JP4916763B2 - プローブ組立体 - Google Patents

Description

本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の検査に用いるプローブ組立体に関する。

液晶表示パネルのような平板状の被検査体の検査に用いるプローブ組立体の１つとして、帯状の取付け領域（中央領域）並びに該取付け領域の先端及び後端からそれぞれ前方及び後方へ伸びる第１及び第２の針先領域を備えるブレードタイプの複数のプローブ（接触子）を備えるものがある（特許文献１）。

このプローブ組立体では、各プローブは、板状部材からなり、互いに板厚方向に間隔を置いて支持体の下方に並列的に配置される。また前記プローブは、それらの板厚方向に貫通するガイド穴を通りかつ前記支持体に支持された電気絶縁材料からなる支持バーを介して前記支持体に支持される。さらに、前記プローブは、前記支持体の先端および後端に配置されたそれぞれのスリットバーに形成されかつ下方に開放して形成されたスリット溝内に、各針先領域を個々に受け入れられる。前記プローブは、前記スリットバーの各スリット溝を経て、それらの針先をスリットバーの前縁から下方に突出させて配置される。

被検査体の検査では、各プローブはその針先を被検査体の電極に押圧される。このとき両者の電気的接触を確実になすために、プローブの針先領域に僅かな撓み変形が生じる程度の押圧力すなわちオーバドライブ力が各プローブに付加される。前記スリットバーのスリット溝の頂部は、これらのオーバドライブ力によってはプローブが頂部に干渉しないように設定されている。そのため、各プローブに、このオーバドライブ力が作用したとき、この作用力は前記プローブに形成されたガイド穴を貫通する前記支持バーにより受け止められる。

しかしながら、電極の微細ピッチに対応した前記プローブ組立体では、電極数に対応して配置された多数のプローブが支持バーを介して支持体に支持されることから、この支持バーがこれに作用する力が増大し、これにより支持バーが撓み変形を生じることがある。支持バーにこのような撓み変形が生じると、プローブに形成された貫通孔と該貫通孔を通る前記支持バーとの製造上の許容誤差により、プローブに作用するオーバドライブ力によって、該プローブに捩れが生じ易い。この捩れを伴うプローブの撓み変形は、各プローブの均一かつ適正なオーバドライブ力の設定を困難とし、また個々のプローブをスリット溝に受け入れる前記スリットバーの損傷を招く虞がある。

特開平１０−１３２８５３号公報

そこで、本願出願人は、前記したオーバドライブ力が作用したときにおける前記支持バーの撓み変形を抑制するための弾性体をプローブと支持体との間に配置することを特願２００５−３０７００号で提案した。

これによれば、前記弾性体がプローブを介して前記支持バーの撓み変形を抑制する。しかしながら、オーバドライブ力による前記支持バーの撓み変形をより確実に防止することが望ましいことが判明した。

したがって、本発明の目的は、電気的絶縁材料で形成された支持バーを介して支持体に支持されたプローブにオーバドライブ力が作用したとき、前記支持バーの撓み変形をさらに確実に防止できる電気的接続装置を提供する。

本発明は、支持体と、帯状の取付け領域および該取付け領域の先端から前方に伸びかつ前記取付け領域の幅寸法より小さい幅寸法を有する帯状の針先領域とを備える複数のプローブであって前記取付け領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付け領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記取付け領域を該取付け領域の厚さ方向に貫通して伸びかつ前記支持体に支持された細長い支持バーと、前記支持体の先端縁部に前記支持バーの長手方向に沿って配置されるスリットバーであって該スリットバーの長手方向に相互に間隔をおきかつそれぞれが下方に開放し、対応する前記プローブの前記針先領域をその針先が前縁より突出するように受け入れる複数のスリット溝を有するスリットバーとを含み、該スリットバーまたは前記支持体には、前記プローブが前記スリットバーの前記前縁で前記スリット溝の頂面に当接する前に、前記プローブに当接して該プローブの変形を拘束する剛的支点が設けられていることを特徴とする。

本発明によれば、前記スリットバーまたは前記支持体に設けられた剛的支点が前記プローブのオーバドライブ力による前記針先領域での適正な弾性変形を阻止することなく、前記プローブに作用するオーバドライブ力の少なくとも一部を受け止めることから、前記プローブを支持する前記支持バーに従来のような強い外力が作用することはなく、これによる前記支持バーの撓み変形を確実に防止することができる。

したがって、本発明によれば、各プローブの貫通孔と該貫通孔を貫通する支持バーとの許容誤差に拘わらず、前記支持バーの撓み変形に起因するプローブの捩れ変形およびこの捩れ変形に伴うスリットバーの仕切り壁の損傷あるいは破損が確実に防止される。これにより、各プローブの針先位置の高さ位置のばらつきをより効果的に抑制し、長期の使用によってもすべてのプローブによる安定した電気的接続を実現することができる。

前記剛的支点は、前記スリットバーの前記スリット溝の前記頂面における後縁部分に形成することができる。これにより、前記剛的支点を前記プローブの針先の近傍に設定することができる。この針先近傍に前記剛的支点を設定することにより、各プローブのオーバドライブ力による針先の変位量を比較的高精度に揃えることが可能となり、すべてのプローブでの安定した電気的接触を図る上で、より有利となる。

前記スリットバーの前記頂面における後縁部分に、前記頂面の残りの領域と段状をなす平坦面部分を形成し、また前記プローブには、前記取付け領域と前記針先領域との間で前記平坦面部分に対向する段部を形成することができる。この場合、前記段部に当接する前記平坦面部分が前記剛的支点を構成する。

前記平坦面部分が前記段部に当接するとき、前記スリットバーの前記頂面における前記平坦面部分を除く前記残りの領域は、対応する前記プローブの前記針先領域に間隔を保持されており、これによりオーバドライブ力による各プローブの適正な弾性変位量を保持することができる。

前記スリットバーの前記平坦面部分はその前記残りの領域に対して下方に位置する段差面を形成し、前記プローブの前記段部は前記針先領域の頂部に対して上方に位置する段差面を形成する。これに代えて、前記スリットバーの前記平坦面部分を前記残りの領域に対して上方に位置する段差面とすることができる。この場合、前記スリットバーの前記段差面に対向する前記プローブの前記段差は、下方または上方への段差を有するいずれかの段差とすることができ、あるいは前記プローブのこの段差を不要とすることができる。

前記スリットバーの前記スリット溝の前記頂面を前記スリットバーの前縁から後縁に至る直線状の平坦面で形成することができ、前記プローブには、前記取付け領域と前記針先領域との間で前記平坦面部分に向けての凸状の段部を形成することができる。この場合、前記頂面の前記段部に対向する部分が前記剛的支点を構成する。

前記支持体の下面に、前記剛的支点のために、前記針先領域に近接して配置された前記支持バーの配置位置よりも前記スリットバーの側で前記プローブに当接する段部を形成することができる。

前記支持体の前記段部は、前記スリットバーに沿って下方へ突出する部分により、形成することができる。

また、前記プローブに、前記取付け領域と前記針先領域との間で前記支持体の前記段部の当接面に対向する平坦面を形成する段部を形成することができる。

本発明によれば、前記剛的支点によってプローブに作用するオーバドライブ力の一部を支持することにより、プローブを支持する支持バーに、プローブに捩れを生じさせるような過大な撓み変形が生じることを確実に阻止することができる。したがって、この支持バーの撓み変形に起因するプローブの捩れ変形およびこの捩れ変形に伴うスリットバーの仕切り壁の損傷あるいは破損をより確実に防止することができ、また、各プローブの針先位置の高さ位置のまたばらつきをより効果的に抑制することができるので、長期の使用によってもすべてのプローブによる安定した電気的接続を実現することができる。

図１には、本発明に係る多数のプローブ装置１０を組み込んだ検査装置１２の平面図が示されている。図１は、矩形の液晶表示パネル１４の通電試験に用いられる検査装置１２の例を示す。

検査装置１２は、液晶表示パネル１４の外形に相似の該外形よりも小さな矩形開口１６ａが設けられた検査台１６を有する。液晶表示パネル１４は、検査台１６の矩形開口１６ａを通して背面よりバックライト光の照射を受けるように、矩形開口１６ａを覆って検査台１６上に配置される。検査台１６上には、その矩形開口１６ａの一方の長辺および一方の短辺のそれぞれに沿って伸びるプローブベース１８（１８ａ、１８ｂ）が配置されており、各プローブベース１８上には、液晶表示パネル１４の表面の縁部に整列して配置された多数の電極パッド（図示せず）に電気的に接続可能のプローブ装置１０が支持機構２０を介してそれぞれ支持されている。

各支持機構２０は、図２に示すように、それぞれのプローブ装置１０に設けられた後述する多数のプローブ２２の針先を液晶表示パネル１４へ向けて突出させるように、対応するそれぞれのプローブ装置１０を取り外し可能に支持する。これにより、各プローブ装置１０のプローブ２２は、その針先を液晶表示パネル１４の縁部に配列されたそれぞれに対応する前記電極に接触するように、各支持機構２０を介して液晶表示パネル１４へ向けて下降可能に保持される。この支持機構２０と同様な支持機構の構成は、例えば特開２００４−１９１０６４号公報に記載されている。

各支持機構２０により支持されるプローブ装置１０は、図２および図３に示されているように、支持機構２０により着脱可能に取り付けられるプローブブロック２４と、該プローブブロックの下方に配置される多数の前記プローブ２２とを備える。また、プローブ装置１０は、図３に示すように、プローブ２２をプローブブロック２４に支持するための一対の支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）と、支持体たる前記プローブブロック２４の下面２４ａに設けられる一対のスリットバー２８（２８ａ、２８ｂ）とを備える。

プローブブロック２４は、絶縁膜で被覆された金属材料で構成されている。また、一対のスリットバー２８（２８ａ、２８ｂ）はセラミックのような絶縁材料で構成されている。支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）も、従来におけると同様に、棒状のセラミックのような絶縁材料で構成されている。

プローブブロックすなわち支持体２４の下面２４ａは、全体に矩形形状を有し、その前縁である一辺３０ａが液晶表示パネル１４上で該液晶表示パネル１４の縁部に沿って配置されている。一方のスリットバー２８ａは、支持体２４の下面２４ａの前縁３０ａに沿って配置されており、該スリットバーの上面で支持体２４の下面２４ａに固定されている。また他方のスリットバー２８ｂは、前記一方のスリットバー２８ａから間隔を置くように、支持体２４の下面２４ａの後縁３０ｂに沿って配置され、その上面で支持体２４の下面２４ａに固定されている。

各スリットバー２８ａ、２８ｂのそれぞれの下面には、プローブ２２の個数に一致した数のスリット溝３２ａ、３２ｂが、各スリットバー２８ａ、２８ｂの長手方向に相互に間隔を置いて、形成されている。各スリット溝３２ａ、３２ｂは、対応するスリットバー２８ａ、２８ｂをその幅方向へ横切って伸び、下方にそれぞれ開放する。一対のスリットバー２８ａ、２８ｂの対応するスリット溝３２ａ、３２ｂは、対応するプローブ２２を受け入れるべく相互に整列して配置されている。

後述する各プローブ２２の板厚が例えば約１５μｍであり、その配列ピッチが約３０μｍであるとき、各スリットバー２８のスリット溝３２ａ、３２ｂ間の隔壁すなわち仕切り壁３２ｃ（図４参照）の厚さ寸法は約１０μｍに設定される。

支持体２４の下面２４ａの下方に配置される各プローブ２２は、図３に示されているように、その長手方向へ一様な幅寸法Wを有し中央領域として作用する帯状の取付け領域３４と、該取付け領域の先端および後端からそれぞれさらに先方および後方へ伸長する帯状の一対の針先領域３６（３６ａ、３６ｂ）とを備える板状の導電部材からなる。

各プローブ２２の取付け領域３４には、一対の支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）のための一対のガイド穴３８（３８ａ、３８ｂ）が形成されている。一対のガイド穴３８（３８ａ、３８ｂ）は、取付け領域３４の長手方向へ相互に間隔をおいて配置され、それぞれが取付け領域３４を貫通すべく該取付け領域の両端部に形成されている。

各一方の針先領域３６ａは、取付け領域３４の長手方向の一端における下縁部から前方へ伸長し、また各他方の針先領域３６ｂは、取付け領域３４の他端における上縁部から後方へ伸長する。各針先領域３６（３６ａ、３６ｂ）は、各取付け領域３４の幅寸法Wよりも小さな幅寸法を有する。

プローブ２２は、それらの一方の針先領域３６ａが一方のスリットバー２８ａの対応するスリット溝３２ａに受け入れられ、またそれらの他方の針先領域３６ｂが他方のスリットバー２８ｂの対応するスリット溝３２ｂに受け入れられるように、支持体２４の下面２４ａから間隔をおいて該下面の下方に配置される。これらのプローブ２２は、各取付け領域３４の幅寸法Ｗの方向が上下方向となるように、相互に間隔をおいて並列的に揃えられており、また各取付け領域３４の各ガイド穴３８ａ、３８ｂが整列する。整列した各ガイド穴３８（３８ａ、３８ｂ）には、対応する各支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）が貫通する。各支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）は、その両端で、支持体２４の両側に固定される一対のサイドカバー４０（図２参照）に支持されている。これにより、各プローブ２２は、スリットバー２８（２８ａ、２８ｂ）と平行に配置された各支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）を介して、支持体２４の下側に所定の姿勢で保持されている。

プローブ２２の前記他方の針先領域３６ｂは、該針先領域の後端に形成された後方の針先４２ｂをスリットバー２８ｂから支持体２４の後方へ突出させる。この後方の針先４２ｂは、支持機構２０に支持された支持ブロック４４の下面に固定された回路板４６の対応する接続パッドに接続されることから、各プローブ２２は、回路板４６を経て図示しないテスタ本体に接続される。針先４２ｂは、図示の例では、回路板４６への誤接触を防止するためのガイドフィルム４８の穴４８ａを経て前記接続パッドに接続されている。

プローブ２２の前記一方の針先領域３６ａは、該針先領域の先端に形成された前方の針先４２ａをスリットバー２８ａの前方からその下方へ突出させる。すなわち、図４に拡大して示すように、スリットバー２８ａのスリット溝３２ａは直線状の頂面を有し、支持体２４の前縁３０ａの側に対応するスリットバー２８ａの前縁側と反対側の後縁側には、段部５０が形成されている。段部５０は、平坦な段差面５０ａを形成する。図示の例では、段部５０は、スリット溝３２ａの前記頂面における段差面５０ａを除く他の領域に対して、上方に位置する段差面５０ａを規定する。

また、プローブ２２の取付け領域３４と一方の針先領域３６ａとの間には、前記段差面５０ａに対向する凸状の段部５２が形成されており、該段部は前記段差面５０ａに当接する平坦な段差面５２ａを規定する。スリットバー２８ａに形成された段部５０の段差面５０ａと、プローブ２２に形成された段部５２の段差面５２ａとは、相互に当接する。この両面５０ａ、５２ａの当接状態では、スリット溝３２ａの前記頂面における段差面５０ａを除く領域が針先領域３６ａに当接することはなく、段差面５０ａを除く領域と、針先領域３６ａとの間には間隔が保持された状態で、該針先領域の針先４２ａがスリットバー２８ａの前縁より斜め下方へ突出して保持されている。

したがって、プローブ装置１０の各プローブ２２の前記一方の針先領域３６ａが液晶表示パネル１４の対応する前記電極パッドに押圧されると、各プローブ２２の針先４２ａに作用する押圧力の少なくとも一部は、その針先領域３６ａの段差面５２ａに対向するスリットバー２８ａの段部５０の段差面５０ａで反力が担われることから、該段差面が剛的支点として作用する。また、各針先領域３６ａは、スリット溝３２ａの前記頂面における段差面５０ａを除く領域に当接する迄、針先領域３６ａにおける弾性変形が許される。

これにより、各プローブ２２は、この弾性変形量に応じたオーバドライブ力でもって、液晶表示パネル１４の対応する前記電極パッドに押圧される。また、このオーバドライブ力は、剛的支点として作用する段部５０の段差面５０ａのプローブ２２の長手方向に沿った位置および高さ位置（段差レベル）を選択することにより、適正に設定することができる。

本発明に係るプローブ装置１０が組み込まれた検査装置１２では、各プローブ装置１０に設けられた各プローブ２２の針先４２ａが液晶表示パネル１４の対応する前記電極パッドに押圧される。このとき、各プローブ装置１０のプローブ２２は、それぞれのスリットバー２８ａに形成された段差面５０ａを剛的支点として、弾性を伴う撓み変形を生じ、この撓み変形に応じたオーバドライブ力で対応する前記電極パッドに接続されることから、該各電極パッドはプローブ装置１０を経て前記テスタ本体に確実接続される。

また、このとき、前記剛的支点５０ａによってプローブ２２に作用するオーバドライブ力の少なくとも一部が受け止められることから、プローブ２２を支持する支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）に従来のような強いオーバドライブ力が作用することはなく、これによる支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）の撓み変形を確実に防止することができる。

したがって、本発明に係るプローブ装置１０を備える検査装置１２によれば、各プローブ２２の貫通孔たる各ガイド穴３８（３８ａ、３８ｂ）と該ガイド穴を貫通する支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）との製造許容誤差に拘わらず、該支持バーの撓み変形に起因するプローブ２２の捩れ変形およびこの捩れ変形に伴うスリットバー２８ａのスリット溝３２ａ間の仕切り壁３２ｃ（図４参照）の損傷あるいは破損が確実に防止される。これにより、各プローブ２２の針先４２ａの位置の高さ方向のばらつき（Δｚ）および針先４２ａの平面上でのばらつき（Δｘ、Δｙ）をより効果的に抑制し、長期の使用によってもすべてのプローブ２２による安定した電気的接続を実現することができる。

プローブ２２の針先４２ａの高さ位置のばらつきについて、より具体的には、支持バーの撓み変形を抑制するために弾性体を用いた場合には、針先４２ａの高さ位置のばらつきは４０μｍ程度であったが、弾性体に代えて剛的支点を用いた本発明では、そのばらつきを半値である約２０μｍ以下に抑制することができた。

図４に示した例では、スリットバー２８ａのスリット溝３２ａの前記頂面における後縁部分に形成された剛的支点は、段差面５０ａで形成されていた。これに代えて、図示しないが、スリット溝３２ａの前記頂面における後縁部分が他の前縁部分よりも下方に位置する段差面で形成することができる。この場合、針先領域３６ａの前記段差面に対向する領域が当該段差面に当接するとき、スリット溝３２ａの前記頂面における前縁部分と針先領域３６ａとの間には該針先領域の前記したと同様な弾性変形を許す間隔が保持される。また、前記スリットバーの前記段差面に対向するプローブ２２の前記したと同様な上方への段差面５２ａは、これと同様な上方への段差面またはこれとは反対の下方へ段差面のいずれかとすることができる。あるいは、プローブに形成される前記した段差を不要とすることができる。

図５に示すように、スリットバー２８ａのスリット溝３２ａの前記頂面をスリットバー２８ａの前縁から後縁に至る直線状の平坦面で形成することができる。この場合、プローブ２２には、取付け領域３４と針先領域３６ａとの間で、平坦面部分に向けての凸状の段部５２を形成することができ、前記頂面の段部５２の平坦な段面５２ａに対向する部分が前記したと同様な剛的支点を構成する。

また、スリットバー２８ａに前記したような剛的支点を設けることに代えて、支持体２４に同様な剛的支点を設けることができる。

図６には、支持体２４の下面２４ａに、スリットバー２８ａの後縁に沿って下方に伸長する伸長部５４を形成した例を示す。図６に示す例では、伸長部５４の下端面５４ａは、前記下面２４ａおよびスリット溝３２ａの前記頂面の両高さ位置間に在る。伸長部５４の下端面５４ａは、プローブ２２に形成された段部５２の段差面５２ａを受ける平坦面で構成されており、前記したと同様なプローブ２２のための剛的支点として作用する。

また、図７に示すように、支持体２４の下面２４ａで、スリットバー２８ａにから間隔をおいてこれに平行に形成される伸長部５６を形成することができる。伸長部５６は、スリットバー２８ａに近接する一方の支持バー２６ａの上方に配置されている。この伸長部５６の平坦な下端面５６ａは、支持バー２６ａの上方でプローブ２２の取付け領域３４の上面に当接し、前記したと同様な剛的支点として作用する。

支持バー２６ａに作用するオーバドライブ力の低減を図る上では、図７に示すように、支持バー２６ａの上方で取付け領域３４に当接する剛的支点を形成することが望ましい。

しかしながら、支持バー２６ａに作用するオーバドライブ力の低減を図り、しかも各プローブ２２のオーバドライブ力をより高精度で適正に設定する上で、図４および図５に示したように、剛的支点を針先４２ａの近傍位置に設定することが望ましい。これにより、各プローブ２２のオーバドライブ力による針先の変位量を比較的高精度に揃えることが可能となり、すべてのプローブ２２でのより安定した電気的接触を実現することが可能となる。

図８に示すように、図４に示した各プローブ２２の取付け領域３４に容量低減用穴５８ａおよび５８ｂを形成することができる。これらの穴５８ａおよび５８ｂは、隣接するプローブ２２間での静容量の低減を図ることにより、パルス状信号の漏れによる隣接するプローブ２２間でのクロストークを低減する。

また、前記したところでは、一対の支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）を介して支持体２４に支持されるプローブ２２を示したが、図９に示すように、単一のガイド穴３８を有し、該ガイド穴を挿通する単一支持バー（図示せず）を介して前記したと同様な支持体に支持されるプローブ２２に本発明を適用することができる。

本発明によれば、前記剛的支点（５０ａ、３２ａ、５４ａ、５６ａ）によってプローブ２２に作用するオーバドライブ力の一部を支持することができるので、プローブ２２を支持する支持バー２６に、プローブ２２に捩れを生じさせるような過大な撓み変形が生じることを確実に阻止することができる。したがって、この支持バー２６の撓み変形に起因するプローブ２２の捩れ変形およびこの捩れ変形に伴うスリットバー２８ａの仕切り壁３２ｃの損傷あるいは破損をより確実に防止することができ、また、各プローブ２２の針先４２ａの高さ位置および針先の平面上の位置のばらつきをより効果的に抑制することができるので、長期の使用によってもすべてのプローブ２２による安定した電気的接続を実現することができる。

本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。

本発明に係るプローブ組立体を組み込んだ電気的接続装置の一例を示す液晶表示パネルの検査装置の一部を示す平面図である。 図１に示した検査装置に組み込まれた多数のプローブ組立体の一つを示す正面図である。 図２に示されたIII-III線に沿って得られたプローブ組立体の部分的な断面図である。 図３に示したプローブ組立体の針先領域を拡大して示す部分的な拡大図である。 本発明の他の例を示す図４と同様な図面である。 本発明のさらに他の例を示す図４と同様な図面である。 本発明のさらに他の例を示す図４と同様な図面である。 図３に示したプローブ組立体のプローブのさらに他の例を示す平面図である。 図８に示したプローブのさらに他の例を示す平面図である。

符号の説明

１０ プローブ装置
２２ プローブ
２４ 支持体（プローブブロック）
２６（２６ａ、２６ｂ） 支持バー
２８（２８ａ、２８ｂ） スリットバー
３０ａ スリットバーの前縁
３２（３２ａ、３２ｂ） スリット溝
３４ プローブの取付け領域
３６（３６ａ、３６ｂ） プローブの針先領域
３８（３８ａ、３８ｂ） ガイド穴
３２ａ、５０ａ、５４ａ、５６ａ 剛的支点

Claims (6)

1. 支持体と、帯状の取付け領域および該取付け領域の先端から前方に伸びかつ前記取付け領域の幅寸法より小さい幅寸法を有する帯状の針先領域とを備える複数のプローブであって前記取付け領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付け領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記取付け領域を該取付け領域の厚さ方向に貫通して伸びかつ前記支持体に支持された細長い支持バーと、前記支持体の先端縁部に前記支持バーの長手方向に沿って配置されるスリットバーであって該スリットバーの長手方向に相互に間隔をおきかつそれぞれが下方に開放し、対応する前記プローブの前記針先領域をその針先が前縁より突出するように受け入れる複数のスリット溝を有するスリットバーとを含み、該スリットバーまたは前記支持体には、前記プローブが前記スリットバーの前記前縁で前記スリット溝の頂面に当接する前に、前記プローブに当接して該プローブの変形を拘束する剛的支点が設けられており、該剛的支点は、前記スリットバーの前記スリット溝の前記頂面における後縁部分に形成されており、
   前記スリットバーの前記頂面における前記後縁部分には、前記頂面の残りの領域に対して段差をなす平坦面部分が形成されており、前記プローブには、前記取付け領域と前記針先領域との間で前記平坦面部分に対向する段部が形成されており、該段部に当接する前記平坦面部分が前記剛的支点を構成することを特徴とする、プローブ組立体。
2. 前記平坦面部分が前記段部に当接するとき、前記スリットバーの前記頂面における前記平坦面部分を除く前記残りの領域は、対応する前記プローブの前記針先領域に間隔を保持されている、請求項１に記載のプローブ組立体。
3. 前記スリットバーの前記平坦面部分は、その前記残りの領域に対して下方に位置する段差面を形成し、前記プローブの前記段部は前記針先領域の頂部に対して上方に位置する段差面を形成する、請求項２に記載のプローブ組立体。
4. 前記支持体の下面には、前記針先領域に近接して配置された前記支持バーの配置位置よりも前記スリットバーの側で前記プローブに当接する段部が形成されており、該段部が前記剛的支点を構成する、請求項１に記載のプローブ組立体。
5. 前記支持体の前記段部は、前記スリットバーに沿って下方に突出して形成されている、請求項４に記載のプローブ組立体。
6. 前記プローブには、前記取付け領域と前記針先領域との間で前記支持体の前記段部の当接面に対向する平坦面を形成する段部が形成されている、請求項５に記載のプローブ組立体。

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