JP5406790B2 - プローブユニット及びこれを用いる試験装置 - Google Patents
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Description
12 表示用基板(被検査体)
14 表示用基板の電極
16 プローブベース
18,210 支持台
18a,210a 主体部
18b,210b 脚部
20 プローブ装置
22 中継ベース
24 中継基板
26 空間
30 プローブ組立体
32 支持ブロック
34 連結ブロック
36 結合ブロック
38 組み付け装置
40 接続ブロック
42 プローブ
42a 針主体部
42b 先端領域
42c 後端領域
42d 先端針先
42e 後端針先
44 ブロック片
46 スリットバー
82 ばね押え
120 電気的接続具
122,124 第1及び第2の配線領域
126,128 第1及び第2の配線
200 試験装置
204 支持ベース
206 ワークテーブル
206a パネル受け面
208 ユニット支持機構
212 第2の中継基板
214 配線シート
220,222 第1及び第2の移動体
224 ユニット移動機構
226,228 ストッパ
230 レール
232 ガイド
234 ガイド穴(プローブ変位機構)
236 ロッド(プローブ変位機構)
238 ガイド(プローブ変位機構)
240 レール(プローブ変位機構)
242 圧縮コイルばね(プローブ変位機構)
Claims (15)
- 板状のプローブベースと、該プローブベースの上に配置された支持台と、該支持台に支持されたプローブ装置であって、先端針先及び後端針先を有する複数のプローブを備えるプローブ装置と、該プローブ装置から後方へ延びる電気的接続具であって、前後方向へ延びる複数の配線を有し、かつ各配線の先端部が前記後端針先に接続された電気的接続具とを含み、
前記支持台は、前方、後方及び下方に開放する空間を備え、
前記電気的接続具の後部側の領域は、前記プローブベースの上側に導かれていると共に、前記支持台の前記空間を経て延びている、プローブユニット。 - 前記支持台は、左右方向へ延びる板状の主体部であって、前記プローブ装置が取り付けられた主体部と、主体部の左右方向における各端部から下方へ延びる脚部とにより、門型の正面形状に形成されている、請求項1に記載のプローブユニット。
- 前記脚部の一方は前記主体部の前端から左右方向における一方の側へ突出されており、前記脚部の他方は前記主体部後端から左右方向における他方の側へ突出されており、それにより前記支持台はクランク状の平面形状に形成されている、請求項2に記載のプローブユニット。
- 前記支持台は、前記プローブベース及び前記脚部のいずれか一方を上下方向に貫通して、前記プローブベース及び前記脚部の他方に螺合されたねじ部材により、前記プローブベースに取り付けられている、請求項2及び3のいずれか1項に記載のプローブユニット。
- 複数の前記支持台と、該支持台に個々に支持された複数の前記プローブ装置とを含む、請求項1から4のいずれか1項に記載のプローブユニット。
- 前記支持台に共通に支持された複数の前記プローブ装置を含む、請求項1から4のいずれか1項に記載のプローブユニット。
- さらに、前記プローブベースの上側に配置された中継基板であって、前記電気的接続具の配線の後端部が電気的に接続された中継基板を含む、請求項1から6のいずれか1項に記載のプローブユニット。
- 前記電気的接続具の後端部はコネクタにより前記中継基板に電気的に接続されている、請求項7に記載のプローブユニット。
- 前記中継基板は後方及び上方へ斜めに延びる状態に前記プローブベースの上側に配置されており、前記電気的接続具の後端部はコネクタ及び該コネクタに接続されたケーブルにより前記中継基板に電気的に接続されている、請求項7に記載のプローブユニット。
- 前記プローブ装置は、前記複数のプローブをプローブホルダの下側に配置したプローブ組立体と、該プローブ組立体を支持する第1の支持装置と、該第1の支持装置を支持する第2の支持装置であって、前記支持台に取り付けられた第2の支持装置とを備え、
前記電気的接続具は、前記プローブ組立体の後端部から後方へ延びている、請求項1から9のいずれか1項に記載のプローブユニット。 - 前記電気的接続具は、前記第1の支持装置の下部を経て後方に延びて、前記プローブベースの前端部から前記プローブベースの上側に導かれている、請求項10に記載のプローブユニット。
- 前記電気的接続具は、前後方向へ延びる複数の第1の配線を有する第1の配線領域であって、各第1の配線の先端部が前記プローブの後端針先に接続された第1の配線領域と、前後方向へ延びる複数の第2の配線を有する第2の配線領域であって、各第2の配線の先端部が前記第1の配線の後端部に接続された第2の配線領域とを含み、また前記第2の配線領域において、前記プローブベースの上側に導かれていると共に、前記支持台の前記空間を経ている、請求項1から10のいずれか1項に記載のプローブユニット。
- 前記電気的接続具は、前後方向へ延びる複数の第1の配線を有する第1の配線領域であって、各第1の配線の先端部が前記プローブの後端針先に接続された第1の配線領域と、前後方向へ延びる複数の第2の配線を有する第2の配線領域であって、各第2の配線の先端部が前記第1の配線の後端部に接続された第2の配線領域とを含み、また前記第2の配線領域において、前記プローブベースの上側に導かれていると共に、前記支持台の前記空間を経ており、
前記第1の支持装置は、前記第2の支持装置に支持された支持ブロックと、該支持ブロックに組み付けられた結合ブロックであって、前記プローブ組立体が前部下側に組み付けられかつ前記第1の配線領域が下側に配置された結合ブロックと、前記支持ブロックの後部下側と前記結合ブロックの後部上側との間に配置されて、前記支持ブロックに取り付けられた接続ブロックであって、前記第2の配線領域の先端部が下側に配置された接続ブロックとを含み、
前記第1の配線領域の後端部は、前記結合ブロックの後端において、該結合ブロックの下側から上側に折り返されて、その各配線が前記第2の配線領域の配線に接続されている、請求項10に記載のプローブユニット。 - 前記電気的接続具は、シート状の配線接続具を含む、請求項1から13のいずれか1項に記載のプローブユニット。
- ベースと、該ベースに支持されたワークテーブルであって、平板状被検査体を受ける受け部を有するワークテーブルと、請求項1から14のいずれか1項に記載のプローブユニットであって、前記ベースに配置されたプローブユニットと、該プローブユニットを前記ベースに支持させるユニット支持機構とを含み、
該ユニット支持機構は、前記被検査体と平行なXY面内を前後方向へ移動可能に前記ベースに受けられた第1の移動体であって、前記XY面内を左右方向へ延びる第1の移動体と、斜め上下方向に移動可能に前記第1の移動体に結合された第2の移動体であって、左右方向へ延びる第2の移動体と、前記第2の移動体の最前進位置を規定するストッパと、前記第1の移動体を被検査体に対し進退させ、それにより前記第2の移動体を、前後方向又は左右方向に移動させると共に、上下方向に変位させるプローブ変位機構とを備え、
前記プローブユニットは前記第2の移動体に支持されている、試験装置。
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