JP2005127808A - プローブ組立体 - Google Patents

Abstract

【課題】 複数のプローブを共通のブロックに配置することにある。
【解決手段】 プローブ組立体は、サイドカバーをベースブロックの各端面に取り付け、バー支持体を両サイドカバーの中間に配置し、ガイドバーを一方及び他方のサイドカバーとブロック支持体とに配置し、複数のプローブを複数のグループに分けてグループ毎にガイドバーに支持させたことを特徴とする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の電気的特性の検査に用いるプローブ組立体に関する。

本発明においては、平板状被検査体の厚さ方向を上下方向といい、複数のプローブの配列方向を左右方向といい、左右方向に直角な水平方向を前後方向といい、プローブの第１の針先領域の側を前方といい、プローブの第２の針先領域の側を後方という。

液晶表示パネルの検査に用いるプローブ組立体の１つとして、帯状の中央領域並びに該中央領域の先端及び後端からそれぞれさらに前方及び後方へ伸びる第１及び第２の針先領域を備える複数のプローブを中央領域の幅方向が上下方向となる状態に中央領域を対向させてブロックの下側に並列的に配置し、それらのプローブを、それらのプローブを貫通する細長い１以上のガイドバーを介してブロックに支持させたものが知られている（特許文献１参照）。

このように水平用及び垂直用の２種類の電極（パッド電極）を表示画素毎に備えた液晶表示パネルの検査は、各電極にプローブを接触させなければならない。すなわち、検査は、水平用及び垂直用のプローブを、それぞれ、液晶表示パネルの水平用及び垂直用の電極に接触させて行う。

このため、従来では、それぞれが複数のプローブを備えた水平用及び垂直用の２種類のプローブ組立体を用いて検査を行っている。

しかし、液晶表示パネルは、年々、小型化され、水平用電極及び垂直用電極の配置ピッチがいずれも狭くなってきている。例えば、約４．８２６ｃｍ（１．９インチ）の小型ＣＯＧパネルが提案されている。この小型ＣＯＧパネルの下部に沿って直列的に水平用電極と垂直用電極とが狭配置ピッチで配置されている。

このように狭配置ピッチの小型液用表示パネルの検査においては、水平用及び垂直用の多数のプローブを電極の配置ピッチと同じ配置ピッチで共通のブロックに配置することが難しい。

特開平１０−１３２８５３号公報

本発明の目的は、複数のプローブを共通のブロックに配置することにある。

本発明に係るプローブ組立体は、ベースブロックと、前記ベースブロックの左右方向における端面に装着された第１及び第２のサイドカバーと、前記ベースブロックの左右方向における中間に配置されたバー支持体と、それぞれが帯状の中央領域並びに該中央領域の先端及び後端からそれぞれさらに前方及び後方へ伸びる第１及び第２の針先領域を備える複数のプローブであって前記中央領域の幅方向が上下方向となる状態に前記中央領域を対向させて、前記バー支持体と前記第１のサイドカバーとの間に配置された第１のグループ及び前記バー支持体と前記第２のサイドカバーとの間に配置された第２のグループに分けられた複数のプローブと、前記第１のグループのプローブの中央領域を貫通して伸びて前記バー支持体と前記第１のサイドカバーとに支持された第１のガイドバーと、前記第２のグループのプローブの中央領域を貫通して伸びて前記バー支持体と前記第２のサイドカバーとに支持された第２のガイドバーとを含む。

複数のプローブは、バー支持体を両サイドカバーの間に配置して、一方のグループの複数のプローブがバー支持体と一方のサイドカバーとの間に配置されたグループと、バー支持体と他方のサイドカバーとの間に配置されたグループとに分けられて、バー支持体とサイドカバーとに支持されたグループ毎のガイドバーによりブロックに支持されている。

このため、本発明によれば、複数のプローブを共通のブロックに配置することができる。また、全てのプローブをベースブロックから外すことなく、交換すべきプローブを含むグループのプローブをベースブロックから外して、交換することができる。その結果、プローブの交換作業が容易になる。

前記第１及び第２のガイドバーの各々は、前後方向に間隔をおいて左右方向へ平行に伸びる一対のバーを備えていてもよい。そのようにすれば、プローブが一対のバーにより確実に保持されて、それらの姿勢が安定化するから、プローブの位置精度が向上する。

プローブ組立体は、さらに、前記バー支持体と前記第１のサイドカバーとの間に配置されて前記ベースブロックに装着された一対の第１のスリットバーであって前記第１及び第２のグループのプローブの前記第１の針先領域をそれぞれ受ける複数の溝を有する一対の第１のスリットバーと、前記バー支持体と前記第２のサイドカバーとの間に配置されて前記ベースブロックに装着された一対の第２のスリットバーであって前記第１及び第２のグループのプローブの前記第２の針先領域をそれぞれ受ける複数の溝を有する一対の第２のスリットバーとを含んでいてもよい。そのようにすれば、各プローブの針先領域が対応する溝に差し込まれて、各針先領域が安定化するから、隣接するプローブの間隔を一定に保持することができ、プローブの針先領域の先端部の位置精度が向上する。

各第１のスリットバー及び各第２のスリットバーは、それぞれ、前後方向における外側に左右方向に伸びる第１及び第２の段部を有し、また前記第１及び第２の段部を前後方向における前記ベースブロックの前側及び後側に接触させていてもよい。そのようにすれば、第１及び第２のスリットバーの段部がベースブロックに確実に位置決めされ、第１及び第２のスリットバーの位置決め精度が向上する。このため、プローブの針先領域の先端部の位置精度が向上する。

前記第１及び第２のサイドカバーは、前記第１又は第２のガイドバーの端部を支持するインナーカバーと、該インナーカバーの外側に配置されたアウターカバーとを含んでいてもよい。

前記第１及び第２のグループの隣り合うプローブの前記第１及び第２の針先領域の先端部の位置は前後方向にずれていてもよい。そのようにすれば、被検査体の電極の配置ピッチが小さくても、前後方向のずれを被検査体の電極の前後方向のずれと同じ寸法にすることができるから、複数のプローブを狭ピッチでベースブロックに配置することができる。

前記第１のグループのプローブと第２のグループのプローブとは、前記第１及び第２の針先領域の先端部の位置を前後方向にずらしていてもよい。そのようにすれば、電極の位置が前後方向にずれた被検査体の検査に用いることができる。

前記バー支持体は、前記第１のガイドバーの端部を受け入れる第１の凹所と、前記第２のガイドバーの端部を受け入れる第２の凹所とを備えていてもよい。そのようにすれば、第１及び第２のガイドバーは、それぞれ、第１及び第２の凹所に差し込まれるから、第１及び第２のガイドバーを精度よくしかも確実にバー支持体に組み付けることができる。

プローブ組立体は、さらに、前記第１及び第２のガイドバーをそれぞれ前記第１及び第２のサイドカバーに組み付ける第１及び第２の止めねじを含んでもよい。この場合、前記第１及び第２のガイドバーは、それぞれ、これの外側の端部に前記第１及び第２の止めねじが螺合された凹所を有する。

図１から図４を参照するに、プローブ組立体１０は、図５に示す長方形の液晶表示パネル１２を平板状被検査体とする検査装置に用いられる。液晶表示パネル１２は、長方形の形状を有しており、また液晶を封入している。

液晶表示パネル１２は、図５に示すように、その大部分を表示部１４としている。液晶表示パネル１２は、表示部１４のほかに、さらに、駆動用集積回路（ＩＣ）を装着する一対の駆動ＩＣボンディング部１６，１８を長手方向の一端部に左右方向に間隔をおいて有しており、また、表示部１４とボンディング部１６及び１８との間に２組の電極（パッド電極）２０，２２及び２４，２６をそれぞれ２列に有している。

電極２０，２２及び２４，２６は、それぞれ、水平走査用電極及び垂直走査用電極のグループに対応されている。電極２０，２２及び２４，２６は、グループ毎に前後方向に距離Ｙだけずれるように、千鳥状に配置されている。電極２０，２２と電極２４，２６とは、左右方向に距離Ｘだけ間隔をおいていると共に、前後方向に距離Ｚだけずれている。ボンディング部１６及び１８は、前後方向に距離Ｚだけずらされている。

図１から図４を再び参照するに、プローブ組立体１０は、ベースブロック３０と、ベースブロック３０の左右方向における各端面に装着されたサイドカバー３２と、ベースブロック３０の左右方向における中間に配置されたバー支持体３４と、バー支持体３４と一方のサイドカバー３２との間に配置された複数のプローブ３６と、バー支持体３４と他方のサイドカバー３２との間に配置された複数のプローブ３８と、プローブ３６及び３８をそれぞれ貫通する複数のガイドバー４０とを含む。

バー支持体３４は、図示の例では、ベースブロック３０と別個に製作されて、ベースブロック３０に接着又はねじ止めされている。しかし、バー支持体３４は、ベースブロック３０と一体的に製作してもよい。

プローブ３６は第１のグループを構成しており、プローブ３８は第２のグループを構成している。第１のグループのプローブ３６と、第２のグループのプローブ３８とは、図１に示すように、左右方向に距離Ｘをおいていると共に、前後方向に距離Ｚだけずらされている。

プローブ３６及び３８のそれぞれは、帯状の中央領域４４並びに中央領域４４の先端及び後端からそれぞれさらに前方及び後方へ伸びる前側及び後側の針先領域４６及び４８（図２参照）を備える。前側の各針先領域４６の先端部（針先）は下方に曲げられており、後側の各針先領域４８の先端部は上方に曲げられている。

プローブ３６及び３８は、中央領域４４の幅方向が上下方向となり、かつグループ毎に中央領域４４を対向させて前後方向に伸びる状態に、所定の箇所にグループ毎に左右方向に間隔をおいて配置されている。隣り合うプローブ３６及び３８は、針先領域４６及び４８の位置をグループ毎に前後方向に距離Ｙだけずらされている。それゆえに、プローブ３６及び３８の針先領域４６及び４８は、グループ毎に千鳥状とされている。

ベースブロック３０は、サイドカバー３２を正確に位置決める一対のガイドピン５０を左右方向の各端面から中央に向けて差し込んでいる。ベースブロック３０は、また、プローブ３６，３８を装着するブロック本体５２と、後に説明するプローブユニットすなわちプローブ装置８０に装着するための装着部５４とを備えている。

各サイドカバー３２は、ガイドバー４０の端部を支持するインナーカバー５６と、インナーカバー５６の外側に配置されたアウターカバー５８とを備えている。インナーカバー５６及びアウターカバー５８は、それぞれ、ガイドピン５０が嵌合する穴６０及び６２を有している。

各サイドカバー３２は、アウターカバー５８及びインナーカバー５６を貫通してベースブロック３０の左右方向端面のねじ穴６４に螺合された一対のボルト６６により、ベースブロック３０に取り付けられている。

各ガイドバー４０は、対応するプローブ３６又は３８の中央領域４４とを貫通して、一端部をバー支持体３４の凹所６８（図２参照）に受け入れられ、他端部を対応するインナーカバー５６の穴すなわち凹所７０（図２参照）に受け入れられている。各ガイドバー４０は、サイドカバー３２を貫通して他端部のねじ穴７２に螺合されたボルト７４によりベースブロック３０に組み付けられている。

プローブ３６用のガイドバー４０と、プローブ３８用のガイドバー４０とは、互いに、距離Ｚだけ前後方向にずらされている。

プローブ３６及び３８の前側及び後側の針先領域４６及び４８は、それぞれ、バー支持体３４及び３４とサイドカバー３２及び３２との間に配置されたスリットバー７６及び７６に形成された溝７８及び７８に差し込まれている。これにより、ベースブロック３０に対するプローブ３６及び３８の位置が安定化されている。

各スリットバー７６は、左右方向に伸びる段部７９を後側又は前側の上部に有しており、段部７９をベースブロック３０の前側又は後側の下端部に当接させている。これにより、ベースブロック３０に対するスリットバー７６の位置が安定化し、それによりベースブロック３０に対するプローブ３６，３８の位置が安定化する。

プローブ組立体１０は、先ず、各スリットバー７６を所定に位置に所定の状態にベースブロック３０に取り付けた状態で、プローブ３６及び３８の各両端部を所定のスリットバー７６の溝７８に挿し込み、次いで各ガイドバー４０をプローブ３６，３８と、サイドカバー３２とに挿し通し、各ガイドバー４０をボルト７４でサイドカバー３２に取り付け、その後各サイドカバー３２をボルト６６でベースブロック３０に取り付けることにより、組み立てることができる。これにより、プローブ３６，３８は、バー支持体３４、ガイドバー４０及びサイドカバー３２を介してベースブロック３０に支持される。

プローブ３６又は３８の交換は、上記と逆の作業を行って元のプローブを新たなプローブに変更した後、上記と同様の作業を実行することにより、行うことができる。

上記のプローブ組立体１０は、複数のプローブをプローブ３６のグループと、プローブ３８のグループとに分けて、プローブ毎に共通のベースブロック３０に支持させているから、前後方向における針先の位置をプローブ群同士で相互にずらすことができるし、隣り合うプローブの針先の位置をグループ毎にずらせることができる。

上記の結果、液晶表示パネルの電極の配置ピッチが小さくても、前後方向のずれを液晶表示パネルの電極の前後方向のずれと同じ寸法にすることができるから、複数のプローブを狭ピッチでベースブロックに配置することができるし、電極の位置が前後方向にずれた液晶表示パネルの検査に用いることができる。

上記のようにプローブ３６，３８をグループ毎にベースブロック３０に支持させると、全てのプローブをベースブロック３０から外すことなく、交換すべきプローブ３６又は３８を含むグループのプローブ３６又は３８をベースブロック３０から外して、交換することができる。その結果、プローブの交換作業が容易になる。

さらに、プローブ３６及び３８のそれぞれを一対のガイドバー４０によりベースブロック３０に支持させているから、プローブ３６及び３８が確実に保持されて、それらの姿勢が安定化し、その結果ベースブロックに対するプローブの位置精度が向上する。

図６から図１１を参照するに、プローブユニットすなわちプローブ装置８０は、複数の被検査体の同時検査を可能にすべく上記した複数のプローブ組立体１０を板状のプローブベース８２に脱着可能に組み付けている。

図６に示すように、プローブ装置８０は、液晶表示パネル１２毎のプローブ組立体１０及び共通のプローブベース８２のほかに、さらに、プローブベース８２に組み付けられた取り付けブロック８４と、取り付けブロック８４に上下方向へ移動可能に組み付けられたＬ字状のサスペンションブロック８６と、サスペンションブロック８６の下端に取り付けられた結合ブロック８８と、結合ブロック８８の下側に水平に取り付けられた板状の配線ブロック９０とをプローブ組立体１０毎に備えている。

各プローブ組立体１０は、装着部５４を結合ブロック８８と配線ブロック９０とにより形成される空間９２に挿入されて、結合ブロック８８と配線ブロック９０とにより支持されている。

プローブベース８２は、配線ブロック９０がほぼ水平となり、プローブベース８２の厚さ方向が上下方向となり、サスペンションブロック８６等が左右方向へ間隔をおくように、図示しない検査装置に取り付けられる。

プローブベース８２は、それぞれが複数の配線９６（図７参照）を有する複数のフラットケーブル９４の後端部に配置されたコネクタを支持している。各コネクタはテスターに電気的に接続される。

しかし、コネクタを用いる代わりに、フラットケーブル９４の配線に個々に接続される複数の配線と、該配線に個々に接続されるテスターランドとをプローブベース８２に形成してもよい。

各取り付けブロック８４は、プローブベース８２の上面に複数のねじ部材（図示せず）により取り付けられている。各取り付けブロック８４は、先端部下側に凹欠部を有しており、この凹欠部にサスペンションブロック８６の上部を受け入れている。

各サスペンションブロック８６は、高さ調整用の調整ねじ９８と一対の圧縮コイルばね１００とにより、上部において取り付けブロック８４の先端部下側に取り付けられている。

調整ねじ９８は、取り付けブロック８４の先端部を貫通して、サスペンションブロック８６のねじ穴に螺合されている。圧縮コイルばね１００は、取り付けブロック８４の先端部下側とサスペンションブロック８６の先端部上面との間に配置されている。

プローブ組立体１０の高さ位置は、サスペンションブロック８６への調整ねじ９８のねじ込み量を調整して、プローブ組立体１０を上下動させることにより、調整することができる。

各結合ブロック８８は、コ字状の形状を有しており、空間９２が前後方向に伸びると共に、配線ブロック９０の側に開放するように、サスペンションブロック８６の下側に取り付けられている。

各配線ブロック９０は、結合ブロック８８の下側に水平に取り付けられており、またフラットケーブル９４毎に備えられたタブ（ＴＡＢ）１０２を下面に接着している。

各タブ１０２は、複数の配線１０４，１０６を有していると共に、駆動用の集積回路１０８を装着している。各集積回路１０８は、配線１０４，１０６の一端部に接続されており、また配線ブロック９０の凹所に収容されている。

配線１０４の他端部は導電性接着材によりフラットケーブル９４の配線９６に個々に接着されており、配線１０６の他端部はプローブ３６又は３８の第２の針先領域４８に電気的に個々に接続されている。

図示の例では、プローブ３６及び３８のグループにそれぞれ対応された２つのフラットケーブル９４が各配線ブロック９０に備えられている。

ベースブロック３０の装着部５４は、プローブ組立体１０をプローブ装置８０に取り付ける際に利用する溝１１０を有している。溝１１０は、前後方向へ伸びており、また上方及び後方に開放する凸字状（逆Ｔ字状）の断面形状を有している。

各サスペンションブロック８６は、上下方向へ伸びるガイド１１２及び一対のガイドレール１１４により取り付けブロック８４に上下方向へ移動可能に連結されている。

各プローブ組立体１０は、ベースブロック３０の装着部５４が空間９２に挿入され、プローブ３６，３８の各第２の針先領域４８の先端がタブ１０２の配線１０６に押圧された状態に、固定ねじ１２０により維持される。

この状態において、各プローブ組立体１０は、ベースブロック３０から上方へ突出するストッパ１２２が結合ブロック８８の先端面に当接していることと、装着部５４が結合ブロック８８に前後方向に間隔をおいて配置された一対のプランジャー１１６により空間９２内で左右方向における一方側に押されていることとにより、前後方向及び左右方向の位置決めをされている。

上下方向におけるプローブ組立体１０の高さ位置は、調整ねじ９８が所定量ねじ込まれていることと、装着部５４が固定ねじ１２０により結合ブロック８８に押圧されていることにより、維持される。また、各第２の針先領域４８は、これがガイドフィルム１２６の穴を貫通していることにより、タブ１０２に対して位置決めをされている。

固定ねじ１２０は、互いに螺合された一対のねじ部材１２８，１３０を含む。ねじ部材１２８は、サスペンションブロック８６及び結合ブロック８８を上下方向に貫通する棒状の雄ねじ部と、その上端に続く頭部とを有している。

ねじ部材１３０は、結合ブロック８８を上下方向に貫通する棒状の雌ねじ部と、その下端に続く頭部とを有している。ねじ部材１３０の雌ねじ部に形成されたねじ穴は、ねじ部材１２８の雄ねじ部と螺合するように、上方に開放している。

ねじ部材１３０は、これの主部の上端部に配置された止めリング１３２により、結合ブロック８８からの脱落を防止されている。ねじ部材１３０は、これの頭部と結合ブロック８８との間の配置された圧縮コイルばね１３４により、常時下方に付勢されている。

プローブ組立体１０が結合ブロック８８に正しく装着された状態において、装着部５４の上面に形成された複数の凸部１３６は、結合ブロック８８の下面に形成された複数の凹部１３８に個々に受け入れられている。

プローブ組立体１０の交換時、先ず、調整ねじ９８及び固定ねじ１２０の螺合状態がゆるめられることにより、交換すべきプローブ組立体１０は、圧縮コイルばね１３４により結合ブロック８８に対し下方へ変位される。これにより、凸部１３６が凹部１３８から外される。次いで、上記状態で、プローブ組立体１０は、ベースブロック３０に対し水平に引き出される。

引き出し時、プローブ組立体１０は、これが圧縮コイルばね１３４により結合ブロック８８に対し少なくとも凸部１３６の高さ分だけ下方へ変位されているから、少なくとも凹部１３８が開放する面に凸部１３６を当接させた状態で、移動される。

これに対し、新たなプローブ組立体１０は、先ず、図１０に示すように固定ねじ１２０を圧縮コイルばね１３４により下げた状態で、装着部５４の後端部を空間９２に受け入れられる。

次いで、新たなプローブ組立体１０は、上記状態で、ストッパ１２２が結合ブロック８８の前端面に当接するまで、水平に押し込まれる。この際、新たなプローブ組立体１０は、プランジャー１１６により左右方向の一方に押圧されて、結合ブロック８８に対する左右方向の正しい位置決めをされる。

ストッパ１２２が結合ブロック８８の前端面に当接するまで、新たなプローブ組立体１０の装着部５４が空間９２に押し込まれると、新たなプローブ組立体１０は、結合ブロック８８に対する前後方向の位置決めをされる。これにより、結合ブロック８８に対する左右方向の位置決めをされていることと相まって、凸部１３６は凹部１３８と対向される。

押し込み時においても、プローブ組立体１０は圧縮コイルばね１３４により結合ブロック８８に対し少なくとも凸部１３６の高さ寸法だけ下方へ変位されているから、プローブ組立体１０は、少なくとも凹部１３８が開放する面に凸部１３６が当接した状態で、移動される。

凸部１３６と凹部１３８とが対向した状態で、ねじ部材１２８，１３０が締め付けられると、プローブ組立体１０が結合ブロック８８に対し上昇されて、凸部１３６が凹部１３８に受け入れられる。これにより、プローブ組立体１０は結合ブロック８８に対し左右方向及び前後方向への移動を阻止されて完全に位置決めをされ、またプローブ３６，３８の各第２の針先領域４８はタブ１０２の配線１０４に当接される。

プローブ組立体１０の引き出し時及び差し込み時のいずれにおいても、プローブ組立体１０が結合ブロック８８に対し移動されるとき、プローブ組立体１０はこれが結合ブロック８８に対し少なくとも凸部１３６の高さα分だけ上下方へ変位されているから、プローブ３６，３８の各第２の針先領域４８の先端（後端側針先）は、タブ１０２の配線１０４から少なくとも凸部１３６の高さ分だけ下方に離された位置を移動される。

同様の理由から、ガイドフィルム１２６の厚さ寸法βとしたとき、プローブ組立体１０がガイドフィルム１２６から少なくともα−βだけ下方に離された位置を移動されるから、プローブ３６，３８の後端側針先はガイドフィルム１２６から少なくともα−βだけ下方に離された位置を移動される。

上記のように、プローブ３６，３８の後端側針先がタブ１０２及びガイドフィルム１２６に接触しない状態で、プローブ組立体１０が移動されると、後端針先の一ずれ及び損傷が防止される。

本発明は、液晶表示パネル用のプローブ装置のみならず、薄膜トランジスタが形成されたガラス基板のような他の表示用基板等、他の平板状被検査体用のプローブ装置にも適用することができる。

本発明は、水平に配置された被検査体用のプローブ装置のみならず、斜めに傾斜された被検査体用のプローブ装置にも適用することができる。

本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。

本発明に係るプローブ組立体の一実施例を示す斜視図である。 図１に示すプローブ組立体の下から見た分解斜視図である。 図２に示すプローブ組立体を組み立てた状態を示す、下からみた斜視図である。 図１における４−４線に沿って得た断面図である。 被検査体の一実施例を示す斜視図である。 図１に示すプローブ組立体を用いたプローブ装置の一実施例を示す外観斜視図である。 図６に示すプローブ装置の側面図である。 図６に示すプローブ装置の正面図である。 図６に示すプローブ装置の底面図である。 図６に示すプローブ装置の組立状態を示す断面図である。 図６に示したプローブ装置の部分拡大図である。

符号の説明

１０ プローブ組立体
１２ 液晶表示パネル
３０ ベースブロック
３２ サイドカバー
３４ バー支持体
３６，３８ プローブ
４０，４２ ガイドバー
４４ 中央領域
４６，４８ 針先領域
５０ ガイドピン
５２ ブロック本体
５４ 装着部
５６ インナーカバー
５８ アウターカバー
６０，６２ 穴
６４ ねじ穴
６６ ボルト
６８，７０ 凹所
７２ ねじ穴
７４ ボルト
７６ スリットバー
７８ 溝
７９ 段部

Claims (9)

1. ベースブロックと、
   前記ベースブロックの左右方向における端面に装着された第１及び第２のサイドカバーと、
   前記ベースブロックの左右方向における中間に配置されたバー支持体と、
   それぞれが帯状の中央領域並びに該中央領域の先端及び後端からそれぞれさらに前方及び後方へ伸びる第１及び第２の針先領域を備える複数のプローブであって前記中央領域の幅方向が上下方向となる状態に前記中央領域を対向させて、前記バー支持体と前記第１のサイドカバーとの間に配置された第１のグループ及び前記バー支持体と前記第２のサイドカバーとの間に配置された第２のグループに分けられた複数のプローブと、
   前記第１のグループのプローブの中央領域を貫通して伸びて前記バー支持体と前記第１のサイドカバーとに支持された第１のガイドバーと、
   前記第２のグループのプローブの中央領域を貫通して伸びて前記バー支持体と前記第２のサイドカバーとに支持された第２のガイドバーとを含む、プローブ組立体。
2. 前記第１及び第２のガイドバーの各々は、前後方向に間隔をおいて左右方向へ平行に伸びる一対のバーを備える、請求項１に記載のプローブ組立体。
3. さらに、前記バー支持体と前記第１のサイドカバーとの間に配置されて前記ベースブロックに装着された一対の第１のスリットバーであって前記第１及び第２のグループのプローブの前記第１の針先領域をそれぞれ受ける複数の溝を有する一対の第１のスリットバーと、
   前記バー支持体と前記第２のサイドカバーとの間に配置されて前記ベースブロックに装着された一対の第２のスリットバーであって前記第１及び第２のグループのプローブの前記第２の針先領域をそれぞれ受ける複数の溝を有する一対の第２のスリットバーとを含む、請求項１又は２に記載のプローブ組立体。
4. 各第１のスリットバー及び各第２のスリットバーは、それぞれ、前後方向における外側に左右方向に伸びる第１及び第２の段部を有し、また前記第１及び第２の段部を前後方向における前記ベースブロックの前側及び後側に接触させている、請求項３に記載のプローブ組立体。
5. 前記第１及び第２のサイドカバーは、前記第１又は第２のガイドバーの端部を支持するインナーカバーと、該インナーカバーの外側に配置されたアウターカバーとを含む、請求項１から４のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
6. 前記第１及び第２のグループの隣り合うプローブの前記第１及び第２の針先領域の先端部の位置は前後方向にずれている、請求項１から５のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
7. 前記第１のグループのプローブと第２のグループのプローブとは、前記第１及び第２の針先領域の先端部の位置を前後方向にずらしている、請求項１から６のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
8. 前記バー支持体は、前記第１のガイドバーの端部を受け入れる第１の凹所と、前記第２のガイドバーの端部を受け入れる第２の凹所とを備える、請求項１から７のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
9. さらに、前記第１及び第２のガイドバーをそれぞれ前記第１及び第２のサイドカバーに組み付ける第１及び第２の止めねじを含み、
   前記第１及び第２のガイドバーは、それぞれ、それらの外側の端部に前記第１及び第２の止めねじが蝶合された凹所を有する、請求項１から８のいずれか１項に記載のプローブ組立体。

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