KR100963824B1 - 블레이드형 프로브 유닛 - Google Patents

Abstract

액정 디스플레이와 같은 평면 디스플레이의 전극 패드의 통전 여부를 검사하기 위한 프로브 유닛이 개시된다. 본 발명에 따른 프로브 유닛(10)은 양 측면 상의 일정 부분에 절연성 테이프(104)가 테이핑되어 있는 블레이드형 프로브(100)가 복수개 적층된 제1 및 제2 프로브 단위체(210, 212); 프로브 단위체(210, 212)를 수용하여 지지하는 제1 블럭(200); 및 제1 및 제2 프로브 단위체(210, 212)가 수용되어 있는 상태의 제1 블럭(200)을 수용하는 제2 블럭(214)을 포함하는 것을 특징으로 한다.

블레이드형 프로브, 캡톤 테이프, 일래스토머

Description

블레이드형 프로브 유닛{BLADE TYPE PROBE UNIT}

본 발명은 캡톤 테이프를 사용하여 제작되는 블레이드형 프로브 유닛에 관한 것이다. 보다 상세하게는 양 측면 상의 일정 부분에 캡톤 테이프가 테이핑되어 있는 블레이드형 프로브가 복수개 적층된 프로브 단위체를 사용함으로써 멀티 슬릿이 필요 없어 제작 과정이 간편하고 프로브간 피치 조절 및 프로브 교체가 용이한 블레이드형 프로브 유닛에 관한 것이다.

액정 디스플레이 장치(LCD)는 2개의 얇은 유리판 사이에 고체와 액체의 중간 물질인 액정을 주입한 것으로, 상하 유리판 위의 전극의 전압 차에 따라 액정 분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 숫자나 영상을 표시하는 일종의 광 스위치 현상을 이용한 소자이다. 즉, 액정 디스플레이 장치는 비디오 신호에 따라 액정의 광 투과율을 조절하여 이미지를 표시하는 디스플레이이며, 매트릭스 형태로 배열된 셀들을 구비하는 액정 디스플레이 패널과 비디오 신호에 따라 각 셀의 광 투과율을 제어하는 구동 회로를 포함한다.

한편, LCD 생산 업체에서 액정 디스플레이 패널의 불량 여부를 판정하는 기준은 액정 디스플레이 패널에 포함된 불량 셀(화소)의 개수이다. 불량 셀은 휘점 셀과 암점 셀로 나눌 수 있는데, 통상적으로 허용되는 휘점 셀의 개수가 암점 셀의 개수보다 엄격하다. 이러한 이유 때문에 휘점 셀을 암점화 하여 액정 디스플레이 패널의 수율을 높이는 것이 가능하다. 예를 들어, 휘점 셀은 전혀 허용되지 않고 암점 셀은 1개까지 허용될 경우에 하나의 휘점 셀을 갖는 액정 디스플레이 패널에서 휘점 셀을 암점 셀로 바꾸면 액정 디스플레이 패널은 정상 패널이 될 수 있다.

액정 디스플레이 패널에 포함된 불량 화소를 파악하기 위해서는 해당 화소의 전기적인 오픈 또는 쇼트 여부(즉, 통전 여부)를 검사해야 하며, 이를 위해서는 해당 화소의 전극 패드에 접촉하여 전기적 신호를 송수신하는 프로브를 포함하는 프로브 유닛이 필요하다. 이러한 프로브 유닛은 통상적으로 액정 디스플레이 패널의 불량 화소를 리페어 하는 장치에 광학계와 같이 구비되어 있어서, 프로브 장치로부터 파악된 불량 화소를 바로 리페어하고, 또한 프로브 장치에 의해서 리페어 후에 리페어가 잘 되었는지를 바로 판단할 수 있다.

프로브 유닛에 적용되는 프로브의 종류에는 도전성 금속 와이어를 모재로 제조되는 니들형(needle), 판상으로 형성되는 블레이드형(blade), 전기 절연 시트(필름)의 일측면에 도전체를 에칭 가공하여 형성된 전극을 프로브 요소로 이용하는 필름형(film), 필름형에 반도체 공정 기술을 이용하여 도전성 매체를 주립한 하이브리드형(hybrid) 등이 있다.

기존에는 제조 가격이 저렴하고 제조 공정 또한 단순한 니들형의 프로브가 많이 사용되었으나, 사용 중에 니들(또는 탐침, 핀)이 쉽게 휜다는 문제점 및 불량이 난 프로브만의 교체가 불가능하다는 단점이 있었다. 따라서, 근래에는 불량이 난 프로브만을 교체할 수 있으면서 내구성도 향상되는 블레이드형 프로브가 널리 사용되고 있다.

그러나, 종래의 블레이드형 프로브 유닛에는 복수개의 프로브를 정렬하고 프로브간의 절연을 실행하기 위한 복수개의 슬릿(즉, 멀티 슬릿)을 갖는 멀티 슬릿 블럭이 필수적으로 설치되어야 하는데, 이는 최근 프로브 유닛의 고정세화 추세를 감안할 때 멀티 슬릿의 제작에 수반되는 여러가지 난제(예를 들어, 미세 가공 능력의 한계, 빈번한 파손 및 변형 등)로 인하여 제작 비용이 증가하고 유지 및 보수가 용이하지 않다는 문제점이 있다.

또한, 종래의 블레이드형 프로브 유닛은 프로브간의 피치를 조절하고자 할 경우에는 멀티 슬릿 블럭을 다시 새로 제작해야 해서 프로브간의 피치 조절이 실제로 불가능하거나 멀티 슬릿 블록의 재 제작에 따른 추가 비용이 발생하는 문제점이 있었다.

또한, 종래의 블레이드형 프로브 유닛은 사용 도중에 블레이드형 프로브와 슬릿이 접촉하여 마찰을 일으키면서 방출되는 파티클(particle)로 인하여 정전기가 발생하는 문제점이 있었다. 이와 같이 발생된 정전기는 전기적으로 쇼트(short) 및 누설(leakage)의 원인이 되어 프로브 유닛에 회복 불가능한 손상을 줄 수 있다. 특히, 프로브는 일반적으로 유전율이 높은 재료를 사용하기 때문에 정전기가 발생할 수 있는 확률이 높다고 할 수 있다.

최근, 미세 가공이 필요한 멀티 슬릿 블럭의 제작시 발생하는 문제점을 해결하기 위하여 예를 들어, 고정용 핀 또는 폴리머 등을 재료로 하는 접착제를 사용하 여 프로브를 슬릿 블럭에 고정시키는 방법들이 제안되고 있다. 그러나, 이와 같은 방법 역시 별도의 고정용 핀을 제작해야 하고, 프로브간의 피치를 자유자재로 변경할 수 없으며, 프로브 유닛이 사용되는 과정에서 불량이 난 핀만을 교체하기가 용이하지 않다는 어려움이 여전히 수반된다.

이에 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 미세 가공을 요하는 멀티 슬릿 블록을 설치하지 않아도 되는 블레이드형 프로브 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 프로브간의 피치를 자유롭게 조절할 수 있는 블레이드형 프로브 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 사용 도중에 프로브와 슬릿간의 마찰에 의해 방출되는 파티클로 인한 정전기의 발생을 억제함으로써 신뢰성이 높은 블레이드형 프로브 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 불량이 난 프로브만을 용이하게 교체할 수 있는 블레이드형 프로브 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 제작 비용이 저렴하고 유지 및 보수가 용이한 블레이드형 프로브 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 프로브 유닛은 양 측면 상의 일정 부분에 캡톤 테이프가 부착되어 있는 블레이드형 프로브가 복수개 적층된 프로브 단위체를 포함하는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 프로브 유닛은 양 측면 상의 일정 부분에 절연성 테이프가 부착되어 있는 블레이드형 프로브가 복수 개 적층된 제1 및 제2 프로브 단위체; 상기 제1 및 제2 프로브 단위체를 수용하여 지지하는 제1 블럭; 및 상기 제1 및 제2 프로브 단위체가 수용되어 있는 상태의 제1 블럭을 수용하는 제2 블럭을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 블레이드형 프로브의 일측 단부에는 팁이 형성되어 있고, 상기 블레이드형 프로브는 상기 팁의 방향과 반대 방향으로 휘어져 있는 부분을 포함할 수 있다.

상기 복수개의 프로브간의 간격은 상기 절연성 테이프의 두께에 따라 변경될 수 있다.

상기 절연성 테이프는 캡톤(Kapton) 테이프일 수 있다.

상기 제1 블럭은 상기 제1 및 제2 프로브 단위체의 일단이 외부로 노출되게 하는 제1 및 제2 슬릿을 포함할 수 있다.

상기 제1 블럭의 하부면에는 제1 및 제2 프로브 단위체에 각각 대응하는 제1 및 제2 일래스토머(elastomer)가 각각 삽입되는 제1 및 제2 홈이 형성될 수 있다.

상기 제1 블럭의 하부면에는 상기 일래스토머가 배치되는 위치를 변경할 수 있도록 상기 홈 이외에 추가의 홈이 형성될 수 있다.

상기 제2 블록의 하부면에는 제1 및 제2 프로브 단위체에 각각 대응하는 제3 및 제4 일래스토머(elastomer)가 각각 삽입되는 제3 및 제4 홈이 형성될 수 있다.

상기 일래스토머의 재질은 고무일 수 있다.

본 발명에 따르면, 미세 가공을 요하는 멀티 슬릿 블록이 없어도 프로브를 고밀도로 정렬시킬 수 있는 효과가 있으며, 그 결과 프로브 유닛의 제조 과정이 간단해져서 제작 비용이 저렴해지는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 프로브와 슬릿간의 마찰에 의한 파티클의 방출을 억제하여 정진기가 발생하지 않도록 하여 프로브 유닛의 신뢰성을 높이는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 캡톤 테이프의 두께를 조절하여 프로브간의 피치를 자유롭게 조절할 수 있어서 평면 디스플레이의 사양 변화에 따라 용이하게 대처할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 프로브가 슬릿 블록 상에 영구적으로 접합 고정되지 않고 불량이 난 프로브만을 쉽게 교체할 수 있어서 프로브 유닛의 분해 및 조립, 유지 및 보수가 용이한 효과가 있다.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명 은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다.

본 발명은, 액정 디스플레이 패널의 불량 화소를 검사하는 프로브 유닛에 있어서, 블레이드형 프로브의 양 측면에 부착된 캡톤 테이프를 통하여 복수개의 프로브가 일정한 피치로 정렬되도록 하는 것을 주요한 기술적 특징으로 한다.

여기서, 캡톤 테이프란 보통 연노랑의 투명한 켑톤플림층과 내열성, 내한성, 내화학성 및 절연성이 우수한 점착제(예를 들어, 실리콘 점착제)로 구성되는 테이프로서, 폴리이미드(Polyimide) 테이프, 단열 테이프, 고온 차폐 테이프 등과 같은 명칭으로도 잘 알려져 있다. 이와 같이, 캡톤 테이프는 내열성, 전기 절연성, 내화학성, 내전압성, 및 난연성이 우수한 특성을 갖기 때문에 주로 전자제품 제조시 회로 기판에 납땜 후 쇼트 방지용으로 사용되거나, 열이나 화학적인 안정성이 필요한 곳 혹은 전기 및 전자 분야의 점착이 필요한 곳에 사용된다.

이에 본 발명의 발명자는 블레이드형 프로브 유닛에 있어서 캡톤 테이프를 이용할 수만 있다면 종래기술에서와 같이 복수개 프로브의 정렬을 위하여 각각의 프로브가 삽입되는 멀티 슬릿 블록을 설치할 필요가 없다는 점에 착안하여 본 발명에 이르게 되었다.

이하에서는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.

[본 발명의 바람직한 실시예]

도 1a 내지 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브(100)의 구성을 나타내는 도면으로서, 도 1a는 사시도이고 도 1b는 평면도이다.

도시한 바와 같이, 프로브(100)는 소정의 두께를 갖는 판상으로 형성된 블레이드형으로서, 전체적으로 ‘

’형태를 취하고 있다. 프로브(100)의 일측 선단에는 피검사체, 예를 들어 평면 디스플레이 패널의 전극 패드와 용이하게 접촉할 수 있도록 하측 방향으로 팁(tip, 102)이 형성되어 있다. 프로브(100)의 재질은 텅스텐, 또는 프로브가 전극 패드와 접촉할 때 패드의 손상을 줄일 수 있도록 컨택 포스(contact force)가 적은 Be-Cu 합금을 사용할 수 있다.

또한, 프로브(100)는 피검사체와 접촉시 프로브(100)에 인가될 수 있는 충격(또는 힘)에 의해 프로브(100)가 휘는 것을 방지하기 위하여, 프로브(100)의 소정 지점이 곡선을 그리며 팁(102)의 방향과 반대 방향으로 휘어져 있는 형태로 제작되는 것이 바람직하다.

또한, 프로브(100)의 양 측면에는 캡톤 테이프(104)가 부착되어 있다. 캡톤 테이프의 부착 면적은 프로브(100)의 정렬 및 유지가 가능하면 특별하게 제한되지는 않지만, 도 1a에 도시한 바와 같이 피검사체 및 검사장치와 접촉되는 프로브(100)의 양단 부분과 검사 도중에 받는 충격을 완충하는 역할을 하는 프로브(100)가 휘어져 있는 부분을 제외하고는 캡톤 테이프(104)가 부착되도록 하는 것이 바람직하다.

이상 프로브(100)의 구성에 대해 설명하였으며, 이하에서는 도 2 내지 도 5 를 참조하여 복수개의 블레이드형 프로브가 적층된 프로브 단위체를 포함하는 프로브 유닛의 구성에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛(10)의 구성을 나타내는 분해 사시도이고, 도 3은 프로브 유닛(10)의 구성을 나타내는 평면도이며, 도 4는 도 3에서의 A-A′단면도이고, 도 5는 도 3에서의 B-B′단면도이다.

도시한 바와 같이, 프로브 유닛(10)은 제1 및 제2 프로브 단위체(210, 212), 슬릿 블록(200), 및 외곽 블록(214)을 포함하여 구성된다.

본 발명에서 프로브 단위체는 도 1에서 설명한 바 있는 블레이드형 프로브(100)가 복수개 적층되어 있는 구성을 말한다. 제1 및 제2 프로브 단위체(210, 212)는 구성이 서로 동일한 프로브 단위체가 좌우 대칭되게 배치되어 있는 것이므로 이하에서는 주로 제1 프로브 단위체(210)에 대해 설명하기로 한다.

제1 프로브 단위체(210)를 구성하는 복수개의 프로브(100)에 있어서 각 프로브의 양 측면 상의 일정 부분에는 도 1에 도시한 바와 같이 캡톤 테이프(104)가 부착되어 있다. 프로브(100)의 개수는 피검사체(300)의 사양, 예를 들어 평면 디스플레이 패널의 전극 패드의 개수에 따라 다양하게 변경될 수 있다.

본 발명에서 캡톤 테이프(104)는 복수개의 프로브(100)가 적층 연결되어 일체의 제1 프로브 단위체(210)를 구성할 수 있게 하며 동시에 복수개의 프로브(100)가 일정한 간격(피치)으로 정렬될 수 있게 하는 역할을 한다. 즉, 캡톤 테이프(104)의 점착성에 의하여 프로브(100)끼리 붙어 있게 되며 캡톤 테이프(104)의 두께에 의하여 프로브(100)의 피치를 일정하게 유지할 수 있다.

따라서, 본 발명은 종래의 프로브 유닛에서와 같이 프로브의 정렬을 위한 멀티 슬릿 블록을 설치할 필요가 없이 캡톤 테이프를 이용하여 간단하게 프로브 단위체를 구성할 수 있어서 프로브 유닛의 제조 과정이 간편해지고 제조 단가가 저렴해지는 이점이 있다.

또한, 본 발명은 종래의 프로브 유닛에서와 같이 프로브의 피치 변경을 위하여 멀티 슬릿 블록을 새로 제작할 필요 없이 캡톤 테이프의 두께 변화를 통하여 용이하게 프로브의 피치를 변경시킬 수 있어서 피검사체의 사양 변화에 효과적으로 대처할 수 있는 이점이 있다. 물론 본 발명에서 캡톤 테이프의 두께 변화를 통해서만 프로브의 피치를 변경할 수 있는 것은 아니며, 예를 들어 프로브의 두께 변화를 통해서도 프로브의 피치를 변경할 수 있다.

또한, 본 발명은 캡톤 테이프에 의하여 프로브와 전극 패드의 접촉 과정에서 스키드(skid) 동작 발생시 프로브가 좌측 또는 우측으로 미끄러지는 현상을 방지할 수 있다. 아울러, 캡톤 테이프는 마찰계수가 낮기 때문에 프로브와 전극 패드의 접촉 과정에서 오버 드라이브(over drive) 동작 발생시 프로브간의 마찰력을 줄일 수 있다. 여기서, 프로브의 스키드 및 오버 드라이브 동작은 프로브와 전극 패드가 완전히 접촉되기 위하여 프로브가 패드 상에 올려져 있는 상태에서 프로브가 약간 앞으로 전진하면서(스키드) 패드의 표면 밑을 약간 뚫고 들어가는(오버 드라이브) 동작을 의미한다. 이와 같은 캡톤 테이프의 역할은 반복되는 패드와의 접촉 과정에서 야기될 수 있는 프로브의 손상 확률을 줄여 주어서 프로브 유닛의 신뢰성을 향상시킨다.

제1 및 제2 프로브 단위체(210, 212)는 슬릿 블록(200)에 수용되어 지지된다. 도 2를 참조하면, 슬릿 블럭(200)은 소정의 두께를 갖는 직육면체 형상을 가지고 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 슬릿 블럭(200)의 두께는 제1 및 제2 프로브 단위체(210, 212)의 전체 높이에 따라 적절하게 결정되는 것이 바람직하다.

슬릿 블록(200)의 양 측면 상에는 소정의 형상과 폭을 갖는 제1 및 제2 슬릿(202, 204)이 형성되어 있다. 제1 및 제2 슬릿(202, 204)으로 프로브(100)의 상향으로 휘어져 있는 부분이 삽입됨으로써 제1 및 제2 프로브 단위체(210, 212)가 슬릿 블록(200)에 고정 지지된다. 제1 및 제2 프로브 단위체(210, 212)는 제1 및 제2 슬릿(202, 204)을 통하여 외부로 돌출되며, 이 돌출된 측의 단부는 통전 검사를 위하여 검사장치와 연결된다. 제1 및 제2 슬릿(202, 204)의 형상과 폭은 제1 및 제2 프로브 단위체(210, 212)의 형상과 폭을 반영하여 형태 및 두께를 반영하여 적절하게 결정되는 것이 바람직하다.

이와 같이, 본 발명에서는 프로브의 정렬을 위하여 복수개의 프로브 각각에 대응하는 멀티 슬릿 블록보다 훨씬 간단한 구조를 갖는 슬릿 블록을 사용하더라도 복수개의 프로브를 용이하게 정렬시킬 수 있는 이점이 있다. 즉, 종래의 멀티 슬릿 블록에서는 수백개의 프로브에 대응하기 위하여 수백개의 슬릿이 필요하지만, 본 발명에서는 프로브 단위체에 대응하기 위하여 단지 2개의 슬릿만이 필요하다. 슬릿의 크기를 비교하여 보아도 종래의 멀티 슬릿 블록의 경우가 본 발명의 슬릿 블록의 경우보다 훨씬 작아야 한다. 따라서, 본 발명의 프로브 유닛은 멀티 슬릿 블록을 채용해야만 하는 종래의 프로브 유닛에 비하여 제조 과정이 간편하고 제조 단가가 저렴한 장점이 있다.

또한, 본 발명은 유전율이 낮은 재질의 캡톤 테이프가 프로브의 양 측면 상에 부착되어 있고 프로브가 적층되어 프로브 단위체의 형태로 슬릿에 삽입되기 때문에 개개의 프로브가 슬릿과 직접 접촉될 가능성이 원천적으로 봉쇄된다. 따라서, 종래의 프로브 유닛에서와 같이 프로브와 슬릿의 마찰로 야기되는 파티클에 의한 정전기 발생을 방지할 수 있어서 프로브 유닛의 신뢰성이 향상되는 이점이 있다.

제1 및 제2 프로브 단위체(210, 212)가 수용되어 있는 상태의 슬릿 블록(200)은 외곽 블록(214)에 수용되어 지지된다. 외곽 블록(214)에는 슬릿 블록(200)이 수용되는 수용홈(224) 및 슬릿 블록(200)에 수용된 프로브(100)의 팁(102)이 피검사체(300)에 접촉할 수 있도록 하는 개구부(226)가 형성되어 있다. 또한, 외곽 블럭(214)에는 외곽 블럭(214)에 수용된 슬릿 블럭(200)의 제1 및 제2 슬릿(202, 204)을 통하여 양측으로 돌출되는 제1 및 제2 프로브 단위체(210, 212)가 각각 삽입될 수 있도록 하는 제1 및 제2 홈(220, 222)이 형성되어 있다.

이와 같이 제1 및 제2 프로브 단위체(210, 212)의 일단이 외곽 블록(214)의 제1 및 제2 홈(220, 222)을 통하여 노출되는 본 발명의 구성은 프로브 유닛(10)이 포고 블럭(Pogo block)의 매개 없이 직접 인쇄 회로 기판(PCB)과 연결될 수 있어서 최종 프로브 구조물의 구성을 간소화할 수 있는 이점이 있다. 즉, 도 3을 참조하면, 본 발명에서는 C 부분을 통하여 프로브 유닛(10)의 제1 및 제2 프로브 단위 체(210, 212)와 인쇄 회로 기판의 전극 패드(미도시)와 직접 연결된다.

한편, 프로브 유닛(10)에는 검사 과정 중에 블레이드형 프로브(100)에 가해지는 충격을 흡수하여 프로브가 휘어지는 현상을 방지할 수 있게 하는 일래스토머(elastomer)가 설치된다. 도 2 및 도 4에 도시한 바와 같이, 프로브 유닛(10)에는 모두 4개의 제1, 제2, 제3 및 제4 일래스토머(206, 208, 216, 218)가 설치되도록 하는 것이 바람직하다. 이때, 제1 및 제2 일래스토머(206, 208)는 슬릿 블럭(200)의 하부면 상에 삽입되도록 설치되고, 제3 및 제4 일래스토머(216, 218)은 외곽 블록(214)의 상부면 상에 삽입되도록 설치된다. 이를 위하여 슬릿 블록(200)의 하부면 상에는 제1 및 제2 일래스토머(206, 208)가 각각 삽입되는 제1 및 제2 일래스토머 삽입홈(206a, 208a)이 형성되어 있고, 외곽 블록(214)의 상부면 상에는 제3 및 제4 일래스토머(216, 218)가 각각 삽입되는 제3 및 제4 일래스토머 삽입홈(216a, 218a)이 형성되어 있다.

이때, 제3 및 제4 일래스토머(216, 218)가 삽입되는 제3 및 제4 일래스토머 삽입홈(216a, 218a)은 외곽 블록(214)에서 제1 및 제2 프로브 단위체(210, 212)가 삽입되는 제1 및 제2 홈(220, 222)과 직교하는 형태로 형성되는 것이 바람직하다.

제1, 제2, 제3 및 제4 일래스토머(206, 208, 216, 218)는 탄성력을 갖는 고무 계열의 재질로 제작하는 것이 바람직하다. 도 4를 참조하면, 제1, 제2, 제3 및 제4 일래스토머(206, 208, 216, 218)에서 제1, 제2, 제3 및 제4 일래스토머 삽입홈(206a, 208a, 216a, 218a)으로부터 돌출되는 부분은 단면이 반원형의 형상을 갖고 홈에 삽입되는 부분은 단면이 정사각형이나 직사각형의 형상을 갖도록 제작하는 것이 바람직하다. 이는 일래스토머와의 접촉 과정에서 프로브가 손상을 받지 않도록 하면서 홈으로부터 일래스토머가 용이하게 이탈하지 않도록 하기 위함이다. 제1, 제2, 제3 및 제4 일래스토머(206, 208, 216, 218)가 제1 및 제2 프로브 단위체(210, 212) 전체를 충분히 커버할 수 있도록 일래스토머의 폭은 프로브 단위체의 폭보다 크게 하는 것이 바람직하다.

본 발명에서는 일래스토머의 재질 및 위치에 변화를 줌으로써 스프링 효과에 따라 검사 과정 중에 프로브에 가해지는 힘의 크기를 자유롭게 조절할 수 있다. 즉, 일래스토머의 재질에 따라 일래스토머의 경도가 달라지면 프로브에 가해지는 힘의 크기를 조절할 수 있고, 일래스토머가 설치되는 위치에 따라 프로브의 팁과 일래스토머간의 거리가 달라지면 프로브에 기해지는 힘의 크기를 조절할 수 있다.

이와 같이 본 발명에서는 프로브에 가해지는 힘을 적절하게 조절할 수 있게 됨으로써 검사 과정에서 프로브에 과도한 힘이 인가되어 프로브가 파손되는 것을 미연에 방지할 수 있는 이점이 있다.

한편, 본 발명에서 일래스토머가 설치되는 위치를 변경할 수 있게 하기 위해서는 슬릿 블록(200)의 하부면에 형성되는 제1 및 제2 일래스토머 삽입홈(206a, 208a) 이외에 추가의 홈(미도시)을 설치하는 것이 바람직하다.

이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양 한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.

도 1a 내지 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 블레이드형 프로브의 구성을 나타내는 도면으로서, 도 1a는 사시도이고 도 1b는 평면도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛의 구성을 나타내는 분해 사시도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛의 구성을 나타내는 평면도이다.

도 4는 도 3에서의 A-A′단면도이다.

도 5는 도 3에서의 B-B′단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10: 프로브 유닛

100: 프로브

102: 팁

104: 캡톤 테이프

200: 슬릿 블럭(제1 블럭)

202, 204: 제1, 제2 슬릿

206, 208: 제1, 제2 일래스토머

206a, 208a, 216a, 218a: 제1, 제2, 제3 및 제4 일래스토머 삽입홈

210, 212: 제1, 제2 프로브 단위체

214: 외곽 블럭(제2 블럭)

216, 218: 제3, 제4 일래스토머

220, 222: 제1, 제2 홈

300: 피검사체

Claims (10)

1. 삭제
2. 평면 디스플레이 패널의 불량 화소를 검사하기 위한 프로브 유닛으로서,

   양 측면 상의 일정 부분에 절연성 테이프가 부착되어 있는 블레이드형 프로브가 복수개 적층된 제1 및 제2 프로브 단위체;

   상기 제1 및 제2 프로브 단위체를 수용하여 지지하는 제1 블럭; 및

   상기 제1 및 제2 프로브 단위체가 수용되어 있는 상태의 제1 블럭을 수용하는 제2 블럭

   을 포함하며

   상기 복수개의 프로브간의 간격은 상기 절연성 테이프의 두께에 따라 변경되는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
3. 제2항에 있어서,

   상기 블레이드형 프로브의 일측 단부에는 팁이 형성되어 있고, 상기 블레이드형 프로브는 상기 팁의 방향과 반대 방향으로 휘어져 있는 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
4. 삭제
5. 제2항에 있어서,

   상기 절연성 테이프는 캡톤(Kapton) 테이프인 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
6. 제2항에 있어서,

   상기 제1 블럭은 상기 제1 및 제2 프로브 단위체의 일단이 외부로 노출되게 하는 제1 및 제2 슬릿을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
7. 제2항에 있어서,

   상기 제1 블럭의 하부면에는 제1 및 제2 프로브 단위체에 각각 대응하는 제1 및 제2 일래스토머(elastomer)가 각각 삽입되는 제1 및 제2 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
8. 제7항에 있어서,

   상기 제1 블럭의 하부면에는 상기 일래스토머가 배치되는 위치를 변경할 수 있도록 상기 홈 이외에 추가의 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
9. 제2항에 있어서,

   상기 제2 블록의 하부면에는 제1 및 제2 프로브 단위체에 각각 대응하는 제3 및 제4 일래스토머(elastomer)가 각각 삽입되는 제3 및 제4 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
10. 제7항 또는 제9항에 있어서,

    상기 일래스토머의 재질은 고무인 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.

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