或工作台那样的面板承接件；使面板承接件在XYZ3个方向上以及绕沿Z方向延伸的θ轴线位移的台移动机构；具有多个探针块的探针单元，该探针块具有与被检查体的电极接触的多个触头（参照专利文献1、2、3等）。

这些以往技术都是在使探针块退避到面板承接面的侧方的状态下，利用搬运装置从面板承接件上方对面板承接件进行被检查体的授受。在对被检查体进行测试时，探针块在X方向或Y方向上移动，并且探针块与面板承接件向彼此靠近的方向移动，以使触头的针尖接触到被检查体的电极。

在如上所述的测试装置中，在对面板承接件授受被检查体以及进行搬运时，有时被检查体会从搬运装置掉落。在这种情况下，一旦被检查体碰撞到探针块特别是触头，触头就会被损伤而变得不能使用。

专利文献1：日本特开2006-119031号公报

专利文献2：日本特开2006-138634号公报

专利文献3：日本特开2007-40747号公报

发明内容

本发明的目的在于，防止被检查体掉落到触头上。

本发明的检查装置包括：面板承接件，其具有承接平板状被检查体的矩形的面板承接面；探针单元，其具有探针块，该探针块具有按压在上述被检查体的电极上的多个触头；以及保护装置，其针对被进行对上述面板承接面的授受的被检查体进行上述触头的保护，该保护装置具有多个保护构件，该多个保护构件位于上述面板承接面的外侧；上述多个保护构件在上述矩形的至少一条边的方向上隔开间隔，各上述保护构件的上端位于上述触头的最高位置上方的位置。

也可以是，上述保护装置包括调准装置，该调准装置相对于上述触头对由上述面板承接件承接的被检查体进行定位，上述调准装置包括：在与上述矩形的相对的一对边中的一条边和另一条边对应的部位上分别在对应的边的长度方向上隔开间隔地配置的一对第1推动机构和一对第1定位机构；以及在与上述矩形的相对的另外一对边中的一条边和另一条边对应的部位上分别配置的第2推动机构和第2定位机构；上述推动机构或上述定位机构作为上述保护构件发挥作用。

也可以是，上述推动机构和上述定位机构分别包括：推压构件，其位于与由上述面板承接件承接的被检查体相同高度的位置；支承构件，其支承上述推压构件，该支承构件具有上述上端；以及驱动机构，其为了使上述推压构件相对于上述被检查体进退而使上述支承构件移动。

也可以是，各上述定位机构的上述驱动机构克服与上述定位机构相对的推动机构的推压力而维持上述推压构件在对应的推压构件的进退方向上的位置，并且这种维持能够被解除。

也可以是，各上述保护构件包括：基部，其安装在上述面板承接件上；以及延伸部，其从上述基部向上方延伸。

也可以是，上述多个保护构件以能够选择性地安装于在该保护构件离开的方向上隔开间隔的多个部位的适当部位上的方式配置在上述面板承接件上。

也可以是，上述面板承接件还包括长尺构件，该长尺构件在上述多个保护构件离开的方向上延伸，上述长尺构件具有在上述离开的方向上隔开间隔的多个螺纹孔，在该多个螺纹孔中选择性地螺合螺纹构件，该螺纹构件能够拆卸地螺纹固定上述多个保护构件。

也可以是，上述探针块以能够后退成使上述触头的针尖位于与上述面板承接面侧相反的一侧的方式配置在上述面板承接件上，上述与上述面板承接面侧相反的一侧是以上述保护构件在与上述边的方向交叉的方向上的位置为基准来说的。

也可以是，上述面板承接件包括共同形成矩形的开口的四个片构件，该四个片构件共同形成上述面板承接面，各上述片构件与上述矩形的一条边对应，各上述探针单元和各上述保护构件配置在相同的上述片构件上。

也可以是，本发明的测试装置还包括台基座，各片构件包括移动片，该移动片以能够改变上述开口的大小地沿X方向和Y方向能够移动的方式配置在上述台基座上，上述移动片包括：第1片部，其与上述台基座平行地配置在该台基座上；以及第2片部，其从上述第1片部向上方立起，上述第2片部具有形成上述面板承接面的一部分的上表面；上述探针单元和上述保护构件配置在上述第1片部上。

也可以是，相对的一对移动片在Y方向上隔开间隔并与X方向平行地延伸，相对的另外一对移动片在X方向上隔开间隔并与Y方向平行地延伸，这四个移动片共同形成上述开口，并且共同形成上述面板承接面，还能够改变上述开口的大小地配置在上述台基座上，邻接的移动片以互不妨碍对方沿Y方向或X方向独立地移动的方式结合在一起。

也可以是，各上述移动片的上述第1片部和第2片部包括板状部，该板状部在该移动片的移动方向上尺寸长。

也可以是，本发明的测试装置还包括调准装置，该调准装置相对于上述触头对由上述面板承接件承接的被检查体进行定位，上述调准装置包括配置在与上述矩形的各边对应的部位上的至少一个推动机构或定位机构，上述推动机构和上述定位机构分别包括：推压构件，其位于与由上述面板承接件承接的被检查体相同高度的位置的、上述面板承接面的外侧；以及驱动机构，其使上述推压构件相对于上述被检查体进退；各上述保护构件的上端位于上述推压构件的最高位置的上方。

也可以是，上述调准装置包括：在与上述矩形的相对的一对边中的一条边和另一条边对应的部位上分别在对应的边的长度方向上隔开间隔地配置的一对第1推动机构和一对第1定位机构；以及在与上述矩形的相对的另外一对边中的一条边和另一条边对应的部位上分别配置的第2推动机构和第2定位机构；各上述定位机构的上述驱动机构克服与上述定位机构相对的推动机构的推压力而维持上述推压构件在对应的推压构件的进退方向上的位置，并且这种维持能够被解除。

在本发明中，多个保护构件在矩形的至少一条边的方向上隔开间隔，而且各保护构件的上端设置在触头的最高位置的上方，因此例如即使被检查体以与触头冲撞那样的状态掉落，也能够由保护构件承接被检查体。其结果，防止被检查体向触头掉落，防止触头损伤。

保护装置包括调准装置，该调准装置包括在与矩形的相对的一对边中的一条边和另一条边对应的部位上分别在对应的边的长度方向上隔开间隔地配置的一对第1推动机构和一对第1定位机构，如果使推动机构或定位机构作为保护构件发挥作用，则与另行设置推动机构或定位机构以外的构件作为保护构件的情况相比，减少零件个数。

在包括相对于上述触头对由面板承接件承接的被检查体进行定位的调准装置、并且与调准装置不同地另行具有各保护构件的检查装置中，如果各保护构件的上端位于上述推压构件的最高位置的上方，则掉落的被检查体在与调准装置接触之前与保护构件接触。其结果，可防止被检查体向推压构件掉落。

附图说明

图1是表示本发明的测试装置的一实施例的立体图；

图2是图1所示的测试装置的俯视图；

图3是沿图2中的3–3线截取而得到的剖视图；

图4是除去平台和台单元的、图1所示的测试装置的立体图；

图5是除去平台和台单元后的、图1所示的测试装置的局部剖视图；

图6是表示面板承接件、调准装置以及保护构件的结合状态的立体图；

图7是为了说明结合装置的一实施例而分解表示面板承接件与承接该面板承接件的台基座的立体图；

图8是图7的俯视图；

图9是沿图8中的9–9线截取而得到的剖视图；

图10是沿图8中的10–10线截取而得到的剖视图；

图11是说明调准装置和探针单元的位移状态的图，（A）表示对面板承接件进行被检查体的授受的状态，（B）表示利用调准装置夹持了被检查体的状态，（C）表示对被检查体进行调准的状态；

图12是用于说明由图1所示的测试装置进行的定位的图，是说明使被检查体绕θ轴线角度旋转的状态的图；

图13是表示本发明的测试装置的第2实施例的立体图，是省略了平台、台基座以及结合机构的图；

图14是表示图13所示的测试装置中的面板承接件、探针单元、单元支承机构以及调准装置的立体图；

图15是沿图14中的15–15线截取而得到的剖视图；

图16是用于说明图13所示的测试装置中的面板承接件、推压构件以及触头之间的高度位置关系的放大图。

具体实施方式

[术语说明]

在本发明中，在图2中，将纸背面方向称为Z方向或上下方向，将左右方向称为X方向或左右方向，将上下方向称为Y方向或前后方向。但是，这些方向根据测试时的被检查体的姿势而不同。

因此，本发明的测试装置可以在由X方向和Y方向规定的XY面成为水平面的状态、相对于水平面倾斜的状态等任意状态下使用。

[实施例]

参照图1～图4，测试装置10用作以下装置，该装置将封入了液晶的液晶显示面板那样的显示用面板作为平板状被检查体12（参照图3、5、11、12等），将该被检查体12与预定的电路连接而进行点亮检查那样的电测试。

被检查体12具有矩形形状，而且在与矩形的几个边对应的各个缘部上具有多个电极。以下，为了便于理解，将被检查体12作为具有在X方向上长的长方形形状来进行说明。在图示的例子中，被检查体12在与矩形的邻接的两条边对应的两个缘部上，分别在所对应的缘部的长度方向上隔开间隔地具有多个电极。

[测试装置]

测试装置10包含：设备基座即平台14；台基座16，其与平台14隔开间隔地配置在平台14的上侧；面板承接件18，其配置在台基座16的上侧，并承接被检查体12；多个探针单元20，其配置在面板承接件18的上侧；单元支承机构22，其使面板承接件18支承各探针单元20；多个相机装置24，其安装在探针单元20上，以从上方拍摄由面板承接件18承接的被检查体12的标记部；后述的调准装置，其相对于面板承接件18对由面板承接件18承接的被检查体12进行定位；多个保护构件26，其配置在面板承接件18之上。

在图示的例子中，探针单元20分别配置在与矩形的邻接的两条边对应的部位上，而且多个保护构件26分别配置在配置有探针单元20的部位上。但是，根据被检查体12的电极的配置位置而决定探针单元20和保护构件26的配置部位。

即，在被检查体12中，不仅存在如上所述的被检查体，还存在将多个电极配置在与矩形的一条边对应的部位上的被检查体、将多个电极分别配置在与矩形的相对的两条边对应的部位上的被检查体、将多个电极分别配置在与矩形的3个边对应的部位上的被检查体等等。因此，探针单元20配置在配置有电极的部位上，保护触头的保护构件26配置在配置有探针单元的部位上。

另外，在图示的例子中，单元支承机构22分别配置在与矩形的各边对应的部位上。但是，单元支承机构22也可以配置在没有配置探针单元20的部位上。

而且，在图示的例子中，在与矩形的邻接的两条边中的一条边对应的部位上在该边的长度方向上隔开间隔地配置有两个相机装置24，并且在与上述邻接的两条边的另一条边对应的部位上配置有一个相机装置24。但是，也可以在各探针单元20上在探针单元20的长度方向上隔开间隔地配置两个相机装置24。

平台14被支承在测试装置10的框架（未图示）上。但是，平台14也可以是框架的一部分。平台14与台基座16具有矩形的板形状，而且以台基座16位于平台14的上方的状态在Z（上下）方向上彼此隔开间隔。

台基座16被多个支柱30（参照图3）支承在平台14上，而且在中央区域具有比被检查体12大的矩形的开口16a（参照图3）。在平台14与台基座16之间配置有已知的背光灯单元32（参照图3）。背光灯单元32是将光经由台基座16、面板承接件18等的开口而照射到被检查体12的背面的已知装置。

[面板承接件]

如图7详细所示，面板承接件18包括组合成井字形或卍字形的四个片构件即移动片34。关于各移动片34，将板状的第1片部34a和板状的第2片部34b以第1片部34a与台基座16平行且第2片部34b的宽度方向成为上下方向的状态结合成L字形，其中，第1片部34a和第2片部34b分别呈宽度尺寸较小的长方形。

一对相对的移动片34在XY面上以在Y方向上隔开间隔并与X方向平行的方式延伸，另一对相对的移动片34在XY面上以在X方向上隔开间隔并与Y方向平行的方式延伸。这些移动片34利用结合机构40在与台基座16平行的面（XY面）上能够二维（在X方向和Y方向上）移动地结合在台基座16上。

这四个移动片34共同形成与被检查体12相似的矩形开口36，并且绕开口36在第2片部34b的顶面38上形成矩形的面板承接面的一部分。开口36与台基座16的开口16a相对，以允许来自背光灯单元32的光朝向由上述面板承接面承接的被检查体12前进。

这样的四个移动片34能够改变开口36的大小地（即在XY面上能够二维移动地）结合在台基座16上。

邻接的两个移动片34分别以在X方向或Y方向（该移动片34的长度方向）上能够一体移动以及在Y方向或X方向上能够单独移动的方式在邻接的两个移动片34中的一个的宽度方向上的一端部（开口36侧的端部）和上述邻接的两个移动片34中的另一个的长度方向上的一端部上通过适当的结合方法而结合。由此，邻接的移动片34在不妨碍对方移动片34在Y方向或X方向上独立移动的情况下结合在一起。

至于这种结合方法，例如可使用所谓的燕尾槽与所谓的燕尾杆的组合，该燕尾槽在X方向（或Y方向）上延伸并在开口36侧敞开、并且具有截顶三角形的截面形状，该燕尾杆能够滑动地嵌合在该燕尾槽中并具有截顶三角形的截面形状。

燕尾槽形成在邻接的两个移动片34中的一个的宽度方向上的靠近开口36侧的端缘部上，燕尾杆形成在邻接的两个移动片34中的另一个的长度方向上的一端缘部上。

但是，也可以代替燕尾槽与燕尾杆的组合，使用像导轨与能够滑动地且不能脱离地结合在该导轨上的导向件的组合那样的其结合方法。

虽未图示，但在各移动片34上设置有将被检查体12吸附在顶面38上的吸附装置和使被检查体12从顶面38上浮的上浮装置。

至于吸附装置，可使用真空吸附装置，该真空吸附装置使用朝顶面38敞开且与真空装置那样的减压源连接的多个槽或孔。

在利用上述调准装置使被检查体12位移时，上浮装置使被检查体12从顶面38上浮，从而使被检查体12在调准时顺畅地移动。

至于这样的上浮装置，可使用机械式上浮装置、空气式上浮装置等，该机械式上浮装置使用一部分相对于顶面38能够突出退避地配置在筒构件上的滚珠、和以使滚珠的一部分在顶面38上暴露的方式进行施力的弹簧，该空气式上浮装置利用压缩空气使被检查体12从顶面38上浮。

在电测试期间，被检查体12被吸附装置真空吸附在顶面38上并可靠地维持，而且在对顶面38进行被检查体12的授受时解除吸附，在进行对准时解除吸附并利用上浮装置使被检查体12从顶面38稍微上浮。

[结合机构]

如图1、2、3、7、8、9、10等所示，为了将四个移动片34在X方向和Y方向上能够移动地结合在台基座16上，在台基座16与面板承接件18之间配置有结合机构40。

在图示的例子中，结合机构40包括：带状的一对第1滑动件42，其在X方向上隔开间隔并与Y方向平行地延伸、且沿X方向能够移动地配置在台基座16上；带状的一对第2滑动件44，其位于第1滑动件42的上方，在Y方向上隔开间隔并与X方向平行地延伸、且沿Y方向能够移动地配置在台基座16上；两组结合构件46a、46b；一对导向件47a、47b，其在沿X方向延伸的各移动片34的第1片部34a的下表面上，在移动片34的长度方向上隔开间隔地设置；一对轨道49a，其在沿X方向延伸的各移动片34的第1片部34a的下表面上，在Y方向上隔开间隔地设置；一对轨道49b，其在沿Y方向延伸的各移动片34的第1片部34a的下表面上，在X方向上隔开间隔地设置。

滑动件42的一端部和另一端部以使滑动件42在设置在台基座16的上表面上的一对轨道48上沿X方向能够移动地与一对轨道48结合；滑动件44的一端部和另一端部以使滑动件44在设置在台基座16的上表面上的一对轨道48上沿Y方向能够移动地与一对轨道48结合。

各结合构件46a能够沿Y方向移动地与设置在对应的第1滑动件42上并沿Y方向延伸的一对轨道50结合，而且在上部具有沿X方向能够移动地嵌合在轨道49a上的导向件51a，该轨道49a设置在沿X方向延伸的移动片34上（参照图9）。

各结合构件46b能够沿Y方向移动地与设置在对应的第1滑动件42上并沿Y方向延伸的一对轨道50结合，而且在上部具有沿Y方向能够移动地嵌合在轨道49b上的导向件51b，该轨道49b设置在沿Y方向延伸的移动片34上（参照图10）。

在设置在对应的第2滑动件44上的轨道50上嵌合有设置在沿X方向延伸的各移动片34上的一对导向件47a、47b。

上述结果，各移动片34在XY面上能够二维移动地结合、支承在台基座16上。

第1滑动件42、第2滑动件44分别利用移动片移动机构52在X方向（或Y方向）上移动，被维持在该移动方向上的合适位置处，并且这种维持能够被解除。

在图示的例子中，作为各移动片移动机构52，使用如下机构，该机构包括：电动机，其设置在台基座16的上表面上；滚珠丝杠，其以在X方向（或Y方向）上延伸的状态与上述电动机连结，利用该电动机旋转；以及螺母，其与该滚珠丝杠螺合且利用连结件与滑动件42或滑动件44连结。电动机是能够控制位置的电动机，以使得像脉冲电动机那样维持旋转角度位置，并且能够解除这种维持。

例如，一旦沿Y方向延伸的各滑动件42利用对应的移动片移动机构52沿X方向移动，经由结合构件46b与滑动件44连结的、沿Y方向延伸的移动片34就通过轨道49b与导向件51b的结合沿X方向移动，并且，与该移动片34连结且沿X方向延伸的移动片34通过推拉沿X方向移动。

另外，一旦沿X方向延伸的各滑动件44利用对应的移动片移动机构52沿Y方向移动，经由结合构件46a与滑动件44连结且沿X方向延伸的移动片34就通过轨道49a与导向件51a的结合沿Y方向移动，并且，与该移动片34连结且沿Y方向延伸的移动片34通过推拉沿Y方向移动。

因此，四个移动片34以改变开口36的大小的方式二维移动。其结果，能够根据要测试的被检查体12的大小改变开口36甚至上述面板承接面的大小。该作业先于被检查体12的点亮测试进行。

[调准装置]

参照图1～3，上述调准装置包括：在顶面38的相对的一对边（X边）中的一条边和另一条边上分别在对应的边的长度方向上隔开间隔地配置的一对第1推动机构60和一对第1定位机构62；以及在顶面38的相对的另外一对边（Y边）中的一条边和另一条边上分别配置的第2推动机构64和第2定位机构66。

推动机构60、64分别使被检查体12相对于定位机构62或定位机构66进退，该定位机构62或定位机构66配置在与配置有推动机构60或64的一侧相反的一侧。相反，定位机构62、66分别决定被检查体12在X方向（或Y方向）上的基准位置。

关于推动机构60、64以及定位机构62、66，如在图5、6中代表性地示出其中一个那样，分别包括：推压构件70，其位于与顶面38相同高度的位置，在俯视状态下位于顶面38的外侧；支柱状的移动体72，其支承推压构件70；驱动机构74，其使移动体72甚至推压构件70相对于顶面38进退；支承板76，其支承推压构件70、移动体72、驱动机构74。

在图示的例子中，移动体72具有在上下方向上延伸的支柱状的形状。推压构件70是利用安装销78在移动体72的上端部能够绕沿Z方向延伸的轴线旋转地安装于移动体72的辊，但也可以是其他构件。

支承板76沿第1片部34a的长度方向（X方向或Y方向）能够移动地组装在一对轨道80上，该一对轨道80设置在面板承接件18的移动片34的第1片部34a的上表面上。两轨道80在第1片部34a的宽度方向（Y方向或X方向）上隔开间隔并与长度方向（X方向或Y方向）平行地延伸。

支承板76利用导向件82组装在一个轨道80上，而且载置在另一个轨道80的上表面上。因此，一个轨道80作为导轨发挥作用。另一个轨道80在多个部位上分别具有在上方敞开的阴螺纹孔84，所述多个部位在该轨道80的长度方向（X方向或Y方向）上隔开间隔（参照图6）。

如图6所示，在另一个轨道80上载置有带状的止动件88，该止动件88具有在X方向（或Y方向）上延伸的长孔86，并且不能相对移动地设置在支承板76上。利用螺栓90将止动件88安装在另一个轨道80上且该安装能够被解除，该螺栓90从上方插入长孔86中而螺合在阴螺纹孔84中。由此，各支承板76固定在X方向（或Y方向）上的规定的位置处，且该固定能够被解除。

上述结果，推动机构60、64以及定位机构62、66分别能够固定在X方向（或Y方向）上的预定的位置处且该固定能够被解除。因此，另一个轨道80作为能够固定推动机构和定位机构在X方向（或Y方向）上的位置的固定轨道而发挥作用，并且该固定能够被解除。

但是，通过改变螺合螺栓90的阴螺纹孔84和止动件88相对于螺栓90的位置，能够根据被检查体12的种类、大小等选择推动机构和定位机构在X方向（或Y方向）上的位置。

各驱动机构74包括：一对轨道92，其在第1片部34a的长度方向（X方向或Y方向）上隔开间隔，在第1片部34a的宽度方向（Y方向或X方向）上延伸；滑动件94，其沿第1片部34a的宽度方向能够移动地嵌合在各轨道92上；连结板96，其连结两滑动件94；驱动源98，其使推压构件70沿支承板76的宽度方向移动。

滑动件94安装在连结板96的下表面上。驱动源98在图5、6中表示为浮在空中，但实际上不能移动地支承在支承板76上。移动体72以直立状态安装在连结板96之上。但是，也可以将移动体72和连结板96设为一体构造。

推动机构60、64的各驱动源98是气压缸体或油压缸体那样的流体压力缸体机构。该缸体机构的缸体安装在支承板76上，活塞杆连结于移动体72。也可以将活塞杆连结在滑动件94上。

推动机构60、64的各驱动机构74通过利用驱动源98使移动体72相对于第2片部34b进退，使推压构件70相对于顶面38甚至被检查体12进退。

定位机构62、66的各驱动源98是像脉冲电动机那样能够控制旋转角度位置的电动机。因此，定位机构62、66的各驱动机构74还包括：滚珠丝杠（未图示），其从对应的驱动源98延伸出并在支承板76的宽度方向上延伸，利用对应的驱动源98旋转；螺母（未图示），其与该滚珠丝杠螺合。螺母安装在移动体72（或连结板96）上。

定位机构62、66的各驱动机构74通过利用驱动源98使滚珠丝杠旋转，使螺母相对于第2片部34b进退，由此使推压构件70相对于顶面38甚至被检查体12进退。但是，定位机构62、66的各驱动机构74克服与定位机构62、66相对的推动机构60或推动机构64的推压力地维持推压构件70在对应的推压构件70的进退方向上的位置，并且这种维持能够被解除。

如图12所示，推动机构60、64的各驱动源（缸体机构）98利用阀装置104选择性地与两个压力流体源100、102连接，该两个压力流体源100、102贮存有具有互不相同的压力的、被压缩的空气或油那样的压力流体。

阀装置104包括利用阀驱动器106选择性地驱动的多个阀。各阀选择性地将推动机构60、64的驱动源98中的一个与压力流体源100、102中的一个相连接。由此，上述缸体机构的活塞杆相对于缸体进退，从而推压构件70相对于顶面38甚至被检查体12进退。

定位机构62、66的各驱动源（能够控制位置的电动机）74被电动机驱动器108驱动，利用对应的推压构件70决定被检查体12在X方向（或Y方向）上的基准位置。根据被检查体12的种类、大小等预先决定各个基准位置。

具有如上所述的构造的调准装置使得用于X方向上的定位机构66的推压构件70在X方向上进退而维持在被检查体12在X方向上的基准位置处，并且利用用于X方向上的推动机构64的推压构件70将被检查体12向用于X方向上的定位机构66的推压构件70推压。由此，进行被检查体12在X方向上的调准。

通过使得用于Y方向上的定位机构62、62和用于Y方向上的推动机构60、60进行如上所述那样的动作，进行被检查体12在Y方向上的调准。

关于被检查体12绕沿Z方向延伸的θ轴线的调准，例如如图12所示，可通过使得用于Y方向上的定位机构62、66和用于Y方向上的推动机构60、64的推压构件70分别沿X方向和Y方向移动而进行。

在进行如上所述的调准时，各推动机构的驱动源与压力较低的压力流体源100连接。由此，被检查体12被推压构件70以较弱的力夹持。其结果，当被检查体12冲撞到推压构件70时，作用于被检查体12的冲击较小，从而防止该冲击引起被检查体12破损。

在进行调准的期间，被检查体12利用已述的上浮装置从顶面38上浮。因此，在进行对准时，被检查体12顺畅地移动，可进行准确的调准。

如上所述，在进行调准时，由各定位机构的推压构件70决定被检查体12的基准位置，因此各定位机构的推压构件70由至少难以或不会沿其移动方向弹性变形或者难以或不会磨损的材料、例如硬质树脂制成。

由此，即使被检查体12被推动机构的推压构件70推压，定位机构的推压构件70也通过与使用能够控制位置的电动机作为驱动源的情况相结合来维持基准位置。另外，可以不考虑推压构件70的弹性变形就决定用作驱动源的电动机的旋转量，因此电动机的位置控制变得容易。

但是，在考虑推压构件70的弹性变形而决定用作驱动源的电动机的旋转量时，也可以利用能够弹性变形的材料制作定位机构的推压构件70。

相反，推动机构的推压构件70可使用具有不会使被检查体12破损的程度的硬度的树脂那样的材料。因此，推动机构的推压构件70可以是不会弹性变形的材料和能够弹性变形的材料中的任一个。

一旦结束调准，各推动机构的驱动源就与压力较高的压力流体源102连接。由此，被检查体12被推压构件70以较强的力夹持。被检查体12被维持为由推压构件70牢牢地夹持的状态，直到点亮测试结束。

[探针单元]

如图5所示，各探针单元20包括：板状的支承基座110，其沿矩形的边（沿X方向或Y方向）延伸，并且支承在单元支承机构22上；多个支承块112，其在支承基座110的长度方向上隔开间隔地安装在支承基座110上；移动块114，其沿Z方向能够移动地支承在各支承块112上；探针块116，其安装在各移动块114上。

支承基座110利用多个螺纹构件（未图示）能够拆卸地安装在单元支承机构22的上表面上。各支承块112具有从其上端部向顶面38侧突出的突出部112a。

利用设置在支承基座110的前侧（开口36侧）并沿上下方向延伸的轨道120和沿上下方向能够移动地结合在轨道120上的导向件122将各移动块114组装在支承块112上，而且可利用调整螺钉124来调整各移动块114在上下方向上的位置，该调整螺纹124在上下方向上贯穿支承块112的突出部112a并与移动块114螺合。

各探针块116是具有在X方向（或Y方向）上隔开间隔地排列的多个触头118的已知构件，而且以将这些触头118的针尖朝向面板承接件18的状态被支承在移动块114上。

[单元支承机构]

如图5所示，单元支承机构22包括：板状的移动体承接件130，其配置在面板承接件18的第1片部34a上，并且在第1片部34a的长度方向上延伸；第1移动体132，其配置在移动体承接件130上；第2移动体134，其沿相对于顶面38倾斜的方向能够移动地结合在第1移动体132上；顶板136，其安装在第2移动体134的上端部；探针移动机构138，其使第1移动体132沿第1片部34a的宽度方向移动；挡块140，其限制第2移动体134的前进极限位置（most forward position）（开口36侧的位置）。

移动体承接件130利用一对或多对轨道142和导向件144结合在第1片部34a之上，该一对或多对轨道142以在移动体承接件130的宽度方向上隔开间隔并与移动体承接件130的长度方向（X方向或Y方向）平行地延伸的状态设置在第1片部34a上，该导向件144支承在各轨道142上并沿其长度方向能够移动，并且组装在移动体承接件130的下侧。因此，移动体承接件130能够沿第1片部34a的长度方向移动。

第1移动体132利用多对轨道146和导向件148结合在移动体承接件130之上，该多对轨道146以在移动体承接件130（第1片部34a）的长度方向上隔开间隔并与移动体承接件130的宽度方向平行地延伸的状态设置在移动体承接件130上，该导向件148支承在各轨道146上并沿它们的长度方向能够移动，并且组装在第1移动体132的下侧。因此，第1移动体132能够沿移动体承接件130（或第1片部34a）的宽度方向移动。

第1移动体132和第2移动体134以使第2移动体134位于顶面38侧地相对于顶面38倾斜地结合。因此，第1移动体132和第2移动体134分别具有斜朝下面和斜朝上面。第2移动体134沿第1片部34a的长度方向延伸，并且以越是上部越靠近顶面38侧的方式倾斜延伸。

另外，第2移动体134利用一对轨道152和导向件154结合在第1移动体132上，该一对轨道152设置在第1移动体132的斜朝下面上，在第1片部34a的长度方向上隔开间隔并与第1片部34a的宽度方向平行地延伸，该导向件154结合在各轨道152上并沿其长度方向能够移动，并且设置在第2移动体134的斜朝上面上。因此，第2移动体134相对于第1移动体132能够向斜方向移动。

顶板136具有在第1片部34a的长度方向上长的长方形形状，而且安装在第2移动体134的顶部上。探针单元20安装在顶板136之上，并支承在第2移动体134上。

各探针移动机构138使用如下机构，该机构包括：电动机156，其设置在移动体承接件130的上表面上；滚珠丝杠158，其以在X方向（或Y方向）上延伸的状态与电动机156连结，利用电动机156旋转；螺母160，其与滚珠丝杠158螺合，安装在第2移动体134上。

电动机156是能够控制位置的电动机，以使得像脉冲电动机那样维持旋转角度位置且能够解除这种维持，而且电动机156经由支架164支承在移动体承接件130上。滚珠丝杠158与电动机156的旋转轴连结，并且经由另一支架166支承在移动体承接件130上。

另外，第1移动体132和第2移动体134利用孔168和杆170来防止在与斜朝下面、斜朝上面垂直的方向上的相对位移以及在第1移动体132和第2移动体134的长度方向上的相对位移，该孔168以向斜上方延伸并在上端敞开的方式形成在第1移动体132，该杆170从上方插入孔168中。

第1移动体132和第2移动体134被压缩螺旋弹簧172以使第1移动体132和第2移动体134在杆170的长度方向上离开方式相对施力，该压缩螺旋弹簧172是绕杆170配置的。实际上，由于利用轨道146和导向件148来防止第1移动体132沿杆170的长度方向位移，因此第2移动体134被弹簧172向斜上方施力。

另外，单元支承机构22包括设置在第1移动体132上的挡块174，以限制第2移动体134的上升极限位置。挡块174设置在第1移动体132的斜朝下面上，以使得当第2移动体134上升了时挡块174与导向件154抵接，从而阻止第2移动体134上升。

在如上所述的单元支承机构22中，一旦第1移动体132通过电动机156的正向旋转而朝向被检查体12移动，第2移动体134也向相同的方向移动。此时，克服弹簧172的作用力使第2移动体134向斜下方位移的一对位移产生机构176设置在配置有探针单元20的各第2移动体134上并在该第2移动体的长度方向上隔开间隔。

各位移产生机构176包括：コ字形的支架178，其设置在第2移动体134的靠近被检查体12侧的斜朝下面上；辊180，其绕沿第2移动体134的长度方向延伸的轴线能够旋转地并能够与挡块140抵接地安装在支架178上。

在单元支承机构22中，一旦第1移动体132和第2移动体134利用电动机156朝向被检查体12移动，辊180就与挡块140抵接。

一旦第1移动体132和第2移动体134利用电动机156朝向被检查体12移动，第2移动体134的前进就被挡块140阻止。由此，在轨道152与导向件154的嵌合部上产生使第2移动体134向斜下方位移的位移力。

这种位移力使第2移动体134伴随第1移动体132的进一步前进而向下方移动。其结果，探针单元20向下方移动，从而设置在探针块116上的触头118的针尖按压到被检查体12的电极上。

此时，被检查体12被推压构件70以较强的力夹持的情况和被检查体12被吸附在顶面38上的情况互相结合，从而即使触头118的针尖按压在被检查体12的电极上，也能够可靠地防止被检查体12相对于面板承接件18和探针单元20位移。

在上述状态下，一旦电动机156反向旋转，则在辊180与挡块140抵接的状态下，第1移动体132相对于顶面38和第2移动体134后退。在此期间，第2移动体134通过弹簧172的力相对于第1移动体132上升，探针块116从被检查体12向上方离开。

一旦电动机156进一步反向旋转，第1移动体132就继续后退。但是，导向件154与挡块174的抵接使第2移动体134停止上升，在该状态下第2移动体134与第1移动体132一起相对于顶面38朝向退避位置后退。

如上所述，第2移动体134和探针块116通过电动机156的正向旋转而相对于顶面38和被检查体12前进和下降，从而维持在前进和下降的位置，并且这种维持能够被解除，另外通过电动机156的反向旋转而上升和后退，从而维持在退避位置，并且这种维持能够被解除。

在第2移动体134甚至探针块116后退到退避位置的状态下，对顶面38进行被检查体12的更换。此时，被检查体12从顶面38上浮的情况和探针单元20从顶面38大幅后退的情况互相结合，从而对顶面38进行的被检查体12的授受变得容易。

[相机装置]

如图5所示，各相机装置24包括支承在探针单元20的支承基座110上的倒L字形的支承块182、和被支撑在支承块182上并从被检查体12的标记部（未图示）上方拍摄该标记部的相机184。

标记部是设置在被检查体12上的标记自身、特定的触头的针尖等。相机184是拍摄被检查体12的标记部附近并产生图像信号的摄像机那样的区域传感器（area sensor），可使用CCD区域传感器。

各相机184的输出信号在未图示的控制装置中被进行图像处理，用于求出被检查体12相对于测试装置10特别是面板承接件18、探针单元20等的位置偏移。求出的位置偏移用于对上述调准装置进行驱动的信号。

[移动片调整装置]

如图1、2、4所示，面板承接件18的各移动体承接件130利用移动片调整装置186沿X方向（或Y方向）移动，从而调整X方向（或Y方向）上的位置。

各移动片调整装置186例如可包括：能够控制位置的电动机，其配置在第1片部34a上；滚珠丝杠，其利用该电动机旋转；螺母，其与该滚珠丝杠螺合；结合件，其结合在该螺母和移动体承接件130上。

在上述情况下，通过电动机的正向旋转和反向旋转使螺母沿X方向（或Y方向）移动，从而使移动体承接件130向与螺母移动方向相同的方向移动。由此，调整移动体承接件130相对于移动片34在X方向（或Y方向）上的位置，并维持在该位置且这种维持能够被解除，因此能够可靠地使各触头的针尖与被检查体12的电极接触。

[保护构件]

参照图5和6，为了在配置有探针单元20的各移动片34上在该移动片的长度方向上隔开间隔地配置多个保护构件26，测试装置10在配置有探针单元20的各移动片34上固定有轨道190。

各轨道190位于对应的移动片34的第1片部34a的上表面上，在靠近第2片部34b的一侧在第2片部34b的长度方向上延伸，而且具有在对应的移动片34的长度方向上隔开间隔的多个螺纹孔192。各螺纹孔192在轨道190的上方敞开。

各保护杆即保护构件26具有在上下方向上长的L字形形状，而且包括：基部26b，其具有在轨道190的长度方向上长的槽26a（参照图6）；延伸部26c，其从基部26b延伸出并在上下方向上延伸。利用螺栓194将这样的各保护构件26安装在对应的移动片34上，该螺栓194将上述槽26a从上方贯穿到下方并螺合在轨道190的螺纹孔192中。

在轨道190的长度方向上邻接的保护构件26的间隔大于在轨道190的长度方向上邻接的螺纹孔192的间隔，但根据被检查体12的种类和大小而定。各保护构件26的延伸部26c的长度尺寸具有延伸部的上端位于处在退避位置处的探针块116和推压构件70的最高位置的上方的值。

[检查装置的动作]

利用搬运装置或手动操作从面板承接件18的上方对面板承接件18进行被检查体12的授受。

在面板承接件18上不存在其他被检查体12且如图11的（A）所示那样各推压构件70和各探针块116后退至退避位置的状态下，未检查的被检查体12被传送到面板承接件18。

接着，如图11的（B）所示，各推压构件70前进，由此未检查的被检查体12被调准。在此期间，推动机构60、64分别通过较低的流体压力而工作，从而防止被检查体12破损。

接着，如图11的（C）所示，各探针块116前进，各触头的针尖移动到被检查体12的电极的上方。从此时起，推动机构60、64分别通过较高的流体压力而工作，从而防止被检查体12位移。

接着，各探针块116下降，各触头的针尖按压被检查体12的电极。在该状态下，被检查体12被通电，进行被检查体12的点亮测试。在点亮检查期间，推动机构60、64分别通过较高的流体压力而工作，从而防止被检查体12位移。

上述点亮测试既可以是作业人员从上方目视被检查体12的目视点亮测试，也可以是使用摄像机那样的区域传感器且在控制装置中进行图像处理的自动点亮测试。

一旦结束电测试，各推压构件70和各探针块116就后退至图11的（A）所示的位置，利用上浮装置使检查完毕的被检查体12从顶面38上浮后，利用搬运装置或手动操作从面板承接件18取下该被检查体12。

在对面板承接件18进行被检查体12的授受时，各保护构件26的上端位于推压构件70和探针块116（触头118）的最高位置的上方，因此例如即使被检查体12以与触头118或推压构件70冲撞的状态掉落，该被检查体12也会被保护构件26承接。其结果，防止被检查体12向探针块116（触头118）和推压构件70掉落，可防止触头118损伤。

另外，即使探针块116后退至退避位置，在进行被检查体的授受或搬运时，有时被检查体12掉落时也会冲撞到触头118。但是，即使在这种情况下，由于根据测试装置10，可用保护构件26接住被检查体12，因此防止了触头118损伤。

[其他实施例]

参照图13～16，在测试装置200中，代替测试装置10中的保护构件26而将定位装置的推动机构或定位机构用作针对掉落的被检查体进行对触头118的保护的保护构件。在图示的例子中，将位于配置有探针单元20侧的第1定位机构62a和第2定位机构66a用作保护构件。

第1定位机构62a和第2定位机构66a分别除具有用于承接掉落的被检查体的上端外，具有与上述定位机构62、66相同的构造。在图示的例子中，移动体72的上端高于位于退避位置的触头118的最高位置，以使得在移动体72的上端承接掉落的被检查体而保护触头118。

根据测试装置200，由于在定位机构62a或定位机构66a的上端承接掉落的被检查体，因此也针对掉落的被检查体进行对触头118的保护，防止其损伤。

在测试装置200中，在第1推动机构64或第2推动机构68位于探针单元20的配置侧时，使它们的移动体72的上端高于位于退避位置的触头118的最高位置，以使得该推动机构作为保护构件发挥作用。但是，也可以将所有的推动机构和所有的定位机构的最高位置设为如上所述的值，使得所有的推动机构和所有的定位机构作为保护构件发挥作用。

关于用作单元支承机构22、结合机构40、移动片移动机构52、定位机构62、66、背光灯单元32、探针移动机构138等使两个构件相对移动的机构的驱动源的电动机，只要能够控制位置，则可以是旋转式电动机和线性电动机的任一种。

同样，各推动机构的驱动源也可以是能够将旋转力或推进力在比定位机构的电动机小的范围内改变为两级的旋转式电动机和线性电动机的任一种。

但是，因为压缩空气的体积根据压力而改变，所以如果将使用压缩空气的缸体机构用作推动机构的驱动源，则在进行对准时，推压构件与被检查体冲撞时的冲击大幅降低。因此，优选的是，选用使用压缩空气的缸体机构。

面板承接件18也可以具有不能改变开口36的大小的构造、例如专用于相同大小的被检查体的构造。另外，定位机构的构造也能够进行各种变形。

本发明并不限定于上述实施例，只要不脱离权利要求书所述的主旨，就能够进行各种变形。

Claims (14)

1.一种平板状被检查体的测试装置，其中，

上述测试装置包括：

面板承接件，其具有承接平板状被检查体的朝向上方的矩形的面板承接面；

探针单元，其具有探针块，该探针块具有按压于上述被检查体的电极的多个触头；以及

保护装置，其针对被进行对上述面板承接面的授受的被检查体进行上述触头的保护，该保护装置具有多个保护构件，该多个保护构件位于上述面板承接面的周围；

上述多个保护构件在上述矩形的至少一条边的方向上隔开间隔，

各上述保护构件的上端位于比上述触头的最高位置靠向上方的位置。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其中，

上述保护装置包括调准装置，该调准装置相对于上述触头对由上述面板承接件承接的被检查体进行定位，

上述调准装置包括：在与上述矩形的相对的一对边中的一条边和另一条边对应的部位上分别在对应的边的长度方向上隔开间隔地配置的一对第1推动机构和一对第1定位机构；以及在与上述矩形的相对的另外一对边中的一条边和另一条边对应的部位上分别配置的第2推动机构和第2定位机构；

上述推动机构或上述定位机构作为上述保护构件发挥作用。

3.根据权利要求2所述的测试装置，其中，

上述推动机构和上述定位机构分别包括：推压构件，其位于与由上述面板承接件承接的被检查体相同高度的位置；支承构件，其支承上述推压构件，该支承构件具有上述上端；以及驱动机构，其为了使上述推压构件相对于上述被检查体进退而使上述支承构件移动。

4.根据权利要求3所述的测试装置，其中，

各上述定位机构的上述驱动机构克服与上述定位机构相对的推动机构的推压力而维持上述推压构件在对应的推压构件的进退方向上的位置，并且这种维持能够被解除。

5.根据权利要求1所述的测试装置，其中，

各上述保护构件包括：基部，其安装在上述面板承接件上：以及延伸部，其从上述基部向上方延伸。

6.根据权利要求1所述的测试装置，其中，

上述多个保护构件以能够选择性地安装于在该保护构件离开的方向上隔开间隔的多个部位的适当部位上的方式配置在上述面板承接件上。

7.根据权利要求1所述的测试装置，其中，

上述面板承接件还包括长尺构件，该长尺构件在上述多个保护构件离开的方向上延伸，

上述长尺构件具有在上述离开的方向上隔开间隔的多个螺纹孔，在该多个螺纹孔中选择性地螺合螺纹构件，该螺纹构件能够拆卸地螺纹固定上述多个保护构件。

8.根据权利要求1所述的测试装置，其中，

上述探针块以能够后退成使上述触头的针尖在与上述边的方向交叉的方向上相对于上述保护构件位于与上述面板承接面所处的位置相反的一侧的方式配置在上述面板承接件上。

9.根据权利要求1所述的测试装置，其中，

上述面板承接件包括共同形成矩形的开口的四个片构件，该四个片构件共同形成上述面板承接面，

各上述片构件与上述矩形的一条边对应，

各上述探针单元和各上述保护构件配置在相同的上述片构件上。

10.根据权利要求9所述的测试装置，其中，

上述测试装置还包括台基座，

各上述片构件包括移动片，该移动片以能够改变上述开口的大小地沿X方向和Y方向能够移动的方式配置在上述台基座上，

上述移动片包括：第1片部，其与上述台基座平行地配置在该台基座上；以及第2片部，其从上述第1片部的上述面板承接面侧向上方立起，上述第2片部具有形成上述面板承接面的一部分的上表面；

上述探针单元和上述保护构件配置在上述第1片部上。

11.根据权利要求10所述的测试装置，其中，

相对的一对移动片在Y方向上隔开间隔并与X方向平行地延伸，相对的另外一对移动片在X方向上隔开间隔并与Y方向平行地延伸，

这四个移动片共同形成上述开口，并且共同形成上述面板承接面，还能够改变上述开口的大小地配置在上述台基座上，

邻接的移动片以互不妨碍对方沿Y方向或X方向独立地移动的方式结合在一起。

12.根据权利要求10或11所述的测试装置，其中，

各上述移动片的上述第1片部和第2片部包括板状部，该板状部为在该移动片的移动方向上尺寸长的长方形。

13.根据权利要求5所述的测试装置，其中，

上述测试装置还包括调准装置，该调准装置相对于上述触头对由上述面板承接件承接的被检查体进行定位，

上述调准装置包括配置在与上述矩形的各边对应的部位上的至少一个推动机构或定位机构，

上述推动机构和上述定位机构分别包括：推压构件，其位于与由上述面板承接件承接的被检查体相同高度的位置的、上述面板承接面的外侧；以及驱动机构，其使上述推压构件相对于上述被检查体进退；

各上述保护构件的上端位于上述推压构件的最高位置的上方。

14.根据权利要求13所述的测试装置，其中，

上述调准装置包括：在与上述矩形的相对的一对边中的一条边和另一条边对应的部位上分别在对应的边的长度方向上隔开间隔地配置的一对第1推动机构和一对第1定位机构；以及在与上述矩形的相对的另外一对边的一条边和另一条边对应的部位上分别配置的第2推动机构和第2定位机构；

各上述定位机构的上述驱动机构克服与上述定位机构相对的推动机构的推压力而维持上述推压构件在对应的推压构件的进退方向上的位置，并且这种维持能够被解除。

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