KR100966499B1

KR100966499B1 - 프로브 조립체

Info

Publication number: KR100966499B1
Application number: KR1020080027944A
Authority: KR
Inventors: 토모아키 쿠가; 쥬리 로꾸노헤
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2007-04-02
Filing date: 2008-03-26
Publication date: 2010-06-29
Also published as: JP2008256410A; KR20080090282A; TW200844450A; CN101281212A; CN101281212B; TWI387755B

Abstract

본 발명은, 프로브가 그 관통구멍으로 지나는 가이드 바에 의해 만곡되는 것을 방지하기 위한 것이다. 프로브 조립체는, 블록과, 각각 띠 형상의 중앙영역 및 상기 중앙영역의 선단(先端) 및 후단(後端)으로부터 각각 더 앞쪽 및 뒤쪽으로 연장하는 제1 및 제2 침선영역을 갖춘 판상의 복수의 프로브로서 상기 중앙영역의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 상기 블록의 아래쪽에 상기 중앙영역을 대향시켜 병렬적으로 배치된 복수의 프로브와, 상기 프로브의 중앙영역을 관통하여 연장하는 가늘고 긴 최소한 하나의 가이드 바와, 상기 중앙영역의 선단쪽 또는 상기 제1 침선영역을 관통하여 연장하는 최소한 하나의 지지 핀과, 상기 블록의 측부에 뗄 수 있게 설치된 판상의 한 쌍의 사이드 커버로서 상기 가이드 바, 및 지지 핀을 그들의 길이방향의 단부(端部)에서 지지하는 한 쌍의 사이드 커버를 포함한다.

프로브 조립체, 프로브, 가이드 바, 블록, 사이드 커버, 지지 핀, 침선

Description

프로브 조립체{Probe Assembly}

도1은 본 발명의 프로브 조립체의 한 실시예를 나타낸 분해 사시도이다.

도2는 도1에 나타낸 프로브 조립체의 종단면도이다.

도3은 도1에 나타낸 프로브 조립체를 이용한 프로브 유닛의 한 실시예를 나타낸 사시도이다.

도4는 도3에 나타낸 프로브 유닛의 일부를 단면으로 나타낸 측면도이다.

도5는 본 발명에 따른 프로브 조립체의 제2 실시예를 나타낸 단면도이다.

도6은 본 발명에 따른 프로브 조립체의 제3 실시예를 나타낸 단면도이다.

도7은 종래의 프로브 조립체의 한 실시예를 나타낸 도면이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *

10: 프로브 조립체 12: 블록

14: 프로브 16: 가이드 바

18: 슬릿 바 20: 지지 핀

22: 사이드 커버 26: 중앙영역

28, 30: 침선영역 28a, 30a: 침선

32: 관통구멍 34: 지지용 구멍

36: 슬릿 38: 나사부재

40: 관통구멍 42: 지지용 구멍

발명의 분야

본 발명은, 액정표시패널과 같은 평판상 피검사체의 검사에 이용하는 프로브 조립체에 관한 것이다.

발명의 배경

액정표시패널과 같은 평판상 피검사체의 검사에 이용하는 프로브 조립체의 하나로서, 도7에 나타낸 바와 같이, 띠 형상의 중앙영역(102), 상기 중앙영역(102)의 선단으로부터 더 앞쪽으로 연장하는 제1 침선영역(104), 중앙영역(102)의 후단으로부터 더 뒤쪽으로 연장하는 제2 침선영역(106)을 각각 갖춘 판상의 복수의 프로브(100)를, 그들의 중앙영역(102)의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 블록(108)의 아래쪽에 중앙영역(102)을 대향시켜 병렬적으로 배치하고, 그들 프로브(100)를, 그 중앙영역(102)을 관통하여 연장하는 가늘고 긴 한 쌍의 가이드 바(110)와, 블 록(108)의 측부에 뗄 수 있게 설치된 판상의 한 쌍의 사이드 커버(112)에 의해, 블록(108)에 지지시킨 것이 있다(특허문헌 1).

제1 및 제2 침선영역(104 및 106)은, 각각 블록(108)의 선단쪽 및 후단쪽에 배치되어 가이드 바(110)의 길이방향으로 연장하는 제1 및 제2 슬릿 바(114 및 116)의 슬릿에 아래쪽으로부터 받아들여져, 가이드 바(110)의 길이방향으로의 변위를 방지하고 있다.

양 가이드 바(110)는, 전기 절연성의 금속재료로 제작되어 있고, 또 그들의 길이방향의 단부(端部)에서 양 사이드 커버(112)에 변위 가능하게 지지되어 있다.

그러나 상기 종래의 프로브 조립체에 있어서는, 가이드 바(110)에 그 길이방향에서의 각 프로브(100)의 위치 결정 기능을 갖게 할 목적으로, 각 가이드 바(110)의 직경 치수와, 이것이 관통하는 프로브(100)의 가이드 구멍의 직경 치수에 매우 작은 공차(公差)를 갖게 하여, 가이드 바(110)를 프로브(100)의 가이드 구멍에 꼭 결합시키고 있다.

이 때문에, 상기 종래의 프로브 조립체에서는, 각 프로브(100)가, 본래 도7의 최상부에 나타낸 프로브(100)와 같이 직선상으로 연장해 있어야 함에도 불구하고, 가이드 바(110)를 프로브(100)의 중앙영역(102)으로 지나게 함으로써 다른 프로브(100)와 같이 만곡하고, 그 상태로 블록(108)에 설치되어 버린다.

그와 같이 만곡된 프로브(100)가 존재하면, 만곡된 프로브(100)의 제1 침선영역(104)이 제2 침선영역(106) 쪽으로 끌어당겨져 있기 때문에, 만곡된 프로브(100)와 만곡되지 않은 프로브(100)와의 사이에, 프로브(100)의 길이방향에서의 침선(104a)에 위치 어긋남(ΔL)이 발생하고, 침선(104a)이 피검사체의 전극에 접촉하지 않는 프로브가 존재하게 된다. 그와 같은 프로브 조립체에서는, 피검사체를 정확하게 검사할 수 없다.

[특허문헌 1] 일본 특개평10-132853호 공보

본 발명의 목적은, 프로브가 그 관통구멍으로 지나는 가이드 바에 의해 만곡되는 것을 방지하는데 있다.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.

발명의 요약

본 발명의 프로브 조립체는, 블록과, 각각 띠 형상의 중앙영역 및 상기 중앙영역의 선단 및 후단으로부터 각각 더 앞쪽 및 뒤쪽으로 연장하는 제1 및 제2 침선영역을 갖춘 판상의 복수의 프로브로서 상기 중앙영역의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 상기 블록의 아래쪽에 상기 중앙영역을 대향시켜 병렬적으로 배치된 복수의 프로브와, 상기 프로브의 중앙영역을 관통하여 연장하는 가늘고 긴 최소한 하나의 가이드 바와, 상기 중앙영역의 선단쪽 또는 상기 제1 침선영역을 관통하여 연장하는 최소한 하나의 지지 핀과, 상기 블록의 측부에 떼어낼 수 있게 설치된 판상의 한 쌍의 사이드 커버로서 상기 가이드 바, 및 지지 핀을 그들의 길이방향의 단부에서 지지하는 한 쌍의 사이드 커버를 포함한다.

프로브 조립체는 상기 중앙영역의 후단쪽 또는 상기 제2 침선영역을 관통하여 연장하는 최소한 하나의 제2 지지 핀으로서 길이방향의 단부에서 상기 사이드 커버에 지지된 최소한 하나의 제2 지지 핀을 더 포함할 수 있다.

게다가, 프로브 조립체는, 상기 블록의 선단쪽 및 후단쪽에 각각 배치되어 상기 가이드 바의 길이방향으로 연장하는 제1 및 제2 슬릿 바로서 각각 전후방향으로 연장하여 아래쪽으로 개방하는 복수의 슬릿을 길이방향으로 간격을 두고 갖는 제1 및 제2 슬릿 바를 포함하고, 상기 제1 및 제2 슬릿 바는 각각 상기 제1 및 제2 침선영역을 상기 슬릿에 그 아래쪽으로부터 받아들여져 있어도 좋다.

프로브 조립체에는, 한 쌍의 상기 가이드 바가 설치되어 있고, 양 가이드 바는 상기 중앙영역의 길이방향으로 간격을 둔 부위를 관통하여 연장해 있어도 좋다.

상기 제1 및 제2 침선영역은 각각 그 선단부 및 후단부로부터 아래쪽 및 위쪽으로 돌출하는 침선을 가질 수 있다.

각 프로브는 베릴륨·니켈 합금으로 제작되어 있어도 좋다.

발명의 상세한 설명

도1 및 도2를 참조하면, 프로브 조립체(10)는, 블록(12)과, 블록(12)의 아래쪽에 병렬적으로 배치된 띠 형상의 복수의 프로브(14)와, 프로브(14)를 관통하는 가늘고 긴 한 쌍의 가이드 바(16)와, 프로브(14)의 일부를 받아들이는 한 쌍의 슬 릿 바(18)와, 프로브(14)의 선단쪽 및 후단쪽을 각각 관통하여 연장하는 한 쌍의 지지 핀(20)과, 가이드 바(16) 및 지지 핀(20)을 블록(12)에 지지시키는 한 쌍의 사이드 커버(22)를 포함한다.

또한, 본 발명에 있어서, 블록(12)의 두께방향(도2에서 상하방향)을 상하방향이라 하고, 프로브(14)의 길이방향(도2에서 좌우방향)을 전후방향이라 하고, 가이드 바(16)의 길이방향(도2에서 종이 뒷방향)을 좌우방향이라 한다.

블록(12)은, 한 쌍의 나사구멍(24)을 윗면 쪽에 가짐과 동시에, 복수의 나사구멍(25)을 각 측면 쪽에 갖는다. 블록(12)의 아래면은, 복수의 단부(段部)에 의해 계단형상으로 형성되어 있다. 블록(12)은 전기를 통하지 않는 소위 비도전성의 금속재료, 세라믹 또는 합성수지로 제작할 수 있다.

각 프로브(14)는, 띠 형상의 중앙영역(26)과, 중앙영역(26)의 전단(선단) 및 후단으로부터 각각 더 앞쪽 및 뒤쪽으로 연장하는 한 쌍의 침선영역(28 및 30)을 갖춘다. 중앙영역(26)은, 가이드 바(16)가 관통하는 관통구멍(32)을 전후방향으로 간격을 두고 가짐과 동시에, 지지 핀(20)의 단부를 받아들이는 지지용 구멍(34)을 각 단부에 갖는다.

도시한 예에서는, 각 관통구멍(32) 및 각 지지용 구멍(34)은 원형이지만, 각각 가이드 바(16) 및 지지 핀(20)의 단면형상에 대응한 형상으로 할 수 있다. 또, 관통구멍(32)을 침선영역(28 또는 30)에 형성해도 좋다.

침선영역(28)은 중앙영역(26)의 폭방향에서의 한쪽 하단부에서 앞쪽으로 연장해 있고, 침선영역(30)은 중앙영역(26)의 폭방향에서의 중간부에서 뒤쪽으로 연 장해 있다. 침선영역(28 및 30)은 중앙영역(26)의 폭 치수보다 작은 폭 치수를 갖는다. 침선영역(28 및 30)의 침선(28a 및 30a)은 각각 침선영역(28 및 30)의 선단부 및 후단부로부터 아래쪽 및 위쪽으로 돌출해 있다.

프로브(14)는, 소정의 두께 치수를 갖는 도전성의 얇은 금속판, 바람직하게는 베릴륨·니켈 합금판에 에칭 가공을 하여 프로브를 작성하고, 이어서 폴리이미드 재(材)와 같은 전기절연성 재료에 의한 코팅을 프로브의 침선이 되는 부분을 제외하고 형성함으로써 제작할 수 있다.

프로브(14)는, 중앙영역(26)의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로, 중앙영역(26), 관통구멍(32) 및 지지용 구멍(34)을 대향시키고, 블록(12)의 아래쪽에 병렬적으로 배치되어 있다.

각 가이드 바(16)는, 도시한 예에서는, 지지 핀(20)보다 큰 원형의 단면형상을 갖고 있고, 또 비도전성의 금속재료에 의해 형성되어 있다. 각 가이드 바(16)는, 프로브(14)의 관통구멍(32)으로 밀어 넣어져, 각 단부가 사이드 커버(22)를 관통함으로써, 양 사이드 커버(22)에 의해 블록(12)에 조립된다.

각 슬릿 바(18)에는, 복수의 슬릿(36)이 길이방향으로 소정의 피치로 형성되어 있다. 각 슬릿(36)은, 프로브(14)의 두께 치수와 거의 같은 폭 치수를 갖고 있고, 또 슬릿 바(18)의 폭방향(전후방향) 전체에 걸쳐 연장해 있다. 슬릿 바(18)는 세라믹과 같은 비도전성 재료로 제작할 수 있다. 또, 각 슬릿(36)은 슬릿 바(18)를 블록(12)에 장착하기 전 또는 장착한 후에 형성할 수 있다.

한쪽 슬릿 바(18)는, 프로브(14)의 배열방향으로 연장하여 슬릿(36)이 아래 쪽으로 향한 상태로 블록(12)의 전단(前端) 아래면에 접착되어 있다. 다른쪽 슬릿 바(18)는, 프로브(14)의 배열방향으로 연장하여 슬릿(36)이 아래쪽을 향하는 상태로 블록(12)의 후단(後端) 아래면에 접착되어 있다. 그러나 각 슬릿 바(18)를 블록(12)에, 1 이상의 나사부재에 의해 또는 끼워서 설치해도 좋다.

각 프로브(14)는, 침선(28a)이 한쪽 슬릿 바(18)로부터 앞쪽 및 아래쪽으로 돌출하도록, 침선영역(28)이 한쪽 슬릿 바(18)의 슬릿(36)에 받아들여져 있고, 또 침선(30a)이 다른쪽 슬릿 바(18)로부터 뒤쪽 및 위쪽으로 돌출하도록, 침선영역(30)이 다른쪽 슬릿 바(18)의 슬릿(36)에 받아들여져 있다.

각 지지 핀(20)은, 도시한 예에서는, 가이드 바(16)보다 작은 원형의 단면형상을 갖고 있고, 또 비도전성의 금속재료에 의해 형성되어 있다. 각 지지 핀(20)은, 가이드 바(16)를 각 프로브(14)의 관통구멍(32)에 밀어 넣기 전에, 프로브(14)의 지지용 구멍(34)에 밀어 넣어지고, 각 단부가 사이드 커버(22)를 관통함으로써, 양 사이드 커버(22)에 의해 블록(12)에 조립된다.

각 사이드 커버(22)는, 금속, 세라믹, 수지 등으로 제작된 판상의 형상을 갖고 있고, 또 사이드 커버(22)를 관통하여 블록(12)의 나사구멍(25)에 결합된 복수의 나사부재(38)에 의해 블록(12)의 좌우방향의 측면에 분리 가능하게 설치되어 있다. 각 사이드 커버(22)는, 양 가이드 바(16)의 단부를 받아들이는 한 쌍의 관통구멍(40)과, 양 지지 핀(20)의 단부를 받아들이는 지지구멍(42)을 갖는다.

도면에서는, 서로 이웃하는 프로브(14)가 크게 간격을 두고 있는 것처럼 나타내고 있지만, 실제로는 프로브(14)의 배열 피치는 작다. 프로브(14)의 두께 치수 및 배열 피치, 및 슬릿(36)의 배치 피치 및 폭 치수는, 피검사체의 종류, 특히 전극의 배치 피치와 폭 치수에 따라 다르다.

예를 들어, 피검사체의 전극의 배치 피치 및 폭 치수가 각각 55 ㎛ 및 40 ㎛인 경우, 프로브(14) 및 슬릿(36)의 배치 피치를 55 ㎛, 슬릿(36)의 폭 치수를 35 ㎛, 프로브(14)용 얇은 금속판 소재의 두께 치수를 30 ㎛로 할 수 있다.

프로브 조립체(10)는, 예를 들어 하기와 같이 조립할 수 있다.

먼저, 양 슬릿 바(18)를 상기한 상태로 블록(12)에 설치한 상태로, 각 프로브(14)의 한쪽 침선영역(28)이 한쪽 슬릿 바(18)의 슬릿(36)에 밀어 넣어짐과 동시에, 다른쪽 침선영역(30)이 다른쪽 슬릿 바(18)의 슬릿(36)에 밀어 넣어진다.

이어서, 각 지지 핀(20)이 프로브(14)의 지지용 구멍(34)으로 밀어져 지난다. 이 때, 침선(28a 및 30a)은, 각각 선단쪽 및 후단쪽의 슬릿 바(18)에 의해, 지지 핀(20)의 길이방향으로의 변위가 방지된다.

계속해서, 각 가이드 바(16)가 프로브(14)의 관통구멍(32)으로 밀어져 지난다. 이 때, 침선(28a 및 30a)은 각각 선단쪽 및 후단쪽의 지지 핀(20)에 의해 지지 핀(20)의 길이방향으로의 변위가 방지되고, 침선(28a 및 30a)이 중앙영역(26) 쪽으로 변위하는 것이 방지된다.

계속해서, 각 지지 핀(20)의 단부 및 가이드 바(16)의 단부가, 각각 사이드 커버(22)의 지지구멍(42) 및 관통구멍(40)으로 밀어져 지난다.

그 후, 사이드 커버(22)가 복수의 나사부재(38)에 의해 블록(12)에 설치된다. 이에 의해, 프로브(14), 가이드 바(16) 및 지지 핀(20)은 사이드 커버(22)를 통하여 블록(12)에 지지된다.

상기와 같이 조립된 상태에서, 프로브(14)는 액정표시패널과 같은 평판상 피검사체의 전극의 배치 패턴에 따른 패턴으로 블록(12)의 아래쪽에 병렬적으로 배치되고, 침선(28a)은 한쪽 슬릿 바(18)로부터 앞쪽 및 아래쪽으로 돌출되고, 침선(30a)은 다른쪽 슬릿 바(18)로부터 뒤쪽 및 위쪽으로 돌출하여 가이드 부재(20)로부터 위쪽으로 돌출되어 있다.

도3 및 도4를 참조하면, 조립된 복수의 프로브 조립체(10)는 프로브 유닛(50)으로서 다시 조립된다.

프로브 유닛(50)은, 액정표시패널과 같은 평판상의 피검사체(52)의 검사장치의 프레임에 설치되는 프로브 베이스(54)와, 프로브 베이스(54) 위에 설치된 서스펜션(suspension) 베이스(56)와, 서스펜션 베이스(56)에 지지된 슬라이드 블록(58)과, 슬라이드 블록(58)의 아래쪽에 설치된 프로브 플레이트(60)와, 프로브 베이스(54)의 아래면에 설치된 중계기판(62)과, 프로브 플레이트(60)의 후단부 아래면에 설치된 대들보 형상의 FPC 베이스(64)와, 중계기판(62) 및 FPC 베이스(64)의 아래면에 설치된 FPC(66)를 갖추고 있다.

프로브 베이스(54) 및 프로브 플레이트(60)는, 좌우방향으로 긴 평판으로 되어 있다. 프로브 조립체(10)는, 좌우방향으로 간격을 두고 프로브 플레이트(60)의 아래면에 설치되어 있다.

서스펜션 베이스(56)는, 상하방향으로 연장하는 레일(68)과, 슬라이드 블록(58)의 위쪽을 전후방향으로 연장하는 연장부(70)를 전면(前面)에 갖고 있다. 슬 라이드 블록(58)은, 뒤쪽으로 개방하여 상하방향으로 연장하는 U자상의 가이드(72)를 뒷면에 갖고 있다. 가이드(72)는 레일(68)에 미끄러져 움직일 수 있게 결합되어 있다. 이 때문에, 슬라이드 블록(58)은 서스펜션 베이스(56)에 대하여 상하이동이 가능하다.

그러나 서스펜션 베이스(56)에 대한 슬라이드 블록(58)의 상하이동은, 서스펜션 베이스(56)를 위쪽으로부터 관통하여 슬라이드 블록(58)의 나사구멍(74)에 결합된 나사부재(76)에 의해 저지되어 있다. 나사구멍(72)에의 나사부재(74)의 조임량을 변경함으로써, 서스펜션 베이스(56)에 대한 슬라이드 블록(58) 나아가서는 프로브 조립체(10)의 높이 위치를 변경 또는 조정할 수 있다.

FPC(66)는 가요성을 갖는 수지 필름의 한쪽 면에 복수의 배선을 설치한 소위 플렉시블(flexible)한 플랫 케이블(flat cable)이고, 또 프로브 조립체(10)마다 설치되어 있다.

각 FPC(66)는, 검사장치의 전기회로에 접속되는 구동용 집적회로(78)를 프로브 조립체(10) 쪽에 갖추고 있고, 선단부 아래면에 가이드 필름(80)을 갖추고 있다. 각 FPC(66)의 각 배선의 후단쪽은 중계기판(62)의 배선에 일대일의 형태로 전기적으로 접속되어 있다.

가이드 필름(80)은, FPC(66)의 배선을 아래쪽으로 노출시키는 복수의 슬롯(slot)이 설치되어 있다. 각 프로브 조립체(10)는, 각 프로브(14)의 후단쪽의 침선(30a)의 일부가 가이드 필름(80)의 슬롯에 받아들여져 FPC(66)의 배선에 눌리도록 프로브 유닛(50)에 조립되어 있다.

프로브 유닛(50)은, 침선(28a)이 피검사체(54)의 전극에 대향하도록 도시하지 않은 검사장치에 설치된다. 피검사체(54)의 검사 시, 프로브 조립체(10)는 침선(28a)이 피검사체(54)의 전극에 약간 과잉으로 눌려, 각 프로브(14)의 침선영역(28)에서 활 형상으로 휜다.

이에 의해, 상하방향에서의 침선(28a) 상호간의 높이 위치에 다소 어긋남이 있어도, 그와 같은 어긋남은 침선영역(28a)의 휨에 의해 수정되어, 각 침선(28a)은 피검사체(54)의 전극에 확실하게 접촉한다.

피검사체(54)의 검사 시, 침선영역(28, 30)이 슬릿 바(18)의 슬릿에 받아들여져 있기 때문에, 침선(28a 및 30a)이 각각 피검사체(54)의 전극 및 FPC(66)의 배선에 대하여 미끄러지는 것이 방지되고, 그에 기인하는 침선(28a 및 30a)과 피검사체(54)의 전극 및 FPC(66)의 배선과의 접촉위치 어긋남이 가이드 구멍(62)에 의해 방지된다.

또, 피검사체(54)의 검사 시, 침선(30a)이 가이드 필름(80)의 슬롯에 받아들여져 있기 때문에, 침선(30a)이 FPC(66)의 배선에 대하여 미끄러지는 것이 보다 확실하게 방지되고, 그에 기인하는 침선(30a)과 FPC(66)의 배선과의 접촉위치 어긋남이 가이드 구멍(62)에 의해 확실하게 방지된다.

침선(28a)을 피검사체(54)의 전극에 약간 과잉으로 눌리면, 침선영역(28)의 휨에 의해, 침선(28a)이 피검사체(54)의 전극에 대하여 약간 미끄러진다. 그와 같은 미끄러짐 작용에 의해, 침선(28a)은 피검사체(54)의 전극표면의 산화막을 긁어내거나, 또는 전극 내로 약간 파 들어간다. 이 때문에, 각 프로브(14)와 피검사 체(54)의 전극은 전기적으로 확실하게 접촉한다.

침선영역(28)이 활 형상으로 휘었을 때, 침선(28a)은 선단 쪽의 슬릿 바(18) 및 지지 핀(20)에 의해, 지지 핀(20)의 길이방향으로의 변위가 방지된다.

검사 시, 프로브(14)는 피검사체(54)에의 통전(通電)용으로 이용되거나, 피검사체(70)로부터의 전기신호의 취출(取出)용으로 이용된다.

프로브(14)의 교환은, 프로브 조립체(10)를 프로브 플레이트(60)로부터 떼어내고, 사이드 커버(22)를 블록(12)으로부터 떼어내고, 가이드 바(16) 및 지지 핀(20)을 빼고, 교환해야 할 프로브를 제거하고, 그 대신에 새로운 프로브를 블록(12)에 배치하고, 그 후 이미 서술한 방법으로, 프로브 조립체(10)를 조립하고, 그 프로브 조립체(10)를 프로브 플레이트(60)에 설치하면 된다.

상기 실시예에서는, 한 쌍의 가이드 바(16)를 설치하고 있지만, 도5에 나타낸 바와 같이 하나의 가이드 바(16)만을 설치해도 좋다. 마찬가지로, 후단쪽의 지지 핀(20)을 생략해도 좋다.

가이드 바(16)의 단면형상은, 상기와 같은 원형일 필요는 없고, 도6에 나타낸 바와 같이 사각형이어도 좋고, 삼각형, 오각형 등의 다각형이어도 좋다. 이 경우, 관통구멍(32)은 가이드 바(16)와 같은 단면형상을 갖는다.

본 발명은, 액정표시패널의 검사에 이용하는 프로브 조립체뿐만 아니라, 표시용 패널 기판의 유리기판과 같은 다른 평판상 피검사체의 검사에 이용하는 프로브 조립체에도 적용할 수 있다.

본 발명은, 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

각 프로브는, 가이드 바가 관통하는 가이드 구멍을 중앙영역에 가짐과 동시에 지지 핀이 관통하여 연장하는 관통구멍을 중앙영역의 선단쪽 또는 제1 침선영역에 갖는다. 그와 같은 프로브는 제1 및 제2 침선영역의 단부를 침선으로서 이용한다.

프로브 조립체는, 예를 들어 이것을 TAB(Tape Automated Bonding) 테이프에, 제2 침선영역의 침선이 TAB 테이프에 설치된 구동용 집적회로의 전극에 접촉한 상태로 설치함으로써, 검사용 헤드에 조립할 수 있다. 조립된 검사용 헤드는 제1 침선영역의 침선이 피검사체의 전극에 대향하도록 시험 장치에 설치된다.

검사 시, 프로브 조립체는 제1 침선영역의 침선을 평판상 피검사체의 전극에 약간 과잉으로 누른다. 이에 의해, 제1 침선영역이 오버 드라이브에 의해 활 형상으로 휘기 때문에, 제1 침선영역의 침선이 피검사체의 전극에 대하여 미끄러진다. 이 때문에, 각 프로브와 전극은 전기적으로 확실하게 접촉한다.

프로브의 교환은, 예를 들어 가이드 바 및 지지 핀을 뽑고, 교환해야 할 프로브를 제거하고, 그 대신에 새로운 프로브를 블록에 배치하고, 가이드 바 및 지지 핀을 다시 프로브에 꿰찔러, 가이드 바 및 지지 핀을 사이드 커버에 의해 블록에 지지시킴으로써 행할 수 있다. 이 때문에, 프로브의 교환이 용이해진다.

본 발명에 의하면, 예를 들어 프로브의 중앙영역의 폭방향이 상하방향이 되고 중앙영역이 대향되어 병렬적으로 되는 상태로 지지 핀을 띠 형상의 복수의 프로브를 지나게 하고, 가이드 바를 프로브를 지나게 하고, 그 후 가이드 바 및 지지 핀을 사이드 커버에 의해 블록에 지지시키면 되기 때문에, 가이드 바가 프로브의 관통구멍을 지남으로 인한 프로브의 만곡이 방지되고, 프로브의 길이방향에서의 양 침선영역의 위치가 안정하여, 각 프로브의 침선이 소정의 전극에 확실하게 접촉한다.

청구항 2의 프로브 조립체에 의하면, 제2 지지 핀에 의해 가이드 바가 프로브의 관통구멍을 지남으로 인한 프로브의 만곡이 보다 확실하게 방지된다. 또, 프로브의 길이방향에서의 양 침선영역의 위치가 보다 안정하여, 각 프로브의 침선이 소정의 전극에 의해 확실하게 접촉한다.

청구항 3의 프로브 조립체에 의하면, 프로브가 양 슬릿 바에 의해 가이드 바의 길이방향에서의 소정의 위치에 유지되기 때문에, 조립작업이 보다 용이해지고, 보다 싸게 된다. 또, 조립 후에도, 가이드 바의 길이방향으로의 프로브의 변위가 프로브의 양 단부에서 슬릿 바에 의해 저지되기 때문에, 가이드 바의 길이방향에서의 양 침선영역의 위치가 안정하여, 각 프로브의 침선이 소정의 전극에 확실하게 접촉한다.

청구항 4의 프로브 조립체에 의하면, 프로브의 중앙영역의 길이방향으로 간격을 둔 부위, 바람직하게는 선단부 및 후단부를 관통하여 연장하는 한 쌍의 가이드 바에 의해, 블록에 대한 각 프로브의 자세가 안정화된다.

바람직한 실시예에서는, 제1 및 제2 침선영역의 침선은, 각각 그 선단부 및 후단부로부터 아래쪽 및 위쪽으로 돌출한다.

각 프로브는 베릴륨·니켈 합금으로 제작할 수 있다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims

블록;

각각, 띠 형상의 중앙영역 및 상기 중앙영역의 선단 및 후단으로부터 각각 더 앞쪽 및 뒤쪽으로 연장하고 상기 중앙영역보다 작은 폭 치수를 갖는 제1 및 제2 침선영역을 갖춘 판상의 복수의 프로브로서, 상기 중앙영역의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 상기 블록의 아래쪽에 상기 중앙영역을 대향시켜 병렬적으로 배치된 복수의 프로브;

상기 프로브의 중앙영역을 관통하여 연장하는 가늘고 긴 최소한 하나의 가이드 바;

상기 중앙영역의 선단쪽 또는 상기 제1 침선영역을 관통하여 연장하는 최소한 하나의 제1 지지 핀;

상기 중앙영역의 후단쪽 또는 상기 제2 침선영역을 관통하여 연장하는 최소한 하나의 제2 지지 핀;

상기 블록의 측부에 분리할 수 있게 설치된 판상의 한 쌍의 사이드 커버로서 상기 가이드 바 및 상기 양 지지 핀을 그들의 길이방향의 단부에서 지지하는 한 쌍의 사이드 커버;

상기 블록의 선단쪽 및 후단쪽에 각각 장착되고 상기 가이드 바의 길이방향으로 연장하는 제1 및 제2 슬릿 바로서, 각각 전후방향으로 연장하고 아래쪽으로 개방하며 길이방향으로 간격을 둔 복수의 슬릿을 갖는 제1 및 제2 슬릿 바

를 포함하고, 상기 제1 및 제2 슬릿 바는, 각각 상기 제1 및 제2 침선영역을 상기 슬릿에 그 아래쪽부터 받아들여져 있는 프로브 조립체.
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제1항에 있어서, 한 쌍의 상기 가이드 바가 설치되어 있고, 양 가이드 바는 상기 중앙영역의 길이방향으로 간격을 둔 부위를 관통하여 연장하는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 침선영역은, 각각 그 선단부 및 후단부로부터 아래쪽 및 위쪽으로 돌출하는 침선을 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
제1항에 있어서, 각 프로브는, 베릴륨·니켈 합금으로 제작되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.