JP2011133462A - プローブ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 プローブ装置は、複数のプローブと、該プローブがその針中央領域を対向させ、左右方向に間隔をおいて及び前後方向へ延びる状態に配置されたプローブホルダとを備えるプローブ組立体を含む。プローブホルダ及び各プローブのいずれか一方は、下向きの第1の部位と、前向きの第2の部位とを備え、プローブホルダ及び各プローブの他方は、前記第1の部位に当接可能の上向きの第3の部位と、前記第2の部位に当接可能の後向きの第4の部位とを備える。
【選択図】図11
Description
12 被検査体
14 被検査体の電極
16,130,140 プローブ組立体
18 支持ブロック
20 連結ブロック
22 結合ブロック
24 組み付け装置
26 配線シート
28 接続ブロック
30 ブローブベース
32 プローブ
32a 針中央領域
32b 針前部領域
32c 針後部領域
32d 先端針先
32e 後端針先
32f 針凸部
34 ブロック片
36、134,144 スリットバー
36a スリットバーの壁部
36b スリットバーの残部
38 バー部材
40 カバー
40a,40b カバー部材
42,132,142 スリット
50a スリットバーの下向き面
50b スリットバーの前向き面
50c スリットバーの後向き面(当接面)
52a プローブの上向き部
52b プローブの後向き部
52c プローブの前向き部(凸部)
80 凹所
82 連結部材
84,86 ねじ部材
120,124 ガイド
122,126 ガイド穴
126a 第1の溝
126b 第2の溝
Claims (15)
- 針中央領域を有する複数のプローブと、該プローブが前記針中央領域を対向させて、左右方向に間隔をおいて配置されたプローブホルダとを備えるプローブ組立体を含み、
前記プローブホルダ及び各プローブのいずれか一方は、下向きの第1の部位と、前向きの第2の部位とを備え、
前記プローブホルダ及び各プローブの他方は、前記第1の部位に当接可能の上向きの第3の部位と、前記第2の部位に当接可能の後向きの第4の部位とを備える、プローブ装置。 - 前記第2及び第4の部位は、それぞれ、前記第1及び第3の部位から上下方向に離間されている、請求項1に記載のプローブ装置。
- 前記針中央領域は左右方向及び前後方向へ延びる板の形状を有しており、
各プローブは、さらに、前記針中央領域の前端部から前方へ延びる針前部領域と、該針前部領域の前端部から下方へ延びる先端針先と、前記針中央領域の後端部から後方へ延びる針後部領域と、該針後部領域の後端部から上方へ延びる後端針先とを有する、請求項1及び2のいずれか1項に記載のプローブ装置。 - 前記第1及び第2の部位は前記プローブホルダに備えられており、前記第3及び第4の部位は前記プローブの前記針中央領域の前端部に備えられており、前記プローブは前記針中央領域を対向させている、請求項3に記載のプローブ装置。
- 前記プローブホルダ及び各プローブのいずれか一方は、さらに、前向きの第5の部位を前記第1及び第2の部位から上方に間隔をおいた箇所に備え、
前記プローブホルダ及び各プローブの他方は、さらに、前記第5の部位に当接可能の後向きの第6の部位を前記第3及び第4の部位から上方に間隔をおいた箇所に備える、請求項1から4のいずれか1項に記載のプローブ装置。 - 前記第5の部位は前記プローブホルダに備えられており、前記第6の部位は前記プローブの前記針中央領域の前端部に備えられている、請求項5に記載のプローブ装置。
- 前記プローブホルダ及び各プローブの他方は、さらに、前方又は後方に突出する凸部を備え、前記プローブホルダ及び各プローブの他方は、さらに、前記凸部が当接する当接部を備える、請求項1から6のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 各プローブの後端針先は、前記針後部領域から該針後部領域の延在方向に対し上方へ直角に延びている、請求項5から7のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 左右方向に隣り合う前記後端針先は、前記針後部領域の側の部位を対向させていると共に、前記プローブの後部側の針先を前後方向に変位させている、請求項8に記載のプローブ装置。
- 前記プローブホルダは、下方及び後方に開放しかつ左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる複数の第1のスリットであって、前記プローブの針前部領域の少なくとも一部が受け入れられた複数の第1のスリットと、該第1のフリットより後方に間隔をおいた位置にあって、前方及び下方に開放しかつ左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる複数の第2のスリットであって、前記プローブの針後部領域の少なくとも一部が受け入れられた複数の第2のスリットとを有する、請求項4から9のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 前記プローブホルダは、さらに、後方に開放しかつ左右方向に間隔をおいて上下方向へ延びる複数の第3のスリットであって、前記針中央領域の前端部の少なくとも一部を受け入れた複数の第3のスリットを有する、請求項1から10のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 前記プローブホルダは、さらに、前記第3のスリットより後方に間隔をおいた位置にあって、前方に開放しかつ左右方向に間隔をおいて上下方向へ延びる複数の第4のスリットであって、前記針中央領域の後端部の少なくとも一部を受け入れた複数の第4のスリットを有する、請求項1から11のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 前記プローブ組立体は、さらに、前記プローブの前記針中央領域を貫通して左右方向へ延びる少なくとも1つのバー部材と、前記プローブホルダの左右方向における各側部に取り外し可能に組み付けられて、前記バー部材をその端部において前記ブロックホルダに支持させる板状のカバーとを備える、請求項1から12のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- さらに、支持ブロックと、該支持ブロックの下側に配置された結合ブロックであって、前記プローブ組み立て体が下側に組み付けられた結合ブロックと、該結合ブロックを前記支持ブロックの下側に組み付ける組み付け装置とを含み、
前記組み付け装置は、前記結合ブロック及び前記支持ブロックのいずれか一方に形成された凹所と、該凹所に嵌合された連結部材と、該連結部材を前記結合ブロック又は前記支持ブロックに組み付ける第1のねじ部材と、前記連結部材を上下方向に貫通して、前記結合ブロック及び前記支持ブロックの他方に螺合された第2のねじ部材とを備える、請求項1から13のいずれか1項に記載のプローブ装置。 - 該支持体の下側にあって前記プローブ組立体よりも後方の箇所に配置された配線シートであって、左右方向に間隔をおいた複数の接続部を下面に備える配線シートとを含み、
前記プローブ組立体は、前記プローブの後部側の針先が前記接続部に接触された状態に、前記支持体の下側に組み付けられている、請求項1から14のいずれか1項に記載のプローブ装置。
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