KR20130097668A

KR20130097668A - 프로브 장치 및 프로브 카드의 평행 조정 기구

Info

Publication number: KR20130097668A
Application number: KR1020130018823A
Authority: KR
Inventors: 슈지 아키야마; 노부히로 가메다; 간지 다나카
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2012-02-24
Filing date: 2013-02-21
Publication date: 2013-09-03
Also published as: TW201346267A; CN103293349A; JP2013175572A

Abstract

본 발명은 프로브 카드의 평행도를 조정하기 위한 구동 기구의 부분의 강성의 저하를 억제할 수 있어, 프로브 카드와 반도체 웨이퍼의 평행도를 정밀도 양호하게 유지할 수 있는 프로브 장치 및 프로브 카드의 평행 조정 기구를 제공하는 것을 과제로 한다. 프로브 카드에 배치된 복수의 프로브를 피검사 기판에 접촉시켜서 전기적인 검사를 실행하는 프로브 장치로서, 상기 피검사 기판이 탑재되는 탑재대와, 상기 탑재대의 상방에 상기 프로브 카드를 보지하는 헤드 플레이트와, 상기 헤드 플레이트를 네 코너에서 지지하는 4개의 지지 기둥과, 상기 지지 기둥 중 적어도 3개소에 배치되고, 상기 헤드 플레이트를 승강시켜서, 상기 프로브 카드와 상기 탑재대 상의 상기 피검사 기판의 평행도를 조정하는 승강 기구와, 상기 승강 기구의 배치 부위 중 적어도 1개소에 배치되고, 상기 헤드 플레이트의 승강에 브레이크를 가하는 해제 가능한 브레이크 기구를 구비한다.

Description

프로브 장치 및 프로브 카드의 평행 조정 기구{PROBE APPARATUS AND PARALLELISM ADJUSTMENT MECHANISM OF A PROBE CARD}

본 발명은 프로브 장치 및 프로브 카드의 평행 조정 기구에 관한 것이다.

종래로부터, 반도체 디바이스의 제조 공정에서는, 반도체 웨이퍼에 형성된 반도체 디바이스에 프로브 카드에 배치된 다수의 프로브를 접촉시켜서 전기적인 특성의 검사를 실행하는 프로브 장치가 이용되고 있다. 또한, 이러한 프로브 장치에 있어서는, 다수의 프로브를 반도체 웨이퍼 상에 형성된 모든 반도체 디바이스에 동시에 일괄해서 접촉시켜서 검사하도록 구성된 것도 있다.

상기 프로브 장치에서는, 다수의 프로브를 반도체 웨이퍼에 형성된 반도체 디바이스에 균일한 침압(針壓)으로 접촉시킬 필요가 있다. 이 때문에, 프로브 카드와 반도체 웨이퍼의 평행도를 정밀도 양호하게 유지할 필요가 있어, 프로브 카드가 고정된 헤드 플레이트를 복수 개소에 배치한 구동 기구에 의해 승강시켜서, 프로브 카드와 반도체 웨이퍼의 평행도를 조정하는 평행 조정 기구를 구비한 것이 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

일본 공개 특허 제 2006-317302 호 공보

프로브 장치에 있어서는, 탑재대 상에 탑재된 반도체 웨이퍼를 상승시켜서 프로브 카드의 프로브에 접촉시킬 때에, 예를 들어 하측으로부터 상측을 향해서 100kgf 이상의 콘택트(contact) 하중을 가하여 반도체 웨이퍼를 프로브에 접촉시키는 경우가 있다. 한편, 상술한 바와 같이 구동 기구에 의해 헤드 플레이트를 승강시키는 구성으로 했을 경우, 구동 기구를 개재하지 않고 직접 기계적으로 헤드 플레이트가 고정되어 있을 경우에 비해서 구동 기구가 개재되는 만큼 그 강성이 저하된다. 이 때문에, 탑재대를 상승시켜서 하측으로부터 상측을 향해서 콘택트 하중을 가했을 때의 변위량이 많아지고, 또한 이러한 변위량이 불균일하게 되기 때문에 프로브 카드와 반도체 웨이퍼의 평행도가 저하되어 버린다는 문제가 있었다.

본 발명은, 상기 종래의 사정에 대처하여 이루어진 것으로서, 프로브 카드의 평행도를 조정하기 위한 구동 기구의 부분의 강성의 저하를 억제할 수 있어, 프로브 카드와 반도체 웨이퍼의 평행도를 정밀도 양호하게 유지할 수 있는 프로브 장치 및 프로브 카드의 평행 조정 기구를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명의 프로브 장치의 일 태양은, 프로브 카드에 배치된 복수의 프로브를, 피검사 기판에 접촉시켜서 전기적인 검사를 실행하는 프로브 장치로서, 상기 피검사 기판이 탑재되는 탑재대와, 상기 탑재대의 상방에 상기 프로브 카드를 보지하는 헤드 플레이트와, 상기 헤드 플레이트를 네 코너에서 지지하는 4개의 지지 기둥과, 상기 지지 기둥 중 적어도 3개소에 배치되고, 상기 헤드 플레이트를 승강시켜서, 상기 프로브 카드와 상기 탑재대 상의 상기 피검사 기판의 평행도를 조정하는 승강 기구와, 상기 승강 기구의 배치 부위 중 적어도 1개소에 배치되고, 상기 헤드 플레이트의 승강에 브레이크를 가하는 해제 가능한 브레이크 기구를 구비한 것을 특징으로 한다.

본 발명의 프로브 카드의 평행 조정 기구의 일 태양은, 프로브 카드가 장착된 헤드 플레이트를 네 코너에서 지지하는 4개의 지지 기둥 중 적어도 3개의 지지 기둥과 상기 헤드 플레이트 사이에 개재되는 승강 기구를 갖고, 상기 프로브 카드와 그 하방에 배치된 탑재대 상의 피검사 기판의 평행도를 조정하는 프로브 카드의 평행 조정 기구로서, 상기 승강 기구의 배치 부위 중 적어도 1개소에 배치되고, 상기 헤드 플레이트의 승강에 브레이크를 가하는 해제 가능한 브레이크 기구를 구비한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 프로브 카드의 평행도를 조정하기 위한 구동 기구의 부분의 강성의 저하를 억제할 수 있어, 프로브 카드와 반도체 웨이퍼의 평행도를 정밀도 양호하게 유지할 수 있는 프로브 장치 및 프로브 카드의 평행 조정 기구를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 프로브 장치의 주요부 구성을 도시하는 도면,
도 2는 도 1의 프로브 장치의 상면 구성을 도시하는 도면,
도 3은 도 1의 프로브 장치의 승강 기구의 구성을 도시하는 도면,
도 4는 도 1의 프로브 장치의 브레이크 기구의 배치 부분의 구성을 도시하는 도면,
도 5는 도 1의 프로브 장치의 브레이크 기구의 배치 부분의 구성을 도시하는 도면,
도 6은 도 1의 프로브 장치의 브레이크 기구의 구성을 도시하는 도면,
도 7은 도 1의 프로브 장치의 브레이크 기구의 구성을 도시하는 도면,
도 8은 도 1의 프로브 장치의 동작을 도시하는 흐름도,
도 9는 거리의 측정 포인트를 설명하기 위한 도면.

이하, 본 발명의 실시형태를, 도면을 참조하여 설명한다.

도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 본 실시형태에 따른 프로브 장치(10)는 피검사 기판으로서의 반도체 웨이퍼(W)가 탑재되는 이동 가능한 탑재대(웨이퍼 척)(11)를 구비하고 있으며, 웨이퍼 척(11)의 상방에는, 다수의 프로브(12A)가 배치된 프로브 카드(12)가 배치되어 있다. 이러한 프로브 카드(12)는 헤드 플레이트(15)의 하면에 고정된 카드 클램프 기구(14)에 의해, 카드 홀더(13)를 거쳐서 고정되어 있다. 헤드 플레이트(15)는 판형상으로 일체로 구성되어 있어, 높은 강성을 구비하고 있다.

헤드 플레이트(15)는 그 네 코너에 있어서 지지 기둥(16)에 의해 지지되어 있고, 이들 지지 기둥(16)의 헤드 플레이트(15)와의 접속 부위 중 적어도 3개소에는 승강 기구(17)가 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 승강 기구(17)는, 헤드 플레이트(15)의 네 코너 중, 전방 2개소(도 2 중 좌측)와 후방 1개소(도 2 중 우측의 상측)의 합계 3개소에 배치되어 있다. 나머지의 후방 1개소에 있어서는, 헤드 플레이트(15)는 지지 기둥(16)에 일정한 높이로 경사 가능하게 지지되어 있다. 또한, 승강 기구(17)는 모든 지지 기둥(16)의 헤드 플레이트(15)와의 접속 부위, 즉 4개소에 배치해도 좋다.

또한, 도 2, 도 4, 도 5 등에 도시하는 바와 같이, 전술한 3개의 승강 기구(17)가 배치된 부위 중, 적어도 1개소에는, 헤드 플레이트(15)의 승강에 브레이크를 가하기 위한 해제 가능한 브레이크 기구(20)가 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 후방측에 배치된 승강 기구(17)의 부위에 브레이크 기구(20)가 배치되어 있다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 프로브 카드(12)는 접속 링(R)을 거쳐서 도시하지 않는 테스터(tester)의 테스트 헤드에 접속되고, 프로브 카드(12)를 거쳐서 테스터로부터 반도체 웨이퍼(W) 상에 형성된 반도체 디바이스에 검사용의 신호를 공급하여, 반도체 디바이스로부터의 출력 신호를 테스터로 측정해서 반도체 디바이스의 전기적인 특성의 검사를 실행하도록 구성되어 있다.

본 실시형태에 있어서, 평행 조정 기구는, 헤드 플레이트(15)의 네 코너 중 3개소의 지지 기둥(16) 사이에 각각 개재되는 3개의 승강 기구(17)와, 1개의 브레이크 기구(20)에 의해 구성되고, 이들 승강 기구(17) 및 브레이크 기구(20)를 이용하여 프로브 카드(12)와 웨이퍼 척(11) 상의 웨이퍼(W)와의 평행도를 조정한다. 이 때, 프로브 카드(12)와 웨이퍼(W)의 평행도는 용량 센서나 레이저 측장기(測長器) 등의 측정 기기를 이용하여 측정된다.

도 3에 도시하는 바와 같이, 승강 기구(17)는 모두 전체로서 대략 장방형의 블록형상으로 형성되어 있으며, 각 승강 기구(17)는 각각의 하면에서 지지 기둥(16)의 상면에 고정되어 있는 동시에, 각각의 상면에서 헤드 플레이트(15)에 각각 연결되어 있다.

승강 기구(17)는, 도 3의 (a)에 도시하는 바와 같이, 지지 기둥(16)(도 1 참조)의 상면에 고정된 기체(基體)(17B)와, 기체(17B) 상면을 따라 이동 가능하게 배치된 경사면을 갖는 이동체(17C)와, 헤드 플레이트(15)에 체결 부재(17D)도 2 참조)에 의해 연결되고 또한 이동체(17C)의 경사면을 따라 승강 가능하게 배치된 경사면을 갖는 승강체(17E)와, 이동체(17C)를 지지 기둥(16)의 상면을 따라 이동시키는 구동 기구(17F)를 구비하고 있다. 그리고, 구동 기구(17F)가 제어 장치의 제어하에서 구동되고, 이동체(17C)를 전후 방향[도 3의 (a)에서는 좌우 방향]으로 소정의 치수만큼 이동시키는 것에 의해, 승강체(17E)가 이동체(17C)의 경사면을 거쳐서 소정의 치수만큼 승강하도록 구성되어 있다. 제어 장치는 측정 기기의 측정 결과에 근거하여 구동 기구(17F)를 제어하도록 되어 있다.

이동체(17C) 및 승강체(17E)는 모두 측면형상이 대략 사다리꼴형상으로 되어, 각각의 경사면이 서로 결합하여 지지 기둥(16) 상에 수납되는 장방형의 블록체로서 구성되어 있다. 그리고, 각각의 서로 대향하는 전후 좌우의 평행면이 지지 기둥(16)의 측면과 실질적으로 일치하고, 상하의 양면이 지지 기둥(16)의 상면 및 헤드 플레이트(15)의 하면에 고정되어 있다. 검사 장치(10)의 후방(도 1에서는 우측)에 위치하는 승강체(17E)는 상단부가 검사 장치(10)의 정면측(도 1에서는 좌측)으로 연장되어, 차양 형상으로 된 차양 형상부(17N)를 갖고 있다.

도 3의 (a)에 도시하는 바와 같이, 이동체(17C)를 이동시키는 구동 기구(17F)는, 이동체(17C)의 전후 방향으로 형성된 암나사와 나사 결합하는 볼 나사(17G)와, 볼 나사(17G)를 구동하는 모터(17H)를 갖고, 이동체(17C)를 기체(17B)의 상면을 따라 전후 방향으로 이동시킨다. 기체(17B)와 이동체(17C) 사이에는, 제 1 이동 안내 기구(17I)가 마련되고, 이러한 제 1 이동 안내 기구(17I)를 거쳐서 이동체(17C)가 기체(17B) 상에서 전후 방향으로 원활하게 이동하도록 되어 있다.

또한, 이동체(17C)의 경사면과 승강체(17E)의 경사면 사이에는, 제 2 이동 안내 기구(17J)가 마련되고, 이러한 제 2 이동 안내 기구(17J)를 거쳐서 승강체(17E)가 이동체(17C)의 경사면을 따라 전후 방향으로 이동하여 원활하게 승강하도록 되어 있다. 이들 제 1, 제 2 이동 안내 기구(17I, 17J)는, 도 3의 (b)에 도시하는 바와 같이, 모두 적어도 2열의 크로스 롤러(cross roller)를 갖고, 각각의 리니어 가이드를 따라 이동하도록 되어 있다. 이것에 의해, 내하중성이 우수하여 , 고하중하에서도 원활하게 이동 안내할 수 있다.

기체(17B)에는, 승강체(17E)를 승강 안내하는 승강 안내 기구(17K) 가 모터(17H)와 승강체(17E) 사이에 위치하도록 배치되어 있다. 이러한 승강 안내 기구(17K)는, 기체(17B) 상에 세워진 리니어 가이드(17L)와, 리니어 가이드(17L)와 적어도 2열의 크로스 롤러[도 3의 (b) 참조]를 거쳐서 결합하고, 리니어 가이드(17L)를 따라서 승강체(17E)를 승강 안내하는 결합체(17M)를 갖고 있다. 따라서, 승강체(17E)는, 이동체(17C)가 구동 기구(17F)를 거쳐서 전후로 이동하는 것에 의해, 적어도 2열의 크로스 롤러를 갖는 승강 안내 기구(17K)를 거쳐서 승강하도록 되어 있다.

브레이크 기구(20)는, 도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이, 승강체(17E)에 고정용 지그(21)에 의해 수직으로 고정된 샤프트(22)와, 이 샤프트(22)를 파지하는 파지(把持) 기구(23)와, 파지 기구(23)를 지지 기둥(16)에 고정하기 위한 베이스(24)와, 파지 기구(23)에의 압축 공기의 공급을 제어하기 위한 전자 밸브(25)를 구비하고 있다. 파지 기구(23)는, 도 6 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 하우징(30)을 구비하고 있으며, 이 하우징(30) 내에는, 브레이크 메탈(31)과 피스톤(32)이 수용되어 있다.

브레이크 메탈(31)은 상방에서 보았을 때에 중앙부에 원형의 공극(31A)을 갖고, 한쪽이 개방부(31B)로 된 대략 U자형의 형상을 갖고 있으며, 중앙부의 원형의 공극(31A) 내에 샤프트(22)를 수용하여 파지하는 구성으로 되어 있다. 또한, 피스톤(32)은 쐐기형상의 삽입부(33)를 갖고 있으며, 이러한 삽입부(33)를 브레이크 메탈(31)의 개방부(31B) 내에 삽탈(揷脫)하는 것에 의해, 브레이크 메탈(31)에 의한 샤프트(22)의 파지 및 개방을 실행하는 구성으로 되어 있다.

브레이크 메탈(31)에 의해 샤프트(22)가 파지되어 있는 상태에서는, 헤드 플레이트(15)의 승강에 브레이크가 가해진 상태가 된다. 한편, 브레이크 메탈(31)에 의한 샤프트(22)의 파지가 개방된 상태에서는, 브레이크가 해제된 상태가 된다. 피스톤(32)은, 하우징(30)의 피스톤(32)의 이면측(도 6, 도 7 중 상측)에 배치된 브레이크 개방 포트(34)로부터 압축 공기 등을 도입함으로써, 도 6에 화살표로 나타내는 바와 같이, 도 6 중 하방을 향해서 구동하는 구성으로 되어 있다.

또한, 도 6은, 브레이크 개방 포트(34)로부터 압축 공기 등을 도입하여, 피스톤(32)의 삽입부(33)를 브레이크 메탈(31)의 개방부(31B) 내로 삽입해서 샤프트(22)를 개방한 상태를 도시하고 있다. 또한, 도 7은, 압축 공기를 배출하여, 피스톤(32)의 삽입부(33)를 브레이크 메탈(31)의 개방부(31B) 내로부터 뽑아내서 샤프트(22)를 브레이크 메탈(31)에 의해 파지한 상태를 도시하고 있다.

다음에, 동작에 대하여 설명한다. 우선, 웨이퍼(W)의 검사를 실행하기 위해서, 프로브 카드(12)를 카드 클램프 기구(14)에 장착한다. 프로브 카드(12)를 장착한 채로는 프로브 카드(12)와 웨이퍼 척(11) 상의 웨이퍼(W)가 평행하게 되어 있다고는 할 수 없다. 그래서, 프로브 카드(12)의 얼라인먼트를 실행한다.

도 8의 흐름도에 도시하는 바와 같이, 프로브 카드(12)의 얼라인먼트에서는, 측정 기기를 이용하여 프로브 카드(P.C)(12)와 웨이퍼(W)의 평행도를 측정한다(단계 701). 즉, 이러한 측정 기기를 이용하여 프로브 카드(12)와 웨이퍼(W) 사이의 거리를 복수 개소에서 측정하여, 웨이퍼 척(11) 상의 웨이퍼(W)에 대한 프로브 카드(12)의 경사를 측정한다. 측정 기기의 측정 결과는 제어 장치에 송신된다.

제어 장치는 측정 결과에 근거하여 복수 개소에서 측정한 거리의 차이가 소정값 이내인지를 판단한다(단계 702).

그리고, 거리의 차이가 소정값 이내가 아닐 경우는, 압축 공기를 온 (on)으로 해서, 브레이크 기구(20)의 브레이크 개방 포트(34)로부터 압축 공기를 도입하여, 피스톤(32)의 삽입부(33)를 브레이크 메탈(31)의 개방부(31B) 내로 삽입해서 브레이크 기구(20)에 의한 브레이크를 해제한다(단계 703).

다음에, 어느 하나의 승강 기구(17)의 구동 기구(17F)에 제어 신호를 송신하여, 구동 기구(17F)를 개별적으로 제어한다(단계 704). 이것에 의해, 각 구동 기구(17F)가 구동하여, 각각의 이동체(17C)가 제 1 이동 안내 기구(17I)를 거쳐서 소정 치수만큼 이동한다. 이것에 따라, 각 승강체(17E)가 제 2 이동 안내 기구(17J)를 거쳐서 소정 치수만큼 승강하여, 승강체(17E)가 헤드 플레이트(15)를 소정의 치수만큼 승강시켜서 헤드 플레이트(15)의 경사 상태를 조정하여, 프로브 카드(12)와 웨이퍼 척(11) 상의 웨이퍼(W)를 평행하게 한다.

다음에, 압축 공기를 오프(off)로 해서, 브레이크 기구(20)로부터 압축 공기를 배출하여, 피스톤(32)의 삽입부(33)를 브레이크 메탈(31)의 개방부(31B) 내로부터 뽑아내서 브레이크 기구(20)를 작동 상태로 하여, 브레이크를 가한 상태로 한다(단계 705).

다음에, 단계 701로 돌아와서, 측정 기기를 이용하여 프로브 카드(P.C)(12)와 웨이퍼(W)의 평행도를 다시 측정한다.

이상의 단계를, 복수 개소에서 측정한 거리의 차이가 소정값 이내가 되어, 소정의 평행도가 될 때까지 반복하여 실행한다. 그리고, 복수 개소에서 측정한 거리의 차이가 소정값 이내가 되었을 경우에는, 처리를 종료한다(단계 706).

상기 공정에 있어서, 평행도를 보기 위한 프로브 카드(12)와 웨이퍼(W) 사이의 거리의 측정은, 예를 들어 도 9에 도시하는 측정 포인트 1, 2, 3 등의 3개소에서 실행한다. 또한, 도 9에서는, 하방이 프로브 장치(10)의 전방측, 상방이 프로브 장치(10)의 후방측을 도시하고 있으며, 후방측의 측정 포인트 1의 근방에 브레이크 기구(20)가 배치되어 있다.

상기의 측정 포인트 1, 2, 3에 있어서, 웨이퍼 척(11)에 의해, 콘택트 하중으로서 160kgf의 하중을 하측으로부터 상측을 향해서 가했을 때의 각 포인트 1, 2, 3에 있어서의 헤드 플레이트(15)의 변위량을 측정했다. 이 결과, 측정 포인트 1의 근방에 브레이크 기구(20)를 갖는 본 실시형태의 프로브 장치(10)에서는,

측정 포인트 1 : 13㎛

측정 포인트 2 : 9㎛

측정 포인트 3 : 14㎛

가 되었다.

비교예로서, 브레이크 기구(20)를 갖지 않는 프로브 장치에 의해 동일한 측정을 실시했다. 그 결과,

측정 포인트 1 : 17㎛

측정 포인트 2 : 9㎛

측정 포인트 3 : 14㎛

가 되었다.

이상의 결과로부터, 브레이크 기구(20)의 작용에 의해, 콘택트 하중을 가했을 때의 헤드 플레이트(15)의 변위량을 억제하여 변위량을 균일화할 수 있어, 프로브 카드와 반도체 웨이퍼의 평행도를 정밀도 양호하게 유지할 수 있다는 것을 알았다. 또한, 브레이크 기구(20)를 배치함으로써, 그 부분의 강성을 20% 내지 30% 정도 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 각종의 변형이 가능한 것은 물론이다.

10 : 프로브 장치 11 : 웨이퍼 척(탑재대)
12 : 프로브 카드 12A : 프로브
14 : 카드 클램프 기구 15 : 헤드 플레이트
16 : 지지 기둥 17 : 승강 기구
17B : 기체 17C : 이동체
17D : 체결 부재 17E : 승강체
17F : 구동 기구 17G : 볼 나사
17H : 모터 17I : 제 1 이동 안내 기구
17J : 제 2 이동 안내 기구 17K : 승강 안내 기구
17L : 리니어 가이드 17M : 결합체
17N : 차양 형상부 20 : 브레이크 기구
21 : 고정용 지그 22 : 샤프트
23 : 파지 기구 24 : 베이스
25 : 전자 밸브 30 : 하우징
31 : 브레이크 메탈 31A : 원형의 공극
31B : 개방부 32 : 피스톤
33 : 삽입부 34 : 브레이크 개방 포트
W : 반도체 웨이퍼

Claims

프로브 카드에 배치된 복수의 프로브를 피검사 기판에 접촉시켜서 전기적인 검사를 실행하는 프로브 장치에 있어서,
상기 피검사 기판이 탑재되는 탑재대와,
상기 탑재대의 상방에 상기 프로브 카드를 보지하는 헤드 플레이트와,
상기 헤드 플레이트를 네 코너에서 지지하는 4개의 지지 기둥과,
상기 지지 기둥 중 적어도 3개소에 배치되고, 상기 헤드 플레이트를 승강시켜서, 상기 프로브 카드와 상기 탑재대 상의 상기 피검사 기판의 평행도를 조정하는 승강 기구와,
상기 승강 기구의 배치 부위 중 적어도 1개소에 배치되고, 상기 헤드 플레이트의 승강에 브레이크를 가하는 해제 가능한 브레이크 기구를 구비한 것을 특징으로 하는
프로브 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 브레이크 기구는,
상기 승강 기구에 수직으로 고정된 샤프트와,
상기 지지 기둥에 고정되고 상기 샤프트를 파지하는 파지 기구를 구비한 것을 특징으로 하는
프로브 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 승강 기구는 상기 헤드 플레이트의 네 코너 중 전방측 2개소 및 후방측 1개소의 합계 3개소에 배치되고,
상기 브레이크 기구는 후방측 1개소에 배치된 상기 승강기의 배치 부위에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는
프로브 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 승강 기구는, 상기 지지 기둥의 상면을 따라 이동 가능하게 배치된 경사면을 갖는 이동체와, 상기 헤드 플레이트에 연결되고 또한 상기 이동체의 경사면을 따라 승강 가능하게 배치된 승강체와, 상기 이동체를 상기 지지 기둥의 상면을 따라 이동시키는 구동 기구를 갖는 것을 특징으로 하는
프로브 장치.
프로브 카드가 장착된 헤드 플레이트를 네 코너에서 지지하는 4개의 지지 기둥 중 적어도 3개의 지지 기둥과 상기 헤드 플레이트 사이에 개재되는 승강 기구를 갖고, 상기 프로브 카드와 그 하방에 배치된 탑재대 상의 피검사 기판의 평행도를 조정하는 프로브 카드의 평행 조정 기구에 있어서,
상기 승강 기구의 배치 부위 중 적어도 1개소에 배치되고, 상기 헤드 플레이트의 승강에 브레이크를 가하는 해제 가능한 브레이크 기구를 구비한 것을 특징으로 하는
프로브 카드의 평행 조정 기구.
제 5 항에 있어서,
상기 브레이크 기구는,
상기 승강 기구에 수직으로 고정된 샤프트와,
상기 지지 기둥에 고정되고 상기 샤프트를 파지하는 파지 기구를 구비한 것을 특징으로 하는
프로브 카드의 평행 조정 기구.
제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
상기 승강 기구는 상기 헤드 플레이트의 네 코너 중 전방측 2개소 및 후방측 1개소의 합계 3개소에 배치되고,
상기 브레이크 기구는 후방측 1개소에 배치된 상기 승강기의 배치 부위에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는
프로브 카드의 평행 조정 기구.
제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
상기 승강 기구는, 상기 지지 기둥의 상면을 따라 이동 가능하게 배치된 경사면을 갖는 이동체와, 상기 헤드 플레이트에 연결되고 또한 상기 이동체의 경사면을 따라 승강 가능하게 배치된 승강체와, 상기 이동체를 상기 지지 기둥의 상면을 따라 이동시키는 구동 기구를 갖는 것을 특징으로 하는
프로브 카드의 평행 조정 기구.