KR102265960B1

KR102265960B1 - 프로브 블록

Info

Publication number: KR102265960B1
Application number: KR1020200185949A
Authority: KR
Inventors: 이용관; 오제헌
Original assignee: 주식회사 프로이천
Priority date: 2020-12-29
Filing date: 2020-12-29
Publication date: 2021-06-17

Abstract

본 발명은 제1 블록; 제2 블록; 상기 제1 블록과 상기 제2 블록 사이에 적층되는 연성회로기판; 상기 제2 블록에 배치되는 프로브 핀을 포함하고, 상기 제2 블록은 상기 연성회로기판과 접촉하는 제1 면과, 상기 제1 면과 대향하여 배치되는 제2 면과, 상기 제1 면에서 오목하게 배치되는 제1 홈, 상기 제1 홈과 연결되며 상기 제1 면과 상기 제2 면을 관통하는 홀과, 상기 제1 홈에 배치되는 복수 개의 제1 격벽을 포함하고, 상기 프로브 핀은 접촉팁이 상기 홀에 위치하도록 이웃하는 상기 제1 격벽 사이에 배치되고, 상기 접촉팁은 상기 제2 면보다 돌출되어 배치되고, 상기 프로브 핀의 일부 영역이 상기 제1 홈의 바닥면에 의해 지지되는 프로브 블록을 제공할 수 있다.

Description

프로브 블록{Probe block}

실시예는 프로브 블록에 관한 것이다.

프로브 블록은 패널의 에이징을 테스트하기를 위한 장치이다. 에이징은 디스플레이 패널의 제조 과정 중에 수행되는 공정으로, 디스플레이 패널이 제대로 구동되는지 확인하기 위한 신뢰성을 실험하는 공정이다.

이러한 에이징 공정에서는 프로브 블록을 통해 패널에 일정 시간 동안 전기적 신호를 인가하여 디스플레이가 정상적으로 작동하는지 검사한다.

프로브 블록은 연성회로기판을 포함할 수 있다. 연성회로기판은 패널의 패드와 접촉한다. 연성회로기판에는 패널의 패드와 접촉하는 패턴이 형성될 수 있다. 그러나 이러한 연성회로기판의 패턴은 수명이 짧고 패드와 개별적으로 접촉하는 것이 어려운 문제점 있다.

대한민국 등록특허 제10-1795615호(2017.11.02. 공고)

본 발명은 수명이 길고 디스플레이의 패드와 개별적 접촉이 가능하면서도, 손상이 적은 프로브 블록을 제공하는 것을 그 해결하고자 하는 과제로 삼는다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급된 과제에 국한되지 않으며 여기서 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

실시예는, 제1 블록과, 제2 블록과, 상기 제1 블록과 상기 제2 블록 사이에 적층되는 연성회로기판과, 상기 제2 블록에 배치되는 프로브 핀을 포함하고, 상기 제2 블록은 상기 연성회로기판과 접촉하는 제1 면과, 상기 제1 면과 대향하여 배치되는 제2 면과, 상기 제1 면에서 오목하게 배치되는 제1 홈, 상기 제1 홈과 연결되며 상기 제1 면과 상기 제2 면을 관통하는 홀과, 상기 제1 홈에 배치되는 복수 개의 제1 격벽을 포함하고, 상기 프로브 핀은 접촉팁이 상기 홀에 위치하도록 이웃하는 상기 제1 격벽 사이에 배치되고, 상기 접촉팁은 상기 제2 면보다 돌출되어 배치되고, 상기 프로브 핀의 일부 영역이 상기 제1 홈의 바닥면에 의해 지지되는 프로브 블록을 제공할 수 있다.

바람직하게는, 상기 제2 블록은 상기 홀에 배치되는 복수 개의 제2 격벽을 포함하고, 상기 접촉팁은 이웃하는 상기 제2 블록 사이에 배치될 수 있다.

바람직하게는, 상기 프로브 핀은 상기 제1 홈의 바닥면과 접촉하는 제3 면과, 상기 제3 면에서 돌출되는 돌기를 포함하고, 상기 제2 블록은 상기 제1 홈의 바닥면에서 오목하게 배치되는 제2 홈을 포함하고, 상기 돌기가 상기 제2 홈에 배치됨으로써, 상기 프로브 핀이 지지될 수 있다.

바람직하게는, 상기 연성회로기판과 상기 제1 블록 사이에 적층되는 플레이트를 더 포함하고, 상기 프로브 핀은 상기 연성회로기판과 접촉하는 제4 면을 포함할 수 있다.

바람직하게는, 상기 제1 격벽 및 상기 제2 격벽은 좌우방향을 따라 일정한 간격을 두고 배치되고, 상기 제2 면 보다 돌출되는 상기 접촉팁의 전후방향 길이는 0.5mm 내지 1.7mm 이내일 수 있다.

바람직하게는, 상기 제2 면은 검사대상물을 마주보는 면일 수 있다.

바람직하게는, 상기 제2 면은 상기 제1 홈과 대응되게 위치하는 제2-1면과, 상기 홀과 대응되게 위치하는 제2-2 면을 포함하고, 상기 제2-2 면은 상기 제2-1 면보다 돌출되게 배치되며, 상기 접촉팁은 상기 제2-1 면보다 돌출되게 배치될 수 있다.

바람직하게는, 이웃하는 상기 제1 격벽 사이에 형성되는 제1 슬릿은 검사대상물을 향하는 방향으로 상기 제2 면에 의해 닫혀 있고, 이웃하는 상기 제2 격벽 사이에 형성되는 제2 슬릿은 검사대상물을 향하는 방향으로 열려 있을 수 있다.

바람직하게는, 상기 제2 블록은 상기 제1 면과 상기 제2 면과 연결되는 전면을 포함하고, 상기 접촉팁은 전후방향으로 상기 전면보다 돌출되지 않게 배치될 수 있다.

바람직하게는, 상기 접촉팁을 제외한 상기 프로브의 모든 영역은 상하방향으로 상기 제2 면보다 돌출되지 않게 배치될 수 있다.

실시예에 따르면, 제2 블록을 통해 접촉팁의 일부가 노출되는 복수 개의 프로브 핀이 연성회로기판에 연결되어, 수명이 길고 디스플레이의 패드와 개별적 접촉이 가능한 이점이 있다.

실시예에 따르면, 상하방향을 기준으로, 프로브 핀의 접촉팁만이 제2 블록에서 돌출되고 프로브 핀의 나머지 영역은 제2 블록에 배치되되, 제1 홈의 바닥면이 프로브 핀을 지지하도록 형성되어, 외력에 의해 프로브 핀이 움직이거나 이탈되는 것을 방지하는 이점이 있다.

실시예에 따르면, 프로브 핀의 접촉팁이 제2 격벽 사이에 배치되어, 이물질이 프로브 블록 내부로 유입되는 것을 방지하는 이점이 있다.

실시예에 따르면, 프로브 핀이 제2 블록에 배치된 슬릿에 배치되기 때문에 프로브 핀의 교체나 수리가 용이한 이점이 있다.

도 1은 실시예에 따른 프로브 블록을 도시한 도면,
도 2는 도 1에서 도시한 프로브 블록의 분해도,
도 3은 도 1에서 도시한 프로브 블록의 측면도,
도 4는 제2 블록에 장착되는 프로브 핀을 도시한 도면,
도 5는 도 4의 A-A를 기준으로 하는 측단면도,
도 6은 제2 블록의 사시도,
도 7은 도 6의 B-B를 기준으로 하는 단면도,
도 8은 프로브 핀의 평면도,
도 9는 변형례에 따른 프로핀의 평면도,
도 10은 도 9에서 도시한 프로브 핀의 접촉팁이 돌출된 상태를 도시한 도면,
도 11은 제1 홈에 배치된 프로브 핀을 도시한 제2 블록의 측단면도이다.
도 12는 프로브 핀의 접촉팁을 도시한 도면이다.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 그리고 본 명세서 및 특허청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정하여 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해서 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 관련된 공지기술에 대한 상세한 설명은 생략한다.

제2, 제1 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제2 구성요소는 제1 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제1 구성요소도 제2 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.

연성회로기판의 패턴을 대신하여, 수명이 높고 개별 접촉이 가능한 프로브 핀을 사용하는 경우, 프로브 핀이 외력에 의해 움직이거나 이탈되는 문제가 발생할 수 있는데, 실시예에 따른 프로브 블록은, 프로브 핀을 사용하면서도 이러한 문제점을 해결하고자 안출된 장치이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하며 실시예에 따른 프로브 블록에 관하여 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 실시예에 따른 프로브 블록을 도시한 도면이고, 도 2는 도 1에서 도시한 프로브 블록의 분해도이다. 이하, 도면에서, x축은 프로브 블록의 좌우방향을 나타내며, y축은 프로브 블록의 전후방향을 나타내며, z축은 프로브 블록의 상하방향을 나타낸다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 실시예에 따른 프로브 블록은, 제1 블록(100)과, 제2 블록(200)과, 연성회로기판(300)과, 프로브 핀(400)과, 플레이트(500)를 포함할 수 있다. 도면에서, 프로브 블록은, 상측에서 하측으로, 제1 블록(100), 플레이트(500), 연성회로기판(300), 제2 블록(200) 순으로 적층되어 배치될 수 있다.

제1 블록(100)은 장비에 착탈 가능하게 결합한다. 제1 블록(100)에는 결합용 마그넷(600)이 장착될 수 있다. 제1 블록(100)의 하면은 플레이트(500)의 상면과 맞닿는다.

제2 블록(200)은 프로브 핀(400)을 고정하기 위한 평판 부재이다. 제2 블록(200)은 상면은 연성회로기판(300)의 하면과 맞닿는다.

연성회로기판(300)은 상하방향(z)으로 플레이트(500)와 제2 블록(200) 사이에 배치된다. 연성회로기판(300)의 일부가 제2 블록(200)의 상면을 덮는다. 연성회로기판(300)은 제2 블록(200)에 배치된 프로브 핀(400)과 전기적으로 접촉한다. 연성회로기판(300)의 상면은 플레이트(500)의 하면과 맞닿을 수 있고, 연성회로기판(300)의 하면은 제2 블록(200)의 상면과 맞닿을 수 있다.

프로브 핀(400)은 디스플레이 패널의 패드와 접촉한다. 프로브 핀(400)은 검사를 위한 신호를 디스플레이 패널의 패드에 인가한다. 복수 개의 프로브 핀(400)은 제2 블록(200)에 배치될 수 있다. 복수 개의 프로브 핀(400)은 좌우방향(x)을 따라 나열되어 배치될 수 있다.

플레이트(500)는 제1 블록(100)과 연성회로기판(300) 사이에 배치될 수 있다. 플레이트(500)는 연성회로기판(300)의 일부영역과 일체로 형성되어, 연성회로기판(300)을 제1 블록(100)과 제2 블록(200)에 고정하기 위한 수단으로 활용된다.

도 3은 도 1에서 도시한 프로브 블록의 측면도이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 실시예에 따른 프로브 블록은, 접촉팁(410)의 일부를 제외한 프로브 핀(400)의 나머지 영역이 제2 블록(200)의 내측에 배치되는 특징이 있다. 디스플레이 패널의 패드와 접촉하는 프로브 핀(400)의 일부 영역을 제외하고, 대부분의 다른 영역은 부로 노출되지 않게 형성함으로써, 프로브 핀(400)의 노출된 영역이 외부 장치나 작업자에 걸려 손상되거나 위치가 틀어지거나 이탈되는 것을 원천적으로 방지한 특징이 있다.

프로브 핀(400)의 접촉팁(410)의 일부가 제2 블록(200)보다 하측으로 돌출되어 배치된다. 이때, 접촉팁(410)이 제2 블록(200)의 전면보다 돌출되지 않게 배치된다. 따라서, 제2 블록(200)의 전방에서 외부 장치나 작업자에 의해 프로브 핀(400)이 걸릴 위험이 없다. 제2 블록(200)보다 돌출된 접촉팁(410)의 전후방향 길이(L)는 0.5mm 내지 1.7mm 이내일 수 있다.

도 4는 제2 블록(200)에 장착되는 프로브 핀(400)을 도시한 도면이고, 도 5는 도 4의 A-A를 기준으로 하는 측단면도이다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 복수 개의 프로브 핀(400)은 각각 제2 블록(200)의 상측에서 제2 블록(200)의 내부로 삽입될 수 있다. 제2 블록(200)은 제1 홈(G1)과 홀(H)을 포함한다. 프로브 핀(400)의 제1 홈(G1)에 삽입된다. 프로브 핀(400)의 접촉팁(410)은 홀(H)을 통해 제2 블록(200)의 외부로 노출된다. 제1 홈(G1)의 하측은 막혀 있기 때문에 해당 영역에 위치한 프로브 핀(400)은 외부로 노출되지 않는다.

접촉팁(410)은 제2 블록(200)의 제2 면(F2)보다 돌출되어 배치되지만, 접촉팁(410)을 제외한 프로브 핀(400)의 모든 영역은 상하방향(z)으로, 제2 면(F2)보다 돌출되지 않는다.

도 6은 제2 블록(200)의 사시도이고, 도 7은 도 6의 B-B를 기준으로 하는 단면도이다.

도 4 내지 도 7을 참조하면, 제2 블록(200)은 제1 면(F1)과 제2 면(F2)을 포함할 수 있다. 제1 면(F1)은 연성회로기판(300)과 접촉하는 면으로 제2 블록(200)의 상면일 수 있다. 제2 면(F2)은 제1 면(F1)과 대향하는 면으로 제2 블록(200)의 하면일 수 있다. 제2 면(F2)은 검사대상물을 마주보는 면이다.

제2 면(F2)은 제2-1 면(F21)과 제2-2 면(F22)을 포함할 수 있다. 제2-1 면(F21)은 제1 홈(G1)과 대응되게 위치할 수 있다. 제2-2 면(F22)은 홀(H)과 대응되게 위치할 수 있다. 그리고 제2-2 면(F22)은 제2-1 면(F21)보다 돌출되게 배치될 수 있다. 접촉팁(410)은 제2-1 면(F21)보다 돌출되게 배치될 수 있다. 제2-1 면(F21)은 디스플레이 패널의 패드와 대응되는 면이다. 제2-2 면(F22)보다 하측으로 돌출되어, 프로브 핀(400)의 접촉팁(410)과 디스플레이 패널의 패드의 접촉이 방해되지 않는 한에서 최대한 접촉팁(410)을 가이드할 수 있다.

제1 슬릿(S1)은 검사대상물을 향하는 방향으로 제2 면(F2)에 의해 닫혀 있는 상태이다. 제2 슬릿(S2)은 검사대상물을 향하는 방향으로 열려 있는 상태이다.

제1 홈(G1)은 제1 면(F1)에서 오목하게 형성될 수 있다. 홀(H)은 제1 홈(G1)과 연결되도록 제1 홈(G1)의 전방에 배치되며, 제1 면(F1)과 제2 면(F2)을 관통하여 형성될 수 있다. 프로브 핀(400)은 접촉팁(410)이 홀(H)에 위치하도록 제1 홈(G1)에 배치된다.

제2 블록(200)은 복수 개의 제1 격벽(W1)과 제2 격벽(W2)을 포함할 수 있다.

제1 격벽(W1)은 제1 홈(G1)에 배치되며, 좌우방향(x)을 따라 일정한 간격을 두고 배치될 수 있다. 좌우방향(x)을 기준으로, 이웃하는 제1 격벽(W1)은, 사잇 공간에 프로브 핀(400)이 삽입되는 제1 슬릿(S1)을 형성한다.

제2 격벽(W2)은 홀(H)에 배치될 수 있다. 제2 격벽(W2)은 좌우방향(x)을 따라 일정한 간격을 두고 배치될 수 있다. 좌우방향(x)을 기준으로, 이웃하는 제2 격벽(W2)은, 사잇 공간에 프로브 핀(400)의 접촉팁(410)이 삽입되는 제2 슬릿(S2)을 형성한다. 제2 격벽(W2)은 좌우방향(x)을 기준으로 제1 격벽(W1)과 정렬되어 배치된다. 따라서, 제1 슬릿(S1)과 제2 슬릿(S2)은 좌우방향(x)으로 정렬된다. 제2 슬릿(S2)에 삽입된 접촉팁(410)은 제2 면(F2)보다 돌출된다.

이렇게 접촉팁(410) 사이마다 제2 격벽(W2)이 위치하기 때문에, 이물질이 제2 블록(200) 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다. 또한, 개별적으로 배치되는 프로브 핀(400)들의 접촉팁(410)을 일체감 있게 묶어 외력에 의해 손상되거나 위치가 틀어지는 것을 방지하고, 접촉팁(410)이 디스플레이 패널의 패드에 정확하게 접촉할 수 있는 이점이 있다.

도 8은 프로브 핀(400)의 평면도이고, 도 9는 변형례에 따른 프로핀의 평면도이고, 도 10은 도 9에서 도시한 프로브 핀의 접촉팁이 돌출된 상태를 도시한 도면이다.

도 8을 참조하면, 프로브 핀(400)의 제3 면(F3)과 제4 면(F4)을 포함할 수 있다. 제3 면(F3)은 제1 홈(G1)의 바닥면(G1a)에 닿는 면이다. 제4 면(F4)은 제3 면(F3)과 대향하여 배치되며, 연성회로기판(300)과 닿을 수 있다. 접촉팁(410)은 프로브 핀(400)의 앞쪽에 배치될 수 있다. 접촉팁(410)은 제3 면(F3)보다 하측으로 돌출되게 배치된다. 접촉팁(410)은 뾰족한 형태의 선단을 형성할 수 있다.

한편, 프로브 핀(400)은 돌기(420)를 포함할 수 있다. 돌기(420)는 제3 면(F3)에서 하측으로 돌?w되게 형성될 수 있다. 돌기(420)는 제2 블록(200)과 프로브 핀(400)의 결합력을 높이는 역할을 한다.

도 9 및 도 10을 참조하면, 변형례에 따른 프로브 핀(400)으로서, 라운드 형태의 선단을 가지는 접촉팁(410)을 포함할 수 있다.

도 11은 제1 홈(G1)에 배치된 프로브 핀(400)을 도시한 제2 블록(200)의 측단면도이다.

도 5 및 도 11을 참조하면. 접촉팁(410)이 제2 면(F2)보다 돌출된 상태에서, 프로브 핀(400)의 제3 면(F3)이 제1 홈(G1)의 바닥면(G1a)과 접촉한다. 전후방향으로, 프로브 핀(400)의 전체에 걸쳐 제3 면(F3)이 제1 홈(G1)의 바닥면(G1a)에 의해 지지되기 때문에 프로브 핀(400)의 대부분이 외부로 노출되지 않고, 제2 블록(200)과 프로브 핀(400)의 고정력이 높은 이점이 있다.

프로브 핀(400)의 제4 면(F4)은 연성회로기판(300)과 그 위에 적층된 플레이트(500)를 통해, 도 11의 P1과 같은 반력이 작용하여, 프로브 핀(400)을 지지한다. 또한, 프로브 핀(400)의 제3 면(F3)은 제1 홈(G1)의 바닥면(G1a)을 통해 도 11의 P2와 같은 반력이 작용하여 프로브 핀(400)을 지지한다.

한편, 제2 블록(200)은 제1 홈(G1)의 바닥면(G1a)에서 오목하게 배치되는 제2 홈을 포함할 수 있다. 프로브 핀(400)의 돌기(420)가 제2 홈에 삽입된다. 돌기(420)가 제2 홈에 삽입됨으로써, 전후방향으로, 프로브 핀(400)은 제2 블록(200)에 구속된다. 또한, 프로브 핀(400)에 외력이 작용하여도, 도 11의 P3의 같이, 반력이 작용하여, 프로브 핀(400)을 지지하는 이점이 있다.

도 12는 프로브 핀(400)의 접촉팁(410)을 도시한 도면이다.

도 3 및 도 12를 참조하면, 프로브 핀(400)들의 접촉팁(410)이 개별적으로 배치되지만 소정의 영역(M) 안에서 제2 격벽(W2)을 사이에 두고 배치되고, 제2 블록(200)의 제2 면(F2)보다 접촉팁(410)의 끝단만이 돌출되어, 프로브 핀(400)들의 접촉팁(410)을 일체감 있게 묶여 배치될 수 있으며, 외부 장치나, 작업자에 접촉팁(410)이 걸리는 위험을 크게 줄이는 이점이 있다.

제2 블록(200)의 제2 면(F2)에는 얼라인 마크(K)가 배치될 수 있다. 얼라인 마크(K)는 제2 면(F2)에서 음각으로 형성된 홈에 소재를 충진하여 형성시킬 수 있다. 얼라인 마크(K)가 표기된 표지를 제2 블록(200)의 제2 면(F2)에 부착할 수도 있다.

이상으로 본 발명의 바람직한 하나의 실시예에 따른 프로브 블록에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 살펴보았다.

전술된 본 발명의 일 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 전술된 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의해 나타내어질 것이다. 그리고 이 특허청구범위의 의미 및 범위는 물론 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형 가능한 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

100: 제1 블록
200: 제2 블록
300: 연성회로기판
400: 프로브 핀
410: 접촉팁
420: 돌기
500: 플레이트
H: 홀
G1: 제1 홈
G2: 제2 홈

Claims

제1 블록;
제2 블록;
상기 제1 블록과 상기 제2 블록 사이에 적층되는 연성회로기판;
상기 제2 블록에 배치되는 프로브 핀을 포함하고,
상기 제2 블록은 상기 연성회로기판과 접촉하는 제1 면과, 상기 제1 면과 대향하여 배치되는 제2 면과, 상기 제1 면에서 오목하게 배치되는 제1 홈, 상기 제1 홈과 연결되며 상기 제1 면과 상기 제2 면을 관통하는 홀과, 상기 제1 홈에 배치되는 복수 개의 제1 격벽을 포함하고,
상기 프로브 핀은 접촉팁이 상기 홀에 위치하도록 이웃하는 상기 제1 격벽 사이에 배치되고,
상기 접촉팁은 상기 제2 면보다 돌출되어 배치되고,
상기 프로브 핀의 일부 영역이 상기 제1 홈의 바닥면에 의해 지지되고,
상기 제2 면은 상기 제1 홈과 대응되게 위치하는 제2-1 면과, 상기 홀과 대응되게 위치하는 제2-2 면을 포함하고,
상기 제2-2 면은 상기 제2-1 면보다 돌출되게 배치되며,
상기 접촉팁은 상기 제2-1 면보다 돌출되게 배치되는 프로브 블록.
제1 항에 있어서,
상기 제2 블록은 상기 홀에 배치되는 복수 개의 제2 격벽을 포함하고,
상기 접촉팁은 이웃하는 상기 제2 블록 사이에 배치되는 프로브 블록.
제1 항에 있어서,
상기 프로브 핀은 상기 제1 홈의 바닥면과 접촉하는 제3 면과, 상기 제3 면에서 돌출되는 돌기를 포함하고,
상기 제2 블록은 상기 제1 홈의 바닥면에서 오목하게 배치되는 제2 홈을 포함하고,
상기 돌기가 상기 제2 홈에 배치됨으로써, 상기 프로브 핀이 지지되는 프로브 블록.
제1 항에 있어서,
상기 연성회로기판과 상기 제1 블록 사이에 적층되는 플레이트를 더 포함하고,
상기 프로브 핀은 상기 연성회로기판과 접촉하는 제4 면을 포함하는 프로브 블록.
제2 항에 있어서,
상기 제1 격벽 및 상기 제2 격벽은 좌우방향을 따라 일정한 간격을 두고 배치되고,
상기 제2 면보다 돌출되는 상기 접촉팁의 전후방향 길이는 0.5mm 내지 1.7mm 이내인 프로브 블록.
제1 항에 있어서,
상기 제2 면은 검사대상물을 마주보는 면인 프로브 블록.
삭제
제2 항에 있어서,
이웃하는 상기 제1 격벽 사이에 형성되는 제1 슬릿은 검사대상물을 향하는 방향으로 상기 제2 면에 의해 닫혀 있고,
이웃하는 상기 제2 격벽 사이에 형성되는 제2 슬릿은 검사대상물을 향하는 방향으로 열려 있는 프로브 블록.
제1 항에 있어서,
상기 제2 블록은 상기 제1 면과 상기 제2 면과 연결되는 전면을 포함하고,
상기 접촉팁은 전후방향으로 상기 전면보다 돌출되지 않게 배치되는 프로브 블록.
제1 항에 있어서,
상기 접촉팁을 제외한 상기 프로브의 모든 영역은 상하방향으로 상기 제2 면보다 돌출되지 않게 배치되는 프로브 블록.