KR100452537B1

KR100452537B1 - 접촉자 블록 및 전기적 접속장치

Info

Publication number: KR100452537B1
Application number: KR10-2002-0069163A
Authority: KR
Inventors: 요시에이 하세가와
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2002-06-04
Filing date: 2002-11-08
Publication date: 2004-10-13
Also published as: TW200308033A; CN1467806A; DE60224654T2; US6672877B2; KR20030095176A; TW589692B; EP1376140A3; DE60224654D1; SG107622A1; EP1376140B1; JP4355127B2; US20030224635A1; JP2004012187A; EP1376140A2; CN100505199C

Abstract

본 발명의 접촉자 블록 및 전기적 접속장치는 회로요소의 배치공간을 설치하기 위한 것이다. 접촉자 블록은 아래면, 및 상기 아래면에 이어지는 측면에 형성된 후퇴부를 갖는 봉형상의 홀더와, 홀더의 세로방향으로 간격을 둔 복수의 접촉자를 갖춘 접촉시트로 접촉자가 홀더의 아래면에 위치하는 상태로 홀더의 외주에 배치된 접촉시트를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

접촉자 블록 및 전기적 접속장치{Contactor Block and Apparatus for Electrical Connection}

발명의 분야

본 발명은 프로브 시트와 같은 접촉자 시트를 이용한 접촉자 블록 및 이것을 이용한 전기적 접속장치에 관한 것이다.

발명의 배경

최근, 프로브 카드와 같은 전기적 접속장치에 있어서는, 동일한 반도체 웨이퍼에 형성된 복수의 집적회로에 대한 통전(通電)시험을 동시에 행할 수 있는 것이 요구되고 있다.

그와 같은 전기적 접속장치의 하나로서, 전기 절연성 필름에 형성된 배선의 일부를 프로브 요소로서 이용하는 프로브 시트나 접촉자 시트 등으로 불리고 있는 접촉시트를 홀더에 설치한 접촉 블록이나 프로브 블록 등으로 불리고 있는 복수의 접촉자 블록을 제조하고, 그와 같은 복수의 접촉자 블록을 프레임에 설치한 것이 제안되고 있다(특개2000-147005호, 특개2000-150595호).

종래의 이러한 종류의 접촉자 블록은 접촉자로서 작용하는 돌기전극이 각각의 프로브 요소에 배치된 접촉시트를 이용함과 동시에, 판 형상의 홀더를 이용하고, 접촉시트를 홀더에 감아 설치하고 있다. 그와 같은 접촉자 블록을 이용한 종래의 전기적 접속장치는 복수의 접촉자 블록을 홀더의 두께방향으로 간격을 두고 프레임에 설치되어 있다.

그러나, 종래의 접촉자 블록에서는 전원에 접속되는 콘덴서와 같은 회로요소를 배치할 수 있는 공간(space)이 없고, 이에 따라 접촉시트의 배선에 접속되는 플렉시블(flexible) 인쇄회로기판(FPC)이나 접촉자 블록이 배치되는 프레임 등, 접촉자 블록 이외의 부재에 회로요소를 배치시킬 수 없고, 그 결과 회로요소와 접촉자와의 사이의 전기적 통로가 길어져 정확한 통전시험을 행할 수 없는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은 회로요소의 배치공간을 확보하기 위한 것이다.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다. 이하 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.

도1은 본 발명에 따른 전기적 접속장치의 한 실시예를 나타낸 사시도이다.

도2는 본 발명에 따른 접촉자 블록의 한 실시예를 나타낸 사시도이다.

도3은 도2에 나타낸 접촉자 블록의 저면도이다.

도4는 도2에 나타낸 접촉자 블록의 정면도이다.

도5는 도2에 나타낸 접촉자 블록의 일부 확대 평면도이다.

도6은 도2에 나타낸 접촉자 블록의 일부 확대 정면도이다.

도7은 도5에 있어서의 7-7선 단면도이다.

도8은 도2에 나타낸 접촉자 블록의 일부 확대 저면도이다.

도9는 도7에 있어서의 9-9선 단면도이다.

도10은 배선기판과 접촉자 블록과의 전기적 접속상태의 한 실시예를 나타낸 단면도이다.

도11은 본 발명에 따른 접촉자 블록의 다른 실시예를 나타낸 일부 사시도이다.

도12는 도11에 나타낸 접촉자 블록의 일부 확대 저면도이다.

도13은 도11에 나타낸 접촉자 블록에 있어서의 도9와 같은 단면도이다.

도14는 피검사체로서의 집적회로의 패드 전극의 배치예를 나타낸 도면으로, (A)는 제1예, (B)는 제2예를 나타낸다.

도15는 접속용 접촉자의 한 실시예를 나타낸 평면도이다.

* 도면의 주요부호에 대한 설명 *

10 : 전기적 접속장치 12, 16 : 집적회로

14, 18 : 패드 전극 20 : 배선기판

22 : 프레임 24, 100 : 접촉자 블록

34 : 홀더 40 : 접촉시트

42 : 회로요소 46, 48 : 요(凹)소

50 : 탄성판 52 : 압력판

54 : 암나사 구멍 56 : 조정나사

60 : 필름 62 : 배선

64 : 접촉자 68 : 프로브 요소

70 : 슬릿 72 : 접속용 접촉자

102 : 칼날부 104 : 연장영역

106 : 보조 접촉자 108 : 보조 배선

112 : 슬릿 114 : 보조 프로브 요소

본 발명에 따른 접촉자 블록은 하면 및 상기 하면에 연결된 측면에 형성된 후퇴부를 갖는 봉 형상의 홀더와, 상기 홀더의 세로방향으로 간격을 둔 복수의 제1 접촉자를 갖춘 접촉시트로서 상기 제1 접촉자가 상기 하면에 위치하는 상태로 상기 홀더의 외주에 배치된 접촉시트를 포함한다.

상기 후퇴부는 상기 하면에 대해 경사진 경사측면이나 측면에 형성된 하향(下向) 계단부 등으로 할 수 있다. 그와 같은 후퇴부를 포함하는 홀더의 외주에 접촉시트를 배치하면, 상기 후퇴부에 대응하는 접촉시트 부분이 측면에서 후퇴한 후퇴영역이 형성된다.

그와 같은 후퇴영역을 갖는 접촉자 블록은 콘덴서와 같은 1 이상의 회로요소를 상기 후퇴영역에 대응하는 위치의 접촉시트 부위에 배치할 수 있게 된다. 또한 복수의 제1 접촉자 블록을 프레임 등의 지지수단에 병렬적으로 배치한 경우에도 접촉자 블록의 배열 피치를 회로요소의 최소한의 두께만큼 작게 할 수 있을 뿐만 아니라, 회로요소와 제1 접촉자와의 사이의 전기적 통로가 짧아져 정확한 통전시험을 행할 수 있다.

게다가, 상기 홀더는 상기 하면과 마주보는 윗면을 갖고, 게다가 상기 접촉시트는 상기 홀더의 세로방향으로 간격을 둔 복수의 제2 접촉자로 상기 홀더의 윗면에 대응하는 곳에 배치된 복수의 제2 접촉자와, 상기 제1 및 제2 접촉자를 일대일의 관계로 전기적으로 접속하는 복수의 배선을 갖추고 있어도 좋다.

게다가, 상기 홀더는 각각이 2 이상의 상기 제1 접촉자를 포함하는 1 이상의 접촉자군에 각각 대응되고, 상기 대응하는 접촉자군의 배치범위 내에서 상기 홀더의 세로방향으로 연장하는 복수의 요(凹)소로 최소한 상기 하면으로 개방되는 복수의 요(凹)소, 및 각각의 요(凹)소에 대응되고, 대응하는 요(凹)소에 연결되어 통하는 1 이상의 암나사 구멍을 갖고, 각각의 요(凹)소에는 상기 접촉시트가 대응하는 접촉자군의 배치영역에 접하는 탄성판, 및 상기 탄성판의 윗면에 접하는 압력판이 배치되고, 그리고 각각의 나사구멍에는 상기 압력판의 윗면에 접하는 조정나사가배치되어 있어도 좋다. 그와 같이 하면, 암나사 구멍으로 조정나사가 삽입되는 양을 조정함으로써, 홀더로부터의 접촉자의 돌출량이 조정할 수 있기 때문에, 홀더에 대한 접촉자의 높이 위치를 접촉자군 마다 조정할 수 있다.

위와 같은 구성과는 달리, 상기 홀더는 홀더의 세로방향으로 간격을 두고 연장하는 복수의 요(凹)소로서 최소한 상기 하면으로 개방되는 복수의 요(凹)소, 및 각각의 요(凹)소에 대응되고, 그 대응하는 요(凹)소에 연결되어 통하는 복수의 암나사 구멍을 갖고, 각각의 요(凹)소에는 상기 접촉시트에 접하는 탄성판, 및 상기 탄성판의 윗면에 접하는 압력판이 배치되어 있고, 그리고 각각의 나사구멍에는 상기 압력판의 윗면에 접하는 조정나사가 배치되어 있어도 좋다. 그와 같이 해도, 암나사 구멍으로 조정나사가 삽입되는 양을 조정함으로써, 홀더로부터의 접촉자의 돌출량을 조정할 수 있기 때문에, 홀더에 대한 접촉자의 높이 위치를 지지영역에 위치하는 접촉자군 마다 조정할 수 있다.

게다가, 상기 홀더는 상기 측면 옆으로 돌출하는 1 이상의 삼각형 모양 칼날부로 상기 하면과 같은 저면을 갖는 1 이상의 칼날부를 갖고, 접촉시트는 상기 저면에 배치된 연장영역과, 그 연장영역에 배치된 보조 접촉자를 갖추고 있어도 좋다.

상기 접촉시트는 전기 절연성의 시트부재와, 상기 시트부재에 병렬적으로 배치된 복수의 배선을 포함하고, 상기 제1 접촉자는 상기 배선의 일단부에 배치되어 있고, 상기 시트부재는 상기 제1 접촉자가 배치된 상기 배선의 단부를 프로브 요소로서 작용하게 하는 복수의 슬릿을 가질 수 있다.

본 발명에 따른 전기적 접속장치는 상기와 같은 1 이상의 접촉자 블록과, 상기 접촉자 블록이 그 각각의 제1 접촉자를 아래쪽으로 한 상태로 병렬로 설치된 지지수단을 포함한다. 이러한 형태의 전기적 접속장치에 의해서도, 상기의 접촉자 블록과 같은 작용효과를 얻을 수 있다.

상기 지지수단은 복수의 접촉자 블록이 그 각각의 제1 접촉자를 아래쪽으로 한 상태로 병렬로 설치된 프레임과, 복수의 배선을 갖춘 배선기판으로 상기 하면에 상기 프레임이 설치된 배선기판을 포함할 수 있다.

도1을 참조하면, 전기적 접속장치(10)는 예를 들어 도14에 나타낸 집적회로(12)와 같이, 동일한 반도체 웨이퍼에 형성된 장방형의 복수의 집적회로의 통전시험을 동시에 행하는 테스터(tester)에 프로브 카드로서 이용되도록 구성되어 있다.

피검사체로서의 집적회로로는, 도14(A)에 나타낸 것과 같이 복수의 패드 전극(14)을 집적회로(12)의 폭 방향 중앙부에 세로방향으로 간격을 두고 일렬로 구비하거나, 도14(B)에 나타낸 것과 같이 집적회로(16)의 세로방향 중앙부에서 폭방향의 양단에 패드 전극(18)을 더 구비하는 등, 적당한 패턴의 전극배치를 갖는 것으로 할 수 있다.

전기적 접속장치(10)는 전기절연재료로 제작된 원판상의 배선기판(20)과, 배선기판(20)의 하면에 설치된 프레임(22)과, 프레임(22)에 병렬로 설치된 긴 복수의 접촉자 블록(24)을 포함한다.

배선기판(20)은 도10에 나타낸 바와 같이, 테스터의 전기회로에 접속되는 복수의 테스터 랜드(도시되지 않음)와, 접촉자 블록(24)에 전기적으로 접속되는 복수의 돌기전극(26)과, 테스터 랜드와 돌기전극(26)을 전기적으로 일대일 접속하는 복수의 배선(28)을 갖추고 있다. 돌기전극(26)은 원추형상(또는, 각뿔형상)의 정수리부를 갖고 있다.

프레임(22)은 사각형의 개구를 형성하도록 사각형의 형상으로 제작되어 있고, 복수의 나사부재(30)에 의해 배선기판(20)에 설치되어 있다. 접촉자 블록(24)은 서로 평행하게 연장하도록, 복수의 나사부재(32)에 의해 프레임(22)의 하면에 설치되어 있다.

계속해서, 도2∼도10을 참조하여, 도14(A)에 나타낸 전극배치 패턴을 갖는 집적회로(12)에 적용하는 접촉자 블록(24)의 한 실시예에 대해서 설명한다.

각 접촉자 블록(24)은 봉 형상의 홀더(34); 홀더(34)의 윗면에 배치된 띠 형상의 탄성판(36); 탄성판(36) 위에 겹쳐서 배치된 띠 형상의 스페이서(38); 홀더(34), 탄성판(36) 및 스페이서(38)를 서로 겹친 홀더 조립체의 외주에 감아 설치된 접촉시트(40); 및 전원에 접속되는 콘덴서와 같은 복수의 회로요소(42)를 포함한다.

홀더(34)는 하면, 상기 하면의 폭방향의 각 단부에서 비스듬하게 연장되는 2개의 경사측면, 각 경사측면에서 위쪽으로 연장되는 수직측면, 및 하면과 마주보는 윗면에 의해, 거의 받침대 형상의 단면형상을 갖는다. 상기 면들은 홀더(34)의 양 단부영역을 제외하고, 홀더(34)의 세로방향으로 연속하여 형성되어 있다.

홀더(34)의 하면, 양 경사측면, 및 양 수직측면에는 각각 1 이상의 풀이 담기는 홈(44)이 형성되어 있다. 각 풀이 담기는 홈(44)은 대응하는 면으로 개방해 있고, 마찬가지로 홀더(34)의 양 단부영역을 제외하고, 홀더(34)의 세로방향으로 연속하여 형성되어 있다. 각 풀이 담기는 홈(44)은 접촉시트(40)를 홀더(34)에 장착할 때에 장착용 접착제의 저장에 이용된다.

또한, 홀더(34)는 하면으로 개방하는 복수의 제1 요(凹)소(46)와 제1 요(凹)소(46)에 연결되어 통하는 복수의 제2 요(凹)소(48) 한 쌍을 홀더(34)의 양 단부영역을 제외한 영역에 세로방향으로 간격을 두고 갖고 있다. 쌍을 이루는 제1 및 제2 요(凹)소(46 및 48)는 홀더(34)를 두께방향으로 관통하도록 형성되어 있다. 제1 요(凹)소(46)의 폭은 제2 요(凹)소(48)의 폭보다 크다.

각각의 제1 요(凹)소(46)에는 제2 요(凹)소(48)의 폭과 거의 같은 폭을 갖는 장방형의 고무판과 같은 직방체 형상의 탄성판(50)이 접촉시트(40)에 접하도록 배치되어 있다. 각 제2 요(凹)소(48)에는 압력판(52)이 배치되어 있다. 탄성판(50) 및 압력판(52)은 홀더(34)의 세로방향으로 연장해 있다.

게다가, 홀더(34)는 각각의 제2 요(凹)소(48)의 세로방향의 각 단부에 암나사 구멍(54)을 갖고 있다. 각 암나사 구멍(54)에는 조정나사(56)가 결합되어 있다.

접촉자 블록(24)의 탄성판(36) 및 스페이서(38)는 홀더(34)의 세로방향으로 연장해 있고, 또한 제2 요(凹)소(48)에 각각 대응하는 복수의 구멍(58 및 58)을 각각 갖고 있다. 각 구멍(58)은 대응하는 제2 요(凹)소(48)의 길이와 거의 같은 길이를 갖고 있다.

접촉시트(40)는 폴리이미드와 같은 전기절연재료로 장방형으로 형성된 필름(60)과, 필름(60)의 세로방향으로 간격을 두고 폭방향으로 연장하도록 필름(60)에 병렬로 형성된 복수의 배선(62)을 갖추고 있다.

배선(62)은 도9에 나타낸 바와 같이, 필름(60)의 폭방향의 중앙부에서 폭방향의 단부를 향해 연장해 있음과 동시에, 필름(60)의 세로방향으로 간격을 두고 있다. 그와 같은 배선(62)에는 도8 및 도9에 나타낸 바와 같이, 필름(60)의 폭방향의 중앙부에서 폭방향에 있어서의 일단부를 향해 연장하는 배선과, 다른 단부를 향해 연장하는 배선이 필름(40)의 세로방향으로 번갈아 존재한다.

각 배선(62)은 도9에 나타낸 바와 같이, 필름(60)의 폭방향의 중앙 및 단부의 배선영역(62a 및 62b)이 필름(60)의 한쪽 면에 형성되고, 양 배선영역(62a, 62b) 사이의 배선영역(62c)이 필름(60)의 다른 쪽 면에 형성되고, 그들 배선영역(62a, 62b, 62c)이 필름(60)에 형성된 스루 홀(through hole)과 같은 도전성 부분에 의해 전기적으로 접속되어 있다.

각 배선(62)의 배선영역(62a)의 선단에는 원추형, 다각뿔형, 반원형 등 돌기형상의 접촉자(64)가 판 형상의 복수의 시트(座)(66)를 통해 형성되어 있다. 접촉자(64)는 필름(60)의 폭방향의 중앙에 세로방향으로 일렬로 배열되어 있다.

필름(60)은 각 배선(62)의 배선영역(62a)의 선단부를 프로브 요소(68)로서 작용하게 하는 U자 형상 또는 コ자 형상의 슬릿(70)을 갖고 있다. 이에 의해, 서로 이웃하는 프로브 요소(68)는 서로 독립하여 탄성변형이 가능하게 되어 있다.

이에 대해, 각 배선(62)의 단부영역(62b)의 선단에는 도10에 나타낸 바와 같이, 배선기판(20)의 돌기전극(26)에 접속되는 접속용 접촉자(72)가 형성되어 있다. 스페이서(38) 및 필름(60)은 각각의 접속용 접촉자(72)가 돌기전극(26)에 의해 눌릴 때에 접속용 접촉자(72)가 용이하게 탄성 변형되도록 하는 구멍(74 및 74)을 갖고 있다.

접속용 접촉자(72)로는, 이것이 돌기전극(26)에 의해 눌렸을 때에 탄성 변형하는 것을 이용하는 것이 바람직하다. 그러나, 접속용 접촉자(72)로서, 평판 형상의 랜드, 스루 홀 등, 다른 종류의 것이어도 좋다.

필름(60)에는 전원의 어스(earth)에 접속되는 복수의 전극판(76)이 배선영역(62a, 62b) 사이에 홀더(34)의 세로방향으로 간격을 두고 배치되어 있다. 이 때문에, 접촉자(64)는 제1 및 제2 요(凹)소(46 및 48)에 대응하고, 게다가 홀더(34)의 세로방향으로 간격을 둔 복수의 접촉자군으로 나뉘어져 있다. 각 전극판(76)은 홀더(34)의 제1 및 제2 요(凹)소(46 및 48)에 대응하여 배치되어 있다.

접촉시트(40)는 접촉자(64)가 아래쪽으로 돌출하고, 프로브 요소(68)가 제1 요(凹)소(46)와 마주하도록, 홀더(34)와 탄성체(36)와 스페이서(38)를 서로 겹친 홀더 조립체의 외주에 감겨 설치되어, 홀더 조립체에 접착되어 있다. 이 상태에서, 회로요소(42)는 홀더(34)의 경사측면에 대응하는 곳에 배치된다.

홀더(34)와 접촉시트(40)와는 위와 같은 상태에서 홀더의 하면쪽 복수개의 장소 및 윗면쪽 복수개의 장소 각각에, 홀더(34)에 갖추어진 복수의 위치 결정 핀(78)에 의해 위치가 결정된다. 윗면쪽의 위치 결정 핀(78)은 탄성체(36) 및 스페이서(38)를 관통하고 있다.

홀더(34)의 각 단부에는 그 단면이 L형상인 슬릿(80), 계단부(82), 암나사 구멍(84, 86), 및 위치 결정 구멍(88)이 형성되어 있다. 암나사 구멍(84)은 슬릿(80)에 의해 분할된 곳에 형성되고, 암나사 구멍(86)과 위치 결정 구멍(88)은 계단부(82)에 형성되어 있다.

암나사 구멍(84)에는 조정나사(90)가 그 선단이 슬릿(80)의 아래쪽 부분에 접하도록 결합되어 있다. 조정나사(90)가 암나사 구멍(84)에 삽입되는 양을 조절함으로써, 슬릿(80)보다 중앙쪽 영역의 돌출 높이를 조정할 수 있다.

암나사 구멍(86)에는 접촉자 블록(24)을 프레임(22)에 설치하기 위한 설치 나사(도시하지 않음)가 결합되어 있다. 위치 결정 구멍(88)은 접촉자 블록(24)을 프레임(22)에 설치했을 때에 프레임(22)에 갖추어진 위치 결정 핀(도시하지 않음)을 받아들이도록 되어있다.

접촉자 블록(24)은 계단부(82)가 프레임(22)에 접하도록, 프레임에 설치된다. 프레임(22)에 대한 접촉자의 높이 위치는 암나사 구멍(84)에 조정나사(90)가 삽입되는 양을 조절함으로써 결정할 수 있으며, 동시에 암나사 구멍(54)에 조정나사(56)가 삽입되는 양을 조절함으로써 접촉자군마다 결정할 수 있다.

접촉자 블록(24) 및 이것을 이용한 전기적 접속장치(10)는 회로요소(42)가 경사측면에 대응하는 위치에 배치되기 때문에, 복수의 접촉자 블록(24)을 프레임(22)에 병렬로 배치해도, 접촉자 블록(24)의 배열 피치를 회로요소(42)의 최소한의 두께만큼 작게 할 수 있을 뿐만 아니라, 회로요소(42)와 접촉자(64) 사이의 전기통로가 짧아져 정확한 통전시험을 행할 수 있다.

조정나사(56, 90)에 의한 접촉자(64)의 높이 조정은 접촉자 조립체(24)에 조립된 후, 전기적 접속장치(10)에 조립된 후, 또는 전기적 접속장치(10)를 프로버에 조립한 후 등, 적절한 시기에 행할 수 있다. 통전시험 중에 조정나사(56, 90)에 의한 접촉자(64)의 높이 조정을 행해도 좋다.

조정나사(56)에 의한 접촉자(64)의 높이 조정 시, 대응하는 암나사 구멍(54)에 조정나사(56)가 삽입되는 양을 크게 하면, 탄성판(50)이 압력판(52)에 의해 접촉시트(40)로 눌려, 접촉시트(40)가 아래쪽으로 탄성변형하고, 그에 의해 접촉자(64)의 높이 위치가 내려간다.

이에 대해, 조정나사(56)가 삽입되는 양을 작게 하면, 접촉시트(40)가 자신의 탄성력에 의해 또는 접촉압력에 의해 탄성판(50) 및 압력판(52)을 밀어 올린다. 이에 의해, 접촉자(64)의 높이 위치가 올라간다.

이와 마찬가지로, 대응하는 암나사 구멍(84)에 조정나사(90)가 삽입되는 양을 크게 하면, 홀더(34)의 중앙영역이 눌려 내려가 아래쪽으로 탄성변형되고, 그에 의해 접촉자(64)의 높이 위치가 내려간다. 조정나사(90)의 삽입량을 작게 하면, 홀더(34)가 자신의 탄성력에 의해 위쪽으로 변위되고, 그에 의해 접촉자(64)의 높이 위치가 올라간다.

계속해서, 도14(B)에 나타낸 집적회로의 통전시험에 이용하기 적당한 접촉자 블록(100)의 한 실시예에 대해서 설명한다.

도11∼도13을 참조하면, 접촉자 블록(100)은 홀더(34)가 서로 이웃하는 제1 및 제2 요(凹)소(46 및 48) 사이에 대응하는 각 부분에 경사측면에서 옆쪽으로 돌출하는 삼각형상의 칼날부(102)를 각 경사측면에 더 갖고, 접촉시트(40)가 각 칼날부(102)의 저면에 배치된 연장영역(104)과, 연장영역(104)에 배치된 보조 접촉자(106)를 더 갖추고 있다.

각 칼날부(102)의 저면은 홀더(34)의 하면과 일치하게 되어 있다. 각 연장영역(104)은 연장영역(104) 형상의 슬릿을 필름(60)에 설치함으로써 형성된다. 보조 접촉자(106)는 통전시험 시에 도14(B)에 있어서의 패드 전극(18)에 눌려진다.

각 보조 접촉자(106)는 배선(62)과 같이, 필름(60)의 폭방향의 중앙부에서 폭방향의 단부를 향해 연장하도록, 필름(60)에 형성된 보조 배선(108)에 시트(110)를 통해 설치되어 있다. 각 보조 배선(108)의 선단과 보조 접촉자(106)는 프로브 요소(68)와 같이, 연장영역(104)에 형성된 슬릿(112)에 의해 독립적으로 탄성변형될 수 있는 보조 프로브 요소(114)로 되어 있다.

접촉자 블록(100)에 있어서는, 홀더(34)의 칼날부(102)를 두께방향으로 서로 함께 관통하는 제3 및 제4 요(凹)소(116 및 118), 및 암나사 구멍(120)을 칼날부(102)마다 갖고 있다. 제3 및 제4 요(凹)소(116, 118)에는 고무봉과 같은 탄성체(122)가 연장영역(104)에 접촉한 상태로 배치되어 있다.

탄성체(122)는 제3 요(凹)소(116)에서 제2 요(凹)소(118)를 거쳐 암나사 구멍(120)의 일부에 도달하도록 되어있다. 암나사 구멍(120)에는 조정나사(124)가 결합되어 있다. 이에 의해, 암나사 구멍(120)에 조정나사(124)가 삽입되는 양을 조정함으로써, 연장영역(104), 나아가서 보조 접촉자(106)의 높이 위치를 조정할 수 있다.

탄성판(36) 및 스페이서(38)는 각각 조정나사(124)를 조작하는 공구의 선단을 끼우는 구멍(126 및 126)을 갖고 있다.

접촉자 블록(100) 및 이것을 이용한 전기적 접속장치도 접촉자 블록(24) 및 이것을 이용한 전기적 접속장치(10)와 동일하게 동작하고, 같은 작용 및 효과가 생긴다.

상기 어떠한 실시예에 있어서도, 경사측면은 본 발명에 있어서의 후퇴부로서 작용한다. 그러나, 본 발명에 있어서의 후퇴부는 경사측면뿐만 아니라, 최소한 측면에 형성되어 있는 한, 아래로 향하는 계단부를 갖는 요(凹)소나 절흠부 등이어도 좋다.

계속해서, 접속용 접촉자(72)의 실시예에 대해서 설명한다.

도15를 참조하면, 접속용 접촉자(72)는 접촉시트(40)의 배선(62)과 일체로 필름에 형성되어 있다. 그러나, 접속용 접촉자(72)를 배선(62)과 별개로 형성한 후에, 배선(62)에 설치해도 좋다.

접속용 접촉자(72)는 도10에 나타낸 필름(60)의 구멍(74)보다 큰 눈의 형상을 갖는 베이스(130)와, 베이스(130)에서 조각난 다리 형상으로 연장하는 한 쌍의 접촉편(132)을 포함하고, 전체가 도전성의 금속재료를 사용하여 얇은 판 형상으로 일체로 제작되어 있다. 본 실시예에 있어서는, 필름(60)의 구멍(74)도 눈 형상을 갖는다.

베이스(130)는 필름(60)의 구멍(74)과 거의 같은 크기의 타원형의 개구(134)를 중앙에 갖고 있다. 개구(134)는 그 장축방향으로 연장하는 띠형상의 한쌍의 장편부(136)와, 단축방향으로 연장하는 한 쌍의 단편부(138)로 형성되어 있다.

양 접촉편(132)은 개구(134)의 중심 주위에 회전대칭으로 형성되어 있다. 각 접촉편(132)은 베이스(130)의 단편부(138)에서 개구(134) 안 쪽에, 베이스(130)의 장편부(136)의 안쪽을 따라 개구(134)의 장축방향으로 연장하는 띠 형상의 한 쌍의 암부(140), 및 각 암부(140)의 선단부에서 암부(140)의 안쪽을 개구(134)의 단축방향으로 활 형상으로 연장하는 접편부(142)를 포함한다.

각 접편부(142)는 암부(140)에의 결합부분에서 암부(140)의 연장방향에 있어서의 앞쪽 및 뒤쪽으로 활 형상으로 연장해 있고, 또한 활 형상의 안쪽 가장자리를 돌기전극(26)의 원추형상 정수리부의 측면에 접촉되는 접촉연부(144)로 하고 있음과 동시에, 돌기전극(26)의 원추형상 정수리부를 포함하는 선단부를 받아들이는 수입(受入)공간(146)을 형성하도록 접촉연부(144)를 개구(134)의 중심 쪽을 향하도록 하고 있다.

양 접편부(142)의 접촉연부(144)는 같은 곡률반경을 갖고 있다. 그러나, 양 접촉연부(144)는 접촉연부(144)의 양단을 잇는 방향(개구(134)의 단축방향)으로 상대적으로 변위되어 있다. 도시한 예에서는, 양 접촉연부(44)는 암부(140)와 베이스(130)와의 결합부분에 가까운 쪽의 단부가 상기 결합부분보다 먼 쪽의 단부보다도 개구(134)의 중심쪽이 되도록 변위되어 있다.

접속용 접촉자(72)는 그 자체가 평면적이기 때문에, 배선(62)과 같이, 예를 들어 핫레지스트제의 마스크와 같은 적절한 마스크를 이용하는 도금기술이나 에칭기술 등, 복잡한 작업공정을 이용할 필요가 없는 간단한 방법으로 제조할 수 있다.

도10에 나타낸 바와 같이, 배선기판(20)과 접촉자 블록(24)이 서로 부착된 상태에 있어서, 접속용 접촉자(72)는 돌기전극(26)의 원추형상 정수리부, 특히 선단(정수리)을 수입공간(146)에 받아들인다.

이에 의해, 돌기전극(26)의 원추형상 정수리부의 측면이 접속용 접촉자(72)의 접촉연부(144)에 눌리고, 접속용 접촉자(72)는 주로 각 접촉편(132)의 암부(140)에 있어서 탄성적으로 변형된다. 이 때문에, 접속용 접촉자(72)와 돌기전극(26)은 접촉하고, 접속용 접촉자(72)에 의한 접촉 자국이 돌기전극(26)의 원추형상 정수리부의 측면에 형성된다. 그러나, 돌기전극(26)의 정수리는 접속용 접촉자(72)에 눌리지 않기 때문에, 정수리는 손상되지 않는다.

접촉편(132)이 개구(134)의 중심 주위에 회전대칭으로 형성되던가, 또는 활형상의 접촉연부(144)가 개구(134)의 중심쪽을 향하고 있으면, 접속용 접촉자(72)와 돌기전극(26)과의 상대적 위치가 접촉편(132)에 의해 결정되기 때문에, 돌기전극(26)의 정수리가 접속용 접촉자(72)에 접촉하지 않고, 접속용 접촉자(72)와 돌기전극(26)이 보다 확실하게 접촉한다.

또한, 접촉연부(144)가 암부(140)와 접편부(142)와의 결합부분에서 암부(140)의 연장방향에 있어서 앞쪽 및 뒤쪽으로 활 형상으로 연장해 있으면, 접촉연부(144)가 돌기전극(26)에 눌렸을 때의 암부(140)의 탄성변형에 따라, 접편부(142)의 접촉연부(144)가 돌기전극(26)의 측면을 따라 연장하여 보다 확실하게 돌기전극(26)에 접촉한다.

게다가, 접촉연부(144)가 개구(134)의 단축방향으로 상대적으로 변위되어 있으면, 접촉연부(144)는 암부(140)의 탄성변형에 따라 개구(134)의 중심쪽으로 위치하는 단부에서 돌기전극(26)의 원추형상 정수리의 측면에 접촉하기 시작하고, 최종적으로 접촉연부(144)가 나선의 일부를 형성하도록 돌기전극(26)에 접촉하고, 그 결과 보다 확실하게 돌기전극(26)에 접촉한다.

특히, 암부(140)와 베이스(130)와의 결합부분에 가까운 쪽의 접촉연부(144)의 단부가 그와 같은 결합부분보다 먼 쪽의 단부보다도 개구(134)의 중심쪽이 되도록 양 접촉연부(144)가 상대적으로 변위되어 있으면, 접촉연부(144) 중, 먼저 개구(134)의 중심에 가까운 단부가 돌기전극(114)의 측면에 접촉하고, 다른 단부쪽이 돌기전극(26)에 접촉하고 있지 않기 때문에, 암부(140)의 탄성변형에 따라 접촉연부(144)가 나선의 일부를 형성하도록 접편부(142)가 확실하게 변형하여, 접촉연부(144)는 더 확실하게 돌기전극(26)에 접촉한다.

본 발명은 집적회로 이외의 피검사체, 예를 들어 액정표시패널과 같은 표시용 기판의 통전시험에 이용하는 접촉자 블록 및 전기적 접속장치에도 적용할 수 있다. 특히, 표시용 기판의 통전시험에 이용하는 전기적 접속장치에 본 발명을 적용할 때에는, 접촉자부 특구를 부착하는 지지수단으로서 배선기판 및 프레임 대신에 다른 지지수단을 이용해도 좋다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

본 발명은 회로요소의 배치공간을 설치하기 위한 접촉자 블록 및 전기적 접속장치를 제공하는 발명의 효과를 갖는다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims

띠형상의 하면과 상기 하면의 폭방향의 가장자리에 이어지는 측면에 형성된 후퇴부를 갖는 봉형상의 홀더와, 상기 홀더의 외주에 배치된 접촉시트로서 각각이 일단부에 제1 접촉자를 갖는 복수의 접촉자 요소를 갖춘 접촉시트를 포함하고, 상기 복수의 접촉자 요소는 상기 제1 접촉자가 상기 홀더의 세로방향으로 간격을 둔 상태로 최소한 상기 하면에 대응하는 부분을 상기 하면의 폭방향으로 연장해두고, 그리고 상기 후퇴부는 상기 하면에 대하여 경사진 1 이상의 경사측면을 포함하는 것을 특징으로 하는 접촉자 블록.
제1항에 있어서, 상기 홀더는 상기 하면과 마주보는 띠형상의 윗면을 더 구비하고, 상기 접촉시트는 상기 홀더의 세로방향으로 간격을 둔 복수의 제2 접촉자로서 상기 홀더의 윗면에 대응하는 곳에 배치된 복수의 제2 접촉자와, 상기 제1 및 제2 접촉자를 일대일의 관계로 전기적으로 접속하는 복수의 배선을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 접촉자 블록.
제1항에 있어서, 상기 홀더는 각각이 2 이상의 상기 제1 접촉자를 포함하는 1 이상의 접촉자군에 각각 대응되고 대응하는 접촉자군의 배치범위 내에서 상기 홀더의 세로방향으로 연장하는 복수의 요(凹)소로서 최소한 상기 하면으로 개방하는 복수의 요(凹)소와, 각 요(凹)소에 대응되고 대응하는 요(凹)소로 연결되어 통하는 1 이상의 암나사 구멍을 더 구비하고, 각 요(凹)소에는 상기 접촉시트가 대응하는 접촉자군의 배치영역에 접하는 탄성판과 상기 탄성판의 윗면에 접하는 압력판이 배치되어 있고, 그리고 각 나사구멍에는 상기 압력판의 윗면에 접하는 조정나사가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 접촉자 블록.
제1항에 있어서, 상기 홀더는 홀더의 세로방향으로 간격을 두고 연장하는 복수의 요(凹)소로서 최소한 상기 하면으로 개방하는 복수의 요(凹)소와, 각 요(凹)소에 대응되고 대응하는 요(凹)소에 연결하여 통하는 복수의 암나사 구멍을 더 구비하고, 각 요(凹)소에는 상기 접촉시트에 접하는 탄성판과 상기 탄성판의 윗면에 접하는 압력판이 배치되어 있고, 그리고 각 나사구멍에는 상기 압력판의 윗면에 접하는 조정나사가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 접촉자 블록.
제1항에 있어서, 상기 하면은 평탄면부를 포함하고, 상기 홀더는 상기 측면에서 옆으로 돌출하는 삼각형상의 1 이상의 칼날부로서 상기 하면의 하단면과 같은 저면을 갖는 1 이상의 칼날부를 더 구비하고, 그리고 접촉시트는 상기 저면에 배치된 연장영역과 상기 연장영역에 배치된 보조 접촉자를 갖춘 것을 특징으로 하는 접촉자 블록.
제1항에 있어서, 상기 접촉시트는 전기 절연성의 시트부재 및 상기 시트부재에 병렬적으로 배치된 복수의 배선을 포함하고, 상기 제1 접촉자는 상기 배선의 일단부에 배치되어 있고, 그리고 상기 시트부재는 상기 제1 접촉자가 배치된 상기 접촉자 요소의 일부로서 작용시키는 복수의 슬릿을 갖는 것을 특징으로 하는 접촉자 블록.
제1항 내지 제6항의 어느 한 항에 기재된 1 이상의 접촉자 블록과, 상기 접촉자 블록이 그 각 제1 접촉자를 아래쪽으로 한 상태로 병렬적으로 설치된 지지수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제7항에 있어서, 상기 지지수단은 복수의 접촉자 블록이 각각의 제1 접촉자를 아래쪽으로 한 상태로 병렬로 설치된 프레임과, 복수의 배선을 갖추고 하면에 상기 프레임이 설치된 배선기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
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