JP5480756B2 - 平板状被検査体の試験装置 - Google Patents
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Description
12 被検査体
14 プラットホーム
16 テーブルベース
16a,36 開口
18 パネル受け
20 プローブユニット
22 ユニット支持機構
24 カメラ装置
26 保護部材
32 バックライトユニット
34 移動片
34a,34b 第1及び第2の片部
38 パネル受け面
40 機構
42,44 第1及び第2のスライダ
46 結合部材
48,50 レール
52 移動片移動機構
60,64 プッシャー機構
62,66 位置決め機構
62a,66a 位置決め機構
70 押圧部材
72 移動体
74 駆動機構
76 支持板
78 取り付けピン
80 レール
26a スロット
26b 基部
26c 延在部
118 接触子
192 ねじ穴
194 ボルト
Claims (14)
- 平板状被検査体を受ける矩形のパネル受け面を有するパネル受けと、前記被検査体の電極に押圧される複数の接触子を有するプローブブロックを備えるプローブユニットと、前記パネル受け面に対して受け渡される被検査体から前記接触子を保護する保護装置であって、前記パネル受け面の外側に位置された複数の保護部材を備える保護装置とを含み、
複数の保護部材は、前記矩形の少なくとも1つの辺の方向に間隔をおいており、
各保護部材の上端は、前記接触子の高さ位置より上方に位置されている、平板状被検査体の試験装置。 - 前記保護装置は、前記パネル受けに受けられた被検査体を前記接触子に対し共同して位置決めるアライメント装置を含み、
前記アライメント装置は、前記矩形の対向する一対の辺の一方及び他方に対応する箇所に、それぞれ、対応する辺の長手方向に間隔をおいて配置された一対の第1のプッシャー機構及び一対の第1の位置決め機構と、前記矩形の対向する他の一対の辺の一方及び他方に対応する箇所に、それぞれ、配置された第2のプッシャー機構及び第2の位置決め機構とを含み、
前記プッシャー機構又は位置決め機構は前記保護部材として作用する、請求項1に記載の試験装置。 - 前記プッシャー機構及び位置決め機構のそれぞれは、前記パネル受けに受けられた被検査体と同じ高さ位置に位置された押圧部材と、該押圧部材を支持する支持部材であって、前記上端部を有する支持部材と、前記押圧部材を前記被検査体に対し進退させるべく前記支持部材を移動させる駆動機構とを備える、請求項2に記載の試験装置。
- 各位置決め機構の前記駆動機構は、対応する押圧部材の進退方向における前記押圧部材の位置を対向するプッシャー機構の押圧力に抗して解除可能に維持する、請求項3に記載の試験装置。
- 各保護部材は、前記パネル受けに取り付けられた基部と、該基部から上方へ延びる延在部とを備える、請求項1に記載の試験装置。
- 前記複数の保護部材は、該保護部材が離間する方向に間隔をおいた複数の箇所の適宜な箇所に選択的に取り付け可能に前記パネル受けに配置されている、請求項1から5のいずれか1項に記載の試験装置。
- 前記パネル受けは、さらに、前記複数の保護部材が離間する方向に延びる長尺部材を備え、該長尺部材は、前記複数の保護部材を取り外し可能にねじ止めするねじ部材が選択的に螺合される複数のねじ穴であって、前記離間する方向に間隔をおいた複数のねじ穴を有する、請求項1から6のいずれか1項に記載の試験装置。
- 前記プローブブロックは、前記辺の方向と交差する方向における前記保護部材の位置に対して前記パネル受け面の側と反対の側に前記接触子の針先が位置する箇所に後退可能に前記パネル受けに配置されている、請求項1から7のいずれか1項に記載の試験装置。
- 前記パネル受けは、矩形の開口を共同して形成する4つの辺部材であって、前記パネル受け面を共同して形成する4つの辺部材を備え、
各辺部材は前記矩形の1つの辺に対応されており、
各プローブユニット及び各保護部材は同じ前記辺部材に配置されている、請求項1から8のいずれか1項に記載の試験装置。 - さらに、テーブルベースを含み、
各辺部材は前記開口の大きさを可変可能にX方向及びY方向へ移動可能に前記テーブルベースに配置された移動片を含み、
該移動片は、前記テーブルベースに該テーブルベースと平行に配置された第1の片部と、該第1の片部の前記パネル受け面の側から上方に立ち上がる、前記パネル受け面の一部を形成する上面を有する第2の片部とを備え、
前記プローブユニット及び前記保護部材は前記第1の片部に配置されている、請求項9に記載の試験装置。 - 対向する一対の移動片及び対向する他の一対の移動片は、それぞれ、Y方向及びX方向に間隔をおいてX方向及びY方向に平行に延びており、
それら4つの移動片は、前記開口を共同して形成すると共に、前記パネル受け面を共同して形成し、さらに前記開口の大きさを可変可能に前記テーブルベースに配置されており、
隣り合う移動片は、それぞれがY方向又はX方向へ独立して移動することを妨げられることなく、結合されている、請求項10に記載の試験装置。 - 各移動片の前記第1及び第2の片部は、その移動方向に長い板状部を含む、請求項10及び11のいずれか1項に記載の試験装置。
- さらに、前記パネル受けに受けられた被検査体を前記接触子に対し共同して位置決めるアライメント装置を含み、
前記アライメント装置は、前記矩形の各辺に対応する箇所に配置された少なくとも1つのプッシャー機構又は位置決め機構を含み、
前記プッシャー機構及び位置決め機構のそれぞれは、前記パネル受けに受けられた被検査体と同じ高さ位置にあって、前記パネル受け面の外側に位置された押圧部材と、前記押圧部材を前記被検査体に対し進退させる駆動機構とを備え、
各保護部材の上端は、前記押圧部材の高さ位置の上方に位置されている、請求項4から12のいずれか1項に記載の試験装置。 - 前記アライメント装置は、前記矩形の対向する一対の辺の一方及び他方に対応する箇所に、それぞれ、対応する辺の長手方向に間隔をおいて配置された一対の第1のプッシャー機構及び一対の第1の位置決め機構と、前記矩形の対向する他の一対の辺の一方及び他方に対応する箇所に、それぞれ、配置された第2のプッシャー機構及び第2の位置決め機構とを含み、
各位置決め機構の前記駆動機構は、対応する押圧部材の進退方向における前記押圧部材の位置を対向するプッシャー機構の押圧力に抗して解除可能に維持する、請求項13に記載の検査装置。
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