JP3190612U - 検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】１台の検査装置において種類の異なる被検査体の検査に対応するとともに、稼働率を高めて生産性を向上させる検査装置を提供する。【解決手段】検査装置１０は、プローブが付けられた複数のプローブブロック２３を備えるプローブユニット１２と、プローブユニットの移動を案内する第１のスライドガイド１３ａ，１３ｂと、複数の電極が形成された被検査体を載置し、プローブユニットのプローブに被検査体の電極を接触させるステージと、ステージの移動を案内する第２のスライドガイド３４ａ，３４ｂと、装置の一部を覆う筐体１１とを備え、第２のスライドガイドが、検査装置で検査が行われる際にステージが位置する範囲から筐体の外部の所定位置の方向に向かって延伸して形成されている。【選択図】図１

Description

この考案は、検査装置に関し、例えば、液晶パネルのような表示パネル等の被検査体を電気的に検査するプローブユニット機構を備えた検査装置に適用し得る。

従来、液晶表示パネルのような表示パネル等の被検査体は、一般的に該被検査体の側端部に複数の電極が設けられている。検査装置は、上記被検査体の各電極にプローブを接触させて通電し、点灯確認等による電気的検査を行っている。

液晶表示パネルのような表示パネル等の被検査体は、該被検査体の大きさの違いだけでなく、仕様等の相違により、その被検査体の種類も多岐にわたる。このような多種類の被検査体は、その側端部における電極の数や配置も該被検査体の種類に対応してそれぞれ異なる。このため、異なる種類の被検査体毎に、上記電極に接触するようにプローブ（接触子）配置を変えた異なる複数のプローブユニット機構が必要になる。

従来の検査装置は、被検査体とプローブユニット機構が１対１の関係を以て構成されている。即ち、１種類の被検査体に対応して１種類のプローブユニット機構が設けられている。そのため、１台の検査装置では１種類の被検査体の検査しか行うことができない。種類の異なる被検査体を検査するためには、それぞれの被検査体に対応するプローブユニット機構を備えた複数の種類の検査装置を検査のために準備する必要がある。

或いは、１台の検査装置において、プローブユニット機構を被検査体の種類に応じて取り換える作業が必要となる。

従来、大きさの異なる被検査体の電極位置に対応して上記プローブの位置を変更させることが可能な検査装置がある（特許文献１〜３参照）。

特許文献１〜３の検査装置では、複数のプローブがガイドに沿って移動可能であるプローブユニット機構を備えている。即ち、従来の検査装置では、ユーザが上記プローブをガイドに沿って移動させて調整することで、上記大きさの異なる被検査体の電極位置にそれぞれのプローブを対向させることができるように構成されている。

特開２００８−３０４３９８号公報 特開２００５−１７３０６２号公報 特開２００９−１５６６７６号公報

しかしながら、従来の検査装置では、プローブのメンテナンスを行う際に、プローブユニットの下方向に非検査体が配置された状態で、目視でプローブの位置決めを行ったり、予め所定の位置にプローブを位置決めするための専用の治具／定規（例えば、各プローブの位置がマークされたカットガラス）等を用いる必要があった。

上述のような問題点に鑑みて１台の検査装置において種類の異なる被検査体の検査に対応するとともに、検査装置の稼働率を高め、以って該被検査体の検査工程における生産性を向上させることが望まれている。

本考案の検査装置は、（１）プローブが付けられた複数のプローブブロックを備えるプローブユニットと、（２）上記プローブユニットの移動を案内する第１のスライドガイドと、（３）複数の電極が形成された被検査体を載置し、上記プローブユニットのプローブに当該被検査体の電極を接触させるステージと、（５）上記ステージの移動を案内する第２のスライドガイドと、（６）当該装置の一部を覆う筐体とを備え、（７）上記第２のスライドガイドが、当該検査装置で検査が行われる際に上記ステージが位置する範囲から上記筐体の外部の所定位置の方向に向かって延伸して形成されていることを特徴とする。

本考案によれば、１台の検査装置において種類の異なる被検査体の検査に対応するとともに、検査装置の稼働率を高め、以って該被検査体の検査工程における生産性を向上させることができる。

実施形態に係る検査装置の平面図である。 図１のＡ−Ａ’線断面図）である。 実施形態に係るワークテーブルについて、ガラス基板が載置された状態で示す平面図である。 実施形態に係る検査装置について、プローブユニットの部分を拡大して示す平面図である。 図４のＢ−Ｂ’線断面図である。 実施形態の検査装置について、プローブユニット及びステージを第１の検査位置に移動させた状態で示す平面図である。 図６のＣ−Ｃ’線断面図である。 実施形態の検査装置について、プローブユニット及びステージを第２の検査位置に移動させた状態で示す平面図である。 図８のＤ−Ｄ’線断面図である。

（Ａ）主たる実施形態
以下、本考案による検査装置の一実施形態を、図面を参照しながら詳述する。

（Ａ−１）実施形態の構成及び動作
図１は、この実施形態の検査装置１０の平面図である。図２は、検査装置１０の断面図（図１のＡ−Ａ’線断面図）である。

検査装置１０は、被検査体（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ）としての液晶ディスプレイ（ＴＦＴ型ディスプレイ）を構成するガラス基板Ｐ（パネル、表示用基板）と電気的に接触して検査するものである。

検査装置１０は、ガラス基板Ｐを載置するためのワークテーブル１４と、ワークテーブル１４をＸＹＺθ方向に移動させるためのＸ−Ｙ―Ｚ―θステージ３０と、ガラス基板Ｐとコンタクト（電気的に接触）して検査するプローブユニット１２と、ガラス基板Ｐを搬送してワークテーブル１４上に載置（供給、ロード）し検査後に当該ガラス基板Ｐを除去（アンロード）するための被検査体供給部１５（ローダー・アンローダーとしてのロボット）、及び各構成要素の制御を行う制御手段としての制御ユニット１６とを備えている。また、検査装置１０を構成するプローブユニット１２、Ｘ−Ｙ―Ｚ―θステージ３０、及び被検査体供給部１５は、略直方体形状の筐体１１（フレーム）に取り付けられている。

制御ユニット１６には、ユーザ（作業者）の操作を受付けるための図示しない操作パネルが設けられている。当該操作パネルは、ディスプレイや複数のボタン等により構成されており、種々の検査装置と同様のものを適用することができるため、詳しい説明を省略する。

プローブユニット１２は、ベース２０（プローブユニット・スライドベース）と、ガラス基板Ｐと電気的に接続（コンタクト）する複数のプローブブロック２３と、プローブユニット１２の位置決め制御に用いられる２つのアライメントカメラ２５とを備えている。

図４は、プローブユニット１２が配置された部分を拡大して表示した平面図である。また、図５は、図４のＢ−Ｂ’線断面図（プローブユニット１２、ワークテーブル１４、及びワークテーブル１４上に載置されたガラス基板Ｐを含む断面図）である。

ベース２０は、矩形（長方形）の板形状である。

ベース２０の一方の長手方向の側面にはプローブブロックスライドガイド２１を支持するためのスライドガイド支持部２２が設けられている。スライドガイド支持部２２は、断面がＬ字型の棒形状となっている。スライドガイド支持部２２には、スライドガイド支持部２２の長手方向の辺に沿ってプローブブロック２３を摺動（移動）させるためのプローブブロックスライドガイド２１が設けられている。各プローブブロック２３には、プローブブロックスライドガイド２１と嵌合して摺動することができるスライダー２３２が設けられている。そして、各プローブブロック２３には、ワークテーブル１４上に載置されたガラス基板Ｐと電気的に接続するためのプローブ２３１が付けられている。

以下では、複数のプローブブロック２３が配列されている方向（プローブブロックスライドガイド２１の長手方向、ベース２０の長手方向）をＹ軸方向と呼ぶものとする。以下では、図１の方向から見て上方向を＋Ｙ方向、下方向を−Ｙ方向と呼ぶものとする。また、以下では、Ｙ軸方向と直交する方向をＸ軸方向又は左右方向と呼ぶものとする。以下では、図１の方向から見て左方向を＋Ｘ方向、右方向を−Ｘ方向と呼ぶものとする。さらに、以下では、Ｘ軸方向及びＹ軸方向により形成される平面（Ｘ−Ｙ平面）に直交する方向をＺ方向又は高さ方向と呼ぶものとする。以下では、図２の方向から見て上方向を＋Ｚ方向、下方向を−Ｚ方向と呼ぶものとする。

なお、検査装置１０において、Ｘ−Ｙ―Ｚ―θステージ３０は、ＸＹＺθステージとして構成され、最上部に設けられたワークテーブル１４をＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向に変位可能であり、さらに回転して姿勢（θ）の変位も可能に構成されている。

筐体１１には、プローブユニット１２のベース２０を、Ｘ軸方向にスライド（摺動）させる（Ｘ軸方向の移動を案内する）ための１対のプローブユニットスライドガイド１３ａ、１３ｂが設けられている。ベース２０には、１対のプローブユニットスライドガイド１３ａ、１３ｂのそれぞれと嵌合して摺動するための１対の溝部２０ａ、２０ｂが設けられている。このように、プローブユニット１２（ベース２０）は、図示しない駆動機構及び駆動源により、Ｘ軸方向に移動することが可能となっている。

検査装置１０では、プローブユニット１２（ベース２０）がＸ軸方向に移動しながらワークテーブル１４上に載置されたガラス基板Ｐと接続して、ガラス基板Ｐ上に形成された配線、ＴＥＧ（Ｔｅｓｔ Ｅｌｅｍｅｎｔ Ｇｒｏｕｐ）などの品質の検査（いわゆる「オープンショート検査」「ＴＥＧ検査」など）を行う。

次に、ワークテーブル１４を支持するＸ−Ｙ―Ｚ―θステージ３０の構成について説明する。Ｘ−Ｙ―Ｚ―θステージ３０は、ワークテーブル支持部３１、第１の支持台部３３、Ｘ軸方向スライドガイド３４ａ、３４ｂ、第２の支持台部３５、Ｙ軸方向スライドガイド３６ａ、３６ｂ、及び第３の支持台部３７を有している。

第１の支持台部３３は、筐体１１の底面に配置されている。第１の支持台部３３の上面には、第２の支持台部３５がＸ軸方向に摺動自在に配設されている。また、第２の支持台部３５の上面には、第３の支持台部３７がＹ軸方向に摺動自在に配設されている。さらに、第３の支持台部３７の上面には、Ｘ−Ｙ―Ｚ―θステージ３０が配設され、さらに、Ｘ−Ｙ―Ｚ―θステージ３０の上面にワークテーブル１４が配設されている。すなわち、Ｘ−Ｙ―Ｚ―θステージ３０では、第１の支持台部３３、第２の支持台部３５、及び第３の支持台部３７により、ワークテーブル１４が、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動可能となっている。なお、検査装置１０には、第２の支持台部３５、及び第３の支持台部３７を、制御ユニット１６の制御に基づいて移動させるための駆動機構及び駆動源が設けられているものとする。

第１の支持台部３３の上面には、第２の支持台部３５をＸ軸方向に摺動（スライド）させる（Ｘ軸方向の移動を案内する）ための１対のＸ軸方向スライドガイド３４ａ、３４ｂが設けられている。そして、第２の支持台部３５の下面には、Ｘ軸方向スライドガイド３４ａ、３４ｂと嵌合してＸ軸方向に摺動（スライド）可能なスライド溝３５ａ、３５ｂが設けられている。すなわち、Ｘ−Ｙ―Ｚ―θステージ３０では、Ｘ軸方向スライドガイド３４ａ、３４ｂ及びスライド溝３５ａ、３５ｂにより、第２の支持台部３５（ワークテーブル１４）がＸ軸方向に移動することが可能となっている。

また、第２の支持台部３５の上面には、第３の支持台部３７をＹ軸方向に摺動（スライド）させるための１対のＹ軸方向スライドガイド３６ａ、３６ｂが形成されている。そして、第３の支持台部３７の下面には、Ｙ軸方向スライドガイド３６ａ、３６ｂと嵌合してＹ軸方向に摺動（スライド）可能とするスライド溝３７ａ、３７ｂが形成されている。すなわち、ワークテーブル支持部３０では、Ｙ軸方向スライドガイド３６ａ、３６ｂ及びスライド溝３７ａ、３７ｂにより、第３の支持台部３７（ワークテーブル１４）がＹ軸方向に移動することが可能となっている。

また、第３の支持台部３７の上面に配設されたワークテーブル１４は、制御ユニット１６の制御に基づいて図示しない駆動機構及び駆動源により、高さ方向（Ｚ方向）及びその姿勢（θ）も制御可能となっているものとする。

図３は、当該検査装置１０でガラス基板Ｐが載置された状態で示すワークテーブル１４平面図である。

図３に示すようにこの実施形態では、ガラス基板Ｐの上面に、４つのガラス基板Ｐ（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４）が、マトリクス状に並べて載置された状態で、プローブユニット１２により電気的に接続されて検査が実行されるものとする。そして、プローブユニット１２では、同時に２つのガラス基板Ｐと接続して検査を行うことが可能であるものとする。なお、プローブユニット１２で同時に検査可能なガラス基板Ｐの数や、ワークテーブル１４に同時に載置するガラス基板Ｐの数は限定されないものとする。

図３に示すように、この実施形態では、ガラス基板Ｐ１、Ｐ２の組がＸ軸方向で同じ位置に配置されており、ガラス基板Ｐ３、Ｐ４の組がＸ軸方向で同じ位置に配置されている。

図３に示すように、各ガラス基板Ｐには、各ＴＥＧを構成する電極Ｃが形成されている。すなわち、検査装置１０では、プローブブロック２３のプローブ２３１がガラス基板Ｐ上の電極Ｃに接触して電気的に接続することにより、ガラス基板Ｐについて検査（例えば、ＴＥＧ検査、通電検査や発光検査等）を行うことができる。

図３に示すように、この実施形態では、各ガラス基板Ｐには、７行（Ｙ軸方向に７行）、１列（Ｘ方向に１列）のパターンで電極Ｃが配置されているものとする。なお、各行の電極Ｃは、Ｙ軸方向で同じ位置に配置されているものとする。言い換えると、この実施形態では、各ガラス基板Ｐでは、電極ＣのＹ軸方向における配置パターンは、全ての列で一致（対向する位置が一致）している必要がある。すなわち、検査装置１０では、プローブユニット１２の各プローブブロック２３の位置（Ｙ軸方向の位置）を、検査するガラス基板Ｐにおける電極Ｃの配置パターン（Ｙ軸方向の配置パターン）と一致するように調整しておく必要がある。ユーザにより、各プローブブロック２３の位置（Ｙ軸方向の位置）を調整（メンテナンス）する構成及び方法については後述する。

なお、図１〜図３では、図示を簡易とするため、各ＴＥＧにおける電極Ｃは１つとし、各プローブブロック２３を構成するプローブ２３１も１つとして説明しているが各ＴＥＧを構成する電極の数、及びプローブブロック２３を構成するプローブ２３１の数は限定されないものである。

次に、検査装置１０の動作について説明する。

検査装置１０では、制御ユニット１６の制御に基づいて、ワークテーブル１４及びプローブユニット１２の位置が移動する。制御ユニット１６によるワークテーブル１４及びプローブユニット１２の各移動制御の契機（トリガ）は限定されないものであり、ユーザの操作（図示しない操作パネルに対する操作）を契機に実行するようにしてもよいし、制御ユニット１６が設定やプログラム等に基づいて実行するようにしてもよい。

図６、図７は、プローブユニット１２及びワークテーブル１４が、ガラス基板Ｐ３、Ｐ４の検査を開始可能な位置（以下、「第１の検査位置」と呼ぶ）に配置された状態について示した説明図である。

図６は、プローブユニット１２及びワークテーブル１４が、第１の検査位置に位置している状態で示す検査装置１０の平面図である。また、図７は、プローブユニット１２及びワークテーブル１４が、第１の検査位置に位置している状態で示す検査装置１０の断面図（図６のＣ−Ｃ’線断面図）である。

図６、図７では、プローブユニット１２を構成する各プローブブロック２３（プローブ２３１）が、ガラス基板Ｐ３、Ｐ４の右端部側の列の端子Ｃに接触する位置に、プローブユニット１２及びワークテーブル１４が移動した状態となっている。検査装置１０では、例えば、図６、図７の状態で、プローブユニット１２を、Ｘ軸方向（＋Ｘ方向）に移動（走査）させることにより、プローブユニット１２を構成する各プローブブロック２３（プローブ２３１）が、ガラス基板Ｐ３、Ｐ４上の各列の端子Ｃにコンタクトすることができる。なお、プローブユニット１２が移動中には、ワークテーブル１４の高さを調整して、プローブブロック２３（プローブ２３１）が、ガラス基板Ｐ３、Ｐ４に接触しないようにすることが望ましい。

図１、図２では、プローブユニット１２及びワークテーブル１４が、ガラス基板Ｐ１、Ｐ２の検査を開始可能な位置（以下、「第２の検査位置」と呼ぶ）に配置された状態について示している。なお、ここでは、ワークテーブル１４については、第１の検査位置も第２の検査位置も同じ位置であるものとする。すなわち、検査装置１０では、検査中ワークテーブル１は、少なくともＸ軸方向、及びＹ軸方向においては位置の変更は微調整以外にないものとして説明する。

図１、図２では、プローブユニット１２を構成する各プローブブロック２３（プローブ２３１）が、ガラス基板Ｐ１、Ｐ２の右端部側の列の端子Ｃに接触する位置に、プローブユニット１２及びワークテーブル１４が移動した状態となっている。検査装置１０では、例えば、図１、図２の状態で、プローブユニット１２を、Ｘ軸方向（＋Ｘ方向）に移動させることにより、プローブユニット１２を構成する各プローブブロック２３（プローブ２３１）が、ガラス基板Ｐ３、Ｐ４上の各列の端子Ｃにコンタクトすることができる。

図８、図９は、プローブユニット１２及びワークテーブル１４が、プローブユニット１２を構成するプローブブロック２３（プローブ２３１）のメンテナンスを可能とする位置（以下、「メンテナンス位置」と呼ぶ）に配置された状態について示した説明図である。

図８は、プローブユニット１２及びワークテーブル１４が、メンテナンス位置に位置している状態で示す検査装置１０の平面図である。また、図９は、プローブユニット１２及びワークテーブル１４が、メンテナンス位置に位置している状態で示す検査装置１０の断面図（図８のＤ−Ｄ’線断面図）である。

上述の通り、検査装置１０では、プローブユニット１２の各プローブブロック２３の位置（Ｙ軸方向の位置）を、検査するガラス基板Ｐにおける電極Ｃの配置パターン（Ｙ軸方向の配置パターン）と一致（対向）するように調整するメンテナンスをしておく必要がある。

プローブユニット１２及びワークテーブル１４が、メンテナンス位置に移動した状態となると、例えば、外部の保守可能領域Ａ（図８参照）に作業員が立っている状態で、当該作業員により筐体１１の左端の端部１１ａ側からプローブユニット１２のプローブブロック２３へのアクセスが可能となる。すなわち、プローブユニット１２及びワークテーブル１４をメンテナンス位置に移動させれば、作業員は、保守可能領域Ａに立てば、各プローブブロック２３のＹ軸方向の位置を容易に調整することができる。このとき、作業員は、各プローブブロック２３の下方向に位置する各ガラス基板Ｐの電極Ｃの配置パターン（Ｙ軸方向の配置パターン）を目視しながら、治具（定規）等を用いずにその配置パターンに合わせて各プローブブロックのＹ軸方向の位置を調整（メンテナンス）することができる。

そして、検査装置１０では、プローブユニット１２及びワークテーブル１４をメンテナンス位置に移動させることにより、ユーザによるメンテナンスがしやすくなるように構成されている。具体的には、検査装置１０では、検査範囲（第１の検査位置及び第２のを含む範囲）を超えて、保守可能領域Ａが位置する方向（筐体１１の左端の端部１１ａ側の方向（＋Ｘ方向の端部側））に、ワークテーブル１４が移動可能となるように、筐体１１の左端の端部１１ａ側（＋Ｘ方向の端部側）に、Ｘ軸方向スライドガイド３４ａ、３４ｂを延伸するように形成されている。

また、同様に、プローブユニット１２を移動させるプローブユニットスライドガイド１３も、必要に応じて、メンテナンス位置まで延伸するように形成する必要がある。

なお、検査装置１０では、ワークテーブル１４をメンテナンス位置に移動させたとき、ワークテーブル１４に載置されたガラス基板Ｐの表面に接触しない程度の低い位置に、ワークテーブル１４のＺ軸方向の位置を調整することが望ましい。これにより、検査装置１０では、メンテナンス時（プローブブロック２３の位置を調整する時）に、ワークテーブル１４に載置されたガラス基板Ｐの表面を破損することを防ぐことができる。

また、検査装置１０では、ワークテーブル１４をメンテナンス位置に移動させたときに、筐体１１の外部からプローブユニット１２の各プローブブロック２３にアクセスしやすいように、開口部（開閉体が設置されていてもよい）が形成されていることが望ましい。例えば、検査装置１０では、プローブユニットスライドガイド１３ａ、１３ｂの間は上方向に開口部１１ａが形成されている。

（Ａ−２）実施形態の効果
この実施形態によれば、以下のような効果を奏することができる。

検査装置１０では、プローブユニット１２及びワークテーブル１４の位置を、検査で移動する範囲（第１の検査位置、第２の検査位置を含む範囲）を超えて、保守可能領域の方向（筐体１１の端部側の方向）のメンテナンス位置まで移動可能とすることにより、作業員によるメンテナンス（各プローブブロック２３のＹ軸方向の位置の調整）を容易とすることができる。特に、検査装置１０では、メンテナンス位置までプローブユニット１２及びワークテーブル１４を移動可能となるために、メンテナンス位置の方向に、少なくともＸ軸方向スライドガイド３４ａ、３４ｂを延伸（延在）するように形成している。

これにより、検査装置１０では、作業員によるメンテナンス（プローブブロック２３のＹ軸方向の位置調整）を容易としている。結果、検査装置１０では、１台で種類の異なる種類の被検査体の検査に対応するとともに、稼働率を高め、以って検査工程における生産性を向上させることができる。

通常、大型の液晶ディスプレイに用いられるガラス基板（例えば、５０インチ程度の大きさのパネル）を検査する検査装置では、プローブユニット側を全体にわたって走査させ、非検査体としてのガラス基板を載置するステージ側は位置の微調整程度の移動にとどめる構成となっている。これは、大型の液晶ディスプレイに用いられるガラス基板を移動させる場合検査装置の筐体が大型化してしまうためである。そのため、通常、大型の液晶ディスプレイに用いられるガラス基板を検査する検査装置では、ステージの移動を案内するスライドガイドは、微調整に必要な程度の長さにしか形成されていない。しかしながら、本考案の検査装置１０では、検査に必要となる上述の微調整の範囲を超えて、メンテナンス位置の方向に、少なくともＸ軸方向スライドガイド３４ａ、３４ｂを延伸（延在）するように形成している。仮に、ワークテーブル１４の位置が、検査に用いる範囲でしか移動できない場合、作業員は、例えば、上述の治具を用いてメンテナンスを行ったり、筐体１１の上に乗って上方向からプローブブロック２３にアクセスし、メンテナンスを行う必要がある。

さらに、検査装置１０では、ユーザにより各プローブブロック２３の位置（Ｙ軸方向の位置）が調整された後、ユーザの操作によりワークテーブル１４を上昇させて各プローブブロック２３のプローブ２３１と、ガラス基板Ｐの電極Ｃとコンタクトさせるテストを行い、実際の位置確認や、アライメントマークの登録（制御ユニット１６への位置登録）を行うことを容易とすることもできる。

（Ｂ）他の実施形態
本考案は、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下に例示するような変形実施形態も挙げることができる。

（Ｂ−１）上記の実施形態では、保守可能領域Ａを、筐体１１の左端の端部１１ａ側（＋Ｘ方向の端部側）に設定しているため、筐体１１の左端の端部１１ａ側（＋Ｘ方向の端部側）にＸ軸方向スライドガイド３４ａ、３４ｂ及びプローブユニットスライドガイド１３を延伸するように構成しているが、保守可能領域Ａの位置に応じた方向に、Ｘ軸方向スライドガイド３４ａ、３４ｂ及びプローブユニットスライドガイド１３を延伸（延在）させるように構成するようにしてもよい。

また、上記の実施形態では、筐体１１の左端の端部１１ａ側（＋Ｘ方向の端部側）に保守可能領域Ａが存在するため、Ｘ軸方向スライドガイド３４ａ、３４ｂを延伸（延在）させているが、保守可能領域Ａの位置によっては、Ｙ軸方向スライドガイド３６ａ、３６ｂを延伸させるようにしてもよいし、Ｘ軸方向スライドガイド３４ａ、３４ｂ及びＹ軸方向スライドガイド３６ａ、３６ｂの両方を延伸させるようにしてもよい。

（Ｂ−２）上記の実施形態では検査装置１０の非検査体としてガラス基板Ｐを適用したが、他の種類の非検査体としてもよいことは当然である。

１０…検査装置、１１…筐体、１２…プローブユニット、２０…ベース、２１…プローブブロックスライドガイド、２２…スライドガイド支持部、２３…プローブブロック
２３１…プローブ、２３２…スライド溝、２５…アライメントカメラ、１３ａ、１３ｂ…プローブユニットスライドガイド、１４…ワークテーブル、３０…Ｘ−Ｙ―Ｚ―θステージ、３１…ワークテーブル支持部、３２ａ、３２ｂ…スライド溝、３３…第１の支持台部、３４ａ、３４ｂ…Ｘ軸方向スライドガイド、３５…第２の支持台部、３５ａ、３５ｂ…スライド溝、３６ａ、３６ｂ…Ｙ軸方向スライドガイド、３７…第３の支持台部
３７ａ、３７ｂ…スライド溝、１５…被検査体供給部、１６…制御ユニット。

Claims (3)

1. プローブが付けられた複数のプローブブロックを備えるプローブユニットと、
   上記プローブユニットの移動を案内する第１のスライドガイドと、
   複数の電極が形成された被検査体を載置し、上記プローブユニットのプローブに当該被検査体の電極を接触させるステージと、
   上記ステージの移動を案内する第２のスライドガイドと、
   当該装置の一部を覆う筐体とを備え、
   上記第２のスライドガイドが、当該検査装置で検査が行われる際に上記ステージが位置する範囲から上記筐体の外部の所定位置の方向に向かって延伸して形成されていること
   を特徴とする検査装置。
2. 上記第１のスライドガイドが、当該検査装置で検査が行われる際に上記プローブユニットが位置する範囲から上記所定位置の方向に向かって延伸して形成されていることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 上記被検査体は、表示用基板であることを特徴とする請求項１又は２に記載の検査装置。

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