KR100822023B1

KR100822023B1 - 패널 지지기구 및 검사 장치

Info

Publication number: KR100822023B1
Application number: KR1020070063273A
Authority: KR
Inventors: 신지 후지와라; 카즈노리 니노미야
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2006-08-21
Filing date: 2007-06-26
Publication date: 2008-04-15
Also published as: KR20080017246A; JP2008046085A; JP4917852B2; TW200813452A; TWI328686B

Abstract

본 발명에 따른 패널 지지기구 및 검사장치는, 패널 지지기구 상의 패널을 정확하고 용이하게 지지하기 위한 것이다. 본 발명은, 검사대상판의 전극과 접촉자를 서로 접촉시키기 위해, 상기 검사대상판을 정확하게 위치결정하여 지지하는 패널 지지기구 및 검사장치로서, 상기 패널 지지기구의 가동 베이스에 스토퍼 핀 등을 지지한 상태로 상기 가동 베이스에 장착되는 위치결정기구를 구비한다. 상기 위치결정기구는, 스토퍼 핀 등을 지지하는 기판과, 상기 패널의 가장자리부에 접촉하는 상기 스토퍼 핀 등을 지지한 상기 기판을 상기 패널의 가장자리부와 평행한 방향으로 이동 가능하게 하는 한편 상기 가장자리부에 직교하는 방향으로는 설정 위치에 고정하여 지지하는 위치규제 플레이트와, 상기 위치규제 플레이트에 평행하게 설치되어, 상기 위치규제 플레이트에 지지된 상기 기판을 상기 패널의 가장자리부에 평행한 방향으로 위치결정하여 지지하는 위치결정 플레이트를 구비한다.

패널 지지기구, 검사장치, 가동 베이스, 위치결정기구, 스토퍼 핀

Description

패널 지지기구 및 검사 장치{Panel Supporting Mechanism And Inspection Apparatus}

도1은 본 발명의 실시형태에 따른 패널 지지기구를 나타내는 사시도이다.

도2는 본 발명의 실시형태에 따른 패널 지지기구를 나타내는 부분 단면 사시도이다.

도3은 본 발명의 실시형태에 따른 패널 지지기구의 가동 베이스의 동작을 나타내는 평면도이다.

도4는 본 발명의 실시형태에 따른 패널 지지기구의 가동 베이스의 동작을 나타내는 평면도이다.

도5는 본 발명의 실시형태에 따른 패널 지지기구의 위치결정기구를 나타내는 사시도이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *

1: 패널 지지기구 2: 액정 패널

3: 고정 베이스 4: 가동 베이스

5: 스토퍼 핀 6: 패널 클램프

7: 위치결정기구 9, 10: 개구(開口)

12: 패널받이 14: 결합 장치

16: 제1 레일 17: 제1 가이드

18: 지지판 19: 제2 레일

20: 제2 가이드 21: 구동부

23: 볼나사 24: 구동 모터

25: 너트 26: 제3 레일

27: 제3 가이드 31: 기판

32: 위치규제 플레이트 33: 위치결정 플레이트

35: 긴 구멍 36: 원형 구멍

37, 38: 나사 40, 42: 나사 구멍

41: 패널 클램프 유닛 43: 핀 구멍

44: 끼움 핀

본 발명은 액정 표시 패널과 같은 검사대상판을 클램프(clamp)하여 검사하는 패널 지지(支持)기구 및 검사 장치에 관한 것이다.

액정 표시 패널과 같은 검사대상판을 검사하는 장치의 하나로서, 표시용 패 널을 수용하여 이동시키는 검사 스테이지에 복수의 접촉자 유닛(즉, 프로브 유닛)이 장착된 것이 일본국 공개특허 제2002-350485호 공보에 개시되어 있다.

복수의 접촉자 유닛은, 전체에 걸쳐, 표시용 패널의 통전 회로에 접속하기 위한 전기적 접속 장치로서 작용한다. 각각의 접촉자 유닛은, 표시용 패널의 전극에 접촉되는 복수의 프로브 즉 접촉자를 구비한 접촉자 블록을 지지블록에 지지시킨다. 또한, 표시용 패널을 지지하여 이동시키는 검사 스테이지의 지지블록에 장착된다.

검사 스테이지에서는, 패널을 패널받이부에 수용하는 척 탑(chuck top)과 같은 패널받이가 스테이지 본체의 상부에 설치된다. 접촉자 유닛은 패널받이에 장착된다. 검사 스테이지에서는, 패널받이가 스테이지 본체에 의해 적어도 3차원적으로 이동된다.

그러나 상기 종래의 검사장치는, 패널받이의 패널받이부의 크기가 변하지 않으므로, 검사 가능한 표시용 패널의 크기가 패널받이 및 접촉자 유닛에 따라 결정되며, 따라서 크기가 다른 패널의 검사에 적용할 수 없다.

상기의 결과, 종래의 검사장치에서는, 패널받이를 검사 스테이지에 설치하는 것과 더불어, 크기가 다른 표시용 패널의 검사 시에는, 접촉자 유닛 및 검사 스테이지를 모두 교체해야만 하며, 그 작업이 복잡하다.

본 출원인은 상기와 같은 문제점을 감안하여, 본 발명에 앞서 일본국 공개특허 제2006-119031호 공보에 기재된 발명을 제안한 바 있다. 상기 발명에 의하면, 가동(可動) 베이스를 가동식으로 하여, 패널 크기의 차이에 따라 개구의 크기를 조 정함과 동시에 접촉자 유닛의 위치를 조정함으로써, 접촉자 유닛이나 검사 스테이지를 교체하지 않고 대응할 수 있다.

그런데, 검사 대상 패널은, 검사 스테이지 상의 정확한 위치에 지지되어, 검사가 수행된다. 이 때, 검사 스테이지 상의 정확한 위치에 패널을 지지하기 위해, 이동 가능하게 배치시킨 스토퍼 핀(stopper pin)이나 푸셔(pusher)로 패널을 지지한다.

이 때, 상기 스토퍼 핀이나 푸셔는 그 위치가 변경 가능하게 배치되어, 패널에 대하여 가장 알맞은 위치에 설치될 수 있다.

그러나 이러한 조정은 상기 스토퍼 핀이나 푸셔를 수동으로 이동시켜 수행되므로, 패널에 대하여 최적의 위치에 정확하게 조정하기가 어렵다. 이에 따라, 패널이 약간 어긋나는 경우가 있다. 그리고 높은 정확성이 요구되는 검사장치에서는, 패널의 약간의 오차도 문제가 될 수 있다.

본 발명은 상술한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 검사 스테이지 상의 패널을 정확하고 용이하게 지지할 수 있도록 하는데 있다.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다. 이하 본 발명의 내용을 상세히 설명한다.

발명의 요약

본 발명은, 검사대상판의 전극과 접촉자를 서로 접촉시키기 위해, 상기 검사대상판을 정확하게 위치결정하여 지지하는 패널 지지기구로서, 장치 본체 측에 장착되는 고정 베이스와, 상기 고정 베이스 상에 4 개가 조합되어 직사각형 형상을 이루면서 상기 검사대상판의 치수에 맞춰 이동가능하게 배치된 가동 베이스와, 상기 각각의 가동 베이스 중 어딘가에 설치되며 상기 검사대상판의 가장자리부에 접촉하여 상기 검사대상판을 위치결정하는 스토퍼 핀과, 상기 스토퍼 핀과 마주보는 위치에 상기 검사대상판을 끼우도록 설치되어 상기 스토퍼 핀과 더불어 상기 검사대상판을 끼워 유지하는 패널 클램프와, 상기 스토퍼 핀 또는 패널 클램프를 지지한 상태로 상기 가동 베이스에 장착되는 위치결정기구를 구비하여 구성된다. 또한, 상기 위치결정기구는, 상기 스토퍼 핀 또는 패널 클램프를 지지하는 기판과, 상기 검사대상판의 가장자리부에 접촉하는 상기 스토퍼 핀 또는 패널 클램프를 지지한 상기 기판을 상기 검사대상판의 가장자리부에 평행한 방향으로 이동가능하게 하는 한편 상기 가장자리부에 직교하는 방향으로는 설정 위치에 고정하여 지지하는 위치규제 플레이트와, 상기 위치규제 플레이트에 평행하게 설치되어, 상기 위치규제 플레이트에 지지된 상기 기판을 상기 검사대상판의 가장자리부에 평행한 방향으로 위치결정하여 지지하는 위치결정 플레이트를 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 위치규제 플레이트로, 상기 스토퍼 핀 또는 패널 클램프를 지지한 상기 기판을, 상기 검사대상판의 가장자리부에 평행한 방향으로는 이동가능하게 하는 한편 상기 가장자리부에 직교하는 방향으로는 설정 위치에 고정하여 지지함으로써, 검사대상판을 지지하는 위치를 변경하지 않고, 상기 스토퍼 핀 또는 패널 클램프를 이동시킬 수 있다. 또한, 위치결정 플레이트로, 상기 위치규제 플레이트에 지지된 상기 기판을 상기 검사대상판의 가장자리부에 평행한 방향으로 위치결정하여 지지한다.

발명의 구체예에 대한 상세한 설명

이하, 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다. 본 실시형태에 따른 검사장치는, 패널 지지기구에 의해 정확한 위치에 지지된 검사대상판에 점등 검사 등의 통전 시험을 수행하기 위한 장치이다. 검사대상판은 직사각형 형상의 판형 부재이다. 여기서는, 그 일례로서, 액정 패널을 예로 들어 설명한다. 본 발명은 액정 패널을 지지하는 검사 스테이지와, 상기 검사 스테이지에 지지된 액정 패널의 전극에 접촉하는 접촉자 등을 구비한 검사 장치 모두에 적용할 수 있다. 검사 스테이지는, 지지대를 X, Y 및 Z의 세 방향으로 변위시킴과 동시에, Z방향으로 연장되는 θ축선의 주위로 회전시키는 기구를 구비한 스테이지 본체와, 상기 지지대에 지지되어 액정 패널을 배면에서 비추는 백라이트와, 상기 백라이트의 상부에 설치되어 본 실시형태에 따른 패널 지지기구를 지지하는 수용 베이스 등을 구비하여 구성된다. 접촉자는 패널 지지기구에 장착되거나, 패널 지지기구 위쪽의 장치 본체 측에 설치된다.

본 발명의 특징은, 이러한 검사 장치에서, 상기 검사 스테이지의 상부에 장착되는 패널 지지기구의 위치결정기구를 개량한 점에 있다. 이러한 이유로, 하기에서는, 패널 지지기구를 중심으로 설명한다. 도1은 본 발명에 따른 패널 지지기구를 나타내는 사시도, 도2는 본 발명에 따른 패널 지지기구를 나타내는 부분 단면 사시도, 도3은 본 발명에 따른 패널 지지기구의 가동 베이스의 동작을 나타내는 평면도, 도4는 본 발명에 따른 패널 지지기구의 가동 베이스의 동작을 나타내는 평면도, 도5는 본 발명에 따른 패널 지지기구의 위치결정기구를 나타내는 사시도이다.

패널 지지기구(1)는, 액정 패널(2)의 전극과 접촉자(프로브)를 서로 접촉시키기 위해, 액정 패널(2)을 정확하게 위치결정하여 지지하기 위한 기구이다. 도1, 2에 나타낸 바와 같이, 주로 패널 지지기구(1)는 장치 본체 측의 상기 검사 스테이지에 장착되는 고정 베이스(3)와, 상기 고정 베이스(3) 상에 4 개가 조합되어 직사각형 형상을 이루면서 액정 패널(2)의 치수에 맞춰 이동 가능하게 배치된 가동 베이스(4)와, 각각의 가동 베이스(4) 중 서로 이웃하는 2 개에 설치되며 액정 패널(2)의 가장자리부에 접촉하여 상기 액정 패널(2)을 위치결정하는 스토퍼 핀(5)과, 상기 스토퍼 핀(5)과 마주보는 위치에 액정 패널(2)을 끼우도록 설치되어 스토퍼 핀(5)과 더불어 액정 패널(2)을 끼워 유지하는 패널 클램프(6)와, 상기 스토퍼 핀(5) 및 패널 클램프(6)를 각각 지지한 상태로 각각의 가동 베이스(4)에 위치결정하여 장착되는 위치결정기구(7)를 구비하여 구성된다.

고정 베이스(3)는 전체적으로 직사각형 형상으로 형성된다. 고정 베이스(3)의 중앙에는, 검사 스테이지에 형성된 개구와 닮은꼴인 직사각형 개구(9)가 형성된다. 고정 베이스(3)는, 복수의 나사 부재(도시 생략)에 의해 검사 스테이지 측에 장착된다. 개구(9)는 고정 베이스(3)의 두께 방향으로 관통하고 있다.

각각의 가동 베이스(4)는 전체적인 형상이 긴 판형으로 형성된다. 가동 베이 스(4)의 전체 길이는, 대응되는 개구(9)의 가장자리 길이 이상으로 설정된다. 4 개의 가동 베이스(4)가 조합되어 개구(10)가 형성된다. 즉, 1 개의 가동 베이스(4)의 길이 방향의 일단면(一端面)이 상대측 가동 베이스(4)의 측면에 접촉하여, 사각형 개구(10)를 형성한다. 또한, 각각의 가동 베이스(4)는 그 길이 방향의 일단면과 상대측 측면 사이에서, 상대측 측면을 따라 슬라이드 가능하게 지지된다. 이에 따라, 도3에 도시된 바와 같은 소형 액정 패널(2)에 대응하는 소형 개구(10)에서, 도4에 도시된 바와 같은 대형 액정 패널(2)에 대응하는 대형 개구(10)에 이르기까지, 그 크기를 임의대로 조정할 수 있게 된다.

도1, 2에 나타낸 바와 같이, 각각의 가동 베이스(4)에는, 서로 조합됨으로써 액정 패널(2)을 고정 베이스(3)와 평행하게 수용하는 패널받이(12)가 형성된다. 가동 베이스(4)는 두꺼운 평판 형상으로 형성되며, 그 평판의 안쪽 끝에는 세워진 판형상의 패널받이(12)가 형성된다. 이에 따라, 가동 베이스(4)와 패널받이(12)는, 그 단면 형상이 L자형으로 형성된다. 4 개의 가동 베이스(4)가 서로 조합됨으로써, 도3, 4에 도시된 바와 같이, 4 개의 패널받이(12)에 의해 액정 패널(2)을 지지하는 개구(10)가 형성된다.

도1, 2에 나타낸 바와 같이, 각각의 가동 베이스(4)는 각각의 결합 장치(14)에 의해 고정 베이스(3)에 결합된다. 결합 장치(14)는, 가동 베이스(4)를, 고정 베이스(3)와 평행한 면내(面內)에서 2차원적으로 이동가능하도록 지지한다.

상기 결합 장치(14)는, 각 가동 베이스(4)의 길이 방향과 직교하는 방향(제1 방향)으로 연장되도록 고정 베이스(3)의 상부 면에 장착된 제1 레일(16)과, 상기 제1 레일(16)에 이동가능하게 결합된 제1 가이드(17)와, 상기 제1 가이드(17)의 상부에 일체로 장착된 지지판(18)과, 가동 베이스(4)의 길이 방향(제2 방향)을 따라 가동 베이스(4)의 바닥 면에 일체로 장착된 제2 레일(19)과, 상기 제2 레일(19)에 이동가능하게 결합됨과 동시에 상기 지지판(18)에 일체로 장착된 2 개의 제2 가이드(20)와, 고정 베이스(3)의 상부 면에 장착된 상태로 상기 지지판(18)에 연결되어 상기 지지판(18) 및 그 상부 측 구조물을 제1 레일(16)을 따라 제1 방향으로 이동시키는 구동부(21)를 구비하여 구성된다.

구동부(21)는, 제1 레일(16)을 따라 회전 가능하게 설치된 볼나사(23)와, 상기 볼나사(23)를 회전 구동하는 구동 모터(24)와, 볼나사(23)에 결합된 상태로 지지판(18)에 고정되어 볼나사(23)의 회전에 의해 제1 레일(16)을 따라 지지판(18)을 이동시키는 너트(25)로 구성된다.

또한, 제3 레일(26)은, 상기 제2 레일(19)과 평행하게 가동 베이스(4)의 바닥 면에 일체로 장착된다. 상기 제3 레일(26)에는 제3 가이드(27)(도2 참조)가 이동가능하게 결합된다. 그리고 상기 제3 가이드(27)는 가동 베이스(4)의 한쪽 끝에 일체로 장착된다. 이에 따라, 각각의 가동 베이스(4)는 그 길이 방향의 일단면과 직교하는 상대측 가동 베이스(4)의 측면 사이에서, 상대측의 측면을 따라 이동가능하게 지지된다. 그리고 4 개의 가동 베이스(4) 전부가 이러한 구조로 서로 결합된다. 그 결과, 4 개의 가동 베이스(4)에 의해 형성되는 개구(10)는, 도3에 나타낸 바와 같이 소형 액정 패널(2)에 대응하는 소형 개구(10)에서, 도4에 나타낸 바와 같이 대형 액정 패널(2)에 대응하는 대형 개구(10)에 이르기까지, 그 크기를 임의 대로 조정할 수 있다. 구체적으로는, 4 개의 구동부(21)를 동시에 작동시켜, 4 개의 가동 베이스(4)를 동시에 이동시킴으로써, 개구(10)의 크기를 임의대로 조정할 수 있게 된다.

위치결정기구(7)는, 상기 스토퍼 핀(5)과 패널 클램프(6)를 각각 지지한 상태로 각각의 가동 베이스(4)에 위치결정하여 장착되는데, 스토퍼 핀(5)을 지지하는 위치결정기구(7)나 패널 클램프(6)를 지지하는 위치결정기구(7) 모두 동일한 구성을 가지기 때문에, 여기서는 패널 클램프(6)를 지지하는 위치결정기구(7)를 도5에 기초하여 설명한다.

위치결정기구(7)는, 기판(31)과, 위치규제 플레이트(32)와, 위치결정 플레이트(33)로 구성된다.

기판(31)은, 상기 패널 클램프(6)를 지지하기 위한 판형 부재이다. 기판(31)은 사각형 평판 형상으로 형성된다. 패널 클램프(6)는 기판(31)의 한 변을 따라 장착된다. 기판(31)에는 긴 구멍(35)과 원형 구멍(36)이 형성된다.

긴 구멍(35)은, 상기 액정 패널(2)의 가장자리부에 평행한 방향을 따라 길게 형성된다. 또한, 긴 구멍(35)은 액정 패널(2)의 가장자리부에 평행한 방향을 따라 2 개가 나란히 형성된다. 각각의 긴 구멍(35)은, 기판(31)을 위치규제 플레이트(32)에 고정하는 나사(37)를 관통시키기 위한 구멍이다. 긴 구멍(35)은, 상기 긴 구멍(35)으로 관통된 나사(37)가 긴 구멍(35) 내에서 이동 가능함에 따라, 후술하는 위치규제 플레이트(32)의 나사 구멍(40)에 결합된 나사(37)에 대하여, 기판(31)을 상기 액정 패널(2)의 가장자리부에 평행한 방향으로 다소 이동시킬 수 있다.

원형 구멍(36)은, 기판(31)을 위치결정 플레이트(33)에 고정하는 나사(38)를 관통시켜 액정 패널(2)의 가장자리부에 평행한 방향으로 위치결정하기 위한 구멍이다. 원형 구멍(36)은, 나사(38)의 크기에 맞추어 형성되어, 나사(38)와의 사이에서 흔들거리지 않도록, 그 내측 지름이 설정된다.

아울러, 패널 클램프 유닛(41)은 기판(31)과 패널 클램프(6)로 구성된다.

위치규제 플레이트(32)는, 상기 액정 패널(2)의 가장자리부에 접촉하는 패널 클램프(6)를 지지한 상기 기판(31)을, 상기 액정 패널(2)의 가장자리부에 평행한 방향으로 이동 가능하게 하는 한편 상기 가장자리부에 직교하는 방향으로는 설정 위치에 고정하여 지지하기 위한 플레이트이다. 구체적으로는, 위치규제 플레이트(32)는 가늘고 긴 판형 부재로 구성되며, 가동 베이스(4)의 패널받이(12)를 따라 고정된다. 가늘고 긴 판 형상의 위치규제 플레이트(32)에는, 나사 구멍(40)이 상기 액정 패널(2)의 가장자리부에 평행한 방향을 따라, 그 전체 길이에 걸쳐 일렬로 다수 형성된다. 각각의 나사 구멍(40)은, 긴 구멍(35)의 길이와 대략 동일한 간격으로 설정된다. 이에 따라, 어느 나사 구멍(40)에 나사(37)가 결합된 상태에서 기판(31)이 긴 구멍(35)을 따라 이동할 수 있는 범위와, 이웃하는 나사 구멍(40)에 나사(37)가 결합된 상태에서 기판(31)이 긴 구멍(35)을 따라 이동할 수 있는 범위가 서로 겹쳐지므로, 위치규제 플레이트(32)의 전체 길이의 모든 위치에서 기판(31)을 고정할 수 있게 된다.

위치결정 플레이트(33)는, 위치규제 플레이트(32)에 평행하게 설치되어, 위치규제 플레이트(32)에 지지된 상기 기판(31)을 상기 액정 패널(2)의 가장자리부에 평행한 방향으로 위치결정하여 지지하기 위한 플레이트이다. 위치결정 플레이트(33)는 가늘고 긴 판형 부재로 구성된다. 위치결정 플레이트(33)에는, 기판(31)의 원형 구멍(36)으로 관통된 나사(38)가 결합되는 나사 구멍(42)이 기판(31)의 설치 위치에 맞추어 1 개 또는 복수개 형성된다. 여기서는, 액정 패널(2)의 짧은 변 측에 맞추어 1 개의 나사 구멍(42)이 위치결정 플레이트(33)에 형성되어 있다.

위치결정 플레이트(33)의 양 끝에는, 끼워맞춤부로서 핀 구멍(43)이 형성된다. 가동 베이스(4) 측에는, 핀 구멍(43)에 대응하는 위치에, 상기 끼워맞춤부에 끼워 맞춰지는 피끼워맞춤부로서 2 개의 끼움 핀(44)이 설치된다. 이들 핀 구멍(43) 및 끼움 핀(44)은, 위치결정 플레이트(33)의 나사 구멍(42)이 설치 위치에 정확히 맞춰지도록 위치결정 된다. 이에 따라, 기판(31) 상의 패널 클램프(6)가 정확한 위치에 위치결정 된다.

위치결정 플레이트(33)로는, 설정이 다른 여러 종류의 플레이트가 준비된다. 구체적으로는, 액정 패널(2)의 치수에 따라 설정된 패널 클램프(6)의 설치 수에 대응하는 개수의 나사 구멍(42)이 형성된 여러 종류의 플레이트가 준비된다. 이들 위치결정 플레이트(33)는, 핀 구멍(43) 및 끼움 핀(44)에 의해 용이하게 교체된다. 위치결정 플레이트(33)의 길이는, 각각의 구동 베이스(4)에 따라 다르게 해도 좋고, 모두 동일하게 해도 좋다.

또한, 스토퍼 핀(5)을 지지하는 위치결정기구(7)도 상기와 동일하게 구성된다.

상술한 바와 같이 구성된 패널 지지기구(1)는 다음과 같이 작용한다. 또한, 검사 장치 전체의 작용은 종래의 검사 장치와 동일하기 때문에, 여기서는 패널 지지기구(1)의 작용을 중심으로 설명한다.

우선, 액정 패널(2)의 치수에 맞추어 패널 지지기구(1)의 가동 베이스(4)를 조정한다. 구체적으로는, 구동부(21)의 구동 모터(24)로 볼나사(23)를 회전시켜, 너트(25)를 이동시킨다. 이에 따라, 지지판(18)에 고정된 제2 가이드(20)가 제2 레일(19)을 통해 가동 베이스(4)를 이동시킨다. 이 동작이 4 개의 구동부(21)에서 동시에 일어나, 4 개의 가동 베이스(4)를 서로 이동시킨다. 이에 따라, 도3에 나타낸 바와 같이, 각 가동 베이스(4)의 패널받이(12)로 액정 패널(2)을 그 하부로부터 지지하고, 스토퍼 핀(5)과 패널 클램프(6)로 액정 패널(2)을 위치결정하여 지지한다.

치수가 다른 액정 패널(2)의 경우는, 가동 베이스(4)를 이동시켜 다시 조정한다. 이러한 경우에는, 구동부(21)의 구동 모터(24)로 볼나사(23)를 회전시켜, 너트(25), 지지판(18), 제2 가이드(20), 제2 레일(19)을 통해 가동 베이스(4)를 이동시킨다. 이 동작이 4 개의 구동부(21)에서 동시에 일어나, 4 개의 가동 베이스(4)를 서로 이동시키고, 예를 들어 도4에 나타낸 바와 같이, 대형 액정 패널(2)에 맞춘다.

이 때, 스토퍼 핀(5)과 패널 클램프(6)는, 액정 패널(2)에 맞지 않게 되므로, 위치결정기구(7)로 다시 조정한다. 이러한 경우에는, 우선 나사(37)와 나사(38)를 풀어서, 기판(31)을 떼어 낸다. 다음으로, 위치결정 플레이트(33)를 액정 패널(2)에 대응하는 것으로 교체한다.

이어서, 나사(37)를 긴 구멍(35)으로 관통시켜 위치규제 플레이트(32)의 나 사 구멍(40)에 나사결합하여, 기판(31)의 대략적인 위치를 결정한다. 다음으로, 기판(31)을 긴 구멍(35)의 범위 내에서 이동시켜 원형 구멍(36)과 나사 구멍(42)을 정확히 맞추고, 나사(38)를 원형 구멍(36)으로 관통시켜, 나사 구멍(42)에 나사결합 한다. 다음으로, 나사(37)와 나사(38)를 조여서 기판(31)을 고정한다.

이러한 동작을 스토퍼 핀(5)과 패널 클램프(6) 전부에 수행하고, 스토퍼 핀(5)과 패널 클램프(6)를 액정 패널(2)에 대하여 가장 알맞은 위치에 맞춘다.

상술한 바와 같이, 위치결정기구(7)는, 스토퍼 핀(5) 또는 패널 클램프(6)를 지지하는 기판(31)과, 상기 액정 패널(2)의 가장자리부에 접촉하는 스토퍼 핀(5) 또는 패널 클램프(6)를 지지한 상기 기판(31)을 상기 액정 패널(2)의 가장자리부에 평행한 방향으로 이동가능하게 하는 한편 상기 가장자리부에 직교하는 방향으로는 설정 위치에 고정하여 지지하는 위치규제 플레이트(32)와, 상기 위치규제 플레이트(32)에 평행하게 설치되어, 위치규제 플레이트(32)에 지지된 상기 기판(31)을 상기 액정 패널(2)의 가장자리부에 평행한 방향으로 위치결정하여 지지하는 위치결정 플레이트(33)를 구비하여 구성된다. 또한, 위치규제 플레이트(32)로, 상기 스토퍼 핀(5) 또는 패널 클램프(6)를 지지한 상기 기판(31)을 액정 패널(2)의 가장자리부에 평행한 방향으로 이동가능하게 하는 한편 상기 가장자리부에 직교하는 방향으로는 설정 위치에 고정하여 지지하고, 위치결정 플레이트(33)로, 상기 액정 패널(2)의 가장자리부에 평행한 방향으로 상기 기판(31)의 위치를 결정하여 지지하기 때문에, 패널 지지기구(1) 상의 액정 패널(2)을 정확하게 지지할 수 있게 된다.

또한, 상기 기판(31)은, 상기 액정 패널(2)의 가장자리부에 평행한 방향으로 길게 형성되고 상기 기판(31)을 상기 위치규제 플레이트(32)에 고정하는 나사를 관통시키는 긴 구멍(35)과, 상기 기판(31)을 상기 위치결정 플레이트(33)에 고정하는 나사를 관통시켜 상기 액정 패널(2)의 가장자리부에 평행한 방향으로 위치결정하는 원형 구멍(36)을 구비한다. 상기 위치규제 플레이트(32)는, 상기 기판(31)의 긴 구멍(35)으로 관통된 나사(37)가 결합되는 나사 구멍(40)을 상기 액정 패널(2)의 가장자리부에 평행한 방향으로 복수개 구비하고, 상기 위치결정 플레이트(33)는, 상기 기판(31)의 원형 구멍(36)으로 관통된 나사(38)가 결합되는 나사 구멍(42)을 상기 기판(31)의 설치 위치에 맞추어 1 개 또는 복수개 구비하며, 상기 위치규제 플레이트(32)의 나사 구멍(40)에 나사(37)를 결합하고, 상기 위치결정 플레이트(33)의 나사 구멍(42)에 나사(38)를 결합하는 것만으로, 패널 지지기구(1) 상의 액정 패널(2)을 정확하고 용이하게 지지할 수 있게 된다.

또한, 치수가 다른 액정 패널(2)에 대해서는, 위치결정 플레이트(33)를 교체하는 것만으로, 스토퍼 핀(5)과 패널 클램프(6)를 정확하고 용이하게 위치결정할 수 있게 된다.

상기 위치결정 플레이트(33)에 핀 구멍(43)이 형성됨과 동시에, 상기 가동 베이스(4)에 상기 핀 구멍(43)에 끼워 맞춰지는 끼움 핀(44)이 설치되고, 액정 패널(2)의 치수에 따라, 상기 나사 구멍(42)의 설치 위치를 변경한 복수의 위치결정 플레이트(33)를 적절히 교체함으로써, 패널 지지기구(1) 상의 액정 패널(2)을 그 치수가 바뀌어도 정확하고 용이하게 지지할 수 있게 된다.

[변형 예]

상기 실시형태에서는, 도1, 2를 토대로 패널 지지기구(1)의 예를 설명했으나, 상기 패널 지지기구(1)의 구성은 하나의 예이며, 다른 구성의 패널 지지기구도 바람직하다. 상기 위치결정기구(7)를 설치할 수 있는 구조의 패널 지지기구라면, 본 발명을 적용할 수 있으며, 상기와 같은 작용 및 효과를 달성할 수 있다.

상기 실시형태에서는, 위치결정기구(7)를 스토퍼 핀(5) 측과 패널 클램프(6) 측의 양쪽에 설치했으나, 어느 한쪽에만 설치할 수도 있다. 액정 패널(2)의 가장자리부를 지지하여 정확한 위치에 위치결정 할 수 있는 대응이라면, 어느 한 쪽에만 설치하도록 해도 좋다.

상기 실시형태에서는, 끼워맞춤부 및 피끼워맞춤부로서, 핀 구멍(43)과 끼움 핀(44)을 사용했으나, 이 핀 구멍(43)과 끼움 핀(44) 이외에도, 서로 끼워 맞출 수 있는 돌기, 홈 등의 구조를 갖는 끼워맞춤부 및 피끼워맞춤부를 사용할 수 있다.

상기 실시 형태에서는, 액정 패널(2)을 예로 들어 설명했으나, 다른 유리 기판, 유기 EL 등, 다른 표시용 패널도 바람직하다.

본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않으며, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

본 발명에 의하면, 위치규제 플레이트로, 상기 스토퍼 핀 또는 패널 클램프를 지지한 상기 기판을, 상기 검사대상판의 가장자리부에 평행한 방향으로 이동가 능하게 하는 한편 상기 가장자리부에 직교하는 방향으로는 설정 위치에 고정하여 지지하고, 위치결정 플레이트로, 상기 검사대상판의 가장자리부에 평행한 방향으로 상기 기판을 위치결정하여 지지하기 때문에, 검사 스테이지 상의 패널을 정확하고 용이하게 지지할 수 있게 된다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims

검사대상판의 전극과 접촉자를 서로 접촉시키기 위해, 상기 검사대상판을 정확하게 위치결정하여 지지하는 패널 지지기구로서,

장치 본체 측에 장착되는 고정 베이스;

상기 고정 베이스 상에 4 개가 조합되어 직사각형 형상을 이루면서 상기 검사대상판의 치수에 맞춰 이동 가능하게 배치된 가동 베이스;

상기 각각의 가동 베이스 중 어딘가에 설치되고 상기 검사대상판의 가장자리부에 접촉하여 상기 검사대상판을 위치결정하는 스토퍼 핀;

상기 스토퍼 핀과 마주보는 위치에 상기 검사대상판을 끼우도록 설치되어 상기 스토퍼 핀과 더불어 상기 검사대상판을 끼워 유지하는 패널 클램프; 및

상기 스토퍼 핀 또는 패널 클램프를 지지한 상태로 상기 가동 베이스에 장착되는 위치결정기구;

를 구비하고,

상기 위치결정기구는,

상기 스토퍼 핀 또는 패널 클램프를 지지하는 기판;

상기 검사대상판의 가장자리부에 접촉하는 상기 스토퍼 핀 또는 패널 클램프를 지지한 상기 기판을, 상기 검사대상판의 가장자리부에 평행한 방향으로는 이동가능하게 하는 한편 상기 가장자리부에 직교하는 방향으로는 설정 위치에 고정하여 지지하는 위치규제 플레이트; 및

상기 위치규제 플레이트에 평행하게 설치되어, 상기 위치규제 플레이트에 지지된 상기 기판을 상기 검사대상판의 가장자리부에 평행한 방향으로 위치결정하여 지지하는 위치결정 플레이트;

를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 패널 지지기구.
제1항에 있어서,

상기 기판은, 상기 검사대상판의 가장자리부에 평행한 방향으로 길게 형성되며 상기 기판을 상기 위치규제 플레이트에 고정하는 나사를 관통시키는 긴 구멍과, 상기 기판을 상기 위치결정 플레이트에 고정하는 나사를 관통시켜 상기 검사대상판의 가장자리부에 평행한 방향으로 위치결정하는 원형 구멍을 구비하고,

상기 위치규제 플레이트는, 상기 기판의 긴 구멍으로 관통된 나사가 결합되는 나사 구멍을, 상기 검사대상판의 가장자리부에 평행한 방향으로 복수개 구비하며,

상기 위치결정 플레이트는, 상기 기판의 원형 구멍으로 관통된 나사가 결합되는 나사 구멍을, 상기 기판의 설치 위치에 맞추어 1 개 또는 복수개 구비한 것을 특징으로 하는 패널 지지기구.
제1항에 있어서,

상기 위치결정 플레이트에 끼워맞춤부가 설치됨과 동시에, 상기 가동 베이스에 상기 위치결정 플레이트의 끼워맞춤부에 끼워 맞춰지는 피끼워맞춤부가 설치되며,

상기 나사 구멍의 설치 위치를 변경한 복수의 상기 위치결정 플레이트를 적절히 교체하는 것을 특징으로 하는 패널 지지기구.
제3항에 있어서,

상기 끼워맞춤부는, 상기 위치결정 플레이트의 양 끝에 형성된 핀 구멍으로 구성되며,

상기 피끼워맞춤부는, 상기 가동 베이스에 설치된 2 개의 끼움 핀으로 구성된 것을 특징으로 하는 패널 지지기구.
검사대상판의 전극과 접촉자를 서로 접촉시켜 통전 시험을 수행하는 검사장치에 있어서,

상기 검사대상판을 정확하게 위치결정하여 지지하는 패널 지지기구를 구비하고,

상기 패널 지지기구로서,

장치 본체 측에 장착되는 고정 베이스;

상기 고정 베이스 상에 4 개가 조합되어 직사각형 형상을 이루면서 상기 검사대상판의 치수에 맞춰 이동가능하게 배치된 가동 베이스;

상기 각각의 가동 베이스 중 어딘가에 설치되며 상기 검사대상판의 가장자리부에 접촉하여 상기 검사대상판을 위치결정하는 스토퍼 핀;

상기 스토퍼 핀과 마주보는 위치에 상기 검사대상판을 끼우도록 설치되어 상기 스토퍼 핀과 더불어 상기 검사대상판을 끼워 유지하는 패널 클램프; 및

상기 스토퍼 핀 또는 패널 클램프를 지지한 상태로 상기 가동 베이스에 장착되는 위치결정기구;

를 구비하고,

상기 위치결정기구는,

상기 스토퍼 핀 또는 패널 클램프를 지지하는 기판;

상기 검사대상판의 가장자리부에 접촉하는 상기 스토퍼 핀 또는 패널 클램프를 지지하는 상기 기판을, 상기 검사대상판의 가장자리부에 평행한 방향으로 이동가능하게 하는 한편 상기 가장자리부에 직교하는 방향으로는 설정 위치에 고정하여 지지하는 위치규제 플레이트; 및

상기 위치규제 플레이트에 평행하게 설치되어, 상기 위치규제 플레이트에 지지된 상기 기판을 상기 검사대상판의 가장자리부에 평행한 방향으로 위치결정하여 지지하는 위치결정 플레이트;

를 구비하여 구성된 패널 지지기구를 사용한 것을 특징으로 하는 검사장치.