KR100252566B1 - 프로브조립체및프로브 - Google Patents

Abstract

본 발명은 용이하게 또한 염가로 제작할 수 있고, 침선(뾰족한 선단)을 전극에 확실하게 접촉시킬 수 있으며, 프로브의 교환을 용이하게 하는 것이다.

프로브 조립체는 블록(12)과 띠 형상의 중앙 영역(30) 및 상기 중앙 영역의 선단 및 후단으로부터 각각 더 전방 및 후방으로 연장하는 제1 및 제2침전 영역(32,34)을 구비하는 복수의 프로브(14)를 그 중앙 영역의 폭 방향이 상하 방향으로 되는 상태로 중앙 영역을 대향시켜 블럭의 하측에 병렬적으로 배치하고, 그 프로브(14)를 관통하는 가늘고 긴 1이상의 가이드바(16)를 통해서 블록(12)에 지지시킨 것을 특징으로 한다.

Description

프로브 조립체 및 프로브

본 발명은 액정 표시 패널과 같은 평판 형상 피검사체의 검사에 이용하는 프로브 조립체(probe assembly) 및 프로브에 관한 것이다.

액정 표시 패널의 검사에 이용되는 프로브 조립체로서, 현재는 선단부(침선부)를 테이퍼 형상으로 형성하여 선단(침선)의 직경 치수를 작게한 다수의 금속 세선을 액정 표시 패널의 전극의 배치 패턴에 대응시켜서 블럭에 배치하고, 접착제로 고정한 니들형(needle type)인 것(일본특허공개 평7-225245호 공보)과, 다수의 구멍을 액정 표시 패널의 전극의 배치 패턴에 대응시켜서 블럭에 굴곡 형상으로 형성하여 각 구멍에 스프링 핀을 배치한 스프링 핀형인 것이 판매되고 있다.

침선이 니들형인 것은 침선이 액정 표시 패널의 전극을 문지르는 이른바 스크래치(scratch) 작용에 의해 침선과 전극이 전기적으로 확실하게 접촉하고, 또한 침선과 전극의 접촉 상태를 눈으로 확인할 수 있다는 이점을 갖는 반면에, 제작이 번잡하고 비싸게 되며, 또한 프로브의 교환이 어렵다라는 문제를 갖는다. 이것에 대하여, 스프링 핀형인 것은 제작이 용이하고 염가이며 또한 프로브의 교환이 용이하게 된다는 이점을 갖는 반면에, 침선과 전극의 접촉 상태를 눈으로 확인할 수 없는 또한 스프링 핀을 굴곡 형상으로 배치하는 것만으로는 전극의 배치 피치(pitch)가 작은 경우에 대응할 수 없다고 하는 문제를 갖는다.

본 발명의 목적은 용이하게 또한 염가로 제작할 수 있고 침선을 전극에 확실하게 접촉시킬 수 있으며, 프로브의 교환을 용이하게 하는 것이다.

도 1은 본 발명의 프로브 조립체의 일 실시예를 도시하는 사시도.

도 2는 도 1에 도시한 프로브 조립체의 평면도.

도 3은 도 2의 좌측면도.

도 4는 도 2에 있어서의 4-4선을 절개한 단면도.

도 5는 도 1에 도시한 프로브 조립체를 검사용 헤드의 고정체에 부착한 상태의 일 실시예를 도시하는 도면.

도 6은 프로브의 일 실시예를 도시하는 확대도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 프로브 조립체 12 : 블럭

14 : 프로브 16 : 가이드바

18 : 슬릿바 20 : 가이드 부재

22 : 사이드 커버 30 : 중앙 영역

32,34 : 침선 영역 32a,34a : 침선

36 : 가이드 구멍 38 : 긴 구멍

40 : 슬릿 42 : 관통 구멍

본 발명의 프로브 조립체는 띠 형상의 중앙 영역과, 상기 중앙 영역의 선단으로부터 더 전방으로 연장하는 제1침선 영역과, 상기 중앙 영역의 후단으로부터 더 후방으로 연장하는 제2침선 영역을 각각 구비하는 복수의 프로브를 상기 중앙 영역의 폭방향이 상하 방향으로 되는 상태로 블록의 하측에 상기 중앙 영역을 대향시키고 또한 상기 중앙 영역의 두께 방향으로 간극을 두고서 병렬적으로 배치한 프로브 조립체에 관한 것으로서, 각 프로브는 1이상의 가이드 구멍을 상기 중앙 영역에서 가지며, 이 프로브 조립체는 상기 가이드 구멍으로 통하고 상기 프로브의 중앙 영역을 두께 방향으로 관통하여 연장하는 가늘고 긴 1이상의 가이드바로서 상기 블록(12)에 지지된 1이상의 가이드바를 포함한다.

각 프로브는 가이드바가 관통되는 가이드 구멍을 중앙 영역에 구비하고 또한 제1 및 제2침선 영역의 단부를 침선으로서 사용한다. 이러한 프로브는 예를 들면, 얇은 금속판에 에칭 가공을 하는 것에 의해 제작할 수 있다. 이 때문에, 프로브 자체의 제작이 용이하고 염가로 된다.

프로브 조립체는 예를 들면, 다수의 프로브를 액정 표시 패널과 같은 평판 형상 피검사체의 전극의 배치 패턴에 따른 패턴으로 블럭에 병렬적으로 배치하고, 가이드바를 프로브의 가이드 구멍에 통과시키며, 그후 가이드바를 블럭에 지지시키는 것에 의해 조립할 수 있다. 이 때문에, 프로브 조립체의 조립이 용이하게 되어 염가로 된다.

완성된 프로브 조립체는 예를 들면, 이것을 TAB(Tape Automated Bonding) 테이프에 제2침선 영역의 선단(침선)이 TAB 테이프에 설치된 구동용 집적회로의 전극에 접촉된 상태로 부착하는 것에 의해, 검사용 헤드로 조립할 수 있다. 조립된 검사용 헤드는 제1침선 영역의 침선이 피검사체의 전극에 대향하도록 시험 장치에 부착된다.

검사 시, 프로브 조립체는 제1침선 영역의 침선을 평판 형상 피검사체의 전극에 약간 지나치게 누른다. 이것에 의해, 제1침선 영역의 오버드라이브에 의해 활 형상으로 휘어지기 때문에, 제1침선 영역의 침선이 피검사체의 전극에 대하여 미끄러진다. 이 때문에, 각 프로브와 전극은 전기적으로 확실하게 접촉한다.

프로브의 교환은 예를 들면, 가이드바를 뽑아 교환해야 할 프로브를 제거하고 그 대신에 새로운 프로브를 블럭에 배치하며, 가이드바를 재차 프로브에 통과시켜 가이드바를 블럭에 지지시키는 것에 의해 행할 수 있다. 이 때문에, 프로브의 교환이 용이하게 된다.

본 발명에 의하면, 띠 형상의 복수의 프로브를 블럭의 하측에 프로브의 중앙 영역의 폭 방향이 상하 방향으로 되는 상태로 중앙 영역을 대향시켜서 병렬적으로 배치하고 가이드바를 프로브에 관통시켜서 블럭에 지지시켰기 때문에 제작이 용이하고 염가로 되며, 침선이 전극에 확실하게 접촉하고 프로브의 교환이 용이하게 된다.

또한, 블럭의 선단측 및 후단측에 각각 배치되어 가이드바의 길이방향으로 연장하는 제1 및 제2슬릿바로서 프로브의 선단측 및 후단측의 부위를 각각 수용하도록 길이방향으로 간격을 둔 복수의 슬릿을 각각 구비하는 제1 및 제2슬릿바를 포함할 수 있다. 이것에 의해, 프로브가 슬릿바에 의해 가이드바의 길이방향에 있어서 소정의 위치에 유지되기 때문이고, 조립 작업이 보다 용이하게 되어 보다 염가로 된다. 또한, 조립 후에 있어서도 가이드바의 길이방향으로 프로브의 변위가 프로브의 양단부에서 슬릿바에 의해 방지되므로, 가이드바의 길이방향에 있어서의 양 침선 영역의 위치가 안정하게 되고, 각 프로브의 침선이 소정의 전극에 확실하게 접촉한다.

각각이 가이드바 길이방향의 단부를 수용하는 판 형상의 한 쌍의 가이드 커버로서 각각이 블럭의 측부에 분리 가능하게 부착된 한 쌍의 사이드 커버를 포함할 수 있다. 이것에 의해, 사이드 바를 통해 가이드바를 블럭에 지지시킬 수 있다.

프로브의 중앙 영역의 길이방향으로 간격을 둔 부위, 바람직하게는 선단부 및 후단부를 관통하여 연장하는 한 쌍의 가이드바를 설치할 수 있다. 이것에 의해, 블럭에 대한 각 프로브의 자세가 안정하게 된다.

바람직한 실시예에 있어서는, 제1 및 제2침선 영역의 침선은 각각 그 선단부 및 후단부에서 하방 및 상방으로 돌출된다.

또한, 가이드바의 길이방향으로 연장하는 상태로 블럭의 후단에 부착된 긴판 형상의 가이드 부재로서 제2침선 영역의 침선이 관통되는 복수의 구멍을 구비하는 가이드 부재를 포함할 수 있다. 이것에 의해, 제2침선 영역의 침선이 가이드 부재에 의해 가이드바의 길이방향에 있어서 소정의 위치에 유지되기 때문에 제2침선 영역의 침선 위치가 보다 안정하게 된다.

본 발명의 프로브는 띠 형상의 중앙 영역과 상기 중앙 영역의 일단에 계속되는 제1침선 영역과 중앙 영역의 타단에 계속되는 제2침선 영역과, 중앙 영역에 형성된 가이드 구멍을 구비한다. 제1 및 제2침선 영역의 침선은 중앙 영역의 폭 방향의 외측으로 및 상호 반대측으로 돌출되어 있다. 이 때문에, 상술한 바와 같이 가이드바에 의해 블럭에 부착함에 의해 상술한 프로브 조립체를 제작할 수 있다.

또한, 중앙 영역에 형성되어 중앙 영역을 그 길이방향으로 연장하는 1이상의 긴 구멍을 가질 수 있다. 이것에 의해, 복수의 프로브가 상술한 바와 같이 블럭에 부착되더라도, 인접하는 프로브 사이의 정전 용량 또는 부유 용량이 작게 되고, 전기 신호의 누설이 작게 된다.

바람직한 실시예에 있어서, 제1 및 제2침선 영역은 각각 중앙 영역의 폭 방향에 있어서 한쪽 가장자리의 측부 및 다른 쪽 가장자리 측부로부터 연장한다.

제1침선 영역은 중앙 영역의 폭 치수보다 작은 폭 치수로 할 수 있다. 이것에 의해, 침선이 피검사체의 전극에 눌려질 때, 제1침선 영역이 활 형상으로 확실하게 휘어져 침선과 전극이 확실하게 접촉한다.

가이드바를 관통시키는 가이드 구멍을 중앙 영역의 길이방향으로 간격을 둔 장소 각각에, 바람직하게는 선단부와 후단부에 형성할 수 있다. 이것에 의해, 복수의 프로브를 가이드바에 의해 블럭에 부착한 상태에 있어서, 블럭에 대한 각 프로브의 자세가 안정하게 된다.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 프로브 조립체(10)는 블럭(12)과, 블럭(12)의 하측에 병렬적으로 배치된 띠 형상의 복수의 프로브(14)와, 프로브(14)를 관통하는 가늘고 긴 한쌍의 가이드바(16)와, 프로브(14)의 일부를 수용하는 한 쌍의 슬릿바(18)와, 프로브(14)의 후단측에 침선의 위치를 안정화시키는 긴 가이드 부재(20)와, 가이드바(16)를 블럭(12)에 지지시키는 한 쌍의 사이드 커버(22)를 포함한다.

또한, 본 발명에 있어서는 블럭(12)의 두께 방향(도 1에 있어서 상하 방향)을 상하 방향이라 하고, 프로브의 신장 방향 즉 길이 방향(도 1에 있어서 좌우 방향)을 전후 방향이라 하며, 가이드 바(16)의 신장 방향 즉 길이 방향(도 1에 있어서 좌상에서 우하 및 그 반대의 방향)을 좌우 방향이라고 한다.

블럭(12)은 나사 구멍(24) 및 한 쌍의 가이드 구멍(26)을 상면 측에 구비함과 동시에, 한 쌍의 가이드 구멍(28)을 각 측면에서 갖는다. 블럭(12)의 하면은 도 4에 도시한 바와 같이 복수의 단부에 의해 계단 형상으로 형성되어 있다. 블럭(12)은 전기를 통과시키지 않은 이른바 비도전성의 금속재와, 세라믹 또는 합성수지로 제작할 수 있다.

각 프로브(14)는 도 4 내지 도 6에 도시한 바와 같이 띠 형상의 중앙 영역(30)과, 상기 중앙 영역의 전단 즉, 선단 및 후단으로부터 각각 더 전방 및 후방으로 연장하는 한 쌍의 침선 영역(32 및 34)을 구비한다. 중앙 영역(30)은 가이드바(16)가 관통하는 가이드 구멍(36)을 각 단부에 구비함과 동시에 중앙 영역(30)의 길이 방향으로 간격을 둔 부위를 관통하는 복수의 긴 구멍(38)을 가이드 구멍(36)사이의 부위에서 갖는다. 각 긴 구멍(38)은 중앙 영역(30)의 길이 방향으로 연장함과 동시에, 중앙 영역(30)의 길이 방향으로 간격을 두고 있다.

도시의 예로서는 각 가이드 구멍(36)은 원형이지만 가이드바(16)의 단면 형상에 대응한 형상으로 할 수 있다. 또한, 가이드 구멍(36)을 중앙 영역(30)의 길이 방향으로 간격을 둔 다른 곳에 형성해도 좋고, 중앙 영역(30)의 길이 방향으로 연장하는 긴 구멍으로 해도 좋으며, 이 경우 긴 구멍(38)에 계속되는 긴 구멍으로서도 좋다.

침선 영역(32,34)은 각각 중앙 영역(30)의 폭 방향에 있어서의 한쪽의 가장자리 측부 및 다른 쪽의 가장자리 측부에서 전방 및 후방으로 연장하고, 또한 중앙 영역(30)의 폭 치수보다 작은 폭 치수를 가진다. 침선 영역(32,34)의 침선(32a,34a)은 각각 침선 영역(32,34)의 선단부 및 후단부에서 하방 및 상방으로 돌출하고 있다. 프로브(14)를 그 두께 방향에서 볼 때, 침선(32a)은 반원형 형상을 갖지만, 침선(34a)은 삼각형 형상을 가진다.

프로브(14)는 도전성의 얇은 금속판에 에칭 가공을 하여 프로브를 작성하고, 이어서 폴리이미드재료와 같은 전기 절연성 재료에 의한 코팅을 프로브의 침선으로 되는 부분을 제외하고 형성하는 것에 의해 제작할 수 있다.

프로브(14)는 중앙 영역(30)의 폭 방향이 상하 방향으로 되는 상태로 중앙 영역(30), 가이드구멍(36) 및 긴 구멍(38)을 대향시키고, 블럭(12)의 하측에 병렬적으로 배치되어 있다.

각 가이드바(16)는 도시의 예로서는 원형의 단면 형상을 갖고 있고, 또한 비도전성의 금속 재료로 형성되어 있다. 각 가이드바(16)는 프로브(14)의 가이드 구멍(36)에 밀어 넣어지고, 각 단부가 사이드 커버(22)를 관통하는 것에 의해, 양 사이드 커버(22)에 의해 블럭(12)에 부착된다.

각 슬릿바(18)에는 복수의 슬릿(40)이 길이방향으로 소정의 피치로 형성되어 있다. 각 슬릿(40)은 프로브(14)의 두께 치수와 거의 같은 폭 치수를 갖고 있고, 또한 슬릿바(18)의 폭 방향 전체에 걸쳐서 연장하고 있다. 슬릿바(18)는 세라믹과 같은 비도전성 재료로 제작할 수 있다. 또한, 각 슬릿(40)은 슬릿바(18)가 블럭(12)에 장착되기 전 또는 장착된 후에 형성할 수 있다.

한쪽의 슬릿바(18)는 이것이 프로브(14)의 배열 방향으로 연장하여 슬릿(40)이 하방으로 향하는 상태로 블럭(12)의 전단 하면에 접착된다. 다른쪽의 슬릿바(18)는 이것이 프로브(14)의 배열 방향으로 연장하여 슬릿(40)이 하방으로 향하는 상태로 블럭(12)의 후단 하면에 접착된다. 그러나, 각 슬릿바(18)를 블록(12)에 1이상의 나사 부재에 의해 또는 감합(끼워맞춤)에 의해 설치하여도 좋다.

각 프로브(14)는 침선(32a)이 한쪽 슬릿바(18)로부터 전방 및 하방으로 돌출하도록 침선 영역(32)을 한쪽 슬릿바(18)의 슬릿(40)에 수용하고, 또한 침선(34a)이 다른쪽 슬릿바(18)로부터 후방 및 상방으로 돌출하도록 중앙 영역(30)과 침선 영역(34)의 경계 부근을 다른쪽 슬릿바(18)의 슬릿(40)에 수용한다.

가이드 부재(20)는 L자형의 단면 형상을 갖고 있고, 또한 가이드 부재(20)의 길이방향으로 간격을 둔 복수의 관통 구멍(42; 도 6 참조)을 L자 한쪽의 가장자리 부분에 갖는다. 가이드 부재(20)는 폴리이미드재료와 같은 비도전성 필름으로 제작할 수 있고, 또한 구멍(42)은 에칭 가공으로 형성할 수 있다.

가이드 부재(20)는 각 침선(34a)이 구멍(42)을 관통하도록 L자의 다른 쪽 가장자리 부분에서 프로브(14)의 배열 방향으로 연장하는 상태로 복수의 나사 부재(44)에 의해 블럭(12)의 후단면 하부에 분리 가능하게 부착되어 있다. 그러나, 가이드 부재(20)를 블럭(12)에 감합 또는 접착으로 부착해도 좋다.

각 사이드 커버(22)는 블럭(12)의 측면과 대응한 형상의 판 부재로 형성되고, 또한 한 쌍의 가이드 핀(46)과 복수의 나사 부재(48)에 의해서 블럭(12)의 측면에 분리 가능하게 설치되어 있다. 각 가이드 핀(46)은 블럭(12)에 형성된 가이드 구멍(28)에 이탈 불가능하게 감합되고, 단부를 사이드 커버(22)에 형성된 가이드 구멍에 감합시킨다. 그러나, 가이드 핀(46)을 사이드 커버(22)에 고정해도 좋다. 사이드 커버(22)는 양 가이드바(16)의 단부를 수용하는 관통 구멍을 갖는다.

도면에 있어서는, 인접하는 프로브(14)가 큰 간격을 두도록 도시되어 있지만, 실제로는 프로브(14)의 배열 피치는 작다. 프로브(14)의 두께 치수 및 배열 피치와, 슬릿(40)의 배치 피치 및 폭 치수는 피검사체의 종류, 특히 전극의 배치 피치와 폭 치수에 의해 다르다.

예를 들면, 피검사체의 전극의 배치 피치 및 폭 치수가 각각 55μm 및 40μm인 경우, 프로브(14) 및 슬릿(40)의 배치 피치를 55μm, 슬릿(40)의 폭 치수를 35μm, 프로브(14)용의 얇은 금속판 소재의 두께 치수를 30μm으로 할 수 있다.

프로브 조립체(10)는 우선, 양 슬릿바(18)의 가이드 부재(20)를 상기 상태로 블럭(12)에 설치한 상태에서, 각 프로브(14)의 양 단부를 슬릿바(18)의 슬릿(40)에 삽입함과 동시에 침선(34a)을 가이드 부재(20)의 구멍(42)에 통과시키고, 이어서 가이드바(16)를 프로브(14)의 가이드 구멍(36)에 꽂아 통과시키며, 다음에 가이드핀(46)을 사이드 커버(22)와 블럭(12)에 꽂아 통과시킴과 동시에 가이드바(16)의 단부를 사이드 커버(22)에 꽂아 통과시키고, 그후 사이드 커버(22)를 나사 부재(48)로 블럭(12)에 설치하여 조립할 수 있다. 이것에 의해, 프로브(14) 및 가이드바(16)는 사이드 커버(22)를 통해 블럭(12)에 지지된다.

상기한 바와 같이 조립한 상태에 있어서, 프로브(14)는 액정 표시 패널과 같은 평판형 피검사체의 전극 배치 패턴에 따른 패턴으로 블럭(12)의 하측에 병렬으로 배치되고, 침선(32a)은 슬릿바(18)로부터 전방 및 하방으로 돌출하며, 침선(34a)은 슬릿바(18)로부터 후방 및 상방으로 돌출하여 가이드 부재(20)로부터 상방으로 돌출하고 있고, 침선 영역(32)의 슬릿(40)의 저면과의 사이의 공간에 형성되어 있다.

검사용 헤드(50)에 부착될 때, 프로브 조립체(10)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 침선(34a)이 TAB테이프(52)에 설치된 구동용 집적 회로(54)의 전극에 접촉하고, 또한 침선(34a)이 구동용 집적 회로(54)의 전극에 약간 지나치게 눌려진 상태로 검사용 헤드(50)의 부착체(56)에 부착된다. 이것에 의해, 각 프로브(14)는 침선 영역(34)의 폭 치수가 중앙 영역(30)의 폭 치수보다 작으므로 활 형상으로 휘어져서 각 침선(34a)은 전극에 확실하게 접촉한다. 구동용 집적 회로(54)는 가요성 배선 기판(58)에 형성된 배선에 접속되어 있다.

가이드 부재(20)의 관통구멍(42)에 대응하는 미소한 복수의 가이드 구멍(62)을 갖는 가이드 필름(60)을 구동용 집적 회로(54)의 전극 하면에 점착하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 침선(34a)이 구동용 집적 회로(54)의 전극으로 눌려질 때에 침선(34a)이 전극에 대하여 미끄러지는 것에 기인하는 침선(34a)과 전극의 접촉 위치 어긋남이 가이드 구멍(62)에 의해 방지된다.

프로브 조립체(10)를 부착체(56)에 부착할 때, 프로브 조립체(10)는 도 1에 도시하는 가이드 구멍(26)에 끼워 넣는 가이드 핀에 의해 부착체(56)에 대해 위치 결정되고, 또한 나사 구멍(24)에 체결되는 나사 부재에 의해 부착체(56)가 분리 가능하게 부착된다. 프로브 조립체(10)를 부착제(56)에 부착할 때, 상하 방향에 있어서의 침선(34a)의 위치에 다소의 어긋남이 있으면, 그와 같은 어긋남은 프로브(14)가 가이드바(16)에 대하여, 침선 영역(34)측의 가이드바(16)와 가이드 구멍(36)과의 사이에 약간의 간격의 사이 내에서 변위하는 것에 의해 흡수된다.

완성된 검사용 헤드(50)는 침선(32a)이 피검사체(70; 도 5 참조)의 전극에 대향하도록 도시하지 않은 시험 장치에 부착된다. 검사시, 프로브 조립체(10)는 침선(32a)을 피검사체(70)의 전극에 약간 지나치게 누른다. 이때, 상하 방향에 있어서의 침선(32a) 상호 간의 위치에 다소의 어긋남이 있으면, 그와 같은 어긋남은 프로브(14)가 가이드바(16)에 대하여, 침선 영역(32)측의 가이드바(16)와 가이드구멍(36)과의 사이에서 약간의 간격내에서 변위하는 것에 의해 흡수된다.

침선(32a)을 피검사체(70)의 전극에 약간 지나치게 누르면, 침선 영역(32)의 상방의 공간을 갖는 동시에, 침선 영역(32)이 도 6에 도시된 바와 같이 활 형상으로 휘어지기 때문에, 침선(32a)이 피검사체의 전극에 대하여 약간 미끄러진다. 그와 같은 문지르는 작용에 의해, 침선(32a)은 전극 표면의 산화막을 긁어내던지 또는 전극내로 조금 침투한다. 이 때문에, 각 프로브와 전극과는 전기적으로 확실하게 접촉한다. 프로브의 휘어지는 양 및 미끄러지는 양을 도 6에 각각 L1 및 L2로 도시한다.

침선 영역(32)이 도 6에 도시된 바와 같이 활 형상으로 휘어진 때, 침선(32a)이 반원형의 형상을 가지면, 피검사체의 전극으로의 침선(32a) 접촉 부위가 변위하기 때문에, 전극에 대한 침선(32a)의 미끄러지는 양(L2)이 작게 되어, 전극의 절삭 층이 적어진다. 그러나, 침선(32a)을 삼각형, 평탄면 등 다른 형상으로 형성해도 좋다.

검사시, 프로브(14)는 피검사체(70)의 통전용으로서 이용되던지, 피검사체(70)로부터의 전기 신호 인출용으로서 이용된다. 어느 쪽의 경우도, 인접하는 프로브 사이의 정전 용량 또는 부유 용량이 긴 구멍(38)에 의해 작게 눌러지고, 프로브(14)로부터의 전기 신호의 누설이 작게 된다.

프로브(14)의 교환은 프로브 조립체(10)를 부착체(56)로부터 분리하고 사이드 커버(22)를 블럭(12)으로부터 분리하여 가이드바(16)를 뽑고, 교환해야 할 프로브를 제거하여, 그 대신에 새로운 프로브를 블럭(12)에 배치하며, 그 후 이미 상술한 방법으로 프로브 조립체(10)를 조립하여 그 프로브 조립체(10)를 부착체(56)에 부착해도 된다. 이 때문에, 프로브의 교환이 용이하게 된다.

프로브 조립체(10)에 의하면, 프로브 조립체(10) 및 그 부품의 제작이 종래의 프로브 조립체와 비교하여 현저하게 용이하기 때문에, 프로브 조립체(10)가 염가로 되고, 침선(32a)이 피검사체의 전극에 확실하게 접촉하고, 또한 프로브(14)의 교환이 종래의 프로브 조립체와 비교하여 현저히 용이하게 된다.

프로브 조립체(10)의 조립시, 프로브(14)가 슬릿바(18)에 의해 가이드바(16)의 길이방향에 있어서의 소정의 위치에 유지되기 때문에, 조립 작업이 용이하게 되어 염가로 된다. 또한, 조립 후에 있어서도, 가이드바(16)의 길이방향의 프로브(14)의 변위가 프로브(14)의 양단부에서 슬릿바(18)에 의해 방지되기 때문에, 가이드바(16)의 길이방향에 있어서의 침선 영역(32,34)의 위치가 안정하게 되고, 각 프로브(14)의 침선(32a,34a)이 소정의 전극에 확실하게 접촉한다. 그러나, 슬릿바(18)를 설치하지 않아도 된다.

상기 실시예와 같이, 프로브(14)의 중앙 영역(30)의 길이 방향으로 간격을 둔 부위, 바람직하게는 선단부 및 후단부를 관통하여 연장하는 한 쌍의 가이드바(16)를 설치하면, 블럭(12)에 대한 각 프로브(14)의 자세가 안정하게 된다. 그러나, 1개의 가이드바(16)를 이용해도 된다.

제2침선 영역의 침선이 관통하는 복수의 구멍을 갖는 가이드 부재(20)를 구비하면 침선(34a)이 가이드 부재(20)에 의해 가이드바(16)의 길이방향에 있어서 소정의 위치에 유지되기 때문에, 침선(34a)의 위치가 보다 안정하게 된다. 그러나, 가이드 부재(20)를 구비하지 않아도 된다.

본 발명은 액정 표시 패널의 검사에 이용하는 프로브 및 프로브 조립체 뿐만 아니라, 집적 회로와 같은 다른 평판 형상 피검사체의 검사에 이용하는 프로브 및 프로브 조립체에도 적용할 수 있다.

Claims (12)

1. 띠 형상의 중앙 영역(30)과, 상기 중앙 영역(30)의 선단으로부터 더 전방으로 연장하는 제1침선 영역(32)과, 상기 중앙 영역(30)의 후단으로부터 더 후방으로 연장하는 제2침선 영역(34)을 각각 구비하는 복수의 프로브(14)를 상기 중앙 영역(30)의 폭방향이 상하 방향으로 되는 상태로 블록(12)의 하측에 상기 중앙 영역(30)을 대향시키고, 또한 상기 중앙 영역(30)의 두께 방향으로 간극을 두고서 병렬적으로 배치한 프로브 조립체에 있어서,

   각 프로브(14)는 1이상의 가이드 구멍(36)을 상기 중앙 영역(30)에서 가지며, 이 프로브 조립체는 상기 가이드 구멍(36)으로 통하고 상기 프로브(14)의 중앙 영역(30)을 두께 방향으로 관통하여 연장하는 가늘고 긴 1이상의 가이드바(16)로서 상기 블록(12)에 지지된 1이상의 가이드바(16)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
2. 제1항에 있어서, 상기 블럭(12)의 선단측 및 후단측에 각각 배치되어서 상기 가이드바(16)의 길이방향으로 연장하는 제1 및 제2슬릿바(18)를 더 포함하고, 상기 제1 및 제2슬릿바(18)는 상기 프로브(14)의 선단측 및 후단측의 부위를 각각 수용하도록 길이방향으로 간격을 둔 복수의 슬릿(40)을 각각 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 가이드바(16)의 길이방향의 단부를 수용하는 판 형상의 한 쌍의 사이드 커버(22)를 더 포함하고, 상기 한 쌍의 사이드 커버(22)는 상기 블럭(12)의 측부에 분리 가능하게 부착된 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 한 쌍의 가이드바(16)가 설치되어 있고, 양 가이드바(16)는 상기 중앙 영역(30)의 길이방향으로 간격을 둔 부위를 관통하여 연장하는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
5. 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2침선 영역(32,34)은 각각 그 선단부 및 후단부에서 하방 및 상방으로 돌출하는 침선(32a,34a)을 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
6. 제5항에 있어서, 상기 블럭(12)의 후단에 상기 가이드바(16)의 길이방향으로 연장하는 상태로 부착된 긴 판 형상의 가이드 부재(20)를 더 포함하고, 상기 가이드 부재(20)는 상기 제2침선 영역(34)의 침선(34a)이 관통되는 복수의 구멍(42)을 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
7. 띠 형상의 중앙 영역(30)과, 상기 중앙 영역의 일단에 이어지는 제1침선 영역(32)과, 상기 중앙 영역의 타단에 이어지는 제2침선 영역(34)을 구비하고, 상기 제1 및 제2침선 영역(32,34)의 침선(32a,34a)이 상기 중앙 영역(30)의 폭 방향의 외측으로 및 상호 반대측으로 돌출하는 프로브에 있어서,

   가이드 구멍(36)이 상기 중앙 영역(30)에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
8. 제7항에 있어서, 상기 중앙 영역(30)에 형성되어서 이 중앙 영역(30)을 그 길이방향으로 연장하는 1이상의 긴 구멍(38)을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브.
9. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 제1 및 제2침선 영역(32,34)은 각각 상기 중앙 영역(30)의 폭 방향에 있어서 한쪽 가장자리 측 및 다른 쪽 가장자리측으로 연장하는 것을 특징으로 하는 프로브.
10. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 제1침선 영역(32)은 상기 중앙 영역(30)의 폭 치수 보다 작은 폭 치수를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브.
11. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 중앙 영역(30)의 길이방향으로 간격을 둔 부위의 각각에 상기 가이드 구멍(36)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
12. 제11항에 있어서, 상기 가이드 구멍(36)은 상기 중앙 영역(30)의 선단부와 후단부에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브.

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