KR100748072B1 - 표시패널의 전기검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 표시패널의 전기검사장치는, 단순한 구성으로 복수개의 프로브 유닛을 동기적(同期的)으로 동작시키기 위한 것이다. 상기 검사장치는 표시패널을 수용하는 사각형 프레임의 변(邊) 부분을 따라 배치되는 가늘고 긴 각각의 제1 이동편(片)이, 구동장치에 의해 패널의 대응하는 가장자리부에 접근하는 전진위치와 상기 가장자리로부터 멀어지는 후퇴위치와의 사이에서 구동된다. 각각의 제1 이동편에는 제2 이동편이 지지되며, 상기 제2 이동편에는 복수개의 프로브 유닛이 유지(保持)되어 있다. 양 이동편 사이에는 운동변환기구가 설치되어 있다. 운동변환기구에 의해, 제2 이동편은 제1 이동편의 후퇴위치와 운동변환점과의 사이에서는 제1 이동편과 일체적으로 이동하고, 또한 제1 이동편이 후퇴위치로부터 운동변환점에 도달하면 이어지는 제1 이동편의 전진에 동반하여 하강하며, 반대로, 제1 이동편이 전진위치로부터 운동변환점을 향해 이동하면 위쪽을 향해 이동한다. 그 결과, 제2 이동편에 지지된 복수개의 프로브 유닛은 표시패널의 배치영역에서는 제1 이동편의 이동에 동반하며, 대응하는 전극을 향하거나 혹은 이것으로부터 멀어지도록 승강하고, 배치영역 바깥에서는 대피위치를 향해 후퇴한다.

표시패널, 전기검사장치, 프로브 유닛, 패널 수용부

Description

표시패널의 전기검사장치{Apparatus for Electric Inspecting of Display Panel}

도1은 본 발명에 따른 검사장치의 평면도이다.

도2는 도1에 나타낸 선 II-II의 단면도이다.

도3은 도1에 나타낸 사각형 프레임의 평면도이다.

도4는 사각형 프레임을 구성하는 변(邊) 부분의 결합관계를, 일부를 잘라내서, 나타낸 사시도이다.

도5는 사각형 프레임에 의한 패널 수용부의 크기의 변경형태를 나타내며, (a)는 최대치수로 설정된 패널 수용부를 나타낸 평면도이고, (b)는 그보다 작은 치수로 설정된 패널 수용부를 나타낸 평면도이다.

도6은 도1에 나타낸 본 발명에 따른 운동변환기구를 확대해서 나타낸 평면도이다.

도7은 본 발명에 따른 운동변환기구를 사각형 프레임의 변 부분으로부터 분해하여 나타낸 사시도이다.

도8은 푸셔(pusher)의 작동상태를 나타내며, (a)는 액정패널의 유지위치에 있는 푸셔를 나타낸 단면도이고, (b)는 액정패널의 해방위치에 있는 푸셔를 나타낸 단면도이다.

도9는 본 발명에 따른 운동변환기구의 일부를 잘라내서 나타낸 사시도이다.

도10은 도6에 나타낸 선X-X의 단면도이다.

도11은 도6에 나타낸 선XI-XI의 단면도이다.

도12는 프로브 유닛의 동작을 나타낸 설명도이고, (a)는 대기위치에 있는 프로브 유닛을 나타내고, (b)는 제1의 이동편이 운동변환점에 도달한 상태에 있는 프로브 유닛을 나타내며, (c)는 액정패널의 전극에의 접촉위치에 있는 프로브 유닛을 나타낸 설명도이다.

*도면의 주요 부호에 대한 설명*

10: 검사장치 12: 표시패널(액정패널)

12a: 전극(electrode) 16: 사각형 베이스부재

18: 한 쌍의 이동 베이스 부재 20: 사각형 프레임(패널 수용부)

20a, 20b, 20c, 20d: 사각형 프레임의 변(邊) 부분

22: 프로브 유닛 26: 한 쌍의 궤도부재(레일)

30: 고정기구 34: 수나사부재(screw member)

36: 너트부재 38: 볼나사

40: 고정장치 54: 사각형 프레임의 사각형 개구

68: 제1 이동편(片) 70: 제2 이동편

80, 82, 86, 88: 운동변환기구 82c: 경사핀

82d: 안내공(guide hole) 84: 탄력수단(압축 코일스프링)

90a, 90b: 경사면 92: 레일

94: 안내부 96: 구동장치(피스톤·실린더장치)

발명의 분야

본 발명은 액정표시패널(liquid crystal display panel)과 같은 표시패널의 전기검사를 위해, 통전회로와 표시패널(display panel)을 접속하기 위한 전기적 접속기구를 갖는 전기검사장치에 관한 것이다.

발명의 배경

액정표시패널과 같은 표시패널의 검사장치의 하나로, 검사를 받는 표시패널이 배치되는 검사 스테이지(inspection stage)에 검사를 위한 복수개의 프로브 유닛(probe unit)(접촉자 유닛, contact unit)을 설치한 것이 있다(특허문헌1).

복수개의 프로브 유닛은 검사 시에 그들 프로브가 검사 스테이지의 패널 수용부(panel receiver) 위의 표시패널의 대응하는 전극에 접촉함으로써, 통전회로로부터의 전력을 표시패널에 공급한다. 또한, 검사에 앞선 패널 수용부에의 표시패널의 배치 및 검사 후 표시패널 수용부로부터의 표시패널의 취출(取出) 시에는, 각 프로브 유닛은 표시패널의 배치영역으로부터 후퇴한다. 따라서 다수의 프로브 유닛이 표시패널의 패널 수용부에의 배치 및 그 취출에 방해가 되지 않으며, 표시패널의 취급이 원활히 행해진다.

그러나, 프로브 유닛 마다 각 유닛을 위한 구동장치가 필요하고, 게다가 모든 프로브 유닛의 동작을 일치시켜서 작동시키기 위해서 그 구동장치의 작동을 동기(同期)시킬 필요가 있다는 점에서, 구성의 복잡화가 초래된다.

특허문헌1: 일본 특허공개공보 제2002-350485호

본 발명은, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적은, 보다 단순한 구성으로 복수개의 프로브 유닛을 동기적(同期的)으로 작동시킬 수 있는 표시패널의 검사장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다. 하기에 본 발명의 내용을 상세히 설명한다.

본 발명에 따른 표시패널의 전기검사장치는, 표면에 전극을 갖는 사각형 표시패널의 가장자리부를 수용하는 4개의 변(邊) 부분을 갖는 사각형 프레임으로 이루어진 패널 수용부와, 이 패널 수용부의 적어도 하나의 변 부분을 따라 배치되는 가늘고 긴 이동편(片)으로서, 그 폭 방향에 대응하는 상기 변 부분 위에서 이동가 능 하도록 지지된 제1 이동편과, 상기 제1 이동편을 상기 표시패널의 대응하는 가장자리부에 접근하는 전진위치와, 상기 가장자리부로부터 멀어지는 후퇴위치의 사이에서 구동하는 구동장치와, 상기 제1 이동편을 따라 배치되고, 상기 각각의 제1 이동편에 유지(保持)되는 가늘고 긴 제2 이동편과, 상기 제2 이동편의 길이방향으로 간격을 두고 상기 제2 이동편에 유지되며, 상기 전극에 대응하여 설치된 프로브를 갖는 복수개의 프로브 유닛을 구비한다.

게다가, 상기 검사장치는 제1 이동편과 제2 이동편과의 사이에 운동변환기구(motion converting mechanism)를 구비한다. 상기 운동변환기구는 제1 이동편이 상기 후퇴위치와 상기 전진위치와의 사이에서 이동될 때, 상기 후퇴위치와 상기 제2 이동편에 유지(保持)된 상기 프로브 유닛이 패널 영역내의 상기 전극에 대응하는 대응위치에 도달하는 운동변환점과의 사이에서는 제2 이동편을 제1 이동편과 일체적으로 이동시키고, 상기 운동변환점과 상기 전진위치와의 사이에서는 상기 프로브 유닛을 상기 대응위치에서 승강시키기 위해 상기 제2 이동편을 상기 제1 이동편의 이동방향과 직각인 방향으로 이동시킨다.

본 발명에 따른 상기 검사장치에서, 복수개의 상기 프로브 유닛을 유지(保持)하는 제2 이동편은 상기 운동변환기구에 의해 제1 이동편이 후퇴위치와 운동변환점과의 사이를 이동할 때 상기 제1 이동편과 일체적으로 이동한다. 한편, 제1 이동편이 운동변환점과 전진위치와의 사이를 이동할 때, 제2 이동편은 이것에 유지(保持)된 각 프로브 유닛의 대응하는 전극을 향하며 그리고 이것으로부터 떨어진 방향으로 이동하기위해 승강한다.

따라서 본 발명에 의하면, 제1 이동편의 이동을 구동장치로 작동함으로써 프로브 유닛마다 구동장치를 설치할 필요 없이, 제2 이동편에 유지(保持)된 복수개의 프로브 유닛을 일괄적으로 승강시키고, 또한 패널의 취급에 방해가 되지 않는 패널의 취급영역 바깥의 대피위치에 일괄적으로 이동시킬 수 있다.

상기 제1 이동편이 상기 후퇴위치와 상기 운동변환점과의 사이를 이동할 때, 제2 이동편을 제1 이동편과 함께 상기 변 부분 위를 수평경로를 따라 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 프로브 유닛을 상기 액정 패널의 위쪽에서 상기 액정패널에 평행한 면 위를 대피위치와 상기 대응위치의 사이에서 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 제1 이동편이 상기 운동변환점과 상기 전진위치와의 사이를 이동할 때, 상기 제2 이동편을 상기 수평경로에 직각인 수직경로를 따라 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 프로브 유닛을 상기 패널 영역내의 상기 대응위치에서 대응하는 상기 전극에 접촉하거나 또는 접촉을 해제하기 위해 승강시킬 수 있다. 이 프로브 유닛의 수직 승강에 의해 상기 프로브 유닛의 프로브의 선단에서 전극을 마찰하는 것을 확실히 방지할 수 있으며, 프로브 선단에서의 전극의 손상을 확실히 방지 할 수 있다.

상기 복수개의 프로브 유닛을 상기 제2 이동편에 그 길이방향을 따라 이동가능 하도록 유지(保持)하고, 위치결정기구를 통해 소망위치에서 해제가 가능하도록 위치를 결정할 수 있다. 이에 따라, 전극위치를 다르게 하는 각종 표시패널에 대응할 수 있다.

상기 운동변환기구는 다음과 같은 구성을 채택할 수 있다. 즉, 운동변환기구 는 제1 및 제2 이동편의 서로 마주하는 면에 형성되고, 수직선에 대해 경사진 상호 평행한 한 쌍의 경사면과, 제1 및 제2 이동편을 상호간에 상기 경사면을 따라 소정의 스트로크로 이동가능 하도록 결합하는 결합기구와, 상기 양 이동편 사이에 상기 경사면을 따른 상기 스트로크의 한쪽 끝을 향해 탄력을 가하는 탄력수단(spring means)과, 상기 제1 이동편이 상기 후퇴위치로부터 상기 변환점에 도달했을 때, 상기 제2 이동편의 상기 제1 이동편과 일체된 전진 이동을 저지하고 동시에 상기 탄력수단의 탄력을 극복하여 경사면을 따라 행해지는 상기 제2 이동편의　슬라이딩을 허용함으로써, 상기 제2 이동편을 아래쪽으로 안내하기 위한 정지부재(stopper member)를 구비한다. 이 운동변환기구에 의해 비교적 단순한 구성으로 복수개의 프로브 유닛을 확실히 동기적(同期的)으로 작동시킬 수 있다.

사각형 프레임의 각각의 변 부분을, 사각형 개구를 갖는 사각형 베이스부재 위에서, 이 베이스부재의 대응하는 사각형 개구의 각각의 변(邊)을 따라 이동가능 하도록 그리고 대응하는 사각형 개구의 변(邊)에 접근하는 방향 및 멀어지는 방향으로 이동가능 하도록 지지할 수 있다. 이에 따라, 사각형 개구의 크기가 변경가능해지기 때문에 다른 크기의 표시패널에 대응하는 것이 가능하다.

상기 사각형 베이스부재 위에, 이 사각형 베이스부재의 상기 사각형 개구의 서로 마주하는 양 변을 따라 배치된 한 쌍의 궤도부재와, 이 양 궤도부재 위에 올려져서 배치되고 상기 궤도 부재 위를 상기 궤도부재와 직각으로 이동할 수 있는 한 쌍의 이동베이스부재(movable base member)를 설치할 수 있다. 또한, 상기 사각형 프레임의 한 쌍의 변 부분을 상기 한 쌍의 이동베이스부재 위에서 대응하는 상 기 이동베이스부재 위를 따라 배치하고 동시에 그 길이방향으로 이동가능하게 할 수 있다. 상기 사각형 프레임의 다른 쪽의 한 쌍의 변 부분의 한쪽 끝을 각각에 인접하는 상기 한 쪽의 변 부분에 상기 변 부분의 길이 방향으로 이동가능 하도록 결합하고 동시에 상기 변 부분의 폭 방향으로의 이동이 저지되도록 결합하며, 상기 다른 쪽의 한 쌍의 변 부분의 각각에 인접하는 상기 한 쪽의 변 부분의 한쪽 끝을 이 한쪽 끝에 인접하는 상기 다른 쪽의 변 부분에 상기 변 부분의 길이방향으로 이동가능 하도록 결합하고 동시에 상기 변 부분의 폭 방향으로의 이동이 저지되도록 결합할 수 있다.

한 쌍의 궤도부재 위에 올려져서 배치되는 한 쌍의 이동베이스부재를 이용하고, 이 한 쌍의 이동베이스 위에 사각형 프레임을 배치함으로써, 상기 사각형 프레임에 덜거덕거림이 발생하지 않고 안정된 상태로 상기 사각형 베이스부재 위에 사각형 프레임을 이동가능 하도록 유지(保持)할 수 있으며, 또한 상기 사각형 프레임의 강성(剛性)을 높일 수 있다.

이 사각형 프레임에, 상기 설명한 바와 같은 결합구조를 채택함으로써, 개개의 변 부분의 독립된 운동을 방지하고, 서로 이웃하는 변 부분의 직각관계를 유지한 상태로 각 변 부분을 이동시킬 수 있기 때문에, 표시패널의 크기에 대응한 사각형 개구를 형성하기위해 수동으로 각 변 부분을 이동시킬 때, 그 조작을 용이하게 행할 수 있다.

이 각 변 부분의 수동조작을 위해, 상기 각 이동베이스와 상기 사각형 베이스부재와의 사이 및 상기 각 이동베이스와 이 이동베이스 위의 상기 한 쪽의 변 부 분과의 사이에, 각각 이동베이스 및 상기 한 쪽의 변 부분의 이동을 가능하게 하기 위해 그들을 사각형 베이스부재 및 상기 이동베이스에 각각 해제가능하도록 고정하기 위한 고정기구를 설치할 수 있다. 이 고정기구의 해제에 의해, 원하는 크기의 사각형개구의 형성을 위한 각 변 부분의 조작이 가능해지고, 그 후, 상기 고정기구의 고정작용을 통해 각 변 부분의 미동에 의한 사각형 프레임의 이동 또는 변형을 확실히 저지할 수 있다.

상기 이동베이스를 위한 고정기구에는, 상기 사각형 베이스부재 위에서 상기 궤도부재 위를 따라 배치되고 동시에 회전 가능하도록 지지된 나사부재 및 이 나사부재에 나사결합하고 상기 이동베이스에 고정적으로 설치된 너트부재(nut member)를 갖는 볼나사(ball screw)와, 상기 나사부재의 회전을 해제가능하도록 저지하는 고정장치(fixing device)를 구비하는 고정기구를 채택할 수 있다. 또한, 상기 한 쪽의 변 부분을 위한 고정기구에는 마찬가지로 상기 이동베이스 위에서 상기 한 쪽의 변 부분을 따라 배치되고 동시에 회전 가능하도록 지지된 나사부재 및 상기 나사부재에 나사결합하고 상기 이동베이스에 고정적으로 설치된 너트부재를 구비하는 볼나사와, 상기 나사부재의 회전을 해제 가능하도록 저지하는 고정장치를 구비하는 고정기구를 이용할 수 있다.

각 고정기구의 볼나사는 고정 장치의 해제 시에 이동베이스 및 편(片)부분의 이동 시에, 각각 적정한 슬라이딩 저항을 가함으로써 사각형 프레임에 의해 규정되는 상기 사각형 개구의 원활한 미세조정이 가능해지고, 상기 고정장치에 의해 표시패널에 따른 원하는 상기 사각형 개구를 확실히 유지(保持)할 수 있다.

본 발명에 의하면, 상술한 바와 같이, 제1 이동편의 이동을 구동장치에 의해 작동함으로써 프로브 유닛 마다 구동장치를 설치할 필요 없이, 제2 이동편에 유지(保持)된 복수개의 프로브 유닛을 일괄적으로 승강시키고, 또한 패널의 취급에 방해되지 않는 패널의 취급영역 바깥의 대피위치에 일괄적으로 이동시킬 수 있기 때문에, 종래와 비교해서 단순한 구성으로 복수개의 프로브 유닛을 동기적으로 작동시킬 수 있는 표시패널의 검사장치가 제공된다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.

본 발명에 따른 검사장치(10)는, 도1에 나타낸 바와 같이 액정패널(liquid panel)(12)과 같은 표시패널의, 예를 들면 점등검사와 같은 전기시험에 이용된다. 액정패널(12)은 사각형의 형상을 갖으며, 도시하지 않았으나 한쪽 면의 각 변을 따라 다수의 전극군이 상호간에 간격을 두고 형성되어 있다.

검사장치(10)는, 도1의 II-II선을 따라 얻어진 도2에 나타낸 바와 같이, 스테이지(14) 상에 이것으로부터 간격을 두고 배치된 평판형상의 사각형 베이스부재(rectangular base member)(16)와, 이 베이스부재 위에 서로 간격을 두고 배치된 한 쌍의 이동베이스부재(18)와, 이 이동베이스부재 위에 조립되며 액정패널(12)을 수용하는 패널 수용부를 구성하는 사각형 프레임(20)과, 상기 프레임에 설치된 다수의 프로브 유닛(22)을 구비한다.

사각형 베이스부재(16)는, 도2에 나타낸 바와 같이, 사각형 개구부(16a)를 규정하고, 스테이지(14) 위의 사각형 개구부(16a)에 대응하는 영역에는 사각형 프 레임(20) 위에 배치되는 액정패널(12)의 점등시험을 위한 백라이트장치(backlight device)(24)가 배치되어 있다.

액정패널(12)은 그 상기 전극을 위쪽을 향한 상태로 뒷면으로부터 백라이트장치(24)의 빛의 조사(照射)를 받도록, 사각형 프레임(20)의 안쪽 가장자리 위에 가장자리부를 얹어서 유지(保持)된다. 이 유지(保持)상태로 상기 전극에 접속되는 프로브 유닛(22)으로부터 검사를 위한 전력이 액정패널(12)에 공급된다. 스테이지(14)는 종래에 잘 알려져 있는 바와 같이, 스테이지 면 위의 X축, Y축 및 이에 수직인 Z축으로 이동가능하며 동시에 Z축의 주위에 각도θ로 회전가능하다.

사각형 베이스부재(16) 위에는, 사각형 프레임(20)의 구조를 나타낸 도3 및 도4에 나타낸 바와 같이, Y축 방향으로 연장하는 궤도부재인 한 쌍의 레일(rail)(26)이 사각형 베이스부재(16)의 사각형 개구부(16a)의 한 쌍의 세로변을 따라 설치되어 있다. 한 쌍의 이동베이스부재(18)는 각각 가늘고 긴 판부재로 이루어지며, 사각형 개구부(16a)의 한 쌍의 가로변을 따라서 양 레일(26)에 올려져 배치되어 있다. 각 이동베이스부재(18)의 아랫면에 있어서의 이 베이스부재의 양 끝부분 근방에는 대응하는 레일(26) 위를 이동하는 슬라이딩 소자(28)(도2 및 도4 참조)가 고정되어 있다. 따라서 한 쌍의 이동베이스부재(18)는 서로 평행을 유지(保持)한 상태로 Y축 방향으로 이동하는 것이 가능하다. 또한, 한 쌍의 이동베이스부재(18)의 이동을 규제하기 위해, 한 쪽 레일(26)을 따라 각 이동베이스부재(18)를 위한 고정기구(30)가 설치되어 있다.

각 고정기구(30)는, 각 이동베이스부재(18)에 대응하여 Y축 방향으로 정렬하 여 배치되고, 양 끝이 각각 베어링(32)을 통해서 베이스부재(16) 위에 회전 가능하도록 지지된 수나사부재(screw member)(34) 및 각 수나사부재(34)에 나사결합하여 대응하는 이동베이스부재(18)에 고정된 너트부재(36)를 갖는 종래에 잘 알려진 볼나사(38)와, 수나사부재(34)로부터 돌출된 수나사부재(34)의 한쪽 끝에 설치되어 있는, 예를 들면 클램프기구(clamping mechanism)로 이루어진 고정장치(40)를 구비한다.

고정장치(40)는 사각형 베이스부재(16)위에 지지되며, 수나사부재(34)를 해제 가능하도록 단단히 죈다. 고정기구(30)는 그 단단한 조임으로 수나사부재(34)의 회전을 저지하고, 조임의 해제를 통해 수나사부재(34)의 회전을 허용한다. 너트부재(36)에는 종래에 잘 알려져 있는 바와 같이, 수나사부재(34)를 원활하게 끼워 맞추기 위한 볼(도시하지 않음)이 삽입되어 있다.

고정기구(30)가 해제된 상태에서, 한 쌍의 이동베이스부재(18)에 Y축 방향의 조작력이 작용하면, 대응하는 너트부재(36)를 통해서 이것에 나사결합하는 수나사부재(34)가 원활하게 회전한다. 이에 따라, 한 쌍의 이동베이스부재(18)는 이 수나사부재(34)의 회전을 수반하여, 한 쌍의 베어링(32)으로 규정되는 이동범위 내에서 레일(26) 위를 적정한 마찰을 동반하여 원활하게 슬라이딩 한다. 따라서 볼나사(38)를 이용함으로써 한 쌍의 이동베이스부재(18)의 미세조정이 용이하게 행해진다. 이 미세조정 후, 각 고정장치(40)의 조임에 의해, 수나사부재(34)의 회전이 저지되면 한 쌍의 이동베이스부재(18)는 한 쌍의 베어링(32)에 의해 규정되는 이동범위 내의 회전이 저지된 소망위치에서 확실히 고정된다.

한 쌍의 이동베이스부재(18) 위에 유지(保持)되는 사각형 프레임(20)은 이동베이스부재(18) 위에서 X축 방향에 배치되는 긴(長尺) 한 쌍의 가로변부분(20a, 20b)과, Y축 방향을 따라 배치되는 긴 한 쌍의 세로변부분(20c, 20d)을 갖는다.

각 가로변 부분(20a, 20b)의 아랫면에는, 도2에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 이동베이스부재(18) 위에 고정된 안내부(42)에 끼워지는 레일(44)이 설치되어 있다. 안내부(42)와 레일(44)의 끼워맞춤에 의해, 한 쌍의 이동베이스부재(18)와 이에 대응하는 한 쌍의 가로변 부분(20a, 20b)은 사각형 베이스부재(16) 위에서 레일(44)과 직각인 Y축 방향으로 일체적으로 이동할 수 있다. 또한, 이 레일(44)의 안내 작용에 의해 한 쌍의 가로변 부분(20a, 20b)은 각각에 대응하는 이동베이스부재(18) 위를 그 길이방향 즉 X축 방향으로 이동할 수 있다.

또한, 각 세로변 부분(20c, 20d)의 아랫면에는 이 세로변 부분의 길이방향으로 연장하는 레일(46)(도2 및 도4 참조)이 설치되어 있으며, 한쪽의 세로변 부분(20c)의 레일(46)은 도4에 상기 세로변 부분의 중간부를 잘라내서 나타낸 바와 같이, 한 쪽의 가로변 부분(20a)의 한쪽 끝에 형성된 안내부(48)에 이 가로변 부분의 폭 방향으로 슬라이딩이 가능하도록 수용되어 있다. 또한, 각 가로변 부분(20a, 20b)의 아랫면에는 이 가로변 부분의 길이 방향으로 연장하는 레일(50)이 설치되어 있고, 레일(50)은 도4에 다른 쪽의 가로변 부분(20b)의 중간부를 잘라내서 나타낸 바와 같이, 한 쪽의 세로변 부분(20c)의 한쪽 끝에 형성된 안내부(52)에 상기 세로변 부분의 폭 방향으로 슬라이딩이 가능하도록 끼워져 있다.

따라서 한 쪽의 가로변 부분(20a)의 한쪽 끝은 한 쪽의 세로변 부분(20c)의 폭 방향 즉 X축 방향으로의 상대이동을 저지하고, 동시에 상기 세로변 부분의 길이방향인 Y축 방향으로의 상대이동을 허용하도록, 한 쪽의 세로변 부분(20c)에 결합되어 있다. 또한, 이 한 쪽의 세로변 부분(20c)의 한쪽 끝은 다른 쪽의 가로변 부분(20b)의 폭 방향인 Y방향으로의 상대이동을 저지하고 동시에 상기 가로변 부분의 길이방향인 X축 방향으로의 상대이동을 허용하도록, 다른 쪽의 가로변 부분(20b)에 결합되어 있다.

마찬가지로, 다른 쪽의 가로변 부분(20b)의 한쪽 끝은 상기에 설명한 한 쪽의 가로변 부분(20a) 및 한 쪽의 세로변 부분(20c)에 있어서와 똑같은 결합구조에 의해, 다른 쪽의 세로변 부분(20d)의 폭 방향인 X축 방향으로의 상대이동을 저지하고 동시에 상기 세로변 부분의 길이방향인 Y축 방향으로의 상대이동을 허용하도록, 다른 쪽의 세로변 부분(20d)에 결합되어 있다. 또한, 다른 쪽의 세로변 부분(20d)의 한쪽 끝은 상기에 설명한 한 쪽의 세로변 부분(20a) 및 다른 쪽의 가로변 부분(20b)에 있어서와 같은 결합구조에 의해, 한 쪽의 가로변 부분(20a)의 폭 방향인 Y축 방향으로의 상대이동을 저지하고 동시에 상기 가로변 부분의 길이방향인 X방향으로의 상대이동을 허용하도록 한 쪽의 가로변 부분(20a)에 결합되어 있다.

각 변 부분(20a, 20b, 20c, 20d)의 다른 끝은 인접하는 변 부분을 넘어서 상기 변 부분의 폭 방향의 바깥쪽으로 돌출한다.

한 쌍의 가로변 부분(20a, 20b)은 대응하는 한 쌍의 이동베이스부재(18)와 일체적으로 Y축 방향으로 이동가능하며, 동시에 상기 이동베이스부재(18) 위를 그 길이방향인 X축 방향으로 이동할 수 있다. 또한, 각 변 부분(20a, 20b, 20c, 20d) 의 상기 한쪽 끝은 각 한쪽 끝에 인접하는 각 변 부분(20c, 20d, 20b, 20a)의 각각에 그들의 폭 방향으로의 상대이동을 저지하고 동시에 그들의 길이방향으로의 상대이동을 허용하도록 결합되어 있다.

또한, 도3 및 도4에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 이동베이스부재(18) 위에는, 각각에 설치된 한 쌍의 가로변 부분(20a, 20b)의 길이방향으로의 상대이동을 구속하기 위한 상기에 설명한 고정기구(30)와 같은 구성 및 작용을 갖는 고정기구(130)가 설치되어 있다.

따라서 각 고정기구(30, 130)의 고정기능을 해제한 상태에서 패널 수용부를 구성하는 사각형 프레임(20)의 각 변 부분(20a, 20b, 20c, 20d)을 수동조작 함으로써, 도5(a)에 나타낸 바와 같이, 사각형 프레임(20)의 안쪽 가장자리에 의해 규정되는 사각형 개구(54)를 최대치수에서, 도5(b)에 나타낸 바와 같이, 최대치수보다 작은 원하는 크기의 사각형 개구(54)로 자유롭게 변경하고, 액정패널(12)의 가장자리부를 수용하기에 최적인 크기로 조정한 후, 고정기구(30, 130)의 각 고정장치(40)의 조임에 의해 액정패널(12)의 크기에 대응한 최적의 사각형 개구(54)를 유지(保持)할 수 있다.

한 쌍의 레일 즉 궤도부재(26) 위에 한 쌍의 이동베이스부재(18)를 얹어서 배치하고, 이 한 쌍의 이동베이스(18) 위에 사각형 프레임(20)을 배치함으로써, 상기 사각형 프레임에 덜거덕거림이 발생하지 않고 안정된 상태로 사각형 베이스부재(16) 위에 사각형 프레임(20)을 이동가능하도록 유지(保持)할 수 있으며, 또한 사각형프레임(20)의 강성(剛性)을 높일 수 있다.

사각형 프레임(20)에, 상술한 바와 같은 결합구조를 채택함으로써, 개개의 변 부분(20a, 20b, 20c, 20d)의 독립된 운동을 방지하고 서로 이웃하는 변 부분의 직각관계를 유지한 상태로 각 변 부분(20a, 20b, 20c, 20d)을 이동시킬 수 있기 때문에, 표시패널(12)의 크기에 대응한 사각형 개구(16a)를 형성하기 위해 수동으로 각 변 부분(20a, 20b, 20c, 20d)을 이동시킬 때, 그 조작을 용이하게 행할 수 있다.

또한, 이 각 변 부분(20a, 20b, 20c, 20d)의 수동조작을 위해, 각 이동베이스부재(18)와 사각형 베이스부재(16)와의 사이 및 각 이동베이스부재(18)와 이 이동베이스부재 위의 변 부분(20a, 20b)과의 사이에, 각각 해제가능하게 고정하기 위한 고정기구(30, 130)를 설치함으로써, 원하는 크기의 사각형 개구의 형성을 위한 각 변 부분의 조작이 용이해지고, 그 후, 상기 고정기구의 고정 작용에 의해 각 변 부분의 미동에 의한 사각형 프레임의 이동 또는 변형을 확실하게 저지할 수 있다.

사각형 프레임 즉 패널 수용부(20) 위의 액정패널(12)을 확실히 유지(保持)하기 위해, 도1에 나타낸 바와 같이, 한 쪽의 가로변 부분(20a) 및 다른 쪽의 세로변 부분(20c)에 위치결정핀(positioning pin)(56)이 설치되며, 또한 다른 쪽의 가로변 부분(20b) 및 한 쪽의 세로변 부분(20c)에는 마주보는 위치결정 핀(56)과 공동으로 액정패널(12)을 해제가능하도록 끼우기(挾持)위한 푸셔(pusher)(58)가 설치되어 있다.

각각의 푸셔(58)는 가로변 부분(20b) 및 세로변 부분(20c)의 각각에 설치되어 있으나, 대표적으로 도6 및 도7에 나타낸 세로변 부분(20c)에 설치된 푸셔(58) 를 통해 설명한다.

푸셔(58)는, 도7 및 도8에 나타낸 바와 같이, 세로변 부분(20c)의 폭 방향을 따라 배치된 지지부재(60)의 선단에 지지되어 있고, 상기 지지부재(60)는 세로변 부분(20c)의 아랫면에 설치된 안내부재(62)에 의해 상기 세로변 부분의 폭　방향으로 이동가능하도록 안내된다. 안내부재(62)는 세로변 부분(20c)에 도시하지 않은 브라켓(bracket)을 통해서 지지된 피스톤·실린더장치(piston-cylinder)(64)의 작동에 의해 슬릿(slit)(66)을 따라 도8(a)에 나타낸 끼움(挾持)위치와, 도8(b)에 나타낸 해제위치와의 사이에서 이동가능하다.

상술한 위치결정 핀(56)과 푸셔(58)로 이루어진 위치결정기구에 의해 패널 수용부(20) 위에서 액정패널(12)은 확실하게 끼워진다. 이 패널 수용부(20) 위의 액정패널(12)에 그 상기 전극을 거쳐 검사용 전력을 공급하기 위한 다수의 상기 프로브 유닛(22)이 패널 수용부(20)의 대응하는 각 변 부분(20a, 20b, 20c, 20d)에 유지(保持)되어있다．

각 변 부분(20a, 20b, 20c, 20d)에 대한 프로브 유닛(22)의 지지구조는 각각 동일하므로, 대표적으로 도6 및 도7에 나타낸 세로변 부분(20c)에 있어서의 지지구조에 대해 설명한다．

세로변 부분(20c) 즉 각 변 부분 위에는, 상기 변 부분의 길이방향을 따라 각각 가늘고 긴 제1 이동편(68) 및 제2 이동편(70)이 배치되어 있다. 제1 이동편(68)은 도7에 명확히 나타낸 바와 같이, 상기 변 부분(20c) 위에서 이것을 따라 배치되는 저부(底部)(68a)와 이 저부의 사각형 개구(54)측에 위치하는 가장자리부 로부터 저부(68a)와 직각으로 세워지는 직립벽부(68b)를　갖추며, 전체에 L자형의 횡단면 형상을 갖는다. 상기 변 부분(20c) 위에는 상기 변 부분의 폭 방향으로 연장하는 한 쌍의 레일(72)이 설치되어 있으며, 또한 제1 이동편(68)의 저부(68a)의 아랫면에는 대응하는 레일(72)에 끼워　맞춰지는 한 쌍의 안내부(74)가 설치되어 있다.

따라서 레일(72)의 안내작용에 의해, 제1 이동편(68)은 상기 변 부분(20c) 위에서 그 폭 방향으로 이동가능하다. 제1 이동편(68)이 사각형 개구(54)를 규정하는 상기 변 부분(20c)의 안쪽 가장자리에 가장 근접하는 전진위치는 상기 변 부분(20c)의 바깥쪽 가장자리에 형성된 요소(凹所)(76)의 저부(76a)와 이 요소에 대응하여 저부(68a)에 형성된 걸림부재(78)와의 맞물림에 의해 규정된다.

제2의 이동편(70)은 제1 이동편(68)의 직립벽부(68b)를 따라 상기 변 부분(20c)의 안쪽 가장자리 측에 배치되어 있으며, 직립벽부(68b)로부터 간격을 두고 이것과 평행하게 연장된다. 제2 이동편(70)의 양 끝에는 제1 이동편(68)의 직립벽부(68b)의 양 끝을 넘어서 연장하는 암(arm)부(70a)가 형성되어 있다. 각 암부(70a)에는 그 바깥쪽으로 상기 암부의 연장방향과 직각인 회전축을 갖는 롤러(roller)(80)가 회전가능하도록 지지되어 있다.

제1 이동편(68)의 직립벽부(68b)와 이것과 마주하는 제2 이동편(70)과의 사이에는, 도9 및 도10에 나타낸 바와 같이, 양측을 이동가능 하도록 결합하는 결합기구(82)가 형성되어있다. 결합기구(82)는 도10에 명확히 나타낸 바와 같이, 직립벽부(68b)의 저부에 형성된 아래쪽블록(block)(82a)과 저부(68a)와 마주하는 제2 이동편(70)의 안쪽 면에서 아래쪽블록(82a)의 대각위치에 형성된 위쪽블록(82b)을 구비한다. 아래쪽블록(82a)에는 위쪽블록(82b)을 향해서 연장된 경사핀(angular pin)(82c)이 지지되어 있다. 이 경사핀(82c)은 아래쪽블록(82a)으로부터 위쪽 및 상기 변 부분(20c)의 안쪽 가장자리를 향해서 경사져서 세워진다. 한편, 위쪽블록(82b)에는 경사핀(82c)이 삽입되는 안내공(guide hole)(82d)이 형성되어 있다.

결합기구(82)는 경사핀(82c)의 축선방향으로의 제1 이동편(68) 및 제2 이동편(70)의 상대이동을 허용하도록, 상기 양 이동편(68, 70)을 결합한다. 또한, 경사핀(82c)을 에워싸고 탄력수단인 압축코일스프링(helical compression spring)(84)이 배치되어 있다. 압축코일스프링(84)은 아래쪽블록(82a) 및 위쪽블록(82b)이 경사핀(82c)의 축선방향을 따라 서로 떨어진 방향으로의 탄력을 작용시킨다. 이 결합기구(82)는, 도7 및 도9에 나타낸 바와 같이, 제1 이동편(68) 및 제2 이동편(70)의 길이방향의 양 끝 근방 및 중앙부에 각각 설치되어 있다.

각 결합기구(82)에 있어서의 안내공(82d)의 압축코일스프링(84)의 탄력에 의한 경사핀(82c)으로부터의 이탈은, 도7 및 도10에 나타낸 바와 같이, 상기 변 부분(20c)의 양 끝에 설치된 한 쌍의 정지부재(stopper member)(86)에 의해 방지되어 있다. 각 정지부재(86)는 상기 변 부분(20c)으로부터 제2 이동편(70)의 암부(70a)의 바깥 측을 따라 세워지는 직립부(86a) 및 이 직립부로부터 대응하는 암부(70a)의 윗면에 결합할 수 있도록 연장하는 후크부(hook portion)(86b)를 갖는다.

정지부재(86)의 후크부(86b)는 도10에 나타낸 바와 같이 제2 이동편(70)의 암부(70a)의 윗면을 슬라이딩 가능하도록 수용함으로써, 위쪽블록(82b)의 경사 핀(82c)으로부터의 이탈을 방지한다. 또한, 제2 이동편(70)은 압축코일스프링(84)의 탄력에 의해 암부(70a)가 후크부(86b)에 접촉된 복귀위치에서 제1 이동편(68)과의 레일(72)을 따라 행해지는 일체적 이동이 가능하다. 또한, 정지부재(86)는 그 직립부(86a)가 암부(70a)의 롤러(80)에 접촉함으로써, 하기에 설명하는 안내기구(88)와 공동으로 제2 이동편(70)의 원활한 수직이동을 가능하게 한다.

또한, 제1 이동편(68)의 직립벽부(68b)와 이것과 마주하는 제2 이동편(70)과의 사이에는, 도7 및 도10에 나타낸 바와 같이, 경사핀(82c)의 경사를 따라 양측을 원활하게 안내하기 위한 한 쌍의 안내기구(88)가 설치되어 있다.

각 안내기구(88)는, 도11에 나타낸 바와 같이, 제1 이동편(68)에 설치된 제1 경사블록(88a)과, 이 경사블록에 마주하여 제2 이동편(70)에 설치된 제2 경사블록(88b)을 구비한다. 제1 경사블록(88a)은 제1 이동편(68)의 직립벽부(68b)의 제2 이동편(70)에 마주하는 면에 설치되며, 상기 경사핀(82c)의 경사각에 일치한 경사각을 갖는 경사면(90a)이 설치되어 있다. 경사면(90a)에는 경사핀(82c)의 연장방향을 따라 레일(92)이 설치되어 있다.

또한, 제2 경사블록(88b)은 제1 경사블록(88a)의 경사면(90a)으로부터 간격을 두고 이것에 평행하게 형성된 경사면(90b)을 갖는다. 이 경사면(90b)에는 레일(92)에 끼워 맞춰지며, 상기 레일에 안내되는 안내부(94)가 설치되어 있다.

각 안내기구(88)는, 하기에 설명하는 바와 같이, 제2 이동편(70)이 제1 이동편(68)과의 사이에서 압축코일스프링(84)을 압축하는 작용력을 받을 때, 제2 이동편(70)의 경사핀(82c)을 따라 행해지는 이동을 확실하게 안내한다.

상기 변 부분(20c)에는, 도7에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 피스톤·실린더장치(96)가 설치되어 있다. 각 피스톤·실린더장치(96)의 실린더는 도시하지 않은 브라켓을 통해서 상기 변 부분(20c)에 지지되어 있으며, 피스톤·실린더장치(96)의 연장 및 수축동작에 의해, 제2 이동편(70)이 유지(保持)되어 있는 제1 이동편(68)은 사각형 개구(54)의 가장자리부에 접근하는 전진위치와 상기 가장자리부로부터 멀어지는 후퇴위치와의 사이에서 구동된다.

상기에 설명한 제1 이동편(68), 제2 이동편(70), 양 이동편(68, 70) 사이에 설치된 결합기구(82), 압축코일스프링(84), 안내기구(88) 및 피스톤·실린더장치(96)의 구성은 각 가로변 부분(20a, 20b) 및 각 세로변 부분(20c, 20d)에 공통이다(도1 참조).

각 변 부분(20a, 20b, 20c, 20d) 위의 제2 이동편(70)에는 상기에 설명한 복수개의 프로브 유닛(22)이 유지(保持)되어 있다. 각 프로브 유닛(22)은, 도11에 나타낸 바와 같이, 제2 이동편(70)을 따라 그 바깥 면에 지지된 안내바(guide bar)(98)에 해제가능하도록 결합되는, 예를 들면, 클램프기구로 이루어진 고정장치(100)에 의해, 각각의 프로브(22a)가 수하(垂下)하도록 각 제2 이동편(70)에 해제가능하게 고정되어 있다. 또한, 각 프로브 유닛(22)은 제2 이동편(70)의 아랫면에 그 길이방향으로 형성된 레일(102)에 결합하는 안내부(104)에 의해 확실히 유지(保持)되며, 또한, 제2 이동편(70)의 길이방향으로 일치하는 상기 변 부분의 길이방향으로 확실히 안내된다.

따라서 각 변 부분(20a, 20b, 20c, 20d) 위의 제2 이동편(70)에 설치된 각 프로브 유닛(22)은 고정장치(100)를 해제한 상태에서, 액정패널(12)에 설치된 상기 전극의 배치에 대응한 소정의 위치로 이동시킬 수 있으며, 각 고정장치(100)를 조임에 따라 각 프로브 유닛(22)을 소정의 위치에 확실하게 위치결정할 수 있다.

본 발명에 따른 검사장치(10)의 작동을 도12를 통해 설명한다.

본 발명에 따른 검사장치(10)는 각 변 부분(20a, 20b, 20c, 20d)에 설치된 피스톤·실린더 장치(96)가 수축동작하고, 수축위치에 유지(保持)된다. 각 피스톤·실린더장치(96)의 수축위치에서는, 대응하는 각 변 부분(20a, 20b, 20c, 20d)에 설치된 제1 이동편(68)은 도12(a)에 나타낸 후퇴위치에 유지(保持)된다.

이 후퇴위치에서는, 제2 이동편(70)은 압축코일스프링(84)의 탄력에 의해 그 암부(70a)가 정지부재(86)의 후크부(86b)에 결합하는 위치에 유지(保持)되어 있다. 이에 따라 제2 이동편(70)은 대응하는 제1 이동편(68)과 일체적으로 이들이 설치된 대응하는 각 변 부분(20a, 20b, 20c, 20d)의 폭 방향으로 각각 이동할 수 있다. 또한, 제1 이동편(68)의 후퇴위치에서는, 각 암부(70a)의 선단부에 지지된 롤러(80)는 정지부재(86)의 직립부(86a)로부터 간격을 두고 유지(保持)되어 있으며, 각 프로브 유닛(22)은 사각형 개구(54)의 가장자리부 및 패널 수용부(20)로부터 멀리 떨어진 대기위치에 유지(保持)되어 있다.

이 상태에서, 도5를 통해 설명한 바와 같이, 검사대상인 액정패널(12)의 크기에 적합하도록, 패널 수용부(20)의 크기가 조정되고, 각 고정기구(30)에 의해 패널 수용부(20)가 사각형 베이스부재(16)위에서 고정된다.

이어서, 패널 수용부(20) 위에 액정패널(12)이 그 상기 전극을 위쪽을 향한 상태로, 그 가장자리부가 패널 수용부(20)의 사각형 개구(54)의 가장자리부 위에 올려지도록 배치된다. 이 때, 대기위치에 있는 각 프로브 유닛(22)은 액정패널(12)의 취급영역 바깥에 있기 때문에, 액정패널(12)의 패널 수용부(20) 위에의 배치 및 패널 수용부(20) 위로부터의 취출(取出)작업에 지장을 주지 않는다. 또한, 패널 수용부(20) 위에 액정패널(12)이 배치되면, 상술한 바와 같이 각 푸셔(58)가 대응하는 위치결정핀(56)과의 사이에서 액정패널(12)을 확실하게 끼워서 고정한다.

액정패널(12)이 패널 수용부(20) 위에서 끼워지면, 각 피스톤·실린더장치(96)가 연장동작하고, 이 연장동작과 함께 제1 이동편(68)이 제2 이동편(70)과 일체적으로 전진위치를 향해 이동한다. 이 이동은, 도12(a)에 부호 α로 나타낸 바와 같이, 패널 수용부(20)의 정면에 평행한 면 위에서 대응하는 각 변 부분(20a, 20b, 20c, 20d)의 축 방향을 따른 수평경로를 따라 행해진다.

이 수평경로α를 따라 행해지는 제1 이동편(68) 및 제2 이동편(70)의 일체적인 이동에 의해, 도12(b)에 나타낸 바와 같이, 롤러(80)가 정지부재(86)의 직립부(86a)에 접촉하면 이어지는 피스톤·실린더장치(96)의 연장동작에 수반해서 제1 이동편(68)은 연달아 전진위치를 향해서 수평경로α를 전진한다. 그러나 제2 이동편(70)은 롤러(80)와 직립부(86a)와의 접촉에 의해 제1 이동편(68)과의 일체적인 이동이 저지된다.

이 롤러(80)와 직립부(86a)가 접촉할 때, 도12(b)에 나타낸 바와 같이, 제2 이동편(70)에 지지된 각 프로브 유닛(22)은 액정패널(12)의 배치영역 내에 있으며, 프로브 유닛(22)의 프로브(22a)는 액정패널(12)의 대응하는 전극(12a)의 바로 위에 위치한다.

또한, 정지부재(86)에 의해 제2 이동편(70)의 전진이 저지되면, 피스톤·실린더장치(96)에 의해 가해진 전진력의 일부는 결합기구(82)의 경사핀(82c)과 안내공(82d)과의 결합 및 안내기구(88)의 경사면(90a, 90b)에 형성된 레일(92)과 안내부(94)와의 결합에 의해 압축코일스프링(84)의 압축력으로 변환된다.

그 결과, 정지부재(86)와 롤러(80)가 접촉하는 운동변환점을 넘어서 제1 이동편(68)이 전진하면, 이 제1 이동편(68)의 계속되는 전진에 동반하여, 제2 이동편(70)은 수평경로α와 직각인 수직경로β를 따라 아래쪽으로 이동하고, 이 제2 이동편(70)의 이동과 일체적으로 프로브 유닛(22)이 대응하는 전극(12a)을 향해 강하한다. 이 강하에 의해, 제1 이동편(68)의 전진위치는, 도12(c)에 나타낸 바와 같이, 각 프로브 유닛(22)의 프로브(22a)가 액정패널(12)의 대응하는 전극(12a)에 접속된다.

상기에 설명한 제2 이동편(70)의 수직경로β를 따른 이동은 롤러(80)가 정지부재(86)의 직립부(86a)를 굴림으로써, 프로브 유닛(22)의 수직경로β를 따른 승강은 원활하게 행해진다.

또한 프로브 유닛(22)으로부터의 전력공급을 수반하는 액정패널(12)의 검사가 종료하면, 피스톤·실린더장치(96)가 수축동작을 한다. 이 피스톤·실린더장치(96)의 수축동작에 의해 제1 이동편(68)이 전진위치로부터 후퇴위치를 향해 이동하면 이 이동에 동반하고, 제2 이동편(70)이 압축코일스프링(84)의 탄력에 의해 위쪽을 향해서 이동함으로써, 프로브유닛(22)은 수직경로β를 따라 대응하는 전 극(12a)의 위쪽으로 이동한다.

제2 이동편(70)의 위쪽으로의 이동에 의해 그 암부(70a)가 정지부재(86)의 후크부(86b)에 접촉하면, 제2 이동편(70)은 위쪽으로의 이동이 저지되므로, 이 운동변환점을 넘어선 후퇴위치를 향한 제1 이동편(68)의 이동에 동반하여 제2 이동편(70)은 제1 이동편(68)과 일체적으로 후퇴한다.

이와 같이, 제1 이동편(68)과 제2 이동편(70)과의 사이에 설치된 결합기구(82), 안내기구(88), 제2 이동편(70)의 이동을 규제하기 위한 롤러(80) 및 정지부재(86)는 피스톤·실린더장치(96)의 작동에 의해 제1 이동편(68)에 가해지는 수평이동과 일체적인 제2 이동편(70)의 수평경로α를 따라 행해지는 수평이동을 그 수직경로β를 따라 행해지는 승강이동으로 변환함으로써, 운동변환기구를 구성한다.

본 발명에 따른 검사장치(10)는, 상기에 설명한 바와 같이, 각각의 제1 이동편(68)을 작동시키는 피스톤·실린더장치(96)의 작동에 의해, 각각의 제2 이동편(70)에 설치된 복수개의 프로브 유닛(22)을 작동시킬 수 있기 때문에, 프로브 유닛(22)마다 이를 작동시키기 위한 구동장치가 불필요하다. 따라서 프로브 유닛(22)을 작동시키기 위한 구동장치의 수를 저감시킬 수 있기 때문에, 검사장치(10)의 구성의 간소화를 이룰 수 있다.

또한 패널 수용부(20)의 변 부분(20a, 20b, 20c, 20d)마다 설치되는 다수의 프로브 유닛(22)이 일체적으로 동작함에 따라, 변 부분(20a, 20b, 20c, 20d)마다 설치되는 복수개의 프로브 유닛(22)의 동작을 동기(同期)시키기 위한 각별한 회로 구성은 불필요하게 되므로 구성이 한층 간소화될 수 있다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

예를 들면, 패널 수용부(20)를 고정 프레임으로 할 수 있다. 또한, 운동변환기구로서 상기 설명한 운동변환기구를 대신해서 각종 운동변환기구를 채택할 수 있다.

또한, 검사를 받는 표시패널로서, 액정패널을 예로 들었으나, 이것 대신 본 발명에 따른 검사장치를 유기EL패널(organic electroluminescence panel), 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel) 등의 각종 표시패널의 검사에 이용할 수 있다.

본 발명에 의하면, 보다 단순한 구성으로 복수개의 프로브 유닛을 동기적(同期的)으로 작동시킬 수 있는 표시패널의 검사장치를 제공할 수 있는 발명의 효과를 갖는다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims (8)

1. 표면에 전극을 갖는 사각형 표시패널의 가장자리부를 수용하는 4개의 변 부분을 갖는 사각형 프레임으로 이루어진 패널 수용부와,

   상기 패널 수용부의 적어도 하나의 변 부분을 따라서 배치되는 가늘고 긴 이동편으로서 그 폭 방향으로 대응하는 상기 변 부분 위에서 이동가능 하도록 지지된 제1 이동편과,

   상기 제1 이동편을 상기 표시패널의 대응하는 가장자리부에 접근하는 전진위치와 상기 가장자리부로부터 멀어지는 후퇴위치와의 사이에서 구동하는 구동장치와,

   상기 제1 이동편을 따라서 배치되고, 상기 각각의 제1 이동편에 유지(保持)되는 가늘고 긴 제2 이동편과,

   상기 제2 이동편의 길이방향으로 간격을 두고 상기 제2 이동편에 유지(保持)되며, 상기 전극에 대응하여 설치된 프로브를 갖는 복수개의 프로브 유닛과,

   제1 이동편과 제2 이동편과의 사이에 설치되고, 제1 이동편이 상기 후퇴위치와 상기 전진위치와의 사이에서 이동될 때, 상기 후퇴위치와 상기 제2 이동편에 유지(保持)된 상기 프로브 유닛이 패널영역내의 상기 전극에 대응하는 대응위치에 도달하는 운동변환점과의 사이에서는 제2 이동편을 제1 이동편과 일체적으로 이동시키고, 상기 운동변환점과 상기 전진위치와의 사이에서는 상기 프로브 유닛을 상기 대응위치로 승강시키기 위해 상기 제2 이동편을 상기 제1 이동편의 이동방향과 직 각인 방향으로 이동시키는 운동변환기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 표시패널 검사장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 제1 이동편이 상기 후퇴위치와 상기 운동변환점과의 사이를 이동할 때, 제2 이동편은 제1 이동편과 함께 상기 변 부분 위를 수평경로를 따라서 이동하고, 이에 따라, 상기 프로브 유닛은 상기 액정패널의 위쪽에서 상기 액정패널에 평행한 면 위를 대피위치와 상기 대응위치와의 사이에서 이동하고, 상기 제1 이동편이 상기 운동변환점과 상기 전진위치와의 사이를 이동할 때, 상기 제2 이동편은 상기 수평경로에 직각인 수직경로를 따라 이동하며, 이에 따라 상기 프로브 유닛은 상기 패널 영역 내의 상기 대응위치에서 대응하는 상기 전극에 접촉하거나 또는 접촉을 해제하기 위해 승강하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 복수개의 프로브 유닛은 상기 제2 이동편에 그 길이방향을 따라 이동가능하며, 위치결정기구에 의해 소망위치에서 해제가능하도록 위치결정되어 있는 것을 특징으로 하는 검사장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 운동변환기구는 제1 및 제2 이동편의 서로 마주보는 면에 형성되며, 수직선에 대해 경사진 상호 평행한 한 쌍의 경사면과, 제1 및 제2 이동편을 상호간에 상기 경사면을 따라 소정의 스트로크로 이동가능하도록 결합하는 결합기구와, 상기 양 이동편 사이에 상기 경사면을 따른 상기 스트로크의 한쪽 끝을 향해 탄력을 가하는 탄력수단과, 상기 제1 이동편과 일체적인 전진이동을 저지하고 동시에 상기 탄력수단의 탄력을 극복하여 경사면을 따라 행해지는 상기 제2 이동편의 슬라이딩을 허용함으로써, 상기 제2 이동편을 아래쪽으로 안내하기 위한 정지장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
5. 제1항에 있어서, 사각형 프레임의 각각의 변 부분은 사각형 개구를 갖는 사각형 베이스부재 위에서 상기 베이스부재의 대응하는 사각형 개구의 변 각각을 따라 이동가능하도록 그리고 대응하는 사각형 개구의 변에 접근하는 방향 및 멀어지는 방향으로 이동가능하도록 지지되어 있으며, 이에 따라 다른 크기의 표시패널에 대응할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사장치.
6. 제4항에 있어서, 상기 사각형 베이스부재 위에는, 상기 사각형 베이스부재의 상기 사각형 개구의 서로 마주하는 양 변을 따라 배치된 한 쌍의 궤도부재와, 상기 양 궤도부재 위에 올려져서 배치되고, 상기 궤도부재 위를 상기 궤도부재와 직각으로 이동가능한 한 쌍의 이동베이스부재가 설치되며, 상기 사각형 프레임의 한 쌍의 변 부분은 상기 한 쌍의 이동베이스부재 위에서 대응하는 상기 이동베이스부재 위를 따라 배치되고 동시에 상기 이동베이스부재의 길이방향으로 이동가능하게 배치되며, 또한, 상기 사각형 프레임의 다른 쪽의 한 쌍의 변 부분의 한쪽 끝은 각각에 인접하는 상기 한 쪽의 변 부분에 상기 변 부분의 길이방향으로 이동가능하도록 그리고 상기 변 부분의 폭 방향으로의 이동이 저지되어 결합되고, 상기 다른 쪽의 한 쌍의 변 부분의 각각에 인접하는 상기 한 쪽의 변 부분의 한쪽 끝은 상기 한쪽 끝은 상기 한쪽 끝에 인접하는 상기 다른 쪽의 변 부분에 상기 변 부분의 길이방향으로 이동가능하도록 그리고 상기 변 부분의 폭 방향으로의 이동이 저지되어 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 검사장치.
7. 제5항에 있어서, 상기 각 이동베이스와 상기 사각형 베이스부재와의 사이 및 상기 각 이동베이스와 상기 이동베이스 위의 상기 한 쪽의 변 부분과의 사이에는, 각각 수동조작에 의한 각 이동베이스 및 상기 한 쪽의 변 부분의 이동을 가능하게 하기 위해 그들을 사각형 베이스부재 및 상기 이동베이스에 각각 해제가능하도록 고정하기 위한 고정기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 검사장치.
8. 제6항에 있어서, 상기 이동베이스를 위한 고정기구는 상기 사각형 베이스부재 위에서 상기 궤도부재 위를 따라 배치되고 동시에 회전가능하도록 지지된 나사 부재 및 상기 나사부재에 나사결합하고 상기 이동베이스에 고정적으로 설치된 너트부재를 갖는 볼나사와, 상기 나사부재의 회전을 해제가능하도록 저지하는 고정장치를 구비하며, 상기 한 쪽의 변 부분을 위한 고정기구는 상기 이동베이스 위에서 상기 한 쪽의 변 부분을 따라 배치되고 동시에 회전가능하도록 지지된 나사부재 및 상기 나사부재에 나사결합하고 상기 이동베이스에 고정적으로 설치된 너트부재를 구비하는 볼나사와, 상기 나사부재의 회전을 해제가능하도록 저지하는 고정장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사장치.

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