KR100745147B1

KR100745147B1 - 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터

Info

Publication number: KR100745147B1
Application number: KR1020060026377A
Authority: KR
Inventors: 송형천
Original assignee: 송형천
Priority date: 2006-03-23
Filing date: 2006-03-23
Publication date: 2007-08-01

Abstract

본 발명은 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터에 관한 것으로, 프로브장치의 베이스 플레이트에 결합되고 일측에 수직절개부가 형성된 지지아암과, 상기 지지아암의 일측에 구비되는 가이드레일과, 상기 가이드레일에 슬라이드이동가능하게 결합되는 슬라이더, 상기 슬라이더의 결합되고 일측에 수평절개부가 형성된 지지블록, 상기 지지블록에 대하여 지지아암을 탄성지지하는 탄성스프링 및, 상기 지지블록의 수직절개부와 지지아암의 수평절개부에 억지끼움되는 끼움부재를 포함하는 구성에 의해, 프로브블록에 장착된 다수개의 프로브들이 모두 동시에 피검사체의 표면에 접촉될 수 있도록 프로브블록의 수평을 간편하게 맞출 수 있게 된다.

프로브, PDP, LCD, 검사, 탐침

Description

평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터{MANIPULATOR IN A DEVICE FOR PROBING A PANEL}

도 1은 종래의 기술에 따른 평판형 피검사체 프로브장치의 일예를 나타낸 사시도,

도 2는 도 1의 결합측면도,

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터를 나타낸 분해사시도,

도 4는 도 3의 지지블록을 나타낸 정면도,

도 5는 도 4의 우측면도,

도 6은 도 4의 배면도,

도 7은 도 3의 지지아암을 나타낸 일측면도,

도 8은 도 7의 평면도,

도 9는 도 3의 결합측면도,

도 10은 도 5의 A-A선을 따라 절개한 측단면도,

도 11은 도 8의 B-B선을 따라 절개한 측단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 지지아암 11 : 수직절개부

11a : 수직절개부면 11b : 수직관통구멍

12 : 아암고정부 13 : 아암변형부

20 : 가이드레일 30 : 슬라이더

40 : 지지블록 41 : 수평절개부

41a : 수평절개부면 41b : 수평관통구멍

42 : 블록고정부 43 : 블록변형부

50 : 탄성스프링 60 : 끼움부재

본 발명은 평판형 피검사체 프로브장치에 관한 것으로, 특히 평판형 피검사체 프로브장치의 프로브블록을 지지하는 매니퓰레이터에 관한 것이다.

일반적으로, 평판형 피검사체 프로브장치는 TFT-LCD, PDP와 같은 평판형 피검사체의 전기적 특성을 검사하는 장비로, 제조공정 중 셀공정의 최종검사단계에서 피검사체의 모든 전극에 일괄 접촉시켜 검사를 실시하게 된다.

종래의 평판형 피검사체 프로브장치의 일예가 등록실용 제0400661호에 개시되어 있다.

도 1과 도 2를 참조하면 평판형 피검사체 프로브장치는, 신호 발생기로부터 피검사체를 테스트하기 위한 소정의 신호를 PCB를 통해 전달받는 포고블록(1) 및 FPC(2)와, 상기 소정의 전기적 신호를 프로브의 입력단에 전달하는 TCP블록(3)과, 피검사체의 전극과 접촉하여 테스트를 위한 전기적신호를 인가하는 프로브의 집합체인 프로브블록(4)과, 상기 프로브블록(4)을 베이스 플레이트에 대하여 지지하는 매니퓰레이터(5)를 포함한다.

상기 프로브블록(4)은 다수개의 프로브가 피검사체의 상부 표면에 모두 동시에 접촉해야 한다. 그러나, 프로브블록(4)의 수평/수직높이가 맞지 않을 경우 일부 프로브가 피검사체의 상부 표면 전극에 접촉하지 못하고 손상되는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터가 가지는 문제점들을 개선하기 위해 창출된 것으로, 프로브블록에 장착된 다수개의 프로브들이 모두 동시에 피검사체의 표면에 접촉될 수 있도록 프로브블록의 수평을 맞출 수 있는 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터를 제공함에 그 목적이 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터는, 상기 베이스 플레이트에 결합되고 일측에 절개부가 형성된 지지아암 및; 상기 지지아암에 대하여 상기 프로브블록을 지지하고, 일측에 절개부가 형성된 지지블록;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 지지아암의 절개부에 의해 형성되는 절개부면과 지지블록의 절개부에 의해 형성되는 절개부면은 서로 평행하지 않게 각각 형성된다.

바람직하게는, 상기 지지아암의 절개부에 의해 형성되는 선회축과 지지블록의 절개부에 의해 형성되는 선회축이 서로 수직하게 형성된다.

바람직하게는, 상기 지지아암의 절개부와 지지블록의 절개부 중 적어도 어느 하나의 내측 선단에 관통구멍이 형성된다.

바람직하게는, 상기 지지블록은 지지아암에 탄성적으로 슬라이드이동가능하게 결합된다.

바람직하게는, 본 발명은 상기 지지블록의 절개부와 지지아암의 절개부 중 적어도 어느 하나에 억지끼움되는 끼움부재;를 더 포함한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

도 3 내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터는, 프로브장치의 베이스 플레이트에 결합되고 일측에 수직절개부(11)가 형성된 지지아암(10)과, 상기 지지아암(10)의 일측에 구비되는 가이드레일(20)과, 상기 가이드레일(20)에 슬라이드이동가능하게 결합되는 슬라이더(30), 상기 슬라이더(30)의 결합되고 일측에 수평절개부(41)가 형성된 지지블록(40), 상기 지지블록(40)에 대하여 지지아암(10)을 탄성지지하는 탄성스프링(50) 및, 상기 지지블록(40)의 수직절개부(11)와 지지아암(10)의 수평절개부(41)에 억지끼움되는 끼움부재(60)를 포함한다.

상기 지지아암(10)은 베이스 플레이트에 탈착가능하게 나사결합되고, 상기 지지블록(40)을 탄성적으로 슬라이드가능하게 지지한다.

상기 지지아암(10)의 일측에는 수직절개부(11)가 형성되고, 그 수직절개부(11)의 내측 선단에는 수직관통구멍(11b)이 형성되어 있다.

상기 지지아암(10)은 수직절개부(11)를 중심으로 아암고정부(12)와 아암변형부(13)로 구분할 수 있다. 상기 아암고정부(12)는 수직절개부(11)에서 베이스 플레이트쪽에 결합되는 부분이고, 상기 아암변형부(13)는 수직절개부(11)에 의해 아암고정부(12)에 탄성변형가능하게 지지된다.

상기 수직절개부(11)는 지지아암(10)의 폭방향으로 형성되어 1쌍의 서로 마주보는 수직절개부면(11a)을 형성하게 되고, 그 수직절개부면(11a)은 사각형상을 이루고 있다.

상기 수직절개부(11)는 수직절개부면(11a)을 중심으로 볼때 아래쪽을 제외한 나머지 3방향이 모두 개방되어 형성된다. 또한, 상기 수직절개부면(11a)의 아래쪽 모서리에는 수직관통구멍(11b)이 그 모서리의 길이방향을 따라 형성되어 있다.

따라서, 상기 아암변형부(13)가 아암고정부(12)에 대하여 변형할 때 상기 수직관통구멍(11b)이 선회축의 역할을 하고, 그로 인해 상기 아암변형부(13)는 아암고정부(12)에 대하여 선회하면서 변형가능하게 된다.

상기 수직관통구멍(11b)은 그 내측벽이 원통을 형성함으로써 수직절개부(11) 의 내측 선단 주위에 전단응력이 집중되지 않고 분산시킨다. 따라서, 상기 아암고정부(12)가 아암변형부(13)에 대하여 선회하면서 변형될 때 수직관통구멍(11b)에서부터 파단이 시작되는 것을 방지할 수 있게 된다.

상기 지지아암(10)의 일측에는 가이드레일(20)이 고정되어 결합되고, 그 가이드레일(20)에 슬라이더(30)가 슬라이드이동가능하게 결합된다.

상기 슬라이더(30)에는 지지블록(40)이 고정되어 결합된다. 상기 지지블록(40)은 탄성스프링(50)에 의해 아암변형부(13)의 일측에 탄성지지된다.

따라서, 상기 지지블록(40)은 슬라이더(30)에 의해 가이드레일(20)을 따라 슬라이드이동하면서 상기 탄성스프링(50)에 의해 원래의 위치로 복원되는 운동을 하게 된다.

상기 지지블록(40)의 일측에는 수평절개부(41)가 형성되고, 그 수평절개부(41)의 내측 선단에는 수평관통구멍(41b)이 형성되어 있다.

상기 지지블록(40)은 수평절개부(41)를 중심으로 블록고정부(42)와 블록변형부(43)로 구분할 수 있다. 상기 블록고정부(42)는 수평절개부(41)에서 상기 탄성스프링(50)과 슬라이더(30)에 결합되는 부분이고, 상기 블록변형부(43)는 수평절개부(41)에 의해 블록고정부(42)에 탄성변형가능하게 지지된다.

상기 수평절개부(41)는 지지블록(40)의 폭방향으로 형성되어 1쌍의 서로 마주보는 수평절개부면(41a)을 형성하게 되고, 그 수평절개부면(41a)은 사각형상을 이루고 있다.

상기 수평절개부(41)는 수평절개부면(41a)을 중심으로 볼때 4개의 모서리 중 일측을 제외한 나머지 3방향이 모두 개방되어 형성된다. 또한, 그 수평절개부면(41a)의 일측 모서리에는 수평관통구멍(41b)이 그 모서리의 길이방향을 따라 형성되어 있다.

따라서, 상기 블록변형부(43)가 블록고정부(42)에 대하여 변형할 때 상기 수평관통구멍(41b)이 선회축의 역할을 하고, 그로 인해 상기 블록변형부(43)는 블록고정부(42)에 대하여 선회하면서 변형가능하게 된다.

상기 수평관통구멍(41b)은 그 내측벽이 원통을 형성함으로써 수평절개부(41)의 내측 선단 주위에 전단응력이 집중되지 않고 분산시킨다. 따라서, 상기 블록고정부(42)가 블록변형부(43)에 대하여 선회하면서 변형될 때 수평관통구멍(41b)에서부터 파단이 시작되는 것을 방지할 수 있게 된다.

여기서, 상기 지지아암(10)의 수직절개부(11)에 의해 형성되는 수직절개부면(11a)과 상기 지지블록(40)의 수평절개부(41)에 의해 형성되는 수평절개부면(41a)은 서로 수직하게 형성된다.

즉, 상기 지지아암(10)의 수직절개부(11)에 의해 형성되는 선회축과 상기 지지블록(40)의 수평절개부(41)에 의해 형성되는 선회축이 서로 수직하게 형성된다. 다시말하면, 상기 아암변형부(13)의 선회방향과 상기 블록변형부(43)의 선회방향이 서로 수직을 이루게 된다.

따라서, 피검사체의 상부 평면에 대하여 프로브블록(4)의 수직/수평을 조절할 수 있게 된다. 상기 아암변형부(13)는 수직높이를 조절할 수 있게 하고, 상기 블록변형부(43)는 수평을 조절할 수 있게 한다.

상기 끼움부재(60)는 판형 쐐기 형상으로 형성되어 상기 지지블록(40)의 수직절개부(11)와 지지아암(10)의 수평절개부(41)에 억지끼움된다.

상기 수직절개부(11)에 끼움부재(60)를 억지끼움하게 되면, 상기 아암변형부(13)가 아암고정부(12)에 대하여 선회하면서 변형하게 되어 프로브블록(4)의 수직높이를 맞추게 된다.

또한, 상기 수평절개부(41)에 끼움부재(60)를 억지끼움하게 되면, 상기 블록변형부(43)가 블록고정부(42)에 대하여 선회하면서 변형하게 되어 프로브블록(4)의 수평을 맞추게 된다.

상기 끼움부재(60)는 쐐기 형상으로 테이퍼져 있으므로 삽입깊이에 따라 아암변형부(13)와 블록변형부(43)의 선회각이 달라지게 된다.

도 10과 도 11을 참조하여 끼움부재의 변형예를 설명한다.

본 변형예의 끼움부재(60')는 적어도 1개 이상이 상기 수직절개부(11)나 수평절개부(41)에 끼워질 수 있도록 다양한 두께로 구비된 필러게이지이다.

즉, 상기 수직절개부(11)나 수평절개부(41)에는 그 틈새의 두께에 해당하는 끼움부재(60')가 끼워질 수 있고, 그 보다 얇거나 두꺼운 끼움부재(60')가 끼워질 수 있으며, 이러한 다양한 두께로 된 끼움부재(60')가 복수개 끼워질 수도 있다. 따라서, 상기 수직절개부(11)나 수평절개부(41)의 틈새 보다 얇은 박판으로 된 끼움부재(60')를 복수개 적층하여 끼움으로써 미세한 두께조절이 가능하게 된다.

상기 끼움부재(60')를 적어도 1개 이상 상기 수직절개부(11)에 끼운 상태에서, 상기 아암변형부(13)와 아암고정부(12)를 피스(볼트나 나사)로 조임으로써 아 암고정부(12)에 대한 아암변형부(13)의 변형정도를 조절할 수 있게 된다.

예를 들면, 상기 수직절개부(11)에는 그 틈새에 맞는 두께의 끼움부재(60')가 끼워진 상태에서 아암변형부(13)와 아암고정부(12)가 볼트에 의해 조여지면 상기 수직절개부(11)의 틈새는 그대로 유지된다.

또한, 상기 수직절개부(11)에 그 틈새 보다 얇은 끼움부재(60')를 끼운 상태에서 볼트조임하게 되면 수직절개부(11)의 틈새가 좁아지면서 아암변형부(13)가 선회하여 변형하게 된다.

한편, 상기 끼부재(60')의 삽입위치와 볼트의 조임위치에 따라 아암변형부(13)의 선회방향이 달라질 수 있다.

즉, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 끼움부재(60')의 삽입위치가 볼트의 조임위치를 중심으로 수직관통구멍(11b)쪽에 위치할 때에는 끼움부재(60')를 적게 끼울수록 수직절개부(11)가 더 벌어지게 된다. 반대로, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 끼움부재(60')의 삽입위치가 볼트의 조임위치를 중심으로 수평절개부(41)의 개방선단쪽에 위치할 때에는 끼움부재(60')를 많이 끼울수록 수평절개부(41)가 더 벌어지게 되는 것이다.

상기 수직절개부(11)와 수평절개부(41)에 상기 끼움부재(60')가 끼워져 작동하는 원리는 동일하다.

상기한 본 발명의 상세한 설명은 첨부된 도면에 따른 바람직한 실시예를 설명한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위는 이에 한정되는 것이 아니다. 본 발명의 기술적 사상을 벗어남이 없이 다양한 형태로 변형된 것은 본 발명의 범위에 포 함된다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터에 의하면, 프로브블록에 장착된 다수개의 프로브들이 모두 동시에 피검사체의 표면에 접촉될 수 있도록 프로브블록의 수평을 간편하게 맞출 수 있고, 피검사체의 표면과 프로브의 부분접촉으로 인한 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims

평판형 피검사체 프로브장치의 베이스 플레이트에 대하여 프로브블록을 지지하는 매니퓰레이터에 있어서,

상기 베이스 플레이트에 결합되는 지지아암 및;

상기 지지아암에 대하여 상기 프로브블록을 지지하고, 일측에 절개부가 형성된 지지블록;을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터.
평판형 피검사체 프로브장치의 베이스 플레이트에 대하여 프로브블록을 지지하는 매니퓰레이터에 있어서,

상기 베이스 플레이트에 결합되고, 일측에 절개부가 형성된 지지아암 및;

상기 지지아암에 대하여 상기 프로브블록을 지지하는 지지블록;을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터.
제1항에 있어서,

상기 지지아암의 일측에 절개부가 형성된 것을 특징으로 하는 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터.
제3항에 있어서,

상기 지지아암의 절개부에 의해 형성되는 절개부면과 지지블록의 절개부에 의해 형성되는 절개부면은 서로 평행하지 않게 각각 형성된 것을 특징으로 하는 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터.
제3항에 있어서,

상기 지지아암의 절개부에 의해 형성되는 선회축과 지지블록의 절개부에 의해 형성되는 선회축이 서로 수직하게 형성된 것을 특징으로 하는 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터.
제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서,

상기 지지아암의 절개부와 지지블록의 절개부 중 적어도 어느 하나의 내측 선단에 관통구멍이 형성된 것을 특징으로 하는 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터.
제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서,

상기 지지블록은 지지아암에 탄성적으로 슬라이드이동가능하게 결합된 것을 특징으로 하는 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터.
제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서,

상기 지지블록의 절개부와 지지아암의 절개부 중 적어도 어느 하나에 삽입되는 끼움부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터.
제8항에 있어서, 상기 끼움부재가 절개부에 삽입된 상태에서 그 절개부의 틈새가 피스조임에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터.