KR20070114628A - 가동식 프로브 유닛 기구 및 전기 검사 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 가동식 프로브 유닛 및 전기 검사 장치는, 서로 다른 치수의 검사대상판에 대응한 조정 기능을 갖춘 가동식 프로브 유닛 기구(21) 및 전기 검사 장치(1)를 제공하기 위한 것이다. 종류가 다른 액정패널(22)의 서로 다른 치수에 대응하여 개구(23A)를 조정함과 동시에, 프로브 침의 위치를 조정하는 가동식 프로브 유닛 기구(21)이다. 이 가동식 프로브 유닛 기구(21)는 종류가 다른 상기 액정패널(22)의 서로 다른 치수에 대응하여, 프레임 판을 이동시켜서 상기 개구(23A)를 조정하는 가동 프레임 기구(30)와, 상기 프로브 침을 지지하여 상기 액정패널(22)의 단자(22A)에 꼭 들어맞도록 위치 조정하여 내보내서 접촉시키는 콘택트 유닛(31)을 구비하여 구성되며, 전기 검사 장치(1)는 상기 가동식 프로브 유닛 기구(21)를 구비하여 구성된다.

액정패널, 가동식 프로브 유닛, 전기 검사 장치, 프로브 침, 콘택트 유닛

Description

가동식 프로브 유닛 기구 및 전기 검사 장치 {Movable Probe Unit Mechanism and Electric Inspecting Apparatus}

도1은 본 발명의 실시형태에 따른 전기 검사 장치의 가동식 프로브 유닛 기구를 나타낸 평면도이다.

도2는 본 발명의 실시형태에 따른 전기 검사 장치의 가동식 프로브 유닛 기구를 나타낸 측면도이다.

도3은 본 발명의 실시형태에 따른 전기 검사 장치의 가동식 프로브 유닛 기구를 나타낸 일부 절개 사시도이다.

도4는 본 발명의 실시형태에 따른 전기 검사 장치의 Y축 이동기구를 나타낸 사시도이다.

도5는 본 발명의 실시형태에 따른 전기 검사 장치의 X축 이동기구를 나타낸 일부 절개 사시도이다.

도6은 본 발명의 실시형태에 따른 전기 검사 장치의 콘택트 유닛을 나타낸 사시도이다.

도7은 본 발명의 실시형태에 따른 전기 검사 장치의 콘택트 유닛을 나타낸 일부 절개 사시도이다.

도8은 본 발명의 실시형태에 따른 전기 검사 장치의 후퇴 상태의 콘택트 유닛을 나타낸 측면도이다.

도9는 본 발명의 실시형태에 따른 전기 검사 장치의 연장 상태의 콘택트 유닛을 나타낸 측면도이다.

도10은 본 발명의 실시형태에 따른 전기 검사 장치의 접촉 상태의 콘택트 유닛을 나타낸 측면도이다.

도11은 본 발명의 실시형태에 따른 전기 검사 장치의 접촉 상태의 콘택트 유닛을 나타낸 평면도이다.

도12는 본 발명의 실시형태에 따른 전기 검사 장치의 콘택트 유닛의 위치결정 동작을 나타낸 개략 평면도이다.

도13은 종래의 전기 검사 장치의 프로브 유닛을 나타낸 평면도이다.

도14는 본 발명의 실시형태에 따른 전기 검사 장치의 프로브 유닛을 나타낸 평면도이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명*

1: 전기 검사 장치 2: 패널세트부

3: 측정부 21: 가동식 프로브 유닛 기구

22: 액정패널 23: 워크테이블 베이스

23A: 개구(開口) 24: 베이스 판

25: 버팀목 26: 탑 베이스

27: 백라이트 30: 가동 프레임 기구

30A: 개구 31: 콘택트 유닛

33: Y축 이동기구 34: X축 이동기구

36: 레일 37: 가이드

38: 상측 베이스 판 39: 하측 베이스 판

40: Y축 구동부 42: 볼나사

43: 베어링 44: 이동 너트

45: 구동 모터 48: X축 상측 프레임부

48A: 슬릿 49: X축 하측 프레임부

49A: 슬릿 50: Y축 우측 프레임부

50A: 레일 홈 51: Y축 좌측 프레임부

51A: 레일 홈 52: X축 하측 구동부

53: X축 상측 구동부 54: 레일

55: 가이드 56: 레일

60: 레일 61:레일

62: 레일 63: 가이드

65: 레일 66: 걸림고정부

67: 하측 판부 68: 가이드

70: 볼나사 71: 베어링

72: 이동 너트 73: 구동 모터

75: X축 상측 패널받이 76: 패널받이부

77: 콘택트 유닛 지지부 78: 패널 푸셔

80: X축 하측 패널받이 81: 패널받이부

82: 패널 위치결정 핀 84: Y축 좌측 패널받이

85: 패널받이부 86: 콘택트 유닛 지지부

87: 패널 푸셔 90: Y축 우측 패널받이

91: 패널받이부 92: 패널 위치결정 핀

95: 프로브 유닛 96: 선단측 이동 블록

97: 기단측 이동 블록 98: 위치조정기구

100: 프로브 베이스 101: 프로브 블록

102: 얼라이먼트 카메라 105: 지지판

106: 선단측 연결 블록 107: 가이드

108: 이동규제 롤러 109: 상단측 스프링 수용부

111: 지지 기둥 115: 이동 베이스 판

116: 레일 117: 가이드

118: 이동판 119: 기단측 연결 블록

120: 경사 레일 121: 하단측 스프링 수용부

122: 제2 스토퍼 123: 접촉부

124: 방출기구 125: 제3 스토퍼

125A: 규제 버팀목부 125B: 규제 롤러부

131: 레일 132: 가이드

133: 이동기구 135: 볼나사

136: 베어링 137: 이동 너트

138: 구동 모터

발명의 분야

본 발명은, 액정 표시패널과 같은 표시패널의 전기 검사를 위해, 통전 회로와 표시패널을 접속하기 위한 전기적 접속 기구를 갖는 가동식 프로브 유닛 기구 및 전기 검사 장치에 관한 것이다.

발명의 배경

액정 표시패널과 같은 표시패널의 검사 장치의 하나로서, 검사를 받는 표시패널이 배치되는 검사 스테이지에 검사를 위한 접촉자 유닛을 설치한 것이 있다.

다수의 접촉자 유닛은 검사 시에 그들 접촉자가 검사 스테이지의 패널받이 위의 표시패널에 대응하는 전극에 접촉함으로써, 통전 회로로부터의 전력을 표시패널로 공급한다.

또한, 검사에 앞선 패널받이에 대한 표시패널의 배치 및 검사 후의 패널받이 로부터의 표시패널의 취출(取出) 시에는, 각 접촉자 유닛은 표시패널의 배치 영역으로부터 후퇴한다.

따라서 다수의 접촉자 유닛이 표시패널의 패널받이에 대한 배치 및 그 취출에 방해가 되지 않으므로, 표시패널의 취급을 원활하게 행할 수 있다(특허문헌 1).

또한, 종래에는 크기가 다른 표시패널에 대해서는 표시패널 전용의 검사 스테이지 및 프로브 유닛을 설치할 필요가 있었으나, 크기가 다른 표시패널의 사이즈에 맞춰 개구부를 조정함으로써 새로운 전용 검사 스테이지 및 프로브 유닛을 설치할 필요를 없앤 장치도 찾아볼 수 있다(특허문헌 2).

특허문헌 1: 일본특허공개공보 제2002-350485호

특허문헌 2: 일본특허공개공보 제2002-91336호

최근 표시패널이 50~80인치로 대형화되고, 또한 TV용도의 표시패널은 백라이트의 휘도가 10,000~20,000cd 정도에서 검사가 행해지고 있다. 이 백라이트의 열에 의해 표시패널이 열팽창하게 된다.

그런데 프로브 유닛은 열에 의한 영향을 그다지 받지 않기 때문에, 접촉자의 피치와 표시패널의 전극 피치 간에 편차가 발생하고, 양호한 전기 검사를 행할 수 없다는 문제가 발생하고 있다.

본 발명은 이와 같은 문제점에 비추어 이루어진 것으로, 백라이트의 열에 의한 열팽창을 허용하여 프로브 침 등의 접촉자 전극과의 위치조정을 용이하게 행할 수 있는 가동식 프로브 유닛 기구 및 전기 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다. 이하 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.

본 발명에 따른 전기 검사 장치는, 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 검사대상판의 전극에 대응하여 다수의 접촉자의 위치를 조정하는 가동식 프로브 유닛 기구로서, 상기 검사대상판의 전극이 배치된 변(邊)에 대응하는 프로브 블록의 지지(支持) 프레임체의 한 변에 1 이상의 프로브 유닛을 구비하며, 상기 프로브 유닛은 얼라이먼트 카메라와, 상기 프로브 유닛의 길이방향으로 구동하는 구동기구와, 다수의 접촉자를 설치한 프로브 블록을 구비하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 상기 프로브 유닛은 그 얼라이먼트 카메라로 검사대상판의 얼라이먼트 마크를 촬영하고, 상기 구동기구로 상기 프로브 유닛의 길이방향으로 상기 프로브 유닛을 이동시켜서, 상기 프로브 블록의 다수의 접촉자를 검사대상판의 각 전극에 정확히 맞춘다.

상기 구동기구가 상기 각 접촉자를 지지하여 상기 검사대상판의 각 전극에 정확히 들어맞도록, 상기 각 접촉자를 검사대상판의 한 변을 따르는 방향으로 이동시킴과 동시에, 상기 구동기구를 상기 검사대상판의 한 변을 향하게 하여 한개 또 는 다수개를 갖는 콘택트 유닛을 구비하여 구성하는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의해, 상기 콘택트 유닛의 상기 구동기구가 상기 각 접촉자를 지지하여, 상기 각 접촉자를 상기 검사대상판의 한 변을 따르는 방향으로 이동시킨다.

상기 콘택트 유닛은 다수의 접촉자를 지지하는 프로브 유닛과, 상기 프로브 유닛을 지지하여 상기 접촉자를 상기 검사대상판의 각 단자에 접촉시키는 선단(先端)측 이동 블록과, 상기 선단측 이동 블록을 지지하여 내보내고 상기 프로브 유닛의 접촉자를 상기 검사대상판의 각 단자에 접촉시키는 기단(基端)측 이동 블록과, 상기 프로브 유닛을 좌우방향으로 이동시켜서 상기 접촉자와 상기 단자 사이를 위치결정하고 조정하는 위치조정기구를 구비하여 구성되는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의해, 상기 위치조정기구로 상기 접촉자와 상기 단자와의 사이를 위치결정하고 조정하여, 상기 기단측 이동 블록으로 상기 선단측 이동 블록을 지지하여 내보내고, 상기 프로브 유닛의 접촉자를 상기 검사대상판의 각 단자에 접촉시킨다.

상기 프로브 유닛은 앞쪽 끝에 다수의 접촉자를 지지하여 상기 검사대상판의 각 단자에 각각 접촉시키는 프로브 블록과, 상기 프로브 블록의 앞쪽 끝의 접촉자를 상기 검사대상판의 각 단자 위치에 정확히 맞추기 위한 얼라이먼트 마크를 촬영하는 얼라이먼트 카메라와, 상기 프로브 블록과 상기 얼라이먼트 카메라를 일체로 지지하는 프로브 베이스를 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 상기 얼라이먼트 카메라로 상기 얼라이먼트 마크를 촬영 하여, 이 얼라이먼트 마크와 기준점 간의 편차량이 제로가 되도록 조정하여, 상기 접촉자를 상기 단자에 정확히 맞춘다.

상기 선단측 이동 블록은, 상기 프로브 유닛을 지지하는 지지판과, 상기 기단측 이동 블록 측에 연결하여 상하로 이동하는 선단측 연결 블록, 상기 선단측 연결 블록 측에 설치되어 상기 기단측 이동 블록 측에 끼워져서 비스듬히 이동하는 가이드, 상기 선단측 이동 블록의 이동을 규제하는 이동규제 롤러, 상기 선단측 이동 블록에 설치되어 상기 선단측 이동 블록을 위쪽으로 힘을 가하는 스프링을 그 위쪽 끝에서 지지하는 상단측(上端側) 스프링 수용부를 구비하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 선단측 연결 블록의 가이드가 상기 기단측 이동 블록 측에 끼워 맞춰져서, 기단측 이동 블록에 밀려남으로써, 상기 이동규제 롤러에 의해 이동이 규제되어 상기 선단측 이동 블록이 상하로 이동된다.

상기 기단측 이동 블록은, 전체를 지지하는 이동 베이스 판과, 상기 이동 베이스 판의 방출방향(내보냄 방향)을 따라 2개 배치된 레일과, 상기 레일에 방출방향으로 슬라이드 가능하도록 지지된 이동판과, 상기 이동판의 아래쪽 면에 설치되어 상기 레일에 끼워 맞춰져서 상기 이동판을 슬라이드 가능하도록 지지하는 가이드와, 상기 선단측 이동 블록의 상기 선단측 연결 블록과 협동하여 선단측 이동 블록을 상하로 이동시키는 기단측 연결 블록과, 상기 기단측 연결 블록의 경사진 접촉면에 설치되어 상기 선단측 이동 블록의 상하로의 이동을 안내하는 경사 레일과, 상기 이동판의 상단측 스프링 수용부와 마주보는 위치에 설치되어 상기 선단측 이 동 블록을 위쪽으로 힘을 가하는 스프링을 그 아래쪽에서 지지하는 하단측(下端側) 스프링 수용부와, 상기 이동판 측에 접촉함으로써, 상기 프로브 블록의 앞쪽 끝의 접촉자가 상기 검사대상판의 전극의 바로 위까지 이동하고, 게다가 아래쪽으로 강하되어 상기 검사대상판의 전극에 접촉하고 오버드라이브가 걸리는 제2 스토퍼와, 상기 이동판의 양끝에 각각 설치되고, 상기 제2 스토퍼에 맞닿음으로써 상기 제2 스토퍼와 협동하여 상기 이동판의 이동량을 규제하는 접촉부와, 상기 이동판에 연결되어 이 이동판을 앞쪽으로 내보내는 방출기구와, 상기 방출기구에 의해 상기 이동판의 상기 검사대상판 측으로의 방출량을 규제함과 동시에, 상기 선단측 이동 블록의 스프링에 의한 상승 위치를 규제하는 제3 스토퍼를 구비하여 구성되는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의해, 상기 방출기구로 상기 이동판을, 상기 제2 스토퍼에 상기 접촉부가 맞닿을때까지 앞쪽으로 내보냄으로써, 상기 프로브 블록의 앞쪽 끝의 접촉자가 상기 검사대상판의 단자의 바로 위까지 이동하고, 게다가 아래쪽으로 강하되어 상기 검사대상판의 단자에 접촉하고 오버드라이브가 걸린다.

상기 위치조정기구는 좌우방향으로 평행하게 2개 배치된 레일과, 상기 레일에 슬라이드 가능하도록 끼워 맞춰져서 이동 베이스 판을 좌우방향으로 슬라이드 가능하도록 지지하는 가이드와, 상기 가이드에 지지된 상기 이동 베이스 판을 좌우방향으로 이동시키는 이동기구를 구비하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 상기 이동기구가 상기 가이드에 지지된 상기 이동 베이스 판을 좌우방향으로 이동시켜서, 상기 접촉자를 상기 단자에 정확하게 맞출 수 있 다.

종류가 다른 상기 검사대상판의 서로 다른 치수에 대응하여, 4장의 프레임 판을 이동시켜서 상기 개구를 조정하는 가동 프레임 기구를 구비하도록 구성하는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의해, 상기 가동 프레임 기구가, 종류가 다른 상기 검사대상판의 서로 다른 치수에 대응하여 프레임 판을 이동시켜서, 상기 검사대상판의 크기에 상기 개구를 조정한다.

종류가 다른 검사대상판의 서로 다른 치수에 대응하여, 개구를 조정함과 동시에, 접촉자의 위치를 조정하여 검사를 행하는 전기 검사 장치에 있어서, 상기 각각의 가동식 프로브 유닛 기구를 구비하는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의해, 서로 다른 치수의 검사대상판으로 교환하는 경우는, 상기 가동식 프로브 유닛 기구로 상기 개구를 조정함과 동시에, 접촉자의 위치를 조정한다.

이하에, 본 발명의 실시형태에 따른 가동식 프로브 유닛 기구를 구비한 전기 검사 장치에 대해, 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 아울러 여기서는, 검사대상판으로서 액정패널을 예로 들어 설명한다. 또한, 점등 검사를 행하는 전기 검사 장치의 전체 구성은 상술한 종래의 전기 검사 장치와 거의 동일하기 때문에, 동일 부분에는 동일 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다. 그리고 본 발명의 특징 부분인 가동식 프로브 유닛 기구를 중심으로 설명한다.

가동식 프로브 유닛 기구(21)는, 도1, 2에 나타낸 바와 같이, 종류가 다른 액정패널(22)의 서로 다른 치수에 대응하여, 워크테이블 베이스(23)의 개구(23A)(도3 참조)를 조정함과 동시에, 프로브 침(도시 생략)의 위치를 조정하기 위한 기구이다. 가동식 프로브 유닛 기구(21)는 전기 검사 장치(1)의 프레임 부분에 고정되는 베이스 판(24)과, 상기 베이스 판(24)에 버팀목(支柱)(25)을 통해 지지된 탑 베이스(26), 상기 베이스 판(24)과 탑 베이스(26) 사이에 설치된 백라이트(27), 및 탑 베이스(26)에 지지된 워크테이블 베이스(23)로 이루어진 토대 위에 설치되어 있다.

가동식 프로브 유닛 기구(21)는 가동 프레임 기구(30)와 콘택트 유닛(31)으로 구성되어 있다.

가동 프레임 기구(30)는 종류가 다른 액정패널(22)의 서로 다른 치수에 대응하여, 프레임 판으로서의 X축 상측 패널받이(75), X축 하측 패널받이(80), Y축 좌측 패널받이(84), Y축 우측 패널받이(90)를 이동시켜서 워크테이블 베이스(23)의 개구(23A)를 조정하기 위한 기구이다. 워크테이블 베이스(23)는, 도3, 4에 나타낸 바와 같이, 사각형 판형으로 형성됨과 동시에, 그 중앙 위치에 사각형 개구(23A)가 설치되어 있다. 가동 프레임 기구(30)는 이 워크테이블 베이스(23)에 겹쳐져서 설치되며, 워크테이블 베이스(23)의 개구(23A)를 덮는 가동 프레임 기구(30)의 개구(30A)(도1 참조)가 액정패널(22)의 크기에 따라 조정되도록 형성되어 있다.

가동 프레임 기구(30)는, 도1~4에 나타낸 바와 같이, Y축 이동기구(33)와 X축 이동기구(34)로 구성되어 있다.

Y축 이동기구(33)는 가동 프레임 기구(30)의 개구(30A)의 Y축 방향(도1의 상하방향)을 조정하기 위한 기구이다. 이 Y축 이동기구(33)는 레일(36), 가이드(37), 상측 베이스 판(38), 하측 베이스 판(39), 및 Y축 구동부(40)로 구성되어 있다.

레일(36)은 워크테이블 베이스(23)에 2개가 설치되어 있다. 구체적으로는, 2개의 레일(36)은 워크테이블 베이스(23)의 개구(23A)를 사이에 두고 X축 방향(도1의 좌우방향)의 양측에 Y축 방향으로 각각 나란히 설치되어 있다.

가이드(37)는 각각의 레일(36)에 끼워 맞춰져서, Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지되어 있다.

상측 베이스 판(38)은 가이드(37)에 지지되어 Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 설치되어 있다. 하측 베이스 판(39)은 상측 베이스 판(38)과 마찬가지로, 가이드(37)에 지지되어 Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 설치되어 있다. 상측 베이스 판(38)과 하측 베이스 판(39)은 워크테이블 베이스(23)의 개구(23A)를 사이에 두고 양측에 설치되어 있다.

Y축 구동부(40)는 상측 베이스 판(38) 및 하측 베이스 판(39)을 Y축 방향으로 이동시키기 위한 기구이다. 이 Y축 구동부(40)는 상측 베이스 판(38)용과 하측 베이스 판(39)용의 2개가 설치되어 있다. Y축 구동부(40)는 워크테이블 베이스(23)에 상기 레일(36)과 평행하게 설치되어 있다. Y축 구동부(40)는 볼나사(42), 베어링(43), 이동 너트(44), 및 구동 모터(45)로 구성되어 있다.

볼나사(42)는 외주면에 나사산이 새겨진 봉(棒)형 부재이다. 베어링(43)은 볼나사(42)를 그 양쪽 끝에서 회전 가능하도록 지지하기 위한 부재이다. 이 베어 링(43)에 의해 볼나사(42)가 그 양 끝을 회전 가능하게 지지되어 Y축 방향으로 설치되어 있다. 이동 너트(44)는 상측 베이스 판(38) 및 하측 베이스 판(39)을 Y축 방향으로 이동시키기 위한 부재이다. 이 이동 너트(44)는 상측 베이스 판(38) 및 하측 베이스 판(39)에 각각 고정된 상태로 볼나사(42)에 나사결합되어, 이 볼나사(42)의 회전에 의해 Y축 방향으로 이동되도록 형성되어 있다. 구동 모터(45)는 볼나사(42)를 회전 구동하기 위한 모터이다. 구동 모터(45)는 워크테이블 베이스(23) 측에 고정된 상태로 볼나사(42)의 한쪽 끝에 연결되어 있다.

X축 이동기구(34)는 가동 프레임 기구(30)의 개구(30A)의 X축 방향을 조정하기 위한 기구이다. 이 X축 이동기구(34)는, 도2, 3, 5에 나타낸 바와 같이, X축 상측 프레임부(48), X축 하측 프레임부(49), Y축 우측 프레임부(50), Y축 좌측 프레임부(51), X축 하측 구동부(52), 및 X축 상측 구동부(53)로 구성되어 있다. X축 상측 프레임부(48)와 X축 하측 프레임부(49)와 Y축 우측 프레임부(50)와 Y축 좌측 프레임부(51)는, 워크테이블 베이스(23)의 개구(23A)를 덮도록 설치되어 있다.

X축 상측 프레임부(48)는 X축 방향으로 설치된 봉형 부재이다. 이 X축 상측 프레임부(48)는 단면이 C자형으로 형성되어 있다. 구체적으로는, X축 상측 프레임부(48)는 사각형 통형으로 형성되고, 그 안쪽 면(도5의 좌측 아래쪽 면)의 전체 길이에 걸쳐서 슬릿(48A)이 설치되어 있다. X축 상측 프레임부(48) 내부의 위쪽 면에는, 그 전체 길이에 걸쳐서 레일(54)(도2 참조)이 설치되어 있다. X축 상측 프레임부(48)의 한쪽 끝(도5의 오른쪽 끝 부분)에는 2개의 가이드(55)가 설치되어 있다. X축 상측 프레임부(48)의 한쪽 끝은 Y축 방향으로 확대되고, 2개의 가이드(55)가 Y 축 방향으로 직렬로 나란히 설치되어 있다. 이 2개의 가이드(55)에 후술하는 Y축 우측 프레임부(50)의 레일(65)이 끼워 맞춰져서, Y축 우측 프레임부(50)가 X축 상측 프레임부(48)의 한쪽 끝에, Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지되어 있다.

X축 상측 프레임부(48)의 아래쪽 면에는 그 전체 길이에 걸쳐서 레일(56)(도2 참조)이 설치되고, 상측 베이스 판(38)에 설치된 가이드(57)에 끼워 맞춰져 있다. 이에 따라, X축 상측 프레임부(48)는 상측 베이스 판(38)에 대해 X축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지되어 있다.

X축 하측 프레임부(49)는 X축 상측 프레임부(48)와 나란히 X축 방향으로 설치된 봉형 부재이다. 이 X축 하측 프레임부(49)는 X축 상측 프레임부(48)와 마찬가지로 단면이 C자형으로 형성되어 있다. 구체적으로는, X축 하측 프레임부(49)는 사각형 통형으로 형성되며, 그 안쪽(도4의 우측 상단)의 전체 길이에 걸쳐서 슬릿(49A)이 설치되어 있다. X축 하측 프레임부(49) 내부의 위쪽 면에는 그 전체 길이에 걸쳐서 레일(60)이 설치되어 있다.

X축 하측 프레임부(49)의 다른쪽 끝은 Y축 방향으로 확대되고, 2개의 가이드(도시 생략)가 Y축 방향으로 직렬로 나란히 설치되어 있다. 이 2개의 가이드에 후술하는 Y축 좌측 프레임부(51)의 레일(61)이 끼워져서, Y축 좌측 프레임부(51)가 X축 하측 프레임부(49)의 다른쪽 끝에, Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지되어 있다. X축 하측 프레임부(49)의 아래쪽 면에는 그 전체 길이에 걸쳐서 레일(62)이 설치되고, 하측 베이스 판(39)에 설치된 가이드(63)에 끼워 맞춰져 있다. 이에 따라, X축 하측 프레임부(49)는 하측 베이스 판(39)에 대해 X축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지되어 있다.

Y축 우측 프레임부(50)는 Y축 방향으로 설치된 봉형 부재이다. 이 Y축 우측 프레임부(50)는 단면이 거의 사각형으로 형성되어 있다. 구체적으로는, Y축 우측 프레임부(50)는 사각형 봉형으로 형성되고, 그 아래쪽의 전체 길이에 걸쳐서 레일 홈(50A)이 설치되어 있다. 이 레일 홈(50A)에 그 전체 길이에 걸쳐서 레일(65)이 설치되어 있다. 이 레일(65)이 X축 상측 프레임부(48)의 2개의 가이드(55)에 끼워 맞춰져서, Y축 우측 프레임부(50)가 X축 상측 프레임부(48)에 대해 Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지되어 있다.

Y축 우측 프레임부(50)의 한쪽 끝(도5의 우측 아래쪽 끝 부분)에는 X축 하측 프레임부(49)에 대한 걸림고정부(66)가 설치되어 있다. 이 걸림고정부(66)는 Y축 우측 프레임부(50)의 한쪽 끝에서 연장된 하측 판부(67)와 이 하측 판부(67)의 위쪽 면에 설치된 가이드(68)로 구성되어 있다. 그리고 하측 판부(67)가 X축 하측 프레임부(49)의 슬릿(49A)으로부터 내부로 삽입되며, 가이드(68)가 X축 하측 프레임부(49)의 내부 레일(60)에 끼워 맞춰져 있다. 이에 따라, Y축 우측 프레임부(50)가 X축 하측 프레임부(49)에 대해, Y축 방향의 이동이 규제된 상태로 X축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지되어 있다.

Y축 좌측 프레임부(51)는 Y축 우측 프레임부(50)와 마찬가지로, Y축 방향으로 설치된 봉형 부재이다. 이 Y축 좌측 프레임부(51)는 단면이 거의 사각형으로 형성되며, 그 아래쪽의 전체 길이에 걸쳐서 레일 홈(51A)이 설치되어 있다. 이 레일 홈(51A)에 그 전체 길이에 걸쳐서 레일(61)이 설치되어 있다. 이 레일(61)이 X축 하측 프레임부(49)의 2개의 가이드에 끼워 맞춰져서, Y축 좌측 프레임부(51)가 Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지되어 있다.

Y축 좌측 프레임부(51)의 다른쪽 끝에는, X축 상측 프레임부(48)에 대한 걸림고정부(도시 생략)가 설치되어 있다. 이 걸림고정부는 Y축 우측 프레임부(50)의 걸림고정부(66)와 같이 구성되어 있다. 그리고 이 걸림고정부에 의해, Y축 좌측 프레임부(51)가 X축 상측 프레임부(48)에 대해, Y축 방향의 이동이 규제된 상태로 X축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지되어 있다.

X축 하측 구동부(52)는, X축 하측 프레임부(49)를 X축 방향으로 이동시키기 위한 장치이다. X축 하측 구동부(52)는 볼나사(70), 베어링(71), 이동 너트(72), 및 구동 모터(73)로 구성되어 있다.

볼나사(70)는 외주면에 나사산이 새겨진 봉형 부재이다. 이 볼나사(70)는 하측 베이스 판(39)에 X축 방향을 향해 설치되어 있다. 베어링(71)은 볼나사(70)를 그 양쪽 끝에서 회전 가능하도록 지지하기 위한 부재이다. 이동 너트(72)는 X축 하측 프레임부(49)를 X축 방향으로 이동시키기 위한 부재이다. 이 이동 너트(72)는 X축 하측 프레임부(49)에 고정된 상태로 볼나사(70)에 나사결합되어, 이 볼나사(70)의 회전에 의해 X축 방향으로 이동되도록 형성되어 있다. 구동 모터(73)는 볼나사(70)를 회전 구동하기 위한 모터이다. 구동 모터(73)는 베어링(71)에 고정된 상태로 나사(70)의 한쪽 끝에 연결되어 있다.

X축 상측 구동부(53)는, X축 상측 프레임부(48)를 X축 방향으로 이동시키기 위한 장치이다. X축 상측 구동부(53)는 X축 하측 구동부(52)와 마찬가지로, 볼나 사, 베어링, 이동 너트, 및 구동 모터(모두 도시 생략)로 구성되어 있다.

X축 상측 프레임부(48)에는, X축 상측 패널받이(75)가 설치되어 있다. X축 상측 패널받이(75)는 검사대상인 액정패널(22)을 수용함과 동시에 콘택트 유닛(31)을 지지하기 위한 프레임 판이다. 이 X축 상측 패널받이(75)는 패널받이부(76)와 콘택트 유닛 지지부(77)로 구성되어 있다.

패널받이부(76)는 검사대상인 액정패널(22)을 지지하기 위한 부분이다. 이 패널받이부(76)는 X축 상측 패널받이(75)의 앞쪽 끝(액정패널(22) 측) 부분을 융기(隆起)시켜서 설치되어 있다. 패널받이부(76)에는 세 군데에 패널 위치결정용 패널 푸셔(78)가 설치되어 있다.

콘택트 유닛 지지부(77)는 콘택트 유닛(31)을 장치하기 위한 평탄면 형상의 부분이다. 이 콘택트 유닛 지지부(77)는 패널받이부(76)의 바닥쪽 끝에 형성되어 있다.

X축 하측 프레임부(49)에는, X축 하측 패널받이(80)(도1 참조)가 설치되어 있다. X축 하측 패널받이(80)는 검사대상인 액정패널(22)을 수용하기 위한 프레임 판이다. 이 X축 하측 패널받이(80)는 패널받이부(81)를 구비하여 구성되어 있다. 패널받이부(81)에는 세 군데에 패널 위치결정 핀(82)이 설치되어 있다.

Y축 좌측 프레임부(51)에는, Y축 좌측 패널받이(84)가 설치되어 있다. Y축 좌측 패널받이(84)는 검사대상인 액정패널(22)을 수용함과 동시에 콘택트 유닛을 지지하기 위한 프레임 판이다. 이 Y축 좌측 패널받이(84)는 패널받이부(85)와 콘택트유닛 지지부(86)로 구성되어 있다.

패널받이부(85)는 검사대상인 액정패널(22)을 지지하기 위한 프레임 판이다. 이 패널받이부(85)는 Y축 좌측 패널받이(84) 중 앞쪽 끝(액정패널(22) 측)의 부분을 융기시켜서 설치되어 있다. 패널받이부에는 세 군데에 패널 위치결정용 패널 푸셔(87)가 설치되어 있다.

콘택트 유닛 지지부(86)는 콘택트 유닛(31)을 장치하기 위한 평탄면 형상의 부분이다. 이 콘택트 유닛 지지부(86)는 패널받이부(85)의 바닥쪽 끝에 형성되어 있다.

Y축 우측 프레임부(50)에는 Y축 우측 패널받이(90)가 설치되어 있다. Y축 우측 패널받이(90)는 검사대상인 액정패널(22)을 수용하기 위한 프레임 판이다. 이 Y축 우측 패널받이(90)는 패널받이부(91)를 구비하여 구성되어 있다. 패널받이부(91)에는 세 군데에 패널 위치결정 핀(92)이 설치되어 있다.

콘택트 유닛(31)은 프로브 침(도시 생략)을 지지하여 액정패널(22)의 다수의 전극(단자)(22A)에 꼭 들어맞도록 위치조정하여 접촉시키기 위한 기구이다. 이 콘택트 유닛(31)은 가동 프레임 기구(30)의 각 패널받이에 일체로 설치되어 있다. 이에 따라, 워크테이블 베이스(23)와 프로브 유닛(95)이 일체형 장치로서 구성된다. 콘택트 유닛(31)은, 도6~8에 나타낸 바와 같이, 프로브 유닛(95), 선단측 이동 블록(96), 기단측 이동 블록(97), 및 위치조정기구(98)로 구성되어 있다.

프로브 유닛(95)은 다수의 프로브 침을 지지하여 액정패널(22)의 단자(22A)에 접촉시키기 위한 부재이다. 이 프로브 유닛(95)은 프로브 베이스(100)와, 프로브 블록(101)과, 얼라이먼트 카메라(102)로 구성되어 있다.

프로브 베이스(100)는 프로브 블록(101)과 얼라이먼트 카메라(102)를 일체로 지지하는 판형 부재이다. 이 프로브 베이스(100)가 선단측 이동 블록(96)에 설치된다.

프로브 블록(101)은 그 앞쪽 끝에 다수의 프로브 침(도시 생략)을 지지하여, 액정패널(22)의 각 단자(22A)에 각각 접촉시키기 위한 부재이다. 프로브 블록(101)은 측면의 형상이 L자형으로 형성되어 있다. 이 L자형 프로브 블록(101)은 그 바닥쪽 끝이 프로브 베이스(100)에 지지되고, 앞쪽 끝이 프로브 베이스(100)로부터 아래쪽(장착된 액정패널 측)으로 연장되도록 구성되어 있다. 프로브 블록(101)은 액정패널의 단자 수에 맞춘 개수만큼 설치된다. 본 실시형태에서는 3개의 프로브 블록이 프로브 베이스(100)에 설치되어 있으나, 1개, 2개 또는 4개 이상의 프로브 블록(101)이 프로브 베이스(100)에 설치되는 경우도 있다. 각 프로브 블록(101)은 프로브 베이스(100)의 설정 위치에 설치된다.

얼라이먼트 카메라(102)는 프로브 블록의 앞쪽 끝의 프로브 침을 액정패널의 단자 위치에 정확히 맞추기 위한 얼라이먼트 마크(22B)를 촬영하기 위한 카메라이다. 이 얼라이먼트 카메라(102)는 프로브 베이스(100)의 설정 위치에 설치되어 있다. 이에 따라, 얼라이먼트 카메라(102)가 액정패널(22)의 얼라이먼트 마크(22B)(도12 참조)에 대응하여 자신의 위치를 조정함으로써, 이 얼라이먼트 카메라(102)에 대해 설정 간격으로 설치된 각 프로브 블록(101)의 위치를 액정패널의 단자에 꼭 들어맞는 위치로 조정할 수 있게 되어 있다.

이 때, 프로브 베이스(100)에 설치되는 프로브 블록(101)의 개수는 각 프로 브 블록(101)의 설치 간격에 따라 설정된다. 액정패널(22)의 열팽창에 의한 변화량(단자(22A)의 이동량)은 길이(간격)에 비례하기 때문이다. 액정패널(22)의 치수가 커지면, 그 치수에 비례하여 열팽창량(단자(22A)의 이동량)이 변화한다. 예를 들어, 동일한 열팽창 계수의 액정패널의 경우, 치수가 2배가 되면, 열팽창량도 2배가 된다. 도13에 나타낸 바와 같이, 6개의 프로브 블록(101)을 설치한 경우로서 프로브 블록(101)의 개수에 변화가 없다고 한다면, 액정패널의 치수가 2배가 되면 각 프로브 블록(101)의 간격은 2배가 된다. 이에 따라, 얼라이먼트 카메라(102) 옆의 프로브 블록(101)과 가장 멀리 떨어진 프로브 블록(101)과의 간격도 2배가 된다.

그리고 프로브 베이스(100)는 열에 의한 영향을 거의 받지 않기 때문에, 열팽창은 거의 없으나, 액정패널(22)은 열팽창량이 2배가 된다. 즉, 얼라이먼트 카메라(102) 옆의 프로브 블록(101)의 프로브 침과 그것에 대응하는 단자(22A)를 정확하게 맞추면, 얼라이먼트 카메라(102)와 가장 멀리 떨어진 프로브 블록(101)과 그것에 대응하는 단자(22A)가 크게 어긋나 버린다. 이것은, 프로브 블록(101) 측에서는 얼라이먼트 카메라(102) 옆의 프로브 블록(101)과 가장 멀리 떨어진 프로브 블록(101) 간의 간격이 거의 변화하지 않는데 반해, 액정패널(22) 측에서는 프로브 베이스(100)의 양측의 각 프로브 블록(101)에 대응하는 각 단자(22A) 간은, 액정패널의 치수가 2배가 됨에 따라, 그 열팽창량이 2배가 되기 때문이다.

이 결과, 도13의 A점과 같이, 프로브 침과 단자(22A)가 완전히 어긋나 버리는 경우가 있다. 이 경우, 프로브 베이스(100)에서 모든 프로브 블록(101)을 동시에 위치를 옮기더라도 각 프로브 침을 각 단자(22A)에 정확하게 맞추는 것은 불가 능하다.

이 때문에, 각 프로브 블록(101)은 도13과 같이 전부를 일체로 설치하는 것이 아니라, 도14와 같이 3개씩 별도로 설치한다. 즉 1개의 콘택트 유닛(31)에 3개의 프로브 블록(101)을 설치한다. 아울러, 열팽창량은 백라이트(27)의 발열량이나, 액정패널(22)의 치수 등에 따라 다르기 때문에, 여러 조건에 따라 프로브 베이스(100)에 설치되는 프로브 블록(101)의 개수를 1개, 2개 또는 4개 이상으로 설정하는 경우도 있다.

콘택트 유닛(31)이 2개 설치되는 경우는, 도14에 나타낸 바와 같이, 2개의 프로브 유닛(95)이 각각 설치되고, 각 프로브 유닛(95)의 얼라이먼트 카메라(102)가 각각의 프로브 유닛(95)을 위치조정하여, 각 프로브 블록(101)의 프로브 침을 각각의 단자(22A)에 정확하게 맞춤으로써, 액정패널(22)의 열팽창을 흡수한다.

선단측 이동 블록(96)은 프로브 유닛(95)을 지지하여 프로브 침을 액정패널(22)의 각 단자(22A)에 접촉시키기 위한 부재이다. 선단측 이동 블록(96)은 지지판(105), 선단측 연결 블록(106), 가이드(107), 이동규제 롤러(108), 및 상단측 스프링 수용부(109)로 구성되어 있다.

지지판(105)은 프로브 유닛(95)을 지지하기 위한 판형 부재이다. 이 지지판(105)은 단면이 L자형으로 형성되며, 프로브 유닛(95)이 설치되어 있다. 구체적으로는, 프로브 유닛(95)의 프로브 베이스(100)의 아랫면과 배면이, 단면이 L자형인 지지판(105)에 직접적으로 맞닿아서, 프로브 침의 두 방향의 위치결정이 이루어진다. 즉, 지지판(105)에 대한 프로브 침의 방출방향(도8의 오른쪽 방향)의 위치와 지지판(105)에 대한 프로브 침의 상하방향의 위치의, 프로브 침의 두 방향의 위치결정이 이루어진다. 이에 따라, 상기 위치조정기구(98)로 프로브 유닛(95)의 길이방향(도11의 좌우방향)의 위치결정이 이루어짐으로써, 프로브 침의 XYZ방향의 위치결정이 이루어지도록 형성되어 있다. 이에 따라, 선단측 이동 블록(96)이 내보내진 최종 위치(도10의 위치)에서, 프로브 침이 액정패널(22)의 단자(22A)에 정확하게 위치결정되어 접촉하도록 형성되어 있다.

선단측 연결 블록(106)은 후술하는 기단측 이동 블록(97)의 기단측 연결 블록에 연결하여 상하로 이동하도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 선단측 연결 블록(106)은 쐐기형으로 형성되어 지지판(105)의 배면(도8에서 왼쪽 면)에 일체로 설치되고, 기단측 연결 블록(119)과의 접촉면이 비스듬히(도8에 있어서의 위쪽 끝이 오른쪽으로 기울어진 상태) 되도록 설정되어 있다.

가이드(107)는 후술하는 기단측 이동 블록(97)의 기단측 연결 블록(119)의 경사 레일(120)에 끼워 맞춰져 비스듬히 이동하게 되어 있다. 가이드(107)는 선단측 연결 블록(106)의 경사면에 설치되고, 기단측 연결 블록(119)의 경사 레일(120)에 끼워 맞춰져 비스듬히 이동함으로써 선단측 연결 블록(106)을 상하로 이동시키도록 형성되어 있다.

이동규제 롤러(108)는 선단측 이동 블록(96)의 이동을 규제하기 위한 롤러이다. 이 이동규제 롤러(108)는 수평방향으로 설치된 지지 기둥(111)의 앞쪽 끝에 설치되어 있다. 이동규제 롤러(108)는 후술하는 기단측 이동 블록(97)의 제3 스토퍼(125)에 맞닿음으로써, 선단측 이동 블록(96)의 방출방향의 이동을 규제함과 동 시에, 선단측 이동 블록(96)의 상하방향의 이동을 허용한다. 게다가, 이동규제 롤러(108)가 기단측 이동 블록(97)의 제3 스토퍼(125)에 맞닿음으로써, 프로브 침이 액정패널(22)의 단자(22A)의 바로 위까지 이동하여 정지하도록 설정되어 있다.

상단측 스프링 수용부(109)는 선단측 이동 블록(96)에 설치되어, 이 선단측 이동 블록(96)을 위쪽으로 힘을 가하는 스프링(126)을 그 위쪽 끝에서 지지하기 위한 부재이다. 이 상단측 스프링 수용부(109)로 스프링(126)의 위쪽 끝을 지지함으로써, 이 스프링(126)의 가압력에 의해 선단측 이동 블록(96)이 위쪽으로 힘을 받도록 형성되어 있다.

기단측 이동 블록(97)은 선단측 이동 블록(96)을 지지하여 내보내고, 프로브 유닛(95)의 앞쪽 끝의 프로브 침을 액정패널(22)의 단자(22A)에 접촉시키기 위한 기구이다. 이 기단측 이동 블록(97)은 이동 베이스 판(115), 레일(116), 가이드(117), 이동판(118), 기단측 연결 블록(119), 경사 레일(120), 하단측 스프링 수용부(121), 제2 스토퍼(122), 접촉부(123), 방출기구(124)(복동 실린더), 및 제3 스토퍼(125)로 구성되어 있다.

이동 베이스 판(115)은 전체를 지지하기 위한 판형 부재이다. 이동 베이스 판(115)은 위치조정기구(98)에 지지되어 있다. 레일(116)은 이동 베이스 판(115)의 방출방향을 따라 2개가 설치되어 있다. 가이드(117)는 이동판(118)의 아래쪽 면에 설치되어 있다. 가이드(117)는 레일(116)에 슬라이드 가능하도록 끼워 맞춰져서 이동판(118)을 지지하고 있다. 이동판(118)은 액정패널(22) 측으로 내보내지는 판형 부재이다. 이 이동판(118)은 단면이 L자형으로 형성되고, 그 평판부(118A)의 아래 쪽 면에 가이드(117)가 설치되어 있다. 이에 따라, 이동판(118)은 레일(116)에 지지된 가이드(117)를 통해 방출방향으로 슬라이드 가능하도록 지지되어 있다.

기단측 연결 블록(119)은 상기 선단측 이동 블록(96)의 선단측 연결 블록(106)과 협동하여 선단측 이동 블록(96)을 상하로 이동시키기 위한 부재이다. 이 기단측 연결 블록(119)은 이동판(118)의 세로 판부(118B) 중, 상기 선단측 이동 블록(96)의 선단측 연결 블록(106)과 마주 보는 위치에 각각 설치되어 있다. 기단측 연결 블록(119)은 쐐기형으로 형성되어, 선단측 연결 블록(106)의 접촉면에 꼭 들어맞도록 경사진 접촉면을 구비하고 있다.

경사 레일(120)은 상기 선단측 이동 블록(96)의 상하로의 이동을 안내하기 위한 레일이다. 이 경사 레일(120)은 기단측 연결 블록(119)의 경사진 접촉면에 설치되어 있다.

하단측 스프링 수용부(121)는 선단측 이동 블록(96)을 위쪽으로 힘을 가하는 스프링(126)을 그 아래쪽에서 지지하기 위한 부재이다. 이 하단측 스프링 수용부(121)는 이동판(118)의 세로 판부(118B)의 하부에 있어서, 상기 상단측 스프링 수용부(109)와 마주 보는 위치에 설치되어 있다. 그리고 하단측 스프링 수용부(121)는 스프링(126)의 아래쪽 끝을 지지함으로써, 이 스프링(126)에 가압력에 의해 상단측 스프링 수용부(109)를 통하여 선단측 이동 블록(96)을 위쪽으로 힘을 가하도록 형성되어 있다.

제2 스토퍼(122)는 이동판(118)의 이동을 규제하기 위한 스토퍼이다. 이 제2 스토퍼(122)의 위치는 이동판(118)의 접촉부(123)에 맞닿음으로써, 프로브 블 록(101)의 앞쪽 끝의 프로브 침이 액정패널(22)의 단자(22A)의 바로 위까지 이동하고, 게다가 아래쪽으로 강하되어 액정패널(22)의 단자(22A)에 접촉하고 오버드라이브가 걸리도록 설정되어 있다.

접촉부(123)는 제2 스토퍼(122)와 협동하여 이동판(118)의 이동을 규제하기 위한 부재이다. 접촉부(123)는 이동판(118)의 양쪽 끝에 각각 설치되고, 각각의 제2 스토퍼(122)에 각각 맞닿음으로써, 상술한 바와 같이 이동판(118)의 이동량을 규제하고 있다.

방출기구(124)는 이동판(118)을 앞쪽으로 내보내기 위한 기구이다. 이 방출기구(124)는 복동 실린더에 의해 구성되어 있다. 복동 실린더는 이동 베이스 판(115)에 고정되어, 이 복동 실린더의 연결봉이 이동판(118)에 연결되어, 이 연결봉의 복동 실린더로부터의 출몰 동작에 의해 이동판(118)을 이동시키게 되어 있다.

제3 스토퍼(125)는 이동판(118)의 액정패널(22) 측으로의 방출량을 규제함과 동시에, 선단측 이동 블록(96)의 스프링(126)에 의한 상승 위치를 규제하기 위한 부재이다. 제3 스토퍼(125)는 규제 버팀목부(125A)와 규제 롤러부(125B)로 구성되어 있다. 규제 버팀목부(125A)는 수직방향으로 설치되어, 이동 베이스 판(115)에 고정되어 있다. 이 규제 버팀목부(125A)에 이동규제 롤러(108)가 맞닿음으로써, 선단측 이동 블록(96)의 액정패널(22) 측으로의 방출량이 규제됨과 동시에, 선단측 이동 블록(96)의 상하방향으로의 이동이 허용된다. 규제 롤러부(125B)는 규제 버팀목부(125A)의 위쪽 끝에 설치되고, 선단측 이동 블록(96)의 지지 기둥(111)에 맞닿게 되어 있다. 이 규제 롤러부(125B)가 지지 기둥(111)에 맞닿음으로써, 스프 링(126)에 의해 들어올려지는 선단측 이동 블록(96)의 상한을 규제하고 있다.

위치조정기구(98)는 이동 베이스 판(115)을 통해 프로브 유닛(95)을 좌우방향(액정패널(22)의 한 변을 따르는 프로브 유닛의 길이방향)으로 이동시키기 위한 구동기구이다. 이 위치조정기구(98)는 액정패널(22)의 열팽창이나 종류의 차이에 의한 각 단자(22A)의 편차를, 프로브 유닛(95)의 위치조정에 의해 흡수한다. 위치조정기구(98)는 레일(131)과, 가이드(132)와, 이동기구(133)로 구성되어 있다. 레일(131)은 패널받이(75, 84)에 그 좌우방향으로 평행하게 2개가 설치되어 구성되어 있다. 가이드(132)는 레일(131)에 슬라이드 가능하도록 끼워 맞춰져 있다. 이 가이드(132)가 이동 베이스 판(115)에 설치되어, 이동 베이스 판(115)을 좌우방향으로 슬라이드 가능하도록 지지하고 있다. 이동기구(133)는 이동 베이스 판(115)을 좌우방향으로 이동시키기 위한 기구이다. 이 이동기구(133)는 볼나사(135), 베어링(136), 이동 너트(137), 및 구동 모터(138)로 구성되어 있다.

볼나사(135)는 외주면에 나사산이 새겨진 봉형 부재이다. 베어링(136)은 볼나사(135)를 그 양측에서 회전 가능하도록 지지하기 위한 부재이다. 이동 너트(137)는 이동 베이스 판(115)을 좌우방향으로 이동시키기 위한 부재이다. 이 이동 너트(137)는 이동 베이스 판(115)에 고정된 상태로 볼나사(135)에 나사결합되어, 이 볼나사(135)의 회전에 의해 좌우방향으로 이동되도록 형성되어 있다. 구동 모터(138)는 볼나사(135)를 회전 구동하기 위한 모터이다. 구동 모터(138)는 베어링(136)에 고정된 상태로 볼나사(135)의 한쪽 끝에 연결되어 있다.

상기 각 구동 모터 등은, 제어부(도시 생략)에 각각 접속되어, 제어부에서 구동량이 정확하게 제어되도록 형성되어 있다. 이 제어부에서의 제어 방법으로서는, 자동제어와 수동제어가 있다. 자동제어의 경우는, 액정패널(22)의 종류에 따라 각 구동 모터의 제어량이 이미 프로그램화 되고, 이 프로그램에 의해 각 구동 모터가 제어된다. 수동제어의 경우는 액정패널(22)의 종류에 따라 각 구동 모터의 제어량을 작업자가 순차 입력하여, 각 구동 모터가 제어된다. 또한, 위치조정기구(98)의 구동 모터(138)는 프로브 유닛(95)의 얼라이먼트 카메라(102)와 연결되고, 얼라이먼트 카메라(102)의 기준점과 액정패널(22)의 얼라이먼트 마크(22B)와의 편차량이 제로가 되도록, 자동제어 또는 수동제어 된다.

[동작]

이상과 같이 구성된 전기검사장치는 다음과 같이 작동한다.

종류가 다른 액정패널(22)을 검사하는 경우는, 우선 가동식 프로브 유닛 기구(21)의 가동 프레임 기구(30)가 액정패널(22)의 치수에 맞춰진다. 가동 프레임 기구(30)는 Y축 이동기구(33)와 X축 이동기구(34)가 작동하여, 개구(30A)가 액정패널(22)의 크기에 맞게 조정된다.

Y축 이동기구(33)에서는, Y축 구동부(40)의 구동 모터(45)가 작동되어, 볼나사(42)와 이동 너트(44)를 통해서, 상측 베이스 판(38)과 하측 베이스 판(39)이 Y축 방향으로 설정량 만큼 이동된다. 이에 따라, 상측 베이스 판(38)과 하측 베이스 판(39)이 각각 설치된 X축 상측 패널받이(75)와 X축 하측 패널받이(80)의 간격이 액정패널(22)에 맞춰진다.

이 때, Y축 좌측 패널받이(84)는 X축 상측 패널받이(75) 측에 밀려서 Y축 방향의 아래쪽으로 이동함과 동시에, X축 하측 패널받이(80)의 Y축 방향 위쪽으로 이동을 허용한다. 즉, Y축 좌측 패널받이(84)를 지지하는 Y축 좌측 프레임부(51)가, X축 상측 패널받이(75)를 지지하는 X축 상측 프레임부(48)에 밀려서 Y축 방향 아래쪽으로 이동하여, Y축 좌측 패널받이(84)를 Y축 방향 아래쪽으로 이동시킨다. X축 하측 패널받이(80)를 지지하는 X축 하측 프레임부(49)는 Y축 좌측 프레임부(51)에 대해 Y축 방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있기 때문에, Y축 좌측 프레임부(51)가 X축 상측 프레임부(48)에 의해 밀려서 Y축 방향 아래쪽으로 이동함으로써 Y축 좌측 패널받이(84)를 Y축 방향 아래쪽으로 이동시키고, Y축 좌측 프레임부(51)에 대해 Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지된 X축 하측 프레임부(49)를 Y축 방향 위쪽으로 이동함으로써 X축 하측 패널받이(80)를 Y축 방향 위쪽으로 이동시킨다.

Y축 우측 패널받이(90)의 경우도 Y축 좌측 패널받이(84)와 마찬가지로, X축 하측 패널받이(80) 측에 밀려서 Y축 방향 위쪽으로 이동함과 동시에, X축 상측 패널받이(75)의 Y축 방향 아래쪽으로의 이동을 허용한다.

이에 따라, X축 상측 패널받이(75)와 X축 하측 패널받이(80)와의 간격이, 액정패널(22)의 Y축 방향의 치수에 정확히 맞춰진다.

다음에, X축 이동기구(34)의 X축 하측 구동부(52)의 구동 모터(73)가 작동되어, 볼나사(70)와 이동 너트(72)를 통해 X축 하측 프레임부(49)가 X축 방향으로 이동된다. 이에 따라, X축 하측 프레임부(49)에 끌어당겨져서 Y축 좌측 프레임부(51) 가 X축 방향으로 이동된다. 한편, Y축 우측 프레임부(50)는 X축 하측 프레임부(49)의 이동과 역방향으로 이동된다.

X축 이동기구(34)의 X축 상측 구동부(53)의 구동 모터(도시 생략)가 작동되어, 볼나사와 이동 너트를 통해 X축 상측 프레임부(48)가 X축 방향으로 이동된다. 이에 따라, X축 상측 프레임부(48)에 끌어당겨져서 Y축 우측 프레임부(50)가 X축 방향으로 이동된다. 한편, Y축 좌측 프레임부(51)는 X축 상측 프레임부(48)의 이동과 역방향으로 이동된다.

이에 따라, Y축 좌측 패널받이(84)와 Y축 우측 패널받이(90)가 액정패널(22)의 X축 방향의 치수에 정확하게 맞춰진다.

이 상태에서, X축 상측 패널받이(75)의 패널 푸셔(78)와, Y축 좌측 패널받이(84)의 패널 푸셔(87)와, X축 하측 패널받이(80)의 패널 위치결정 핀(82)과, Y축 우측 패널받이(90)의 패널 위치결정 핀(92)으로, 액정패널(22)이 정확한 위치에 정확히 맞춰져서 지지된다.

이어서, 가동식 프로브 유닛 기구(21)로 프로브 침과 액정패널(22)의 단자(22A)의 위치조정이 행해진다. 이 경우에 있어서, 프로브 침의 방출방향과 높이방향은 X축 상측 패널받이(75)와 Y축 좌측 패널받이(84)가 위치조정된 시점에서 동시에 위치조정 된다. 즉, 액정패널(22)이 X축 상측 패널받이(75)의 패널 푸셔(78)와 Y축 좌측 패널받이(84)의 패널 푸셔(87)에 맞닿는 것이, 콘택트 유닛(31)과 액정패널(22)의 방출방향으로 간격이 설정치가 되고, 프로브 침의 방출방향의 위치조정이 이루어진다. 또한, 액정패널(22)이 X축 상측 패널받이(75)의 패널받이부(76) 와 Y축 좌측 패널받이(84)의 패널받이부(85)에 올려져서 설치됨으로써, 콘택트 유닛(31)과 액정패널(22)의 상하방향으로 간격이 설정치가 되고, 프로브 침의 상하방향의 위치조정이 이루어진다.

이 때문에, 콘택트 유닛(31)은 주로 프로브 침의 좌우방향으로 위치조정이 행해진다. 구체적으로는, 도11, 12에 나타낸 바와 같이, 프로브 유닛(95)의 얼라이먼트 카메라(102)가 액정패널(22)의 얼라이먼트 마크(22B)를 촬영하여, 화상 처리 등에 의해 기준점과의 편차량을 측정하고, 그 편차량이 제로가 되도록 구동 모터(138)를 제어한다. 이에 따라, 볼나사(135)가 설정 각도(편차량을 제로로 하는 각도)만큼 회전하여 이동 너트(137)를 설정량 만큼 이동시킨다. 이에 따라, 이동 베이스 판(115)이 좌우로 설정량 만큼 이동하여, 프로브 블록(101)의 프로브 침이 액정패널(22)의 단자(22A)에 정확히 맞춰진다.

이 콘택트 유닛(31)의 프로브 침의 좌우방향의 위치조정은 종류의 교환 시에 행해짐과 동시에, 액정패널(22)의 열팽창에 의해서 단자(22A)가 어긋났을 때에도 행해진다. 얼라이먼트 카메라(102)로 상시 감시하여, 제어부에 의한 제어를 통해 항상 미세 조정하도록 설정해도 좋다. 특히, 액정패널(22)은 설치 직후와 백라이트(27)로 열이 가해진 후에는, 열팽창에 의해 치수가 변경되어 버리기 때문에, 얼라이먼트 카메라(102)로 상시 또는 정기적으로 감시하여, 프로브 침의 위치를 상시 또는 정기적으로 미세하게 조정하도록 설정함으로써, 열팽창에 의한 영향을 흡수하여, 각 프로브 침을 각 단자(22A)에 대해 정확한 위치로 조정할 수 있다. 아울러, 열팽창이 예상되는 위치에 미리 조정해 두는 경우도 있다.

이어서, 프로브 침을 액정패널(22)의 단자(22A)에 접촉시켜서 검사가 행해진다.

이 경우는, 우선 도8의 후퇴 상태에서, 기단측 이동 블록(97)의 방출기구(124)로 선단측 이동 블록(96)을 액정패널(22) 측으로 내보낸다. 구체적으로는, 방출기구(124)로 이동판(118)을 밀어낸다. 이에 따라, 도9에 나타낸 바와 같이, 선단측 이동블록(96)의 이동규제 롤러(108)가 제3 스토퍼(125)의 규제 버팀목부(125A)에 맞닿을 때 까지 이동판(118)이 밀려나고, 맞닿는데서 선단측 이동 블록(96)의 방출은 정지한다.

게다가, 방출기구(124)로 이동판(118)을 밀어 내면, 기단측 연결 블록(119)의 경사 레일(120)에 끼워 맞춘 선단측 연결 블록(106)의 가이드(107)가 경사를 따라 아래쪽으로 밀려나고, 제3 스토퍼(125)의 규제 버팀목부(125A)에 맞닿은 이동규제 롤러(108)에 지지되어, 선단측 이동 블록(96)이 아래쪽으로 강하한다. 이 선단측 이동 블록(96)은 이동판(118)의 접촉부(123)가 제2 스토퍼(122)에 맞닿을때 까지 강하하여, 프로브 침이 액정패널(22)의 단자(22A)에 접촉하고, 오버드라이브가 걸린다.

이 상태에서, 점등 시험이 행해진다.

점등 시험이 종료하면, 상기 공정을 역으로 거슬러 올라가 대기 상태로 되돌린다.

[효과]

상술한 바와 같이, 프로브 유닛(95)은 그 얼라이먼트 카메라(102)로 액정패널(22)의 얼라이먼트 마크(22B)를 촬영하여, 이 얼라이먼트 마크(22B)를 기준으로 프로브 유닛(95)을 좌우방향으로 이동시켜서, 프로브 침을 액정패널(22)의 각 단자(22A)에 정확하게 맞추기 때문에, 액정패널(22)의 열팽창에 의한 각 단자(22A)의 편차나, 액정패널(22)의 종류의 교환에 의한 각 단자(22A)의 편차를 흡수하여, 각 프로브 침을 각 단자(22A)에 정확하게 맞출 수 있다.

또한, 가동 프레임 기구(30)로, 종류가 다른 액정패널(22)의 서로 다른 치수에 대응하여, 워크테이블 베이스(23)의 개구(23A)를 조정할 수 있도록 했기 때문에, 종류가 다른 액정패널(22)에 대응하여 워크테이블 등을 교환할 필요가 없어지고, 종류가 다른 액정패널(22)에 신속하게 대응할 수 있게 된다. 이 결과, 액정패널(22)의 종류 교환 시의 작업성이 대폭 향상된다.

프로브 유닛(95)이 블록 단위의 구조가 되기 때문에, 중량물의 교환 작업이 불필요하게 되고, 액정패널(22)의 종류 교환 시의 작업성이 대폭 향상된다.

대형 액정패널(22)에 대해 대형 프로브 유닛 베이스를 제작할 필요가 없어지고, 러닝 코스트의 절감을 도모할 수 있다.

액정패널(22)이 대형화 되어도, 프로브 유닛이나 워크테이블 등을 대형화 할 필요가 없어지기 때문에, 하중의 치우침 등을 고려할 필요가 없어지고, 프레임 강성(剛性), 가이드 강성 등의 각종 강성을 낮게 설계할 수 있게 되며, 장치 전체의 중량의 경감 및 제조 비용의 절감을 도모할 수 있다.

게다가 하중의 치우침 등에 의한 부작용이 작아지기 때문에, 프로브 침과 단 자 간의 콘택트 시의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

콘택트 유닛(31)에 의해 프로브 블록(101)의 프로브 침을 액정패널(22)의 단자(22A)에 대해 정확하게 위치조정 할 수 있기 때문에, 백라이트의 열에 의해 액정패널(22)이 팽창한 경우라도 용이하게 위치조정하여 대응할 수 있다.

상기 가동 프레임 기구(30)는 상기 개구(23A)의 Y축 방향을 조정하는 Y축 이동기구(33)와 상기 개구(23A)의 X축 방향을 조정하는 X축 이동기구(34)를 구비하여 구성됨으로써, 상기 Y축 이동기구(33)로 상기 개구(23A)의 Y축 방향의 조정을 행하고, 상기 X축 이동기구(34)로 상기 개구(23A)의 X축 방향의 조정을 행한다. 이 결과, 상기 개구(23A)는 종류가 다른 액정패널(22)의 서로 다른 치수에 용이하게 대응할 수 있다.

상기 Y축 이동기구(33)는 레일(36), 가이드(37), 상측 베이스 판(38), 하측 베이스 판(39), 및 Y축 구동부(40)를 구비하여 구성되고, 상기 레일(36)은 상기 개구(23A)를 사이에 두고 X축 방향의 양측에 Y축 방향으로 각각 나란히 2개가 설치되고, 상기 가이드(37)는 상기 각 레일(36)에 끼워 맞춰져서 Y축 방향으로 슬라이드 가능하게 지지되며, 상기 상측 베이스 판(38)은 상기 가이드(37)에 지지되어 Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 설치되고, 상기 하측 베이스 판(39)은 상기 상측 베이스 판(38)과 마찬가지로, 상기 가이드(37)에 지지되어 Y축 방향으로 슬라이드 가능하게 설치되며, 상기 Y축 구동부(40)는 상기 상측 베이스 판(38) 및 상기 하측 베이스 판(39)을 Y축 방향으로 이동시키도록 구성하고, 이 구성에 의해, 상기 Y축 구동부(40)에서, 상기 가이드(37)에 지지되어 Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 설치된 상기 상측 베이스 판(38)과, 상기 가이드(37)에 지지되어 Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 설치된 상기 하측 베이스 판(39)을 Y축 방향으로 이동시킴으로써, 상기 개구(23A)의 Y축 방향의 조정을 행한다.

이 결과, 상기 Y축 구동부(40)에서 상기 가이드(37)에 지지되어 Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 설치된 상기 상측 베이스 판(38)과, 상기 가이드(37)에 지지되어 Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 설치된 상기 하측 베이스 판(39)을 Y축 방향으로 이동시킴으로써, 상기 개구(23A)의 Y축 방향의 조정을 행하기 때문에, 상기 개구(23A)의 Y축 방향의 치수를 종류가 다른 액정패널(22)의 서로 다른 치수에 용이하게 대응할 수 있다.

상기 X축 이동기구(50)는, X축 상측 프레임부(48)와, X축 하측 프레임부(49)와, Y축 우측 프레임부(50)와, Y축 좌측 프레임부(51)와, X축 하측 구동부(52)와, X축 상측 구동부(53)로 구성되며, 상기 X축 상측 프레임부(48)는 X축 방향으로 설치되어 X축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지됨과 동시에, 그 한쪽 끝에 상기 Y축 우측 프레임부(50)를 Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지하고, 상기 X축 하측 프레임부(49)는 상기 X축 상측 프레임부(48)와 나란히 X축 방향으로 설치되어 X축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지됨과 동시에, 그 다른쪽 끝에 상기 Y축 좌측 프레임부(51)를 Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지하고, 상기 Y축 우측 프레임부(50)는 Y축 방향으로 설치되어 상기 X축 상측 프레임부(48)에 Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지된 상태로, 그 한쪽 끝이 상기 X축 하측 프레임부(49)에 X축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지되고, 상기 Y축 좌측 프레임부(51)는 상기 Y 축 우측 프레임부(50)와 마찬가지로 Y축 방향으로 설치되어 상기 X축 하측 프레임부(49)에 Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지된 상태에서, 그 다른쪽 끝이 상기 X축 상측 프레임부(48)에 X축 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지되고, 상기 X축 하측 구동부(52)는 상기 X축 하측 프레임부(49)를 X축 방향을 이동시키고, 상기 X축 상측 구동부(53)는 상기 X축 상측 프레임부(48)를 X축 방향으로 이동시킴으로써, 상기 개구(23A)의 X축 방향의 조정을 행한다.

이 결과, 상기 개구(23A)의 X축 방향의 치수를, 종류가 다른 액정패널(22)의 서로 다른 치수에 용이하게 대응할 수 있게 된다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 다음과 같은 효과를 달성할 수 있다.

상기 프로브 유닛은 상기 얼라이먼트 카메라로, 검사대상판의 얼라이먼트 마크를 촬영하여, 상기 구동기구로 상기 프로브 유닛의 길이방향으로 상기 프로브 유닛을 이동시켜서, 상기 프로브 블록의 다수의 접촉자를 검사대상판의 각 전극에 정확히 맞추기 때문에, 검사대상판의 열팽창 등에 의한 각 전극의 각각의 접촉자에 대한 편차를 흡수할 수 있다.

상기 콘택트 유닛의 상기 구동기구가 상기 각 접촉자를 지지하여, 상기 각 접촉자를 상기 검사대상판의 한 변을 따르는 방향으로 이동시키기 때문에, 상기 검 사대상판의 열팽창에 의한 각 전극의 편차나, 검사대상판 종류의 교환에 의한 각 전극의 편차를 흡수하여, 각각의 접촉자를 각 전극에 정확히 맞출 수 있다.

상기 콘택트 유닛이 상기 접촉자를 지지한 상태에서, 상기 접촉자를 상기 검사대상판의 전극에 대해 꼭 들어맞도록 위치조정하여 내보내고, 이 접촉자를 전극에 접촉시키기 때문에, 열팽창에 의한 전극의 위치 편차를 흡수하는 것이 가능함과 동시에, 서로 다른 치수의 검사대상판에 대해 신속하게 종류 교환 작업을 행할 수 있다.

특히, 대형 검사대상판에 대해, 상기 가동 프레임 기구의 상기 프레임 판에 설치된 다수의 콘택트 유닛이 개별적으로 상기 접촉자의 위치조정을 행하기 때문에, 열팽창에 의한 편차를 용이하게 흡수하는 것이 가능함과 동시에, 신속하게 종류 교환 작업을 행할 수 있다.

상기 위치조정기구로 상기 접촉자와 상기 단자 사이를 위치결정하고 조정하여, 상기 기단측 이동 블록으로 상기 선단측 이동 블록을 지지하여 내보내고, 상기 프로브 유닛의 접촉자를 상기 검사대상판의 각 단자에 접촉시키기 때문에, 서로 다른 치수의 검사대상판에 대해, 상기 접촉자와 상기 단자의 위치결정을 용이하고 신속하게 행할 수 있다.

상기 얼라이먼트 카메라로 상기 얼라이먼트 마크를 촬영하여, 이 얼라이먼트 마크와 기준점과의 편차량을 제로가 되도록 조정하여, 상기 접촉자를 상기 단자에 정확히 맞추기 때문에, 상기 접촉자와 상기 단자의 위치결정을 용이하고 신속하게 행할 수 있다.

선단측 연결 블록의 가이드가 상기 기단측 이동 블록 측에 끼워 맞춰져서, 기단측 이동 블록에 밀려남으로써, 상기 이동규제 롤러로 이동이 규제되어 상기 선단측 이동 블록이 상하로 이동되기 때문에, 상기 기단측 이동 블록으로 상기 선단측 연결 블록을 미는 것만으로, 상기 접촉자를 상기 단자 측으로 내보내고 강하시켜서 서로 접촉시킬 수 있다.

상기 방출기구로 상기 이동판을 상기 제2 스토퍼에 상기 접촉부가 맞닿을 때까지 앞쪽으로 내보냄으로써, 상기 프로브 블록의 앞쪽 끝의 접촉자가 상기 검사대상판의 단자의 바로 위까지 이동하고, 게다가 아래쪽으로 강하되어 상기 검사대상판의 단자에 접촉하고 오버드라이브가 걸리기 때문에, 서로 다른 치수의 검사대상판에 대해 세부 조정을 행할 필요가 없어지고, 신속하게 종류 교환 작업을 행할 수 있다.

상기 이동기구가 상기 가이드에 지지된 상기 이동 베이스 판을 좌우방향으로 이동시켜서, 상기 접촉자를 상기 단자에 정확히 맞출 수 있기 때문에, 상기 접촉자와 상기 단자의 위치조정을 용이하게 행할 수 있다.

상기 가동 프레임 기구가 종류가 다른 상기 검사대상판의 서로 다른 치수에 대응하여 프레임 판을 이동시켜서, 상기 검사대상판의 크기에 맞게 상기 개구를 조정하기 때문에, 신속하게 종류 교환 작업을 행할 수 있다.

전기검사장치에 있어서, 서로 다른 치수의 검사대상판으로 교환하는 경우는, 상기 가동식 프로브 유닛 기구로 상기 개구를 조정함과 동시에, 접촉자의 위치를 조정하기 때문에, 신속하게 종류 교환 작업을 행할 수 있다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims (9)

1. 검사대상판의 전극에 대응하여 복수의 접촉자의 위치를 조정하는 가동식 프로브 유닛 기구로서,

   상기 검사대상판의 전극이 배치된 변에 대응하는, 프로브 블록의 지지 프레임체의 한 변에 1 이상의 프로브 유닛을 구비하고, 상기 프로브 유닛은 얼라이먼트 카메라와 상기 프로브 유닛의 길이방향으로 구동하는 구동기구와, 다수의 접촉자를 설치한 프로브 블록을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 가동식 프로브 유닛 기구.
2. 제1항에 있어서,

   상기 구동기구가 상기 각각의 접촉자를 지지하여 상기 검사대상판의 각 전극에 꼭 들어맞도록, 상기 각각의 접촉자를 검사대상판의 한 변을 따르는 방향으로 이동시킴과 동시에, 상기 구동기구를 상기 검사대상판의 한 변을 향하여 한개 또는 다수개 갖는 콘택트 유닛을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 가동식 프로브 유닛 기구.
3. 제2항에 있어서, 상기 콘택트 유닛은,

   다수의 접촉자를 지지하는 프로브 유닛;

   상기 프로브 유닛을 지지하여 상기 접촉자를 상기 검사대상판의 각 전극에 접촉시키는 선단측 이동 블록;

   상기 선단측 이동 블록을 지지하여 내보내고, 상기 프로브 유닛의 접촉자를 상기 검사대상판의 각 전극에 접촉시키는 기단측 이동 블록; 및

   상기 프로브 유닛을 좌우방향으로 이동시켜서 상기 접촉자와 상기 전극 사이를 위치결정하고 조정하는 위치조정기구;

   를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 가동식 프로브 유닛 기구.
4. 제3항에 있어서, 상기 프로브 유닛은,

   앞쪽 끝에 다수의 접촉자를 지지하여 상기 검사대상판의 각 전극에 각각 접촉시키는 프로브 블록;

   상기 프로브 블록의 앞쪽 끝의 접촉자를 상기 검사대상판의 각 전극 위치에 정확하게 맞추기 위한 얼라이먼트 마크를 촬영하는 얼라이먼트 카메라; 및

   상기 프로브 블록과 상기 얼라이먼트 카메라를 일체로 지지하는 프로브 베이스;

   를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 가동식 프로브 유닛 기구.
5. 제3항에 있어서, 상기 선단측 이동 블록은,

   상기 프로브 유닛을 지지하는 지지판;

   상기 기단측 이동 블록 측에 연결하여 상하로 이동하는 선단측 연결 블록;

   상기 선단측 연결 블록 측에 설치되어 상기 기단측 이동 블록 측에 끼워 맞춰져 비스듬히 이동하는 가이드;

   상기 선단측 이동 블록의 이동을 규제하는 이동규제 롤러; 및

   상기 선단측 이동 블록에 설치되어, 상기 선단측 이동 블록을 상하로 힘을 가하는 스프링을 그 위쪽 끝에서 지지하는 상단측 스프링 수용부;

   를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 가동식 프로브 유닛 기구.
6. 제3항에 있어서, 상기 기단측 이동 블록은,

   전체를 지지하는 이동 베이스판;

   상기 이동 베이스판의 방출방향을 따라 2개가 설치된 레일;

   상기 레일에 방출방향으로 슬라이드 가능하도록 지지된 이동판;

   상기 이동판의 아래쪽 면에 설치되어 상기 레일에 끼워 맞춰서 상기 이동판을 슬라이드 가능하도록 지지하는 가이드;

   상기 선단측 이동블록의 상기 선단측 연결블록과 협동하여 선단측 이동블록을 상하로 이동시키는 기단측 연결블록;

   상기 기단측 연결블록의 경사진 접촉면에 설치되어 상기 선단측 이동블록의 상하로의 이동을 안내하는 경사 레일;

   상기 이동판의 상단측 스프링 수용부와 마주보는 위치에 설치되어 상기 선단측 이동블록을 상하로 힘을 가하는 스프링을 그 아래쪽에서 지지하는 하단측 스프링 수용부;

   상기 이동판 측에 맞닿음으로써, 상기 프로브 블록의 앞쪽 끝 접촉자가 상기 검사대상판의 전극의 바로 위까지 이동하고, 게다가 아래쪽으로 강하되어 상기 검사대상판의 전극에 접촉하고 오버드라이브가 걸리는 제2 스토퍼;

   상기 이동판의 양쪽 끝에 각각 설치되고, 상기 제2 스토퍼에 맞닿음으로써 상기 제2 스토퍼와 협동하여 상기 이동판의 이동량을 규제하는 접촉부;

   상기 이동판에 연결되어 이 이동판을 앞쪽으로 내보내는 방출기구; 및

   상기 방출기구에 의한 상기 이동판의 상기 검사대상판 측으로의 방출량을 규제함과 동시에, 상기 선단측 이동블록의 스프링에 의한 상승 위치를 규제하는 제3 스토퍼;

   를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 가동식 프로브 유닛 기구.
7. 제3항에 있어서, 상기 위치조정기구는,

   좌우방향으로 평행하게 2개가 설치된 레일;

   상기 레일에 슬라이드 가능하도록 끼워 맞춰져서, 이동 베이스 판을 좌우방향으로 슬라이드 가능하도록 지지하는 가이드; 및

   상기 가이드에 지지된 상기 이동 베이스 판을 좌우방향으로 이동시키는 이동기구;

   를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 가동식 프로브 유닛 기구.
8. 제1항에 있어서, 종류가 다른 상기 검사대상판의 서로 다른 치수에 대응하여, 4장의 프레임 판을 이동시켜서 상기 개구를 조정하는 가동 프레임 기구를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 가동식 프로브 유닛 기구.
9. 종류가 다른 검사대상판의 서로 다른 치수에 대응하여, 개구를 조정함과 동시에, 접촉자의 위치를 조정하여 검사를 행하는 전기 검사 장치로서,

   제1항 내지 8항의 어느 한 항에 기재된 가동식 프로브 유닛 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.

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