TWI390223B

TWI390223B - 可動式探針組件機構及電氣檢查裝置

Info

Publication number: TWI390223B
Application number: TW096110864A
Authority: TW
Inventors: Tsukasa Kudo; Takeshi Saitoh
Original assignee: Nihon Micronics Kk
Priority date: 2006-05-29
Filing date: 2007-03-28
Publication date: 2013-03-21
Also published as: TW200743808A; KR20070114628A; JP2007316022A; JP5137336B2

Description

可動式探針組件機構及電氣檢查裝置

本發明係有關一種用來電氣檢查如液晶顯示面板的顯示面板，而具有用來連接通電電路和顯示面板的電氣連接機構之可動式探針組件機構、及電氣檢查裝置。

如液晶顯示面板之顯示面板的檢查裝置之一，於配置有接受檢查的顯示面板之檢查台，設置用於檢查的複數個接觸子組件。

複數個接觸子組件係在檢查時，藉由此等接觸子與和檢查台的彈簧軸承上之顯示面板對應的電極接觸，而將來自通電電路的電力供給顯示面板。

又，在檢查之前，先往彈簧軸承配置顯示面板、以及來自檢查後的板軸承之顯示面板的取出時，各接觸子組件從顯示面板的配置區域後退。

因而，多數個接觸子組件不會妨礙到顯示面板往面板軸承的配置、及其之取出，可圓滑的進行顯示面板的安裝(專利文獻1)。

又，對於以往大小不同的顯示面板而言，雖然必須設置顯示面板專用的檢查台、及探針組件，但是亦可看到與大小不同的顯示面板之尺寸配合，藉由調整開口部，不需設置新的專用檢查台及探針組件的裝置(專利文獻2)。

〔專利文獻1〕

日本特開2002-350485號公報

〔專利文獻2〕

日本特開2002-91336號公報

近年來，顯示面板大型化為50至80英寸，又，在TV用途的顯示面板中，背光的亮度係以10,000至20,000 cd左右來進行檢查。因為該背光的熱將導致顯示面板熱膨脹。

然而，探針組件由於不受到熱的影響，因此，使接觸子的間距和顯示面板的電極間距產生偏移，而產生所謂不能進行良好的電氣檢查之問題。

本發明係有鑑於這種問題點而研創者，目的在於提供一種，容許因背光的熱引起之熱膨脹，可容易進行探針等與接觸子電極的位置對準的可動式探針組件機構、以及電氣檢查裝置。

有關本發明之電氣檢查裝置，係用來解決前述課題而研創者，係因應檢查對象板的電極，來調整複數個接觸子的位置之可動式探針組件機構，其特徵為：與前述檢查對象板之電極所配置的邊對應，在探針塊的支持框體之一邊中，具備一個以上的探針組件，該探針組件係具備：校準相機、朝向該探針組件的長邊方向驅動的驅動機構、及設置複數個接觸子的探針塊而構成。

根據前述構成，前述探針組件係以其之校準相機拍攝檢查對象板的校準標誌，並利用前述驅動機構，使該探針組件朝向前述探針組件的長邊方向移動，使前述探針塊之複數個接觸子與檢查對象板的各電極整合。

前述驅動機構係期望具有一或複數個接觸組件而構成，該接觸組件係以支持前述各接觸子，來整合前述檢查對象板的各電極之方式，使該各接觸子沿著檢查對象板之一邊的方向移動，並且使該驅動機構面臨前述檢查對象板的一邊。

藉由前述構成，前述接觸組件的前述驅動機構係支持前述各接觸子，使該各接觸子朝向沿著前述檢查對象板的一邊之方向移動。

前述接觸組件係期望具備有：支持多數個接觸子的探針組件；支持該探針組件，使前述接觸子與前述檢查對象板的各電極接觸的前端側移動塊；支持該前端移動塊而放出，使前述探針組件的接觸子與前述檢查對象板的各電極接觸之基端側移動塊；使前述探針組件朝向左右方向移動，定位調整前述接觸子和前述電極之間的位置調整機構而構成。

根據前述構成，藉著在前述位置調整機構，定位調整前述接觸子和前述端子之間，而以前述基端側移動塊支持並放出前述前端側移動塊，使前述探針組件的接觸子和前述檢查對象板的各端子接觸。

前述探針組件係具備有：於前端支持多數個接觸子，分別與前述檢查對象板的各電極接觸之探針塊；用來拍攝使該探針塊的前端之接觸子與前述檢查對象板的各電極位置整合之校準標記的校準相機；一體支持前述探針塊和前述校準相機的探針基座而構成。

藉由前述構成，以前述校準相機拍攝前述校準標誌，而以將該校準標誌和基準點的偏移量設為零之方式來調整，可使前述接觸子與前述端子整合。

前述前端側移動塊係具備有：支持前述探針組件的支持板；與前述基端側移動塊側連結，朝向上下移動的前端側連結塊；安裝於該前端側連結塊側，與前述基端側移動塊側嵌合而傾斜地移動的導引；限制前述前端側移動塊的移動之移動限制輥子；安裝於前述前端側移動塊，從其上端支持使該前端側移動塊朝向上方彈壓的彈簧之上端側彈簧軸承而構成。

藉由前述構成，前端側連結塊的導引藉著與前述基端側移動塊側嵌合，被按壓在基端側移動塊，而以前述移動限制輥子來限制移動，使前述前端側移動塊朝向上下移動。

前述基端側移動塊係期望具備有：支持全體的移動基座板；沿著該移動基座板的放出方向配設兩條的軌道；朝向放出的方向可滑動地被支持在該軌道的移動板；安裝於該移動板的下面測，與前述軌道嵌合，可滑動地支持前述移動板之導引；與前述前端側移動塊的前述前端側連結塊協動，使前端側移動塊朝向上下移動的基端側連結塊；設置於該基端側連結塊之已傾斜的抵接面，導引前述前端側移動塊往上下之移動的傾斜軌道；設置於與前述移動板的上端側彈簧軸承相對向的位置，從其下側支持使前述前端側移動塊朝向上方彈壓的彈簧之下端側彈簧軸承；藉著與前述移動板側抵接，使前述探針組件的前端之接觸子移動到前述檢查對象板的電極之正上方，更朝下方下降，與前述檢查對象板的電極接觸，施加加速移動(overdrive)的第2阻擋部；分別設置於前述移動板的兩端部，藉著與該第2阻擋部抵接，與該第2阻擋部協動，限制前述移動板的移動量之抵接部；與前述移動板連結，朝向前方放出該移動板之放出機構；及限制從該放出機構往前述移動板的前述檢查對象板側之放出量，並且限制藉由前述前端側移動塊的彈簧之上升位置的第3阻擋部。

藉由前述構成，利用前述放出機構，使前述移動板往前方放出至前述抵接部抵接於前述第2阻擋部為止，前述探針塊的前端之接觸子移動至前述檢查對象板之端子的正上方為止，更往下方下降，施加與前述檢查對象板的端子接觸的加速移動(overdrive)。

前述位置調整機構係具備有：朝向左右方向平行地配設兩條的軌道；可滑動地與該軌道嵌合，朝向左右方向可滑動地支持移動基座板之導引；及使被支持在該導引的前述移動基座板朝向左右方向移動之移動機構而構成。

藉由前述構成，前述移動機構係使被支持在前述導引的前述移動基座板，朝向左右方向移動，並使前述接觸子與前述端子整合。

期望因應品種不同的前述檢查對象板的不同之尺寸，移動4片的框板，而調整開口的可動框機構而構成。

藉由前述構成，前述可動框機構係因應品種不同之前述檢查對象板的不同尺寸來移動框板，而可將前述開口調整為前述檢查對象板的大小。

因應品種不同的檢查對象板的不同之尺寸，調整開口，並且調整接觸子的位置，來進行檢查之電氣檢查裝置，其特徵為具備有：前述可動式探針組件機構。

藉由前述構成，當與不同尺寸的檢查對象板交換時，以前述可動式探針組件機構來調整前述開口，並調整接觸子的位置。

如以上所述，根據本發明可獲得以下的效果。

前述探針組件，係以其之校準相機拍攝檢查對象板的校準標誌，並利用前述驅動機構，使該探針組件朝向前述探針組件的長邊方向移動，使前述探針塊之複數個接觸子與檢查對象板的各電極整合，故可吸收因檢查對象板的熱膨脹等導致與各電極的各接觸子相對的偏移。

由於前述接觸組件的前述驅動機構係支持前述各接觸子，使該各接觸子朝向沿著前述檢查對象板的一邊之方向移動，故可吸收因前述檢查對象板的熱膨脹而導致與各電極之偏移，或可吸收因檢查對象板的品種交換導致各電極的偏移，可使各接觸子與各電極整合。

前述接觸組件，係在支持前述接觸子的狀態下，使該接觸子與前述檢查對象板的電極整合，位置對準而放出，由於使該接觸子與電極接觸，故可吸收因熱膨脹而引起之電極的位置偏移，並且對於不同尺寸的檢查對象板，可迅速地進行品種交換作業。

特別是，對於大型的檢查對象板，由於配設在前述可動框機構的前述框板之複數個接觸組件，個別進行與前述接觸子的位置對準，因此，可容易吸收因熱膨脹而引起的偏移，並且可迅速地進行品種交換作業。

藉由前述位置調整機構來定位調整前述接觸子和前述端子之間，藉由前述基端側移動塊，支持並放出前述前端側移動塊，由於使前述探針組件的接觸子與前述檢查對象板之各端子接觸，故對於不同尺寸之檢查對象板，可容易且迅速地進行前述接觸子和前述端子之定位。

利用前述校準相機拍攝前述校準標誌，而將該校準標誌和基準點的偏移量設為零來調整，由於使前述接觸子與前述端子整合，故可容易且迅速地進行前述接觸子和前述端子之定位。

藉著前端側連結塊的導引與前述基端側移動塊側嵌合，而被按壓在基端側移動塊，由於以前述移動限制輥子來限制移動，並上下移動前述前端側移動塊，因此，可僅以前述基端側移動塊按壓前述前端側連結塊，而使前述接觸子往前述端子側放出而下降，而彼此接觸。

藉由前述放出機構將前述移動板朝向前方放出，至前述抵接部與前述第2阻擋部抵接為止，而前述探針組件的前端之接觸子，移動到前述檢查對象板的端子正上方為止，更朝向下方下降，與前述檢查對象板的端子接觸，並施加加速移動，因此，不需要對於不同尺寸之檢查對象板進行微細的調整，而可迅速的進行品種交換作業。

前述移動機構，係使被支持在前述導引的前述移動基座板朝向左右方向移動，由於可使前述接觸子與前述端子整合，因此可容易進行前述接觸子和前述端子之位置對準。

前述可動框機構，係因應品種不同的前述檢查對象板之不同的尺寸，而移動框板，由於調整前述開口成為前述檢查對象板的大小，而可迅速進行品種交換作業。

在電氣檢查裝置中，與不同尺寸的檢查對象板交換時，由於藉由前述可動式探針組件機構調整前述開口，並且調整接觸子的位置，而可迅速的進行品種交換作業。

以下，參照添附圖面，說明具備本發明之實施形態的可動式探針組件機構之電氣檢查裝置。此外，在此以液晶面板做為檢查對象板為例進行說明。又，進行點亮檢查的電氣檢查裝置之全體構成，由於與上述以往的電氣檢查裝置大致相同，因此在相同部份附加相同符號，並省略其說明。然後，以本發明的特徵部份之可動式探針組件機構為中心進行說明。

可動式探針組件機構21係如第1及第2圖所示，在因應品種不同的液晶面板22之不同的尺寸，調整工作台基座23的開口23A(參照第3圖)之同時，可調整探針(未圖示)的位置之機構。可動式探針組件機構21係安裝在由以下構件所構成的底部上：固定在電氣檢查裝置1的框架部份之基座板24；介由支柱25而被支持在該基座板24的上基座板26；設置在該基座板24和上基座板26之間的背光27；以及被支持在上基座板26的工作台基座23。

可動式探針組件機構21係由可動框機構30、及接觸組件31所構成。

可動框機構30係因應品種不同的液晶面板22之不同的尺寸，使做為框板的X軸上邊板軸承75、X軸下邊板軸承80、Y軸左邊板軸承84、及Y軸右邊板軸承90移動，以調整工作台基座23的開口23A之機構。工作台基座23係如第3圖及第4圖所示，在形成四角形板狀之同時，於其中央位置設置有四角形狀的開口23A。可動框機構30係與工作台基座23重疊而設置，覆蓋工作台基座23的開口23A的可動框機構30之開口30A(參照第1圖)，係可因應液晶面板22的大小來調整。

可動框機構30係如第1圖至第4圖所示，由Y軸移動機構33和X軸移動機構34所構成。

Y軸移動機構33係用來調整可動框機構30的開口30A之Y軸方向(第1圖中的上下方向)的機構。該Y軸移動機構33係由：軌道36、導引37、上側基座板38、下側基座板39、及Y軸驅動部40所構成。

軌道36係在工作台基座23設置2條。具體而言，2條的軌道36係挾住工作台基座23的開口23A，而在X軸方向(第1圖中的左右方向)之兩側，分別並列配設於Y軸方向。

導引37係與各軌道36嵌合，可滑動的被支持在Y軸方向。

上側基座板38係被支持在導引37，可滑動地被安裝在Y軸方向。下側基座板39係與上側基座板38相同，被支持在導引37，並且可滑動地被安裝於Y軸方向。上側基座板38和下側基座板39係挾住工作台基座23的開口23A，配設於兩側。

Y軸驅動部40係用來使上側基座板38及下側基座板39朝向Y軸方向移動的機構。該Y軸驅動部40係設置有2個，分別用於上側基座板38和下側基座板39。Y軸驅動部40係與前述軌道36平行，並配設於工作台基座23。Y軸驅動部40係由球型螺絲42、軸承43、移動螺帽44、及驅動電動機45所構成。

球型螺絲42係在外周面刻畫螺紋的棒材。軸承43係在其之兩端部上可旋轉的支持球型螺絲42的構件。藉由該軸承43使球型螺絲42可旋轉的支持其兩端，並朝向Y軸方向配設。移動螺帽44係用來使上側基座板38及下側基座板39朝向Y軸方向移動的構件。該移動螺帽44係以分別被固定在上側基座板38及下側基座板39的狀態下，螺固在球型螺絲42，藉由該球型螺絲42的旋轉，成為可朝向Y軸方向移動。驅動電動機45係用來旋轉驅動球型螺絲42的電動機。驅動電動機45係在固定於工作台基座23側的狀態下，與球型螺絲42一端連結。

X軸移動機構34係用來調整可動框機構30的開口30A之X軸方向的調整之機構。該X軸移動機構34係如第2圖、第3圖及第5圖所示，係由：X軸上邊框部48、X軸下邊框部49、Y軸右邊框部50、Y軸左邊框部51、X軸下邊驅動部52、及X軸上邊驅動部53所構成。X軸上邊框部48、X軸下邊框部49、Y軸右邊框部50、和Y軸左邊框部51，係以覆蓋工作台基座23的開口23A之方式而設置。

X軸上邊框部48係配設在X軸方向的棒狀構件。該X軸上邊框部48係形成剖面C字型。具體而言，X軸上邊框部48係形成四角形筒狀，於其內側面(第5圖中的左下側面)之全長上設置有縫隙48A。在X軸上邊框部48的內部之上側面，於其全長上設置有軌道54(參照第2圖)。X軸上邊框部48的一端部(第5圖中的右端部)設置有2個導引55。X軸上邊框部48的一端部，係朝向Y軸方向放大，2個導引55係朝向Y軸方向直列並列而配設。該2個導引55嵌合有後述的Y軸右邊框部50之軌道65，Y軸右邊框部50係朝向Y軸方向，可滑動的被支持於X軸上邊框部48的一端部上。

在X軸上邊框部48的下側面，於其全長上設置有軌道56(參照第2圖)，被嵌合於設置在上側基座板38的導引57上。藉此，X軸上邊框部48係朝向X軸方向可滑動地被支持於上側基座板38。

X軸下邊框部49係與X軸上邊框部48並列，而朝向X軸方向配設的棒狀構件。該X軸下邊框部49係與X軸上邊框部48相同，形成剖面C字型。具體而言，X軸下邊框部49係形成四角形筒狀，並於其內側(第4圖中的右上側)之全長上設置有縫隙49A。在X軸下邊框部49之內部的上側面，於其全長上設置有軌道60。

X軸下邊框部49的另一端部，係朝向Y軸方向放大，朝向Y軸方向直列而並列設置有2個導引(未圖示)。後述的Y軸左邊框部51之軌道61係被嵌合在該2個導引上，Y軸左邊框部51係朝向Y軸方向，可滑動的被支持於X軸下邊框部49的另一端部。在X軸下邊框部49的下側面，於其全長上設置有軌道62，且被嵌合在設置於下側基座板39的導引63。藉此，X軸下邊框部49係朝向X軸方向，可滑動的被支持於下側基座板39。

Y軸右邊框部50係朝向Y軸方向配設的棒狀構件。該Y軸右邊框部50係形成大約剖面四角形狀。具體而言，Y軸右邊框部50係形成四角形棒狀，並於其下側的全長上設置有軌道溝50A。在該軌道溝50A上於其全長上設置有軌道65。該軌道65與X軸上邊框部48的2個導引55嵌合，Y軸右邊框部50係朝向Y軸方向，可滑動的被支持在X軸上邊框部48。

在Y軸右邊框部50的一端部(第5圖中的左下側端部)，設置有朝向X軸下邊框部49的扣止部66。該扣止部66係由：從Y軸右邊框部50的一端部延伸出來的下側板部67、和設置在該下側板部67的上面側之導引68所構成。然後，下側板部67係從X軸下邊框部49的縫隙49A插入到內部，導引68與X軸下邊框部49之內部的軌道60嵌合。藉此，Y軸右邊框部50係朝向X軸方向，在限制Y軸方向的移動之狀態下，可滑動的被支持X軸下邊框部49。

Y軸左邊框部51係與Y軸右邊框部50相同，為配設在Y軸方向的棒狀構件。該Y軸左邊框部51係大致形成剖面四角形狀，於其下側的全長上設置有導引溝51A。於該導引溝51A之全長上設置有軌道61。該軌道61係與X軸下邊框部49的2個導引嵌合，Y軸左邊框部51係朝向Y軸方向可滑動地被支持。

Y軸左邊框部51的另一端部，設置有朝向X軸上邊框部48的扣止部(未圖示)。該扣止部係與Y軸右邊框部50的扣止部66同樣構成。然後，藉由該扣止部，Y軸左邊框部51與X軸上邊框部48相對，在限制Y軸方向的移動之狀態下，可滑動的被支持在X軸方向。

X軸下邊驅動部52係用來使X軸下邊框部49朝向X軸方向移動的裝置。X軸下邊驅動部52係由：球型螺絲70、軸承71、移動螺帽72、及驅動電動機73所構成。

球型螺絲70係在外周面刻畫螺紋的棒材。該球型螺絲70係朝向X軸方向設置於下側基座板39。軸承71係用來在其兩端部可旋轉的支持球型螺絲70的構件。移動螺帽72係用來使X軸下邊框部49朝向X軸方向移動的構件。該移動螺帽72係在固定於X軸下邊框部49的狀態下，被螺固在球型螺絲70，藉由該球型螺絲70的旋轉朝向X軸方向移動。驅動電動機73係用來旋轉驅動球型螺絲70的電動機。驅動電動機73係在固定於軸承71的狀態下，與球型螺絲70的一端連結。

X軸上邊驅動部53係用來使X軸上邊框部48朝向X軸方向移動的裝置。X軸上邊驅動部53與X軸下邊驅動部52相同，係由球型螺絲、軸承、移動螺帽、及驅動電動機(皆未圖示)所構成。

在X軸上邊框部48安裝有X軸上邊板軸承75。X軸上邊板軸承75係接受檢查對象的液晶面板22，並且支持接觸組件31的框板。該X軸上邊板軸承75係由板軸承部76和接觸組件支持部77所構成。

板軸承部76係用來支持檢查對象之液晶面板22的部份。該板軸承部76係使X軸上邊板軸承75中的前端側(液晶面板22側)之部份隆起而設置。在板軸承部76之3處的位置上，設置有板定位用的板推桿78。

接觸組件支持部77係用來安裝接觸組件31的平坦面狀之部份。該接觸組件支持部77係形成在板軸承部76的基端側。

於X軸下邊框部49安裝有X軸下邊板軸承80(參照第1圖)。X軸下邊板軸承80係用來接受檢查對象的液晶面板22之框板。該X軸下邊板軸承80係具備板軸承81而構成。在板軸承81之3個位置上設置有板定位插銷82。

在Y軸左邊框部51安裝有Y軸左邊板軸承84。Y軸左邊板軸承84係接受檢查對象的液晶面板22，並且支持接觸組件的框板。該Y軸左邊板軸承84係由板軸承部85及接觸組件支持部86所構成。

板軸承部85係用來支持檢查對象之液晶面板22的框板。該板軸承部85係使Y軸左邊板軸承84中的前端側(液晶面板22側)的部份隆起而設置。在板軸承部的3個位置上，設置有板定位用的板推桿87。

接觸組件支持部86係用來安裝接觸組件31的平坦面狀之部份。該接觸組件支持部86係形成在板軸承部85的基端側。

在Y軸右邊框部50安裝有Y軸右邊板軸承90。Y軸右邊板軸承90係用來接受檢查對象之液晶面板22的框板。該Y軸右邊板軸承90係具備板軸承部91而構成。在板軸承部91之3處的位置上，設置有板定位插銷92。

接觸組件31係支持探針(未圖示)，並與液晶面板22的多數之電極(端子)22A整合而位置對準，並接觸的機構。該接觸組件31係一體被安裝在可動框機構30的各板軸承上。藉此，使工作台基座23和探針組件95構成一體型的裝置。接觸組件31如第6圖至第8圖所示，係由：探針組件95、前端側移動塊96、基端側移動塊97、及位置調整機構98所構成。

探針組件95係支持多數個探針，而與液晶面板22的端子22A接觸的構件。該探針組件95係由：探針基座100、探針塊101、及校準相機102所構成。

探針基座100係一體支持探針塊101、和校準相機102之板材。該探針基座100係被安裝在前端側移動塊96。

探針塊101係在其前端支持多數個探針(未圖示)，並且分別與液晶面板22的各端子22A接觸之構件。探針塊101係側面形狀形成L字型。該L字型探針塊101之基端側被支持在探針基座100，前端側從探針基座100朝向下方(已被裝設的液晶面板側)延伸出而構成。探針塊101係僅安裝與液晶面板的端子數吻合的個數。在本實施形態中，3個探針雖被安裝在探針基座100，但也有在探針基座100安裝1個、2個或4個以上的探針塊101的情況。各探針塊101係被安裝在探針基座100的設定位置。

校準相機102係拍攝用來使探針塊的前端的探針與液晶面板的端子位置整合的校準標記22B。該校準相機102係被安裝在探針基座100的設定位置。藉此，校準相機102調整自己與液晶面板22的校準標記22B(參照第12圖)相對的位置，該校準相機102係將以設定間隔所配設的各探針塊101的位置，調整到與液晶面板的端子整合的位置。

此時，設置在探針基座100的探針塊101之個數，係因應探針塊101的設置間隔而設定。因為液晶面板22的熱膨脹引起的變化量(端子22A的移動量)，係與長度(間隔)成正比。當液晶面板22的尺寸變大時，與其之尺寸成正比，而熱膨脹量(端子22A的移動量)產生變化。例如，當液晶面板為相同的熱膨脹係數時，尺寸若成為2倍，則熱膨脹量也成為2倍。如第13圖所示，當配設6個探針塊101時，若探針塊101的個數沒有變化，而液晶面板的尺寸卻成為2倍時，各探針塊101的間隔也成為2倍。藉此，校準相機102的相鄰之探針塊101、和分離最遠的探針塊101之間隔也成為2倍。

然後，探針基座100由於大致不受到熱的影響，因此，雖然大致上沒有熱膨脹，但液晶面板22之熱膨脹量成為2倍。亦即，校準相機102之相鄰的探針塊101的探針、和整合與此對應的端子22A時，將導致與校準相機102分離最遠的探針塊101、和與此對應之端子22A有較大的偏移。這是因為在探針塊101側，與校準相機102之相鄰的探針塊101、和分離最遠的探針塊101之間隔大致沒有變化，而在液晶面板22側，與探針基座100的兩側之各探針塊101相對應的各端子22A之間，係隨著液晶面板的尺寸成為2倍，其熱膨脹量也成為2倍。

結果，如第13圖中的A點，探針和端子22A完全偏移。此時，即使在探針基座100使全部的探針塊101同時偏移，將無法使各探針與各端子22A整合。

因此，探針塊101不是如第13圖所示全部一體安裝，而是如第14圖所示，3個3個各別安裝。亦即，在1個接觸組件31安裝3個探針塊101。此外，熱膨脹量係依據背光27的發熱量或液晶面板22的尺寸等而有不同，因此，因應各條件，亦有將配設在探針基座100的探針塊101之個數，設定為1、2或4個以上之情況。

當配設2個接觸組件31時，如第14圖所示，分別配設有2個探針組件95，各探針組件95的校準相機102分別使探針組件95位置對準，而藉著將各探針塊101的探針與各端子22A整合，來吸收液晶面板22的熱膨脹。

前端側移動塊96係支持探針組件95，而使探針與液晶面板22的各端子22A接觸的構件。前端側移動塊96係由：支持板105、前端側連結塊106、導引107、移動限制輥子108、及上端側彈簧軸承109所構成。

支持板105係用來支持探針組件95的板材。該支持板105係形成剖面L字型，並安裝有探針組件95。具體而言，探針組件95的探針基座100之下側面和背面，係直接與剖面L字型的支持板105抵接，而成為探針的2方向之定位。亦即，與支持板105相對的探針之放出方向(第8圖中的右方向)之位置、和探針的上下方向之位置與支持板105相對之探針的2方向之定位。藉此，以位置調整機構98來進行探針組件95的長邊方向(第11圖的左右方向)的定位，並進行探針的XYZ方向之定位。藉此，在放出前端側移動塊96的最後位置(第10圖的位置)上，探針正確的定位在液晶面板22的端子22A而接觸。

前端側連結塊106係與後述的基端側移動塊97的基端側連結塊119連結而上下移動。具體而言，前端側連結塊106係形成楔狀，並一體的設置在支持板105的背面(第8圖中的左側面)，與基端側連結塊119的抵接面成為傾斜(第8圖中的上端朝向右方向傾斜的狀態)而設定。

導引107係與後述的基端側移動塊97之基端側連結塊119的傾斜軌120嵌合而斜向移動。導引107係安裝在前端側連結塊106的傾斜面，藉著與基端側連結塊119的傾斜軌120嵌合而斜向移動，使前端側連結塊106上下移動。

移動限制輥子108係用來限制前端側移動塊96的移動之輥子。該移動限制輥子108係安裝在朝向水平方向配設的支持柱111之前端。移動限制輥子108藉著與後述的基端側移動塊97之第3阻擋部125抵接，而在限制前端側移動塊96之放出方向的移動之同時，容許前端側移動塊96往上下方向移動。再者，藉著移動限制輥子108與基端側移動塊97的第3阻擋部125抵接，探針係設定為移動到液晶面板22的端子22A之正上方而停止。

上端側彈簧軸承109係安裝在前端側移動塊96，並從其上端支持將該前端側移動塊96朝向上方彈壓的彈簧126的構件。藉著在該上端側彈簧軸承109支持彈簧126的上端部，藉由該彈簧126的彈壓力，使前端側移動塊96朝向上方彈壓。

基端側移動塊97係支持並放出前端側移動塊96，使探針組件95的前端之探針與液晶面板22的端子22A接觸的機構。該基端側移動塊97係由：移動基座板115、軌道116、導引117、移動板118、基端側連結塊119、傾斜軌120、下端側彈簧軸承121、第2阻擋部122、抵接部123、放出機構124(復動汽缸)、及第3阻擋部125所構成。

移動基座板115係用來支持全體的板材。移動基座板115係被支持在位置調整機構98。軌道116係沿著移動基座板115的放出方向而配設2根。導引117係被安裝在移動板118的下側面。導引117係可滑動的嵌合在軌道116，並支持移動板118。移動板118係朝向液晶面板22側放出的板材。該移動板118係形成剖面L字狀，在其平板部118A的下側面安裝有導引117。藉此，移動板118係介由支持在軌道116的導引117，可滑動的朝向放出方向被支持。

基端側連結塊119係與前述前端側移動塊96的前端側連結塊106協動，並使前端側移動塊96上下移動的構件。該基端側連結塊119係分別設置於移動板118的縱板部118B中，與前述前端側移動塊96的前端側連結塊106相對向的位置上。基端側連結塊119係具備：形成楔狀並與前端側連結塊106的抵接面整合而傾斜的抵接面。

傾斜軌120係用來導引使前述前端側移動塊96往上下移動之軌道。該傾斜軌120係設置在基端側連結塊119之已傾斜的抵接面。

下端側彈簧軸承121係從其下側支持使前端側移動塊96往上方彈壓的彈簧126之構件。該下端側彈簧軸承121係在移動板118之縱板部118B的下部上，設置在與前述上端側彈簧軸承109相對向的位置。然後，下端側彈簧軸承121藉著支持彈簧126的下端部，藉由該彈簧126之彈力，介由上端側彈簧軸承109，使前端側移動塊96朝向上方彈壓。

第2阻擋部122係用來限制移動板118的移動之阻擋部。該第2阻擋部122的位置，係藉著與移動板118的抵接部123抵接，使探針塊101的前端之探針移動到液晶面板22的端子22A之正上方，再朝向下方下降，與液晶面板22的端子22A接觸，並施加加速移動而設定。

抵接部123係與第2阻擋部122協動，而限制移動板118的移動之構件。抵接部123係分別設置在移動板118的兩端部，藉著分別與各第2阻擋部122抵接，如上所述，限制移動板118的移動量。

放出機構124係使移動板118朝向前方放出的機構。該放出機構124係藉由復動汽缸而構成。復動汽缸係固定在移動基座板115，該復動汽缸的連結棒與移動板118連結，藉由來自該連結棒的復動汽缸之出沒動作，移動移動板118。

第3阻擋部125係限制移動板118往液晶面板22側之放出量，並且限制前端側移動塊96因彈簧126而上升之上升位置的構件。第3阻擋部125係由限制支柱部125A和限制輥子部125B所構成。限制支柱部125A係朝向垂直方向配設，並固定在移動基座板115上。藉著移動限制輥子108與該限制支柱部125A抵接，而限制前端側移動塊96往液晶面板22側的放出量，並且容許前端側移動塊96往上下方向之移動。限制輥子部125B係設置在限制支柱部125A的上端部，與前端側移動塊96的支持柱111抵接。藉著該限制輥子部125B與支持柱111抵接，而限制被彈簧126往上推的前端側移動塊96之上限。

位置調整機構98係介由移動基座板115，而將探針組件95往左右方向(沿著液晶面板22的一邊之探針組件的長邊方向)移動的驅動機構。該位置調整機構98係藉由探針組件95的位置調整，來吸收因液晶面板22的熱膨脹或因品種的不同而導致各端子22A的偏移。位置調整機構98係由：軌道131、導引132、及移動機構133所構成。軌道131係在板軸承75、84上，往其左右方向平行地配設2條而構成。導引132係可滑動地被嵌合在軌道131上。該導引132係被安裝在移動基座板115，可滑動的往左右方向支持移動基座板115。移動機構133係將移動基座板115朝向左右方向移動的機構。該移動機構133係由：球型螺絲135、軸承136、移動螺帽137、及驅動電動機138所構成。

球型螺絲135係在外周面刻畫螺紋的棒材。軸承136係在其兩端部可旋轉的支持球型螺絲135的構件。移動螺帽137係用來將移動基座板115朝向左右方向移動的構件。該移動螺帽137係在固定於移動基座板115的狀態下，被螺固在球型螺絲135，藉由該球型螺絲135的旋轉朝向左右方向移動。驅動電動機138係用來旋轉驅動球型螺絲135的電動機。驅動電動機138在固定於軸承136的狀態下，與球型螺絲135的一端連結。

前述各驅動電動機等，係分別與控制部(未圖示)連接，藉由控制部可正確控制驅動量。做為該控制部的控制方法，有自動控制和手動控制。自動控制之情況，係因應液晶面板22的種類，預先程式化各驅動電動機的控制量，藉由該程式控制各驅動電動機。為手動控制時，作業者因應液晶面板22的種類，逐次輸入各驅動電動機的控制量，來控制各驅動電動機。又，位置調整機構98的驅動電動機138，係與探針組件95的校準相機102連動，自動控制或手動控制，將校準相機102的基準點、和液晶面板22的校準標記22B之偏移量設為零。

〔動作〕

如以上所構成的電氣檢查裝置，係以如下之方式動作。

檢查品種不同的液晶面板22時，首先，可動式探針組件機構21的可動框機構30，係與液晶面板22的尺寸相合。在可動框機構30中，使Y軸移動機構33和X軸移動機構34動作，將開口30A調整為液晶面板22的大小。

在Y軸移動機構33中，使Y軸驅動部40的驅動電動機45動作，介由球型螺絲42和移動螺帽44，使上側基座板38和下側基座板39往Y軸方向僅移動設定量。藉此，上側基座板38和下側基座板39之各別安裝的X軸上邊板軸承75、和X軸下邊板軸承80的間隔，則與液晶面板22對準。

此時，Y軸左邊板軸承84被按壓在X軸上邊板軸承75側，而朝向Y軸方向下方移動，並且容許往X軸下邊板軸承80的Y軸方向上方移動。亦即，支持Y軸左邊板軸承84的Y軸左邊框部51，係按壓支持X軸上邊板軸承75的X軸上邊框部48，而往Y軸方向下方移動，使Y軸左邊板軸承84朝向Y軸方向下方移動。支持X軸下邊板軸承80的X軸下邊框部49係朝向Y軸方向，可滑動地被支持於Y軸左邊框部51，故藉著Y軸左邊框部51以X軸上邊框部48加以按壓，而朝向Y軸方向下方移動，使Y軸左邊板軸承84朝向Y軸方向下方移動，藉著使朝向Y軸方向可滑動的被支持在Y軸左邊框部51之X軸下邊框部49，朝向Y軸方向上方移動，而使X軸下邊板軸承80朝向Y軸方向上方移動。

即使是Y軸右邊板軸承90的情況，也和Y軸左邊板軸承84相同，被按壓在X軸下邊板軸承80側，而朝向Y軸方向上方移動，並且容許朝向X軸上邊板軸承75的Y軸方向下方移動。

藉此，X軸上邊板軸承75和X軸下邊板軸承80之間隔，與液晶面板22的Y軸方向之尺寸整合。

然後，使X軸移動機構34的X軸下邊驅動部52之驅動電動機73動作，介由球型螺絲70和移動螺帽72，使X軸下邊框部49朝向X軸方向移動。藉此，引拉到X軸下邊框部49，使Y軸左邊框部51朝向X軸方向移動。另外，Y軸右邊框部50係朝向與X軸下邊框部49的移動相反的方向移動。

X軸移動機構34的X軸上邊驅動部53之驅動電動機(未圖示)係作動，並介由螺栓和移動螺帽，使X軸上邊框部48朝向X軸方向移動。藉此，引拉到X軸上邊框部48，使Y軸右邊框部50朝向X軸方向移動。此外，Y軸左邊框部51係朝向與X軸上邊框部48的移動相反之方向移動。

藉此，X軸上邊框部48和Y軸右邊板軸承90，係與液晶面板22的X軸方向之尺寸整合。

在該狀態下，藉著X軸上邊板軸承75的板推桿78、Y軸左邊板軸承84的板推桿87、X軸下邊板軸承80的板定位插銷82、以及Y軸右邊板軸承90的板定位插銷92，可將液晶面板22整合在正確的位置，並加以支持。

然後，藉著可動式探針組件機構21，進行探針和液晶面板22的端子22A之位置對準。在此情況下，探針的放出方向和高度方向，係在使X軸上邊板軸承75和Y軸左邊板軸承84位置對準的時間點，同時位置對準。亦即，液晶面板22雖與X軸上邊板軸承75的板推桿78、和Y軸左邊板軸承84的板推桿87抵接，但是，在接觸組件31和液晶面板22的放出方向，間隔係成為設定值，進行探針的放出方向之位置對準。又，液晶面板22係藉著載置於X軸上邊板軸承75的板軸承部76、和Y軸左邊板軸承84的板軸承部85，而在接觸組件31和液晶面板22的上下方向，使間隔成為設定值，進行探針的上下方向之位置對準。

因此，在接觸組件31中，主要於探針的左右方向進行位置對準。具體而言，如第11圖及第12圖所示，探針組件95的校準相機102，係拍攝液晶面板22的校準標記22B，藉由影像處理等，測定與基準點的偏移量，並控制驅動電動機138，使其之偏移量設成為零。藉此，球型螺絲135僅旋轉設定角度(將偏移量設為零的角度)，而僅使移動螺帽137移動設定量。藉此，移動基座板115朝向左右僅移動設定量，探針塊101的探針與液晶面板22的端子22A整合。

該接觸組件31的探針之左右方向的位置對準，係在品種交換時進行，在因為液晶面板22的熱膨脹而導致端子22A偏移時也進行。藉著校準相機102經常監視，並以控制部的控制，經常微調整而設定亦可。特別是，液晶面板22在設置不久之後，以背光27加熱之後，因為熱膨脹而導致尺寸改變，因此藉著校準相機102經常或定期的監視，可經常或定期的微調整探針的位置而設定，吸收因為熱膨脹的影響，使各探針可調整到與各端子22A相對為正確的位置。此外，在看見熱膨脹的位置上預先調整亦可。

然後，使探針與液晶面板22的端子22A接觸，並進行檢查。

此時，首先，從第8圖的退避狀態，藉著基端側移動塊97的放出機構124，將前端側移動塊96朝向液晶面板22側放出。具體而言，藉著放出機構124推出移動板118。藉此，如第9圖所示，推出移動板118，直到前端側移動塊96的移動限制輥子108與第3阻擋部125的限制支柱部125A抵接為止，當抵接時，停止前端側移動塊96的放出。

藉著，當以放出機構124推出移動板118時，與基端側連結塊119的傾斜軌120嵌合之前端側連結塊106的導引107，係沿著傾斜朝向下方按壓，被支持在與第3阻擋部125的限制支柱部125A抵接的移動限制輥子108，前端側移動塊96朝向下方下降。該前端側移動塊96係下降到移動板118的抵接部123與第2阻擋部122抵接為止，探針與液晶面板22的端子22A接觸，施加加速移動。

在該狀態下，進行點亮試驗。

在點亮試驗結束時，逆操作上述步驟而返回待機狀態。

〔效果〕

如以上所述，探針組件95係藉著校準相機102拍攝液晶面板22的校準標記22B，以該校準標記22B為基準，使探針組件95朝向左右方向移動，由於使探針與液晶面板22的各端子22A整合，故可吸收因液晶面板22的熱膨脹而引起各端子22A的偏移、或是吸收因為液晶面板22的品種交換而導致各端子22A的偏移，而可將各探針與各端子22A整合。

又，由於可藉著可動框機構30，因應品種不同的液晶面板22之不同的尺寸，來調整工作台基座23的開口23A，因此，不需因應品種不同的液晶面板22，來交換工作台等，而可迅速的與品種不同的液晶面板22對應。結果，可大幅提升液晶面板22的品種交換時之作業性。

由於探針組件95為塊單位的構造，因此，不需要重量物的交換作業，可大幅提升液晶面板22之品種交換時的作業性。

大型的液晶面板22不需要製作大型的探針組件基座，而可謀求營業成本的降低。

即使為大型的液晶面板22，但因為不需將探針組件或工作台等設為大型，因此不需要考慮荷重的偏頗等，可將框架剛性、導引剛性等各種的剛性設計為較低，而可謀求裝置全體的重量之減輕、及製造成本的降低。

再者，由於縮小因為荷重的偏差等引起的畸變，因此可提升探針和端子的接觸時之信賴性。

由於藉由接觸組件31，可將探針塊101的探針正確地與液晶面板22之端子22A對準，因此，即使因為背光的熱導致液晶面板22膨脹時，也可容易位置對準而對應。

藉著具備：進行前述開口23A之Y軸方向的調整的Y軸移動機構33；和進行前述開口23A的X軸方向之調整的X軸移動機構34，來構成前述可動框機構30，以前述Y軸移動機構33調整前述開口23A的Y軸方向，以前述X軸移動機構34調整前述開口23A的X軸方向。結果，可使前述開口23A容易與品種不同之液晶面板22的不同尺寸對應。

具備：軌道36、導引37、上側基座板38、下側基座板39、及Y軸驅動部40，來構成前述Y軸移動機構33，前述軌道36挾住前述開口23A，在X軸方向的兩側上，朝向Y軸方向各別並列配置2個，前述導引37與前述各軌道36嵌合，並且朝向Y軸方向可滑動的被支持，前述上側基座板38被支持在前述導引37，而可滑動的朝向Y軸方向被安裝，前述下側基座板39係與前述上側基座板38相同，被支持在前述導引37，而可滑動的朝向Y軸方向被安裝，前述Y軸驅動部40係朝向Y軸方向移動前述上側基座板38及前述下側基座板39而構成，藉由該構成，藉著前述Y軸驅動部40，使被支持在前述導引37，可滑動的被安裝在Y軸方向之前述上側基座板38；及被支持在前述導引37，可滑動的被安裝在Y軸方向的前述下側基座板39，朝向Y軸方向移動，進行前述開口23A的Y軸方向之調整。

結果，藉著前述Y軸驅動部40，使被支持在前述導引37，可滑動的被安裝在Y軸方向之前述上側基座板38；及被支持在前述導引37，可滑動的被安裝在Y軸方向的前述下側基座板39，朝向Y軸方向移動，進行前述開口23A的Y軸方向之調整，使前述開口23A的Y軸方向之尺寸容易與品種不同的液晶面板22的不同尺寸對應。

前述X軸移動機構34係由：X軸上邊框部48、X軸下邊框部49、Y軸右邊框部50、Y軸左邊框部51、X軸下邊驅動部52、及X軸上邊驅動部53所構成，前述X軸上邊框部48係朝向Y軸方向配設，而可滑動的朝向X軸方向被支持，並且在其一端部上，可滑動的將前述Y軸右邊框部50朝向Y軸方向支持，前述X軸下邊框部49係與前述X軸上邊框部48並列，朝向X軸方向配設，並且可滑動的朝向X軸方向被支持，並且於其另一端，可滑動的朝向Y軸方向支持前述Y軸左邊框部51，前述Y軸右邊框部50係朝向Y軸方向配設，並且朝向Y軸方向可滑動的被支持於前述X軸上邊框部48的狀態下，其一端部朝向X軸方向可滑動的被支持於前述X軸下邊框部49，前述Y軸左邊框部51與前述Y軸右邊框部50同樣朝向Y軸方向配設，朝向Y軸方向可滑動的被支持在前述X軸下邊框部49的狀態下，其另一端朝向X軸方向可滑動的被支持在前述X軸上邊框部48，前述X軸下邊驅動部52係藉著使前述X軸下邊框部49朝向X軸方向移動，前述X軸上邊驅動部53藉著使前述X軸上邊框部48朝向X軸方向移動，調整前述開口23A的X軸方向。

結果，使前述開口23A的X軸方向之尺寸，可容易的與品種不同的液晶面板22之不同的尺寸對應。

1．．．電氣檢查裝置

2．．．板設定部

3．．．測定部

21．．．可動式探針組件機構

22．．．液晶面板

23．．．工作台基座

23A．．．開口

24．．．基座板

25．．．支柱

26．．．上基座板

27．．．背光

30．．．可動框機構

30A．．．開口

31．．．接觸組件

33．．．Y軸移動機構

34．．．X軸移動機構

36．．．軌道

37．．．導引

38．．．上側基座板

39．．．下側基座板

40．．．Y軸驅動部

42．．．球型螺絲

43．．．軸承

44．．．移動螺帽

45．．．驅動電動機

48．．．X軸上邊框部

48A．．．縫隙

49．．．X軸下邊框部

49A．．．縫隙

50．．．Y軸右邊框部

50A．．．軌道溝

51．．．Y軸左邊框部

51A．．．軌道溝

52．．．X軸下邊驅動部

53．．．X軸上邊驅動部

54．．．軌道

55．．．導引

56．．．軌道

60．．．軌道

61．．．軌道

62．．．軌道

63．．．導引

65．．．軌道

66．．．扣止部

67．．．下側板部

68．．．導引

70．．．球型螺絲

71．．．軸承

72．．．移動螺帽

73．．．驅動電動機

75．．．X軸上邊板軸承

76．．．板軸承部

77．．．接觸組件支持部

78．．．板推桿

80．．．X軸下邊板軸承

81．．．板軸承部

82．．．板定位插銷

84．．．Y軸左邊板軸承

85．．．板軸承部

86．．．接觸組件支持部

87．．．板推桿

90．．．Y軸右邊板軸承

91．．．板軸承部

92．．．板定位插銷

95．．．探針組件

96．．．前端側移動塊

97．．．基端側移動塊

98．．．位置調整機構

100．．．探針基座

101．．．探針塊

102．．．校準相機

105．．．支持板

106．．．前端側連結塊

107．．．導引

108．．．移動限制輥子

109．．．上端側彈簧軸承

111．．．支持柱

115．．．移動基座板

116．．．軌道

117．．．導引

118．．．移動板

119．．．基端側連結塊

120．．．傾斜軌

121．．．下端側彈簧軸承

122．．．第2阻擋部

123．．．抵接部

124．．．放出機構

125．．．第3阻擋部

125A．．．限制支柱部

125B．．．限制輥子部

131．．．軌道

132．．．導引

133．．．移動機構

135．．．球型螺絲

136．．．軸承

137．．．移動螺帽

138．．．驅動電動機

第1圖係本發明之實施形態的電氣檢查裝置之可動式探針組件機構的平面圖。

第2圖係本發明之實施形態的電氣檢查裝置之可動式探針組件機構的側面圖。

第3圖係本發明之實施形態的電氣檢查裝置之可動式探針組件機構的一部分剖面斜視圖。

第4圖係本發明之實施形態的電氣檢查裝置之Y軸移動機構的斜視圖。

第5圖係本發明之實施形態的電氣檢查裝置之X軸移動機構的一部分剖面斜視圖。

第6圖係本發明之實施形態的電氣檢查裝置之接觸組件的斜視圖。

第7圖係本發明之實施形態的電氣檢查裝置之接觸組件的一部分剖面斜視圖。

第8圖係本發明之實施形態的電氣檢查裝置之退避狀態的接觸組件之側面圖。

第9圖係本發明之實施形態的電氣檢查裝置之延出狀態的接觸組件之側面圖。

第10圖係本發明之實施形態的電氣檢查裝置之接觸狀態的接觸組件之側面圖。

第11圖係本發明之實施形態的電氣檢查裝置之接觸狀態的接觸組件之平面圖。

第12圖係本發明之實施形態的電氣檢查裝置之接觸組件的定位動作之概略平面圖。

第13圖係以往之電氣檢查裝置的探針組件之平面圖。

第14圖係本發明之實施形態的電氣檢查裝置的探針組件之平面圖。