JP4313565B2 - プローブ装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の通電試験に用いられるプローブ装置に関する。
【０００２】
【用語の定義】
本発明においては、被検査体と平行な面内における一方向及び他方向をそれぞれ前後方向及び左右方向といい、被検査体に垂直な方向を上下方向といい、プローブの針先部側及び針後部側をそれぞれ前方及び後方といい、被検査体と平行な面を水平面という。
【０００３】
【従来の技術】
集積回路、液晶表示パネル等の平板状被検査体は、一般に、プローブカードやプローブユニット等のプローブ装置を用いて検査される。
【０００４】
液晶表示パネルのような表示用基板の通電試験に用いられるプローブ装置の１つとして特許文献１に記載されたものがあり、またそのようなプローブ装置に用いるプローブブロック（プローブ組立体）の１つとして特許文献２に記載されたものがある。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−１４１７４７
【特許文献２】
特開平１０−１３２８５３
【０００６】
特許文献１のプローブ装置は、左右方向に間隔をおいて前後方向に平行に伸びる複数の配線を、フォトリソグラフィー技術により、電気絶縁性フィルムの一方の面に形成し、各配線の一部をプローブ（プローブ要素）として利用するプローブシートを用いている。
【０００７】
プローブシートは、プローブホルダの下側に装着されてプローブブロックに組み立てられている。プローブブロックは、支持ベースの着脱自在に組み付けられている。各プローブは、プローブ装置として組み立てられた状態において、先端部を表示用基板の電極に押圧される前端針先とされ、後端部を接続ブロック（接続部材）の接続ランドに押圧される後端側針先とされている。
【０００８】
特許文献１のプローブ装置において、大きさ、電極数、電極の配置ピッチ等、種類が異なる表示用基板の通電試験をするとき、試験すべき表示用基板の種類に応じたプローブブロックに交換される。この交換作業は、プローブブロックを支持ベースに対し前後方向へ移動させることにより、行われる。
【０００９】
特許文献２のプローブブロックは、帯状の針主体部と、針主体部の先端から下方にめげられた先鋭の先端針先と、針主体部の後端から上方に曲げられた先鋭の後端針先とを有するブレードタイプのプローブを用いている。
【００１０】
【解決しようとする課題】
しかし、上記のプローブ装置では、プローブブロックの交換時に、後端針先が接続ランドに接触した状態で移動されるから、後端針先又は接続ランドが摩耗又は損傷することを避けることができない。特に、特許文献２のプローブブロックのように、後端針先が先鋭のプローブを用いるプローブブロックを特許文献１のプローブ装置に用いると、プローブブロックの交換時に、後端針先及び接続ランドを損傷してしまう。
【００１１】
本発明の目的は、支持ベースへのプローブブロックの着脱が容易であるにもかかわらず、プローブブロックの交換時における後端針先又は接続ランドの摩耗又は損傷をなくすことにある。
【００１２】
【解決手段、作用及び効果】
本発明に係るプローブ装置は、前端針先及び後端針先を有する複数のプローブをプローブホルダに左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる状態に配置したプローブブロックと、該プローブブロックが下側に配置された支持ブロックと、
該支持ブロックの下側に配置された接続シートであって、前記プローブの前記後端針先が接触される複数の接続ランドを下面に備える接続シートと、前記後端針先が前記接続ランドに接触した状態に前記プローブブロックを前記支持ブロックの下側に解除可能に組み付ける組み付け手段とを含む。
【００１３】
前記プローブブロックは、前後方向へ伸びる突出領域及び該突出領域を上下方向及び前後方向へ変位可能に受け入れるべく前記前後方向へ伸びる溝領域のいずれか一方を上側に備える。前記支持ブロックは前記突出領域及び前記溝領域の他方を下側に備える。前記組み付け手段は、前記プローブブロックの上側及び前記支持ブロックの下側のいずれか一方に形成されて前記上側及び前記下側の他方に突出する１以上の凸部と、該凸部を受け入れるべく前記プローブブロックの上側及び前記支持ブロックの下側の他方に形成された凹部と、前記凸部が前記凹部に受け入れられた状態に前記プローブブロックを前記支持ブロックに対し解除可能に維持する維持手段であって、前記支持ブロックに対する前記プローブブロックの維持を解除したとき、前記凸部が前記凹部から外れるように前記プローブブロックが前記支持ブロックに対し下降ことを許す維持手段とを含む。
【００１４】
上記プローブ装置において、プローブブロックは、突出領域及び凸部がそれぞれ溝領域及び凹部に受け入れられて、後端針先が適宜な接続ランドに接触した状態に、支持ブロックに組み付けられる。
【００１５】
交換時、元のプローブブロックは、凸部が凹部から外された状態で、支持ブロックに対し水平に引き出される。凸部は、プローブブロックを支持ブロックに対し下方へ変位させることにより、凹部から外すことができる。これにより、プローブブロックは、各プローブの後端針先が接続ランドから下方へ離された状態で移動する。
【００１６】
これに対し、新たなプローブブロックは、支持ブロックに対し、突出領域の一部を溝領域に受け入れさせた状態で、水平に押し込まれることにより、組み付けることができる。この際、凸部は凹部が開放する面に当接しており、その状態でプローブブロックが移動されるから、各プローブの後端針先は接続ランドから下方へ離されている。
【００１７】
プローブブロックが支持ブロックに対し所定の位置に移動されると、凸部は凹部に受け入れられ、これにより各プローブの後端針先は接続ランドに当接される。
【００１８】
本発明によれば、プローブブロックを支持ブロックに対し移動させるとき、凹部が開放する面に凸部が当接することにより、後端針先が接続ランドに当接することを防止する。このため、後端針先又は接続ランドの摩耗又は損傷が防止される。
【００１９】
前記プローブブロックは、前記支持ブロックは前後方向又は左右方向に間隔をおいた複数の前記凸部を含み、前記支持ブロックは前記凸部に個々に対応された複数の前記凹部を含むことができる。そのようにすれば、凸部が凹部に受け入れられることにより、支持ブロックに対するプローブブロックの位置決めが行われる。
【００２０】
前記プローブブロックは、前記支持ブロックは前後方向に間隔をおいた複数の前記凸部を含み、前記支持ブロックは前記複数の凸部に個々に対応された複数の前記凹部を含む、前方に位置する前記凸部及び前方に位置する前記凹部の水平方向における断面積は、それぞれ、後方に位置する前記凸部及び後方に位置する前記凹部のそれより小さくすることができる。そのようにすれば、凸部が凹部に受け入れられることにより、支持ブロックに対するプローブブロックの位置決めが行われるのみならず、プローブブロックを支持ブロックに対して移動させるときに、後方に位置する凸部が前方に位置する凹部に受け入れられず、したがって支持ブロックへのプローブホルダの着脱作業がより容易になる。
【００２１】
前記組み付け手段は、さらに、前記凹部に上下方向へ移動可能に配置されたプッシャーピンと、該プッシャーピンを前記凸部に向けて付勢するばね部材とを含むことができる。そのようにすれば、着脱のためにプローブブロックを支持ブロックに対し移動させるとき、凸部が凹部に受け入れられることを防止することができる。
【００２２】
前記プローブブロックは、さらに、上方及び後方に開放する溝であって凸字状の断面形状を有しかつ前後方向へ伸びる溝を含み、前記支持ブロックは、さらに、前記溝領域に開放すると共に当該支持ブロックを上下方向に貫通する貫通穴を含み、前記維持手段は、前記貫通穴に挿入された棒状の主部及び該主部の下端に続くフランジ状の頭部を有する第１のねじ部材であって上方に開放するねじ穴を前記主部に有する、下端部を前記溝に該溝の長手方向へ相対的に移動可能に受け入れられた第１のねじ部材と、前記支持ブロックの上側から前記貫通穴を経て前記ねじ穴に螺合された第２のねじ部材とを含むことができる。
【００２３】
そのようにすれば、プローブブロックの溝の上面を形成している箇所を第１のねじ部材の頭部と支持ブロックとに挟み込むことにより、プローブブロックを支持ブロックに移動不能に組み付けることができる。また、第１及び第２のねじ部材の螺合を緩めることにより、プローブブロックの溝の上面を形成している箇所を第１のねじ部材の頭部とプローブベースとによる挟持から解放して、支持ブロックへのプローブブロックの組み付けを解除することができる。その結果、支持ブロックに対するプローブブロックの組み付け及びその解除が容易になる。
【００２４】
組み付け手段は、さらに、前記第１のねじ部材を常時下方に付勢する弾性部材を備えることができる。そのようにすれば、第１及び第２のねじ部材の螺合を緩めることにより、第１のねじ部材の頭部とプローブブロックとの間隔が自然に大きくなるから、プローブブロックを支持ブロックに対して前後方向へ移動させるだけで、プローブブロックを支持ブロックに対し着脱することができる。
【００２５】
前記プローブブロック及び前記支持ブロックは、さらに、前記凸部が前記凹所に受け入れられた状態において互いに当接するストッパ部を備えることができる。そのようにすれば、両ストッパ部が当接すると、後方へのプローブブロックの移動が阻止されるから、プローブブロックは支持ブロックに対し前後方向の位置決めをされる。
【００２６】
プローブ装置は、さらに、前記プローブブロックを前記支持ブロックに対し前記左右方向の一方側へ付勢する１以上のプランジャを含むことができる。そのようにすれば、左右方向における凹所の１つの側壁と、左右方向における凸部の１つの側壁とが当接することにより、プローブホルダは支持ブロックに対し左右方向の位置決めをされる。
【００２７】
プローブ装置は、さらに、前記プローブブロックを前記組み付け手段により組み付けた複数の前記支持ブロックが一方向に間隔をおいて組み付けられたブロックベースを含むことができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
図１を参照するに、プローブ装置１０は、一部を図１及び図１２に示す液晶表示パネルを検査すべき表示用基板１２とし、表示用基板１２の点灯検査（通電試験）に用いられる。表示用基板１２は、長方形の形状をしており、また複数の電極１４を長方形の隣り合う２つの辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。各電極１４は、これが配置された縁部と直交する方向へ伸びる帯状の形状を有している。
【００２９】
図１から図５を参照するに、プローブ装置１０は、プローブブロック１６と、プローブブロック１６を支持する支持ブロック１８と、支持ブロック１８が連結される連結ブロック２０と、ＴＣＰ（テープ・キャリア・パッケージ）ブロック２２と、連結ブロック２０が取り付けられる平板状のプローブベース２４とを含む。
【００３０】
プローブブロック１６は、図示の例では、導電性材料により製作された複数のプローブ２６を、プローブホルダ２８の平坦な下面に前後方向に間隔をおいて組み付けられた一対のスリットバー３０に左右方向に間隔をおいて前後方向に伸びる状態に配置し、前後方向に間隔をおいた一対のガイドバー３２をプローブ２６に貫通させ、両ガイドバー３２を一対のサイドカバー３４によりプローブホルダ２８に組み付けている。
【００３１】
各プローブ２６は、帯状の主体部と、主体部の前端から前方へ一体的に伸びて先端針先を下方に曲げられた前端領域と、針主体部の後端から後方へ一体的に伸びて後端針先を上方に曲げられた後端領域とを備えるブレードタイプの針とされている。先端針先及び後端針先は、三角形に形成されて、先鋭にされている。
【００３２】
そのようなブレードタイプのプローブは、金属細線から製作されたニードルタイプのプローブや、フォトリソグラフィー技術により製作されたプローブ等、他のプローブに比べ、製造が容易であり、廉価になるのみならず、厚さ寸法を小さくすることによりプローブの配置ピッチを小さくすることができる。
【００３３】
各プローブ２６は、針主体部の幅方向を上下方向とした状態に、かつ、曲げられた前端針先及び後端針先をそれぞれプローブホルダ２８から前方及び後方へ突出させた状態に、スリットバー３０に配置されている。
【００３４】
プローブホルダ２８は、平坦な下面を有する基部領域３６と、基部領域３６から上方へ突出して後方へ伸びる突出領域３８とを備えており、また電気を通さないいわゆる非導電性の、金属材料、セラミック又は合成樹脂により製作されている。
【００３５】
突出領域３８は、基部領域３６の左右方向の中央を前後方向へ伸びる直方体状の形状を有しており、また上方及び後方に開放する凸字状（逆Ｔ字状）の溝４０を有している。
【００３６】
各スリットバー３０は、非導電性の材料により角柱状の形状に製作されており、またプローブホルダ２８の前下面又は後下面に左右方向へ伸びる状態に装着されている。各スリットバー３０は、これの長手方向に所定の間隔をおいて前後方向へ伸びる複数のスリットを下面に有している。各プローブ２６は、前端部及び後端部においてスリットバー３０のスリットに嵌合されている。
【００３７】
各ガイドバー３２は、図示の例では円形の断面形状を有しており、また非導電性の金属材料により形成されている。各ガイドバー３２は、プローブ２６の針主体部及びサイドカバー３４を貫通している。しかし、ガイドバー３２は、矩形の断面形状を有していてもよい。
【００３８】
各サイドカバー３４は、プローブブロック１６の側面と対応した形状の板部材から形成されており、また複数のねじ部材４２によりプローブホルダ２８の側面に取り外し可能に取り付けられている。
【００３９】
図においては、隣り合うプローブ２６が大きく間隔をおいているように示しているが、実際にはプローブ２６の配列ピッチは小さい。プローブ２６の数、厚さ寸法及び配列ピッチ、並びに、スリットバー３０のスリットの数、配置ピッチ及び幅寸法は、検査すべき表示用基板１２の種類、特に電極の配置ピッチと幅寸法とにより異なる。
【００４０】
たとえば、表示用基板１２の電極１４の配置ピッチ及び幅寸法がそれぞれ４０μｍ及び３０μｍである場合、プローブ２６及びスリットの配置ピッチを４０μｍ、スリットの幅寸法を２５μｍ、プローブ２６用の薄い金属板素材の厚さ寸法を２０μｍとすることができる。
【００４１】
プローブブロック１６は、先ず、両スリットバー３０を上記した状態にプローブホルダ２８に取り付けた状態で、各プローブ２６の両端部をスリットバー３０のスリットに挿し込み、次いでガイドバー３２をプローブ２６サイドカバー３４とに挿し通し、その後サイドカバー３４をねじ部材４２でプローブホルダ２８に取り付けることにより、組み立てることができる。これにより、プローブ２６は、ガイドバー３２及びサイドカバー３４を介してプローブホルダ２８に支持される。
【００４２】
プローブ２６の交換は、上記と逆の作業を行って元のプローブを新たなプローブの変更した後、上記と同様の作業を実行することにより、行うことができる。
【００４３】
支持ブロック１８は、第１の支持部材４４をＬ字状の第２の支持部材４６の下面に組み付けている。第１の支持部材４４は、プローブホルダ２８の突出領域３８を前後方向に出入り可能に受け入れる溝領域４８を形成するように、下方及び前後方向に開放するコ字状の断面形状を有している。
【００４４】
プローブブロック１６は、第１及び第２のねじ部材５０，５２により支持ブロック１８に取り外し可能に取り付けられている。
【００４５】
第１のねじ部材５０は、支持ブロック１８をこれの上側から貫通して溝領域４８に開放する貫通穴５４に挿入された棒状の主部と、この主部の下端に続くフランジ状の頭部と、主部に形成されて上方に開放するねじ穴５６とを有しており、また下端部をプローブブロック１６の溝４０に溝４０の長手方向へ相対的に移動可能に受け入れられている。
【００４６】
第２のねじ部材５２は、支持ブロック１８の上側から貫通穴５４を経て第１のねじ部材５０のねじ穴５６に螺合されている。
【００４７】
第１のねじ部材５０は、これの頭部と支持ブロック１８との間の配置された圧縮コイルばね５８により、常時下方に付勢されている。しかし、第１のねじ部材５０は、また、これの主部の上端部に配置された止めリング６０により、支持ブロック１８からの脱落を防止されている。
【００４８】
支持ブロック１８には、一対のプランジャ６２が前後方向に間隔をおいて配置されている。プランジャ６２は、止め具、ボール、及び、止め具とボールとの間にあってボールを止め具と反対の側に押す弾性体を中空のシリンダ内に配置した市販のものであり、プローブホルダ１６の突出領域３８を、溝領域４８を形成している一方の壁面に向けて付勢するように、他方の壁に組み付けられている。
【００４９】
プローブブロック１６は、プランジャ６２により支持ブロック１８に対し左右方向の一方側へ付勢されて、支持ブロック１８に対する左右方向の位置決めをされる。
【００５０】
プローブブロック１６には、ピン状のストッパ６４が突出領域３８の上面前端部に直立状態に取り付けられている。ストッパ６４は、プローブブロック１６の突出領域３８が支持ブロック１８の溝領域４８の所定箇所まで挿入されたとき、第１の支持部材４４の前端面に当接して、プローブホルダ１６を支持ブロック１８に対して前後方向に位置決める。
【００５１】
プローブブロック１６には、左右方向に間隔をおいた２組の凸部６６が前後方向に間隔をおいて突出領域３８の上面に設けられている。各凸部６６を受け入れる凹部６８は、支持ブロック１８に形成されている。
【００５２】
各凹部６８は、溝領域４８に開放しており、またプッシャーピン７０を上下方向へ移動可能に収容していると共に、プッシャーピン７０を凸部６６に向けて下方に付勢するばね部材７２を収容している。
【００５３】
プッシャーピン７０の最下降位置は、プッシャーピン７０に形成されたフランジが第１の支持部材４４の上端面に当接することにより、溝状領域４８の奥底面に制限されている。
【００５４】
第１及び第２のねじ部材５０及び５２、圧縮コイルばね５８、凸部６６、凹部６８、プッシャーピン７０、ばね部材７２は、プローブホルダ２８を支持ブロック１８に解除可能に組み付ける組み付け手段として作用する。
【００５５】
支持ブロック１８は、上下方向へ伸びるガイド７４及び一対のガイドレール７６により連結ブロック２０に上下方向へ移動可能に連結されていると共に、ボルト７８により連結ブロック２０に上下方向の位置を調整可能に連結されている。
【００５６】
ガイド７４は、厚板状のリニアガイドであり、上下方向へ伸びる状態に支持ブロック１８の後端面に取り付けられている。これに対し、両ガイドレール７６は、ガイド７４を両ガイドレール７６の間に上下方向へ移動可能に受け入れるように、左右方向に間隔をおいて上下方向へ伸びており、また連結ブロック２０の前端面に取り付けられている。
【００５７】
ボルト７８は、連結ブロック２０の主体部から前方へ伸びるアーム部を上方から下方へ貫通しており、また支持ブロック１８に形成されたねじ穴８０に螺合されている。
【００５８】
支持ブロック１８は、これと連結ブロック２０との間に配置された一対の圧縮コイルばね８２により下方に付勢されている。このため、ねじ穴８０へのボルト７８のねじ込み量を調整することにより、支持ブロック１８、ひいてはプローブブロック１６の高さ位置を調整することができる。
【００５９】
連結ブロック２０は、複数のボルト８４によりプローブベース２４に取り外し可能に取り付けられている。各ボルト８４は、連結ブロック２０を上方から下方に貫通しており、またプローブベース２４に形成されたねじ穴８６に螺合されている。
【００６０】
ＴＰＣブロック２２は、矩形の厚板の形に製作されており、また溝領域４８を閉鎖する状態に第１の支持部材４４の下面に取り外し可能に取り付けられている。ＴＰＣブロック２２の下面には、接続シートとして作用するタブ（ＴＡＢ）８８が取り付けられている。
【００６１】
ＴＡＢ８８は、２組の配線群を形成するそれぞれ複数の配線９０，９２を電気絶縁シートの下面に形成した一般的なものであり、前後方向中央部に駆動用の集積回路９４を配置している。
【００６２】
一方の配線群の配線９０は、集積回路９４から後方へ伸びており、後端側においてフラットケーブル（ＦＰＣ）９６に接続されている。ＦＰＣ９６は、検査装置の電気回路に接続される。
【００６３】
他方の配線群の配線９２は、集積回路９４から前方へ伸びており、前端部をプローブ２６の後端側の針先が一対一の形に接触される接続ランドとして利用される。
【００６４】
ＴＡＢ８８の前端部下面には、帯状のガイドフィルム９８が左右方向へ伸びる状態に取り付けられている。ガイドフィルム９８は、プローブ２６の各後端針先を対応する配線９２に対して位置決めて、安定させるものである。このため、ガイドフィルム９８は、プローブ２６の後端針先を個々に受け入れる複数のスロットを左右方向に所定のピッチで有している。
【００６５】
プローブ装置１０において、プローブブロック１６は、突出領域３８及び各凸部６６がそれぞれ溝領域４８及び凹部６８に受け入れられて、後端針先がＴＡＢ８８の接続ランド（配線９２の先端部）に接触した状態に、支持ブロック１８に組み付けられており、また後端針先がＴＡＢ８８の接続ランドに適宜な圧力で押圧されている。
【００６６】
交換時、先ず、ねじ部材５０，５２の螺合状態をゆるめられることにより、元のプローブブロック１６は、圧縮コイルばね５８により支持ブロック１８に対し下方へ変位される。これにより、凸部６６が凹部６８から外される。次いで、上記状態で、プローブブロック１６は、支持ブロック１８に対し水平に引き出される。
【００６７】
引き出し時、プローブブロック１６は、これが圧縮コイルばね５８により支持ブロック１８に対し少なくとも凸部６６の高さ分Ｘだけ下方へ変位されているから、少なくとも凹部６８が開放する面に凸部６６を当接させた状態で、移動される。
【００６８】
これに対し、先ず新たなプローブブロック１６は、図６に示すように第１のねじ部材５０を圧縮コイルばね５８により下げた状態で、突出領域３８の後端部を溝領域４８に受け入れられる。
【００６９】
次いで、新たなプローブブロック１６は、上記状態で、図７（Ａ）に示すように、ストッパ６４が第１の支持部材４４の前端面に当接するまで、水平に押し込まれる。この際、新たなプローブブロック１６は、プランジャ６２により左右方向の一方に押圧されて、支持ブロック１８に対する左右方向の正しい位置決め移動される。
【００７０】
ストッパ６４が第１の支持部材４４の前端面に当接するまで、新たなプローブブロック１６が押し込まれると、新たなプローブブロック１６は支持ブロック１８に対する前後方向の位置決めをされる。これにより、支持ブロック１８に対する左右方向の位置決めをされていることと相まって、凸部６６は凹部６８と対向される。
【００７１】
押し込み時においても、プローブブロック１６は、これが圧縮コイルばね５８により支持ブロック１８に対し少なくとも凸部６６の高さ寸法Ｘだけ下方へ変位されているから、図７（Ａ）及び（Ｂ）に示すように少なくとも凹部６８が開放する面に凸部６６が当接した状態で、移動される。
【００７２】
凸部６６と凹部６８とが対向した状態で、ねじ部材５０，５２が締め付けられると、図８（Ａ）に示すように、プローブブロック１６が支持ブロック１８に対し上昇されて、凸部６６が凹部６８に受け入れられる。これにより、プローブブロック１６は支持ブロック１８に対し左右方向及び前後方向への移動を阻止されて完全に位置決めをされ、また図８（Ｂ）に示すように各プローブ２６の後端針先は接続ランドに当接される。
【００７３】
引き出し時及び差し込み時のいずれにおいても、プローブブロック１６が支持ブロック１８に対し移動されるとき、プローブブロック１６は、図７（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、プローブブロック１６が支持ブロック１８に対し少なくとも凸部６６の高さ分Ｘだけ下方へ変位されているから、図７（Ｂ）に示すようにプローブ２６の後端針先はＴＡＢ８８から少なくともＸだけ下方に離された位置を移動される。
【００７４】
同様の理由から、ガイドフィルム９８の厚さ寸法をαとしたとき、プローブブロック１６が少なくともガイドフィルム９８からＸ−αだけ下方に離された位置を移動されるから、プローブ２６の後端針先はガイドフィルム９８から少なくともＸ−αだけ下方に離された位置を移動される。
【００７５】
上記のように、プローブ２６の後端針先がＴＡＢ８８及びガイドフィルム９８に接触しない状態で、プローブブロック１６が移動されると、後端針先又は接続ランドの摩耗又は損傷が防止される。
【００７６】
表示用基板１２の通電試験に用いられるプローブ装置１０は、一般に、図９及び図１０に示すように、プローブブロック１６、支持ブロック１８、連結ブロック２０、ＴＰＣブロック２２、ＴＡＢ８８及びＦＰＣ９６を用いるプローブ組をプローブベース２４に複数組配置している。
【００７７】
図９及び図１０に示す例では、矩形の表示用基板１２の隣り合う２つの辺のうち、一方及び他方の辺にそれぞれ４つ及び５つのプローブ組を対応する辺の方向に間隔をおいてプローブベース２４及び２４に配置している。しかし、用いるプローブ組の数等は、検査すべき表示用基板１２の種類により異なる。
【００７８】
図１１を参照するに、プローブブロック１００は、プローブ２６の後端針先を個々に受け入れる複数のスロット１０２を、Ｌ字状の断面形状を有する長尺のガイド１０４にガイド１０４の長手方向に間隔をおいて形成し、ガイド１０４をプローブホルダ２８の後端面にガイドが左右方向へ伸びる状態に取り付けている。
【００７９】
上記のプローブブロック１００によれば、プローブ２６の後端針先がガイドフィルム９８のスロット１０６とガイド１０４のスロット１０２とに受け入れられることより、左右方向におけるプローブ２６の後端針先の位置がより安定する。
【００８０】
図１２及び図１３を参照するに、プローブブロック１１０は、前方に位置する各凸部１１２を後方に位置する凸部１１４より小さくしている。これにともなって、支持ブロック１８側の凹部も、前方に位置する各凹部１１６を後方に位置する凹部１１８より小さくしている。
【００８１】
プローブブロック１００によれば、凸部が凹部に受け入れられることにより、支持ブロック１８に対するプローブブロック１１０の位置決めが行われるのみならず、プローブブロック１１０を支持ブロック１８に対して移動させるときに、後方に位置する凸部１１８が前方に位置する凹部１１２に受け入れられず、したがって支持ブロック１８へのプローブホルダ１１０の着脱作業がより容易になる。
【００８２】
本発明においては、凹部及び凸部の組は１組以上備えていればよい。しかし、前後方向又は左右方向に間隔をおいた複数組の凹部及び凸部を備えていると、前後方向又は左右方向におけるプローブブロックの位置決めが確実に行われる。また、前後方向と左右方向とに間隔をおいた（斜めに間隔をおいた）複数組の凹部及び凸部を備えていると、前後方向及び左右方向におけるプローブブロックの位置決めが確実に行われる。
【００８３】
また、本発明においては、凸部及び凹部をプローブブロック及び支持ブロックのいずれの側に設けてもよいし、突出領域及び溝領域をプローブブロック及び支持ブロックのいずれの側に設けてもよい。
【００８４】
さらに、本発明においては、ブレードタイプのプローブに代えて、金属細線により製作したニードルタイプのプローブ、各配線の一部をプローブとして用いるプローブ要素等、他のプローブを用いてもよい。
【００８５】
本発明は、液晶表示パネル用のプローブ装置のみならず、薄膜トランジスタが形成されたガラス基板のような他の表示用基板用のプローブ装置、集積回路のような他の平板状被検査体用のプローブ装置にも適用することができる。
【００８６】
本発明は、水平に配置された被検査体用のプローブ装置のみならず、斜めに傾斜された被検査体用のプローブ装置にも適用することができる。
【００８７】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るプローブ装置の一実施例を示す側面図である。
【図２】図１に示すプローブ装置の平面図である。
【図３】図１に示すプローブ装置の正面図である。
【図４】図１に示すプローブ装置の底面図である。
【図５】図１に示すプローブ装置の断面図である。
【図６】図１に示すプローブ装置においてプローブブロックを支持ブロックに装着する前の状態を示す図である。
【図７】（Ａ）はプローブブロックを支持ブロックに対し前進させた状態を示す図であり、（Ｂ）は後端針先とＦＰＣとの関係を示す図である。
【図８】（Ａ）はプローブブロックを支持ブロックに完全に装着した状態を示す図であり、（Ｂ）は後端針先とＴＡＢとの関係を示す図である。
【図９】実際のプローブ装置の全体を示す平面図である。
【図１０】図９に示すプローブ装置の一部を拡大して示す斜視図である。
【図１１】プローブブロックの他の例を示す図である。
【図１２】プローブブロックのさらに他の実施例を示す図である。
【図１３】図１２に示すプローブブロックを支持ブロックに装着する状態を説明するための図である。
【符号の説明】
１０ プローブ装置
１２ 表示用基板
１４ 表示用基板の電極
１６，１００，１１０ プローブブロック
１８ 支持ブロック
２０ 連結ブロック
２２ ＴＣＰブロック
２４ プローブベース
２６ プローブ
２８ プローブホルダ
３０ スリットバー
３２ ガイドバー
３４ サイドカバー
３６ プローブホルダの基部領域
３８ プローブホルダの突出領域
４０ 溝
４４，４６ 第１及び第２の支持部材
４８ 溝領域
５０，５２ 第１及び第２のねじ部材
５４ 貫通穴
５６ ねじ穴
５８ 圧縮コイルばね（弾性部材）
６２ プランジャ
６４ ストッパ
６６，１１２，１１４ 凸部
６８，１１６，１１８ 凹所
７０ プッシャーピン
７２ 圧縮コイルばね（ばね部材）
８８ ＴＡＢ
９８ ガイドフィルム

Claims (9)

1. 前端針先及び後端針先を有する複数のプローブをプローブホルダに左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる状態に配置したプローブブロックと、
   該プローブブロックが下側に配置された支持ブロックと、
   該支持ブロックの下側に配置された接続シートであって、前記プローブの前記後端針先が接触される複数の接続ランドを下面に備える接続シートと、
   前記後端針先が前記接続ランドに接触した状態に前記プローブブロックを前記支持ブロックの下側に解除可能に組み付ける組み付け手段とを含み、
   前記プローブブロックは、前後方向へ伸びる突出領域及び該突出領域を上下方向及び前後方向へ変位可能に受け入れるべく前記前後方向へ伸びる溝領域のいずれか一方を上側に備え、
   前記支持ブロックは前記突出領域及び前記溝領域の他方を下側に備え、
   前記組み付け手段は、前記プローブブロックの上側及び前記支持ブロックの下側のいずれか一方に形成されて前記上側及び前記下側の他方に突出する１以上の凸部と、該凸部を受け入れるべく前記プローブブロックの上側及び前記支持ブロックの下側の他方に形成された凹部と、前記凸部が前記凹部に受け入れられた状態に前記プローブブロックを前記支持ブロックに対し解除可能に維持する維持手段であって、前記支持ブロックに対する前記プローブブロックの維持を解除したとき、前記凸部が前記凹部から外れるように前記プローブブロックが前記支持ブロックに対し下降ことを許す維持手段とを含む、プローブ装置。
2. 前記プローブブロックは前後方向又は左右方向に間隔をおいた複数の前記凸部を含み、前記支持ブロックは前記凸部に個々に対応された複数の前記凹部を含む、請求項１に記載のプローブ装置。
3. 前記プローブブロックは前後方向に間隔をおいた複数の前記凸部を含み、前記支持ブロックは前記複数の凸部に個々に対応された複数の前記凹部を含み、前方に位置する前記凸部及び前方に位置する前記凹部の水平方向における断面積は、それぞれ、後方に位置する前記凸部及び後方に位置する前記凹部のそれより小さい、請求項１に記載のプローブ装置。
4. 前記組み付け手段は、さらに、前記凹部に上下方向へ移動可能に配置されたプッシャーピンと、該プッシャーピンを前記凸部に向けて付勢するばね部材とを含む、請求項１から３のいずれか１項に記載のプローブ装置。
5. 前記プローブブロックは、さらに、上方及び後方に開放する溝であって凸字状の断面形状を有しかつ前後方向へ伸びる溝を含み、前記支持ブロックは、さらに、前記溝領域に開放すると共に当該支持ブロックを上下方向に貫通する貫通穴を含み、
   前記維持手段は、前記貫通穴に挿入された棒状の主部及び該主部の下端に続くフランジ状の頭部を有する第１のねじ部材であって上方に開放するねじ穴を前記主部に有する、下端部を前記溝に該溝の長手方向へ相対的に移動可能に受け入れられた第１のねじ部材と、前記支持ブロックの上側から前記貫通穴を経て前記ねじ穴に螺合された第２のねじ部材とを含む、請求項１から４のいずれか１項に記載のプローブ装置。
6. 前記組み付け手段は、さらに、前記第１のねじ部材を常時下方に付勢する弾性部材を備える、請求項５に記載のプローブ装置。
7. 前記プローブブロック及び前記支持ブロックは、さらに、前記凸部が前記凹所に受け入れられた状態において互いに当接するストッパ部を備える、請求項１から６のいずれか１項に記載のプローブ装置。
8. さらに、前記プローブブロックを前記支持ブロックに対し前記左右方向の一方側へ付勢する１以上のプランジャを含む、請求項１から７のいずれか１項に記載のプローブ装置。
9. さらに、前記プローブブロックを前記組み付け手段により組み付けた複数の前記支持ブロックが一方向に間隔をおいて組み付けられたブロックベースを含む、請求項１から８のいずれか１項に記載のプローブ装置。

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