CN102649278A - 切断装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种切断覆盖矩形基板的覆盖片的边缘部的切断装置。此切断装置具备:吸附上述矩形基板的单面来保持上述矩形基板的保持单元;具备切断上述覆盖片的边缘部的切断单元及转动上述切断单元而变更切断方向的转动单元的头单元;将上述头单元在与上述矩形基板的一边平行的第一方向移动的第一移动单元;将上述保持单元在与上述矩形基板的和上述一边正交的另一边平行的第二方向移动,并将上述保持单元遍及在上述第二方向连续的上述矩形基板的移载位置及切断作业区域地移动的第二移动单元。
Description
技术领域
本发明涉及覆盖基板的覆盖片的切断技术。
背景技术
玻璃基板、半导体晶片的那样的基板,存在为了保护其表面而由覆盖片覆盖的情况。例如,在太阳能电池模块基板中,为了保护受光面,构成太阳能电池模块基板的多个构件由多层构成,为了汇总地构成这些构件也使用了覆盖片。
在覆盖片之中,因为从基板的周边伸出的边缘部是不需要的,所以需要切断它。因此,提出了切断覆盖片的边缘部的装置(日本特公平7-49189号公报,日本特开2001-320069号公报,日本特开2001-135840号公报)。
在将覆盖矩形基板的覆盖片切断的边缘部的情况下,因为需要沿矩形基板的四边切断覆盖片,所以一般需要在正交的两方向移动切断单元的机构。另外,也需要使基板移动到适合于切断单元的切断的位置的机构。因此,存在装置复杂化、大型化的倾向。
发明内容
发明所要解决的课题
本发明的目的在于提供一种能够以更简单的结构切断矩形基板的四边的覆盖片的切断装置。
为了解决课题的手段
根据本发明,提供一种切断装置,其是切断覆盖矩形基板的覆盖片的边缘部的切断装置,其特征在于,具备:吸附上述矩形基板的单面来保持上述矩形基板的保持单元;具备切断上述覆盖片的边缘部的切断单元及转动上述切断单元而变更切断方向的转动单元的头单元;将上述头单元在与上述矩形基板的一边平行的第一方向移动的第一移动单元;将上述保持单元在与上述矩形基板的和上述一边正交的另一边平行的第二方向移动,并将上述保持单元遍及在上述第二方向连续的上述矩形基板的移载位置及切断作业区域地移动的第二移动单元。
本发明的其它特征将从如下的具体实施方式(参照附图)的说明中得到明确。
附图说明
图1是本发明的一实施方式的切断装置的俯视图。
图2是上述切断装置的主视图。
图3是上述切断装置的分解立体图。
图4是控制装置的框图。
图5~图13是上述切断装置的动作说明图。
具体实施方式
(装置的概略)
图1是本发明的一实施方式的切断装置A的俯视图,图2是切断装置A的主视图,图3是切断装置A的分解立体图。另外,在图1中做成了由虚线表示回收单元100、110的透视图。在各图中,箭头X及Y是水平方向,表示相互正交的两方向,箭头Z表示垂直方向。在本实施方式的情况下,X方向是由后述的输送单元8及9进行的基板的输送方向。
切断装置A具备保持单元1、移动单元2、头单元3、移动单元4、输送升降单元5及基板升降单元6、定位单元7、输送单元8及9、回收单元100及110。如后的所述,切断装置A是将覆盖矩形的基板B(参照图5)的覆盖片b(参照图5)的边缘部(从基板B的周缘伸出的部分)切断的装置。
(保持单元1)
保持单元1吸附地保持基板B的单面(在本实施方式的情况下,是基板的下面)。在本实施方式的情况下,保持单元1被设置多个,其各个都具备吸附基板B的单面的多个真空吸附垫10。全部的真空吸附垫10位于共同的X-Y平面(水平面)上,能够以水平姿势保持基板。各真空吸附垫10与未图示的真空泵连接,通过使此真空泵工作,吸附地保持基板。
在本实施方式的情况下,保持单元1以沿基板B的四边的方式配置,保持基板B的边缘。通过做成保持基板B的边缘的结构,能够在覆盖片b的切断时防止基板边缘振动。其结果,能够良好地切断覆盖片b的边缘部。另外,也可以以将基板B的中央部也保持的方式配设保持单元1。
(移动单元2)
移动单元2具备一对引导构件20、20、架设在一对引导构件20、20之间的移动体21和驱动部22、22。
一对引导构件20、20,相互在Y方向离开,在X方向平行地延伸设置。移动体21,做成框架状,搭载并支承多个保持单元1。驱动部22、22分别设置在移动体21的两端部的下面上,是分别与引导构件20、20卡合而引导其移动的滑块,构成了使移动体21沿一对引导构件20、20在X方向移动的移动机构。
作为此移动机构,例如,能够举出滚珠丝杠机构。在作为滚珠丝杠机构的情况下,能够采用在引导构件20上设置了在X方向延伸设置的滚珠丝杠轴,在驱动部22设置了与滚珠丝杠轴螺纹配合的滚珠螺母及使滚珠螺母旋转的马达(例如中空马达)的结构。在此结构的情况下,通过对各驱动部22的马达同步地进行驱动,能够使移动体21在X方向(基板的移送方向)平行移动。另外,作为其它的移动机构,能够举出齿条小齿轮机构、齿型带皮带轮机构、线性机构。
另外,也可以在两个驱动部22、22之中的一方,不设置马达等驱动源,仅以沿引导构件20从动地移动的方式构成。
移动单元2,通过使移动体21在X方向移动,遍及在X方向连续的移载位置及切断作业区域地移动搭载在移动体21上的保持单元1。移载位置,在本实施方式的情况下,包含引导构件20的一方端部的输入位置(在图3中是左下位置)和另一方端部的输出位置(在图3中是右下位置),切断作业区域是从输入位置到输出位置之间的区域。即,在本实施方式的情况下,切断作业区域,设定在保持单元1的全移动范围内,其两端部设定在输入位置、输出位置。这具有缩短切断装置A的全长的效果。
输入位置,是在引导构件20的两端部之中的输送单元8侧(一方端部侧)的位置,在此进行基板B(覆盖片b的边缘部未切断的基板B)的从输送单元8向保持单元1的输入。输出位置,是在引导构件20的两端部之中的输送单元9侧(另一方端部)的位置,在此进行基板B(已切断覆盖片b的边缘部的基板B)的从保持单元1向输送单元9的输出。
(头单元3)
头单元3具备切断覆盖片b的边缘部的切断单元30和在使切断单元30升降的同时使其转动(旋转)而变更切断方向的升降转动单元31。在本实施方式的情况下,设置了两个头单元3。由此,能够在不同的部位中同时切断覆盖片b的边缘部,能够提高切断效率。不用说,头单元3也可以是一个。
切断单元30具备圆盘刀30a、使圆盘刀30a旋转的马达等驱动机构,使圆盘30a旋转来切断覆盖片b的边缘部。在本实施方式的情况下,作为切断单元30,采用了使圆盘刀30a旋转来切断覆盖片b的机构,但不限于此。例如,可以采用由固定的刀切断覆盖片b的机构、由激光切断覆盖片b的机构等其它种类的切断机构。
升降转动单元31具备在使轴体32绕其轴心(Z方向)旋转的同时使轴体32升降的机构(未图示)。在本实施方式的情况下,在轴体32上连结了切断单元30,通过使轴体32旋转,切断单元30能够转动地维持其转动角度,同时通过使轴体32升降,切断单元30能够在Z方向升降。
通过使切断单元30转动来变更切断方向,能够沿基板B的四边进行覆盖片b的边缘部的切断。另外,能够调整圆盘刀30a相对于基板B的各边的方向。更具体地讲,能够调整与基板B的基板面垂直的面(在本实施方式的情况下,是Z方向的垂直面)和圆盘刀30a形成的平面(在本实施方式的情况下,是Z方向的垂直面)的角度(交叉角度)。通过调整、维持此角度,能够使圆盘刀30a相对于基板B的边缘以适合的角度抵接,能够防止在覆盖片的切断时基板B的边缘损伤。
另外,通过使切断单元30升降,能够调整圆盘刀30a相对于垂直于与基板B的基板面中的法线方向平行的方向的面(在本实施方式的情况下,是Z方向的垂直面)和圆盘刀30a形成的平面(在本实施方式的情况下,是Z方向的垂直面)的切断刀位置(高度位置)。
作为使轴体32旋转、升降的机构,能够采用众所周知的机构。例如,作为使轴体32旋转的机构,能够举出马达等驱动源和齿轮机构或者皮带机构等机构的组合。作为维持轴体32的旋转角度的机构,例如,在将伺服马达作为驱动源的情况下,能够利用伺服马达的电磁锁定功能,或者,也可以另外设置可解除地限制轴体32的旋转的锁定机构。另外,作为使轴体32升降的机构,能够举出马达等驱动源和齿条小齿轮机构等机构的组合。
(移动单元4)
移动单元4在Y方向移动头单元3。在本实施方式的情况下,移动单元4具备:引导构件40、沿引导构件40可移动地安装在引导构件40上的移动体41、使移动体41沿引导构件40移动的未图示的移动机构。
引导构件40在Y方向延伸设置。移动体41与头单元3的数量对应地设置两个,是与引导构件40卡合地引导其移动的滑块。在本实施方式的情况下,将引导构件40相对于两个移动体41共同使用。这与在每个移动体41上都设置引导构件40的情况下相比,能够简化结构。
作为未图示的移动机构,例如,能够举出滚珠丝杠机构。在做成了滚珠丝杠机构的情况下,能够采用如下的结构:在引导构件40上设置了在Y方向延伸设置的滚珠丝杠轴,在各移动体41上设置了与滚珠丝杠轴螺纹配合的滚珠螺母及使滚珠螺母旋转的马达(例如中空马达)。
由于各移动体41分别具备马达,所以能够独立地移动控制各移动体41,其结果,能够分别独立地移动控制两个头单元3。另外,滚珠丝杠轴既可以做成共同使用在两个移动体41上的结构,也可以分别设置在每个移动体41上。
在本实施方式中,移动单元4在由移动单元2进行的保持单元1的移动范围之中,相对于保持单元1在上下方向错开地配置。特别是,引导构件40相对于引导构件20、20在上下方向离开,而且,配设在交叉的方向。根据此结构,由于能够上下重叠地配置引导构件20、40,所以能够有效地利用设备空间,另外,由于能够在引导构件40的长度方向的范围内收纳移动单元2的宽度,所以能实现省空间化。
(输送升降单元5)
输送升降单元5是支承输送单元8、9中的带式输送机80、90的一方端部(与保持单元1相反侧的端部)地分别设置的,在移载位置中相对于保持单元1升降输送单元8、9。由此,能够在保持单元1和输送单元8、9之间进行基板B的交接。输送升降单元5,在本实施方式的情况下,具备支承输送单元8、9的支承框架51和在Z方向移动自由地对支承框架51进行支承的导向框架52。在导向框架52上,例如设置了在Z方向延伸的轨道构件,在支承框架51上设置了与轨道构件卡合地在Z方向滑动的滑块。
输送升降单元5,还具备马达53和设置在马达53的输出轴53a上的偏心凸轮54。偏心凸轮54的周面与支承框架51的下面抵接,通过使偏心凸轮54旋转,能够使支承框架51在Z方向升降。其结果,能够升降输送单元8、9。
在本实施方式中,做成了这样由将马达53作为驱动源的凸轮机构升降输送单元8、9的结构,但也可以将气缸等作为驱动源,其机构可以采用各种各样的机构。
另外,在本实施方式中,做成了使输送单元8、9升降的结构,但也可以使保持单元1侧升降,只要能够使保持单元1和输送单元8、9相对地升降,则既可以使任一方移动,也可以使双方移动。
(基板升降单元6)
基板升降单元6,相对于保持单元1升降基板B。在本实施方式中,在基板从输送单元8向保持单元1输入时,由定位单元7进行基板B的定位。基板升降单元6在基板B的定位时上升而使基板B从保持单元1的各真空吸附垫10离开。如果基板B的定位结束,则使基板B下降而载置在保持单元1的各真空吸附垫10上进行保持。在本实施方式的情况下,基板升降单元6是气缸,但也可以采用其它的驱动机构。
(定位单元7)
定位单元7在输入位置进行基板B的Y方向的定位。定位单元7,具备相互在Y方向离开的一对抵接构件70、在Y方向可移动地支承一对抵接构件70的引导构件71、使一对抵接构件70移动的未图示的移动机构。移动机构,例如,可以由使一方的抵接构件70移动的气缸等驱动源和使双方的抵接构件70联动的连杆机构构成。
一对抵接构件70,在与基板B的在Y方向相互相向的两边抵接而进行基板B的定位的定位位置和与定位位置相比相互离开的退避位置之间移动。因为一对抵接构件70是在Y方向延伸设置的板状的构件,所以在与基板B的相互相向的两边抵接而进行其Y方向的定位的同时,以使基板B的相互相向的两边与Y方向平行的方式将剩余的两边做成与X方向平行,对基板B的姿势也能够进行调整。其结果,由移动单元4进行的头单元3的相对于基板B的Y方向的移动、通过由移动单元2进行的保持单元1的X方向的移动产生的头单元3的相对于基板B的相对移动,都是沿着基板B的各边的移动。
(输送单元8及9)
输送单元8及9,在本实施方式的情况下,无论哪一个,都做成使环形皮带81、91在X方向行走的带式输送机80、90。在本实施方式的情况下,带式输送机80、90分别在Y方向离开地设置两列,将基板B载置在环形皮带81、91上进行输送。输送单元8是基板B的输入用单元,输送单元9是基板B的输出用单元。在本实施方式中,将输送单元8及9做成了带式输送机,但也可以是辊式输送机、多关节机械手等其它种类的输送装置。另外,在本实施方式中,做成了具备输入用、输出用的双方的输送单元的结构,但也可以是任何一方。
这样,输送单元8、9是仅支承其一方端部的悬臂结构,其另一方端部(保持单元1侧的端部)没有支承结构。因此,能够使输送单元8、9的另一方端部侧与在X方向延伸设置的保持单元1在X方向重叠地配置。具体地讲,在后述的框架构件120内,在使输送单元8、9的另一方端部侧进入的状态下,设置输送单元8、9。其结果,可以进行输送单元8、9和保持单元1之间的基板B的交接。
(回收单元100及110)
回收单元100及110回收被进行了切断的覆盖片b的边缘部。由此,能够防止被进行了切断的覆盖片b的边缘部散乱。
在本实施方式的情况下,回收单元100具备配置在沿引导构件40的切断单元30的移动轨迹的下方的带式输送机101和设置在带式输送机101的两侧部的一对导向构件102。
带式输送机101延伸设置在Y方向,环形皮带在Y方向行走。一对导向构件102分别倾斜地配设,以便向上方开放(间隔变大)。在带式输送机101的两端部(Y方向两端部)分别配设了回收箱103。如果切断单元30沿基板B的位于X方向的两端的边切断覆盖片b的边缘部,则被进行了切断的边缘部向带式输送机101上落下。在边缘部落下时,一对导向构件102作为将边缘部向带式输送机101上引导的滑道(滑梯)发挥功能。通过带式输送机101连续或者定期地动作,该环形皮带行走,能够将被进行了切断的边缘部向回收箱103输送。
回收单元110在切断单元30的下方分别沿一对引导构件20设置。各回收单元110具备带式输送机111和设置在带式输送机111的两侧部的一对导向构件112。
带式输送机111在X方向延伸设置,环形皮带在X方向行走。一对导向构件112分别倾斜地配设,以便间隔向上方变大地开放。在带式输送机111的一方端部(移送方向一方端部)配设了回收箱113。如果切断单元30沿基板B的位于Y方向的两端的两边切断覆盖片b的边缘部,则其切断片分别向带式输送机111上落下。在切断片落下时,一对导向构件112将切断片向带式输送机111上引导。通过使带式输送机111连续或者定期地动作,能够使其环形皮带行走,将切断片向各自的回收箱113输送。
另外,在本实施方式中,作为回收单元100、110利用了带式输送机101、111,但也可以采用其它的结构。例如,也可以做成具备接受被切断而落下来的切断片的流槽状(大致U字状)的构件和吸引流槽内的切断片而向回收箱排出的吸引装置的结构。
(框架构件120)
引导构件20、20、引导构件40、回收单元100、110,不论哪个都被一体地支承在共同的框架构件120上。通过由共同的框架构件120支承它们,能够提高它们相互间的定位精度。
引导构件40架设在框架构件120的一对梁部121之间。一对梁部121相互在Y方向离开,分别在X方向延伸设置。引导构件20、20被搭载在框架构件120的支承部122上地被支承。回收单元100,如图2所示,被搭载在框架构件120的支承部124、124上地被支承,各回收单元110被搭载在框架构件120的支承部123、123上地被支承。
(控制装置)
接着,对控制切断装置A的控制装置200进行说明。图4是控制装置200的框图。控制装置200具备CPU等处理部201、RAM、ROM、硬盘等存储部202、连接外部装置和处理部201的接口部203。
处理部201以存储于存储部202中的保持单元21的切断开始位置、切断结束位置、切断单元30的转动角度位置、由头单元3进行的切断开始位置、切断结束位置等为基础执行程序,基于各种传感器206的检测结果控制各种动作执行器207。在各种传感器206中,例如,包含检测头单元3的Y方向的位置的传感器、检测切断单元30的转动角度、Z方向的位置的传感器、检测由输送单元8输送的基板B的位置的传感器、检测保持单元1(移动体21)的X方向的位置的传感器。
在各种动作执行器207中,包含使真空吸附垫10动作的真空泵、控制阀、移动单元2及4的各移动机构的马达等的驱动源、使圆盘刀30a旋转的马达、定位单元7的驱动源、输送升降单元5的马达53、基板升降单元6的驱动源等。输入部204是接受作业者的指示的键盘、鼠标等,显示部205是显示各种信息的图像显示装置。
(动作例)
接着,参照图5至图13对由切断装置A进行的覆盖片的边缘部的切断动作进行说明。成为对象的基板B,首先,由未图示的输送设备输送给输送单元8,从输送单元8向保持单元1移载。图5至图7表示由覆盖片b覆盖的基板B从输送单元8向保持单元1移载时的切断装置A的动作。
首先,如图5的状态ST1所示,驱动输送单元8在X方向输送基板B,将基板B输送到位于输入位置的保持单元1上。此时,如图6的状态ST11所示,输送单元8的带式输送机80处于由输送升降单元5上升了的位置。另外,基板升降单元6也上升,处于比基板B低但从真空吸附垫10向上方突出的位置。
如果基板B达到保持单元1上,则停止输送单元8的驱动,如图6的状态ST12所示,由输送升降单元5使输送单元8的带式输送机80下降。由此,将基板B从带式输送机80移载到基板升降单元6。
接下来,如图7的状态ST13所示,使定位单元7动作而将一对抵接构件70、70从退避位置向定位位置(在图7中是相互接近的方向)移动。由此,基板B被定位。接下来,如图7的状态ST14所示,使定位单元7动作而将一对抵接构件70从定位位置向退避位置(在图7中是相互离开的方向)移动,使基板升降单元6动作而使基板B下降。由此,将基板B从基板升降单元6移载到保持单元1的各真空吸附垫10上。然后,使各真空吸附垫10动作来吸附保持基板B。
接着,转移到切断覆盖片b的边缘部的动作。边缘部的切断,按照基板B的X方向的一方端部的一边、Y方向的两端部的两边、X方向的另一方端部的一边的顺序进行。
在对基板B的X方向的一方端部的一边而言的进行覆盖片b的边缘部的切断动作时,首先,为了进行基板B的一边和切断单元30的圆盘刀30a的对位,由移动单元2将基板B移动到规定的位置(第一切断位置)。另外,设定圆盘刀30a的Y方向及Z方向的位置、方向(第一切断开始位置)。在包含这些位置、方向在内的控制上需要的各种信息,根据事前的试验结果(例如进行试验的结果)存储在存储部202中,能够按照存储内容进行控制。
接下来切断覆盖片b的边缘部。图8的状态ST2及ST3,表示了沿基板B的X方向的一方端部的一边(在图8中是右边)移动切断单元30来切断覆盖片b的边缘部的状态。在本实施方式的情况下,两个切断单元30的一方,首先,沿基板B的一边的一半切断覆盖片b的边缘部。详细地讲,如图8的状态ST2所示,使一方的切断单元30位于基板B的一边的正中间的位置(第一切断开始位置),从此在该图的由箭头所示的方向(在图8中的状态ST2下是上方向)移动切断单元30来进行边缘部的切断。此时,另一方的切断单元30,预先退避到适当的位置(退避位置)。被进行了切断的切断片由回收单元100回收。
接着,如图8的状态ST3所示,使另一方的切断单元30位于基板B的一边的正中间的位置,从此在该图的由箭头所示的方向(在图8中的状态ST3下是下方向)移动切断单元30,进行剩余的边缘部的切断。此时,一方的切断单元30,预先退避到适当的位置。通过以上的动作,对基板B的X方向的一方端部的一边而言覆盖片b的边缘部的切断结束。
接着,进行对基板B的Y方向的两端部的两边而言的覆盖片b的边缘部的切断。在本实施方式的情况下,由两个切断单元30同时进行对Y方向的两端部的两边而言的覆盖片b的各边缘部的切断。边缘部的切断,在从基板B中的Y方向的两端部的两边的中央向一端进行之后,再从中央向另一端进行。
因此,首先,如图9的状态ST4所示,两个切断单元30,分别由移动单元2将保持单元1在X方向移动,以便位于基板B的Y方向的两端部的两边的中央的位置(第二切断位置)。在保持单元1移动时,预先使切断单元30上升等退避到适宜的位置(能动作位置),以便切断单元30和基板B不干涉。
接下来,如由箭头d1表示的那样使切断单元30转动而变更其切断方向,使其位于规定的位置(第二切断开始位置)而开始覆盖片b的边缘部的切断。首先,如图10的状态ST5所示,一边由移动单元2使保持单元1向X方向的输送单元8侧移动一边将覆盖片b的边缘部进行一半切断。被进行了切断的切断片由回收单元110回收。接下来如图11的状态ST6所示,使切断单元30转动而变更其切断方向,切断方向变更后,一边由移动单元2使保持单元1向X方向的输送单元9侧移动一边将覆盖片b的边缘部的剩余一半进行切断。通过以上的动作,对于基板B中的Y方向的两端部的两边而言,覆盖片b的边缘部的切断结束。
接着,对基板B的X方向的另一方端部的一边(在图12中是左边)而言,进行覆盖片b的边缘部的切断。与对X方向的一方端部的一边而言的切断动作的情况同样,首先,为了进行基板B的一边和切断单元30的圆盘刀30a的对位,由移动单元2将基板B移动到规定的位置(第三切断位置)。接下来使切断单元30转动而变更其切断方向,使其位于规定的位置(第三切断开始位置),如图12的状态ST7所示,两个切断单元30的一方,首先,沿基板B的一边的一半将覆盖片b的边缘部从中央向一端(在图12中是上方)切断。然后,两个切断单元30的另一方,将覆盖片b的边缘部的剩余一半从中央向另一端切断。被进行了切断的切断片由回收单元100回收。通过以上的动作,对基板B的X方向的另一方端部的一边而言覆盖片b的边缘部的切断结束,对基板B的四边全部而言,覆盖片b的边缘部的切断结束。
接下来转移到基板B的输出动作。由移动单元2将基板B向输出位置移动,解除由真空吸附垫10进行的基板B的保持。然后,由设置在输送单元9上的输送升降单元5使带式输送机90从下降的位置上升。由此,将基板B从保持单元1向带式输送机90移载。然后,如图13的状态ST8所示,驱动带式输送机90而将基板B在X方向输送,交给未图示的输送设备等。
通过以上的动作,一个单位的切断动作结束。在本实施方式中,由移动单元2,不仅能够将基板B从输送单元8移动到适于覆盖片b的切断的位置,而且能够产生沿基板B的Y方向两端部的两边的覆盖片b的边缘部的切断时的切断单元30和基板B的X方向的相对移动。其结果,不需要使切断单元30在X方向移动的机构,能够由更简单的结构沿矩形基板的四边切断覆盖片。另外,由于能够在基板B的从输送单元8向输送单元9的输送过程中切断覆盖片b的边缘部,所以也能够实现作业效率的提高。
虽然本发明根据具体实施方式进行了说明,但是本发明不限于这些实施方式,在不脱离本发明的宗旨的范围内可以进行的各种修正、变更以实现相同的功能等,当然也被包括在本发明的权利要求所述的范围内。
Claims (12)
1.一种切断装置,是切断覆盖矩形基板的覆盖片的边缘部的切断装置,其特征在于,具备:
吸附上述矩形基板的单面来保持上述矩形基板的保持单元;
具备切断上述覆盖片的边缘部的切断单元及转动上述切断单元而变更切断方向的转动单元的头单元;
将上述头单元在与上述矩形基板的一边平行的第一方向移动的第一移动单元;
将上述保持单元在与上述矩形基板的和上述一边正交的另一边平行的第二方向移动,并将上述保持单元遍及在上述第二方向连续的上述矩形基板的移载位置及切断作业区域地移动的第二移动单元。
2.如权利要求1记载的切断装置,其特征在于,
具备在上述移载位置进行上述矩形基板的向上述保持单元的输入及上述矩形基板的从上述保持单元的输出的至少任一方的输送单元。
3.如权利要求2记载的切断装置,其特征在于,
具备在上述移载位置相对地升降上述保持单元和上述输送单元的升降单元。
4.如权利要求1记载的切断装置,其特征在于,
上述移载位置包含进行上述矩形基板的向上述保持单元的输入的输入位置,
具备在上述输入位置进行上述矩形基板的上述第一方向的定位的定位单元。
5.如权利要求1记载的切断装置,其特征在于,
上述第一移动单元,在通过上述第二移动单元进行的上述保持单元的移动范围之中,相对于上述保持单元在上下方向错开地配置。
6.如权利要求5记载的切断装置,其特征在于,
上述第二移动单元具备:
在上述第一方向相互离开,在上述第二方向延伸设置的一对引导构件;
架设在上述一对引导构件之间,支承上述保持单元的移动体;
使上述移动体沿上述一对引导构件移动的移动机构。
7.如权利要求5记载的切断装置,其特征在于,
上述第一移动单元具备:
在上述第一方向延伸设置的引导构件;
沿上述引导构件可移动地安装在上述引导构件上,支承上述头单元的移动体;
使上述移动体沿上述引导构件移动的移动机构。
8.如权利要求5记载的切断装置,其特征在于,
上述第一移动单元具备:
在上述第一方向延伸设置的第一引导构件;
沿上述第一引导构件可移动地安装在上述第一引导构件上,支承上述头单元的第一移动体;
使上述第一移动体沿上述引导构件移动的第一移动机构,
上述第二移动单元具备:
在上述第一方向相互离开,在上述第二方向延伸设置的一对第二引导构件;
架设在上述一对第二引导构件之间,支承上述保持单元的第二移动体;
使上述第二移动体沿上述一对第二引导构件移动的第二移动机构,
上述第一引导构件与上述一对第二引导构件在上下方向离开而且交叉地配设。
9.如权利要求8记载的切断装置,其特征在于,具备:
在沿上述第一引导构件的上述切断单元的移动轨迹的下方,在上述第一方向延伸设置,回收被进行了切断的上述覆盖片的边缘部的第一回收单元;
在上述切断单元的下方,沿上述一对第二引导构件在上述第二方向延伸设置,回收被进行了切断的上述覆盖片的边缘部的一对第二回收单元。
10.如权利要求7记载的切断装置,其特征在于,
设置两组上述头单元、上述移动体和上述移动机构,
将两个上述移动体安装在共同的上述引导构件上。
11.如权利要求9记载的切断装置,其特征在于,
具备一体地支承上述一对第二引导构件、上述第一引导构件、上述第一及第二回收单元的框架构件。
12.如权利要求1记载的切断装置,其特征在于,
上述移载位置包含:
上述切断作业区域的上述第二方向的一端的、进行上述矩形基板的向上述保持单元的输入的输入位置;
上述切断作业区域的上述第二方向的另一端的、进行上述矩形基板的从上述保持单元的输出的输出位置。
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