TWI328686B - Panel supporting mechanism and inspection apparatus - Google Patents

Description

1328686 九、發明說明 '【發明所屬之技術領域】 ' 本發明是關於夾緊如液晶顯示面板等檢查對象面板進 行檢查的面板支撐機構。 【先前技術】 可對液晶顯示面板等檢查對象面板進行檢查的裝置一 • 例，已知有將複數接觸元件單元（探針單元）安裝在可承 接著顯示用面板加以移動的檢査工作台之檢查裝置（曰本 特開2002-350485號公報）。 複數接觸元件單元，是以其全體作用成爲連接顯示用 面板的通電電路用的電連接裝置。各接觸元件單元，是將 具備有接觸顯示用面板電極的複數探針即複數接觸元件的 接觸元件方塊支撐在支撐方塊，此外以支撐方塊安裝在可 支撐移動顯示用面板的檢查工作台。 β 檢查工作台’是於工作台本體的上部安裝有可使面板 承接在面板承接部如吸盤頂部的面板承件。接觸元件是安

I 裝在面板承件。檢查工作台是利用工作台本體使面板承件 k 至少可三向移動。 但是，上述習知檢查裝置，因面板承件的面板承接部 的尺寸不變’所以可檢查的顯示面板的尺寸是由面板承件 及接觸元件單元決定，因此無法適用在不同尺寸的面板檢 查。 上述結果，於習知檢查裝置，於面板承件設置在檢查 -4- 1328686 工作台的配合狀況下，在進行不同尺寸的顯示用面板檢查 時，必須更換接觸元件和檢查工作台兩者，導致作業繁 瑣。 本申請人有鑑於上述問題點，於先前就提案有日本特 開2006- 1 1 903 1號公報所記載的發明。該發明中活動底座 是形成爲可動調整，藉由根據面板尺寸的不同調整開口尺 寸的同時調整接觸元件的位置，以構成爲不用更換接觸元 件和檢查工作台就能夠應對不同尺寸面板的檢查。 不過，檢查對象的面板是支撐在檢查工作台上的正確 位置，然後進行檢查。因此，爲讓面板支撐在檢查工作台 上的正確位置，以配置成可移動的止動銷或推動構件使面 板形成支撐。 此時，上述止動銷或推動構件，其位置是配置成可變 更，可配設在面板相對最佳的位置。 然而，其調整是以手動執行上述止動銷或推動構件的 移動，因此難以正確調整爲面板相對最佳的位置。如此一 來，面板就會有稍微的位置偏差。於是，就高精度要求的 檢查裝置而言，面板稍微的位置偏差也會造成問題。 【發明內容】 本發明是爲解決上述課題而爲的發明，本發明的目的 是可使檢査工作台上的面板容易支撐並且支撐在正確位 置° 爲解決上述課題，本發明是一種爲讓檢查對象面板電 -5- 1328686 極和接觸元件彼此接觸，可將該檢查對象面板正確定位加 以支撐的面板支撐機構。其特徵爲，具備有：可安裝在裝 置本體側的固定底座；於該固定底座上配置4個組合形成 矩形並且可配合上述檢查對象面板尺寸形成移動的活動底 座；設置在該各活動底座其中之一，可抵接著上述檢查對 象面板緣部對該檢査對象面板進行定位的止動銷；於該止 動銷的相向位置夾著上述檢查對象面板形成設置，與該止 動銷相結合對上述檢查對象面板進行夾持的面板夾緊構 件：及以支撐著上述止動銷或面板夾緊構件的狀態安裝在 上述活動底座的定位機構，此外，上述定位機構，構成爲 具備有：上述止動銷或面板夾緊構件支撐用的基板；可使 支撐著抵接於上述檢查對象面板緣部的上述止動銷或面板 夾緊構件之上述基板支撐成能移動在上述檢查對象面板緣 部平行方向並且使該基板於上述緣部正交方向固定在設定 位置的位置限制板；及可使配設成平行於該位置限制板且 支撐在該位置限制板的上述基板定位支撐在上述面板緣部 平行方向的定位板。 根據上述構成，以位置限制板使支撐著上述止動銷或 面板夾緊構件的上述基板支撐成能移動在上述檢查對象面 板緣部平行方向並且使該基板於上述緣部正交方向固定在 設定位置，就能夠在不改變檢査對象面板的支撐位置的狀 況下移動上述止動銷或面板夾緊構件。此外，以定位板就 可使支撐在上述位置限制板的上述基板定位支撐在上述面 板緣部平行方向。 -6- 1328686 由於是以位置限制板使支撐著上述止動銷或面板夾緊 構件的上述基板支撐成能移動在上述檢查對象面板緣部平 行方向並且使該基板於上述緣部正交方向固定在設定位 置，以定位板使上述基板定位支撐在上述面板緣部平行方 向，因此可使檢查工作面上的面板容易支撐並且支撐在正 確位置。 【實施方式】 〔發明之最佳實施形態〕 以下，針對本發明的實施形態進行說明。於本實施形 態，檢查裝置是一種對以面板支撐機構支撐在正確位置的 檢查對象面板進行亮燈檢查等通電實驗用的裝置》檢查對 象面板是具有矩形形狀的板材。其一例，於此是以液晶面 板爲例進行說明。本發明可應用在具備有液晶面板支撐用 檢查工作台或該檢查工作台所支撐的液晶電極進行接觸的 接觸元件等之全部的檢查裝置。檢查工作台是構成具備有 可使支撐台朝X、Y及Z三方向位移的同時，可使支撐台 繞著朝Z方向延伸的0軸線旋轉之機構的工作台本體，或 從背面照射上述支撐台所支撐的液晶面板之背光燈，或設 置在該背光燈的上側對本實施形態相關的面板支撐機構加 以支撐的承接底座等。接觸元件是安裝在面板支撐機構， 設置在面板支撐機構上方的裝置本體側。 本發明的特徵是針對上述檢查裝置，對安裝在上述檢 查工作台上側的面板支撐機構的定位機構加以改良。因 1328686 此，以下是以面板支撐機構爲中心進行說明。第1圖爲表 示本發明相關的面板支撐機構透視圖，第2圖爲表示本發 明相關的面板支撐機構局部切除透視圖，第3圖爲表示本 發明相關的面板支撐機構的活動底座動作平面圖，第4圖 爲表示本發明相關的面板支撐機構的活動底座動作平面 圖，第5圖爲本發明相關的面板支撐機構的定位機構透視 圖。 面板支撐機構1是一種爲讓液晶面板2的電極和接觸 元件（探針）彼此接觸，可正確對液晶面板2進行定位支 撐的機構。面板支撐機構1，如第1圖 '第2圖所示，構 成爲主要具備有：安裝在裝置本體側上述檢查工作台的固 定底座3;於該固定底座3上配置4個組合形成矩形並且 可根據液晶面板2的尺寸形成移動的活動底座4:設置在 各活動底座4當中相鄰的2個活動底座，可抵接著上述液 晶面板2緣部對該液晶面板2進行定位的止動銷5 ;於該 止動銷5的相向位置夾著液晶面板2形成設置，與該止動 銷5相結合對上述液晶面板2進行夾持的面板夾緊構件 6;及可將上述止動銷5及面板夾緊構件6以分別支撐的 狀態定位安裝在各活動底座4的定位機構7。 固定底座3是全體形成爲矩形。於固定底座3的中 央，設有和設置在檢查工作台的開口相似的矩形開口 9。 固定底座3是由複數的螺絲構件（未圖示）安裝在檢查工 作台側。開口 9是貫通在固定底座3的厚度方向。 各活動底座4，其全體形狀是形成爲長板狀。活動底 -8- 1328686 座4的全長是設定成開口 9的對應緣部長度以上。4個活 動底座4是組合形成著開口 1〇。即，1個活動底座4的長 向一端面是抵接於對方側活動底座4的側面，藉此形成四 角形的開口 10。再加上，各活動底座4，被支撐成可在其 長向的一端面和對方側的側面之間沿著對方側的側面滑 動。如此一來，就能夠從可對應於第3圖所示小液晶面板 2的小開口 1 0任意調整其大小成爲可對應於第4圖所示大 液晶面板2的大開口 1 0。 於各活動底座4，如第1圖、第2圖所示，經由組合 形成可承接液晶面板2使液晶面板2和固定底座3平行的 面板承接構件12。活動底座4是形成爲厚平板狀於該平板 的內側端形成有豎立板狀的面板承接構件〗2。如此一來， 活動底座4和面板承接構件1 2，其剖面形狀就形成L字 形。藉由4個活動底座4的彼此組合，如第3圖、第4圖 所示，可使4個面板承接構件12形成爲液晶面板2支撐 用的開口 1 〇。 各活動底座4，如第1圖、第2圖所示，是由各結合 裝置14結合在固定底座3。結合裝置14是將活動底座4 支撐成可在活動底座4與固定底座3平行的面內雙向移 動。 該結合裝置14,是構成具備有：朝各活動底座4長向 正交方向（第1方向）延伸地安裝在固定底座3上面的第 1軌道16;可移動地結合在該第1軌道16的第1導件 17:於該第1導件17上側安裝成一體的支撐板18;沿著 -9- 1328686 活動底座4長向（第2方向）一體安裝在活動底座4下面 的第2軌道19;可移動地結合於該第2軌道19的同時於 上述支撐板18安裝成一體的2個第2導件20;及以安裝 在固定底座3上面的狀態連結於上述支撐板18可使該支 撐板18及其上側的構造物沿著第！軌道朝第1方向移動 的驅動部2 1。 驅動部21，是由：沿著第1軌道16配設成可旋轉的 滾珠螺桿23;該滾珠螺桿23驅動旋轉用的驅動馬達24; 及以螺入有滾珠螺桿的狀態固定在支撐板18利用滾珠螺 桿23的旋轉形成沿著第丨軌道16使支撐板18移動的螺 帽25所構成。 再加上，於活動底座4的下側面，一體安裝有平行於 上述第2軌道19的第3軌道26。於該第3軌道26可移動 地結合有第3導件27 (參照第2圖）。接著，該第3導件 27是成一體地安裝在活動底座4的一端部。如此一來，可 使各活動底座4在其長向的一端面和正交的對方側活動底 座4的側面之間支撐成沿著對方側的側面移動。接著，4 個活動底座4全部是以該構造形成彼此結合。其結果，以 4個活動底座4形成的開口 10，就可任意調整其大小，從 可對應於第3圖所示小液晶面板2的小開口 1 0調整爲可 對應於第4圖所示大液晶面板2的大開口 10。具體而言， 同時啓動4個驅動部21，使4個活動底座4同時移動，能 夠任意調整開口 1 0的大小。 定位機構7是將上述止動銷5及面板夾緊構件6以分 -10- 1328686 別支撐的狀態定位安裝在各活動底座4，但因止動銷5支 撐用的定位機構7和面板夾緊構件6支撐用的定位機構7 都是具有相同構成，所以於此根據第5圖對面板夾緊構件 6支撐用的定位機構7進行說明。 定位機構7是由基板3 1、位置限制板3 2和定位板3 3 所構成。 基板31是支撐上述面板夾緊構件6用的板材。基板 31是形成爲四角形平板狀。面板夾緊構件6是沿著基板 31的一邊形成安裝。於基板31設有長孔35和圓孔36。 長孔3 5是沿著上述液晶面板2緣部平行方向形成長 向。再加上，長孔3 5是沿著液晶面板2緣部平行方向排 列設有2個。各長孔35是形成爲將基板31固定在位置限 制板3 2用的螺絲3 7其穿通用的孔。 長孔3 5是藉由穿通在該長孔3 5的螺絲3 7可移動在 長孔3 5內，使基板31相對於螺入在下述位置限制板3 2 螺絲孔40的螺絲3 7形成多少可移動在上述液晶面板2緣 部平行方向。 圓孔36是可穿通將基板31固定在定位板33用的螺 絲3 8做爲液晶面板2緣部平行方向的定位用孔。圓孔3 6 是配合螺絲38的尺寸形成，其內徑是設定成可使其與螺 絲3 8之間不會產生鬆動。 另外，以基板31和面板夾緊構件6構成面板夾緊單 元4 1。 位置限制板32是可使支撐著抵接於上述液晶面板2 -11 -

1328686 緣部的面板夾緊構件6之上述基板31支撐成能卷 述液晶面板2緣部平行方向並且使該基板31於J: 正交方向固定在設定位置的一種平板。位置限制板 體而言，是以細長板材構成，沿著活動底座4的面 構件12形成固定。於細長板狀的位置限制板32多 沿著上述液晶面板2緣部平行方向遍佈其全長的一 孔40。各螺絲孔40是以和長孔3 5長度大致相同間 設置。如此一來，以某一螺絲孔40螺入有螺絲3 7 使基板31沿著長孔35形成可移動的範圍，和以相 絲孔40螺入有螺絲3 7的狀態使基板3 1沿著長孔 可移動的範圍，形成彼此重疊，就能夠使基板31 位置限制板3 2全長的所有位置。 定位板3 3是可使配設成平行於位置限制板32 在位置限制板32的上述基板31定位支撐在上述液 2緣部平行方向的一種平板。定位板33以細長板材 於定位板33配合基板31的設置位置設有1個或複 孔42，於該螺絲孔42可螺入穿通在基板3 1圓孔 絲。於此，配合液晶面板2的短邊側於定位板3 3 個螺絲孔42。 於定位板33的兩端部，設有做爲嵌合部的 43。活動底座4側在對應於插銷孔43的位置，設 嵌合插銷44做爲上述嵌合部所要嵌合的被嵌合部 插銷孔43及嵌合插銷44被定位成可使定位板33 孔42符合設置位置。如此一來，就能夠使基板3 1 〖動在上 :述緣部 32，具 ί板承接 •數設有 •列螺絲 丨隔形成 的狀態 I鄰的螺 35形成 固定在 且支撐 晶面板 構成。 數螺絲 36的螺 設有1 插銷孔 有2個 。該等 的螺絲 上的面 -12- 1328686 板夾緊構件6定位在正確位置。 對於定位板33，準備有不同設定的複數種類平板。 體而言，所準備的複數種類平板是設有可對應於根據液 面板2尺寸設定的面板夾緊構件6設置數之數量的螺絲 42。利用插銷孔43及嵌合銷44就能夠使該等定位板 容易抽換。定位板33的長度，可根據各活動底座4形 不同長度，也可全部都形成相同長度。 另，止動銷5支撐用的定位機構7也是構成如同 述。 構成爲以上所述的面板支撐機構1，具有下述作用 另外，檢查裝置全體的作用，因是和習知檢查裝置相同 所以於此是以面板支撐機構1的作用爲中心進行說明。 首先，配合液晶面板2的尺寸調整面板支撐機構1 活動底座4。具體而言，是以驅動部21的驅動馬達24 滾珠螺桿23形成旋轉，移動螺帽25。如此一來，就可 固定在支撐板18的第2導件20透過第2軌道19移動 動底座4。該動作是以4個驅動部21同時啓動，使4個 動底座4彼此位置移動。藉此，如第3圖所示，以各活 底座4的面板承接構件12從液晶面板2下側支撐著液 面板2，以止動銷5和面板夾緊構件6對液晶面板2加 定位支撐。 處理對象爲不同尺寸的液晶面板2時，移動活動底 4重新調整位置。該狀況是以驅動部21的驅動馬達24 滾珠螺桿23旋轉，透過螺帽25、支撐板18、第2導 具 晶 孔 3 3 成 上 的 使 使 活 活 動 晶 以 座 使 件 -13- 1328686 20、第2軌道19移動活動底座4。該動作是以4個驅動部 ’ 21同時啓動，使4個活動底座4彼此位置移動，例如第4 • 圖所示，配合大尺寸的液晶面板2。 此時，因止動銷5和面板夾緊構件6並不對準液晶面 板2，所以就以定位機構7重新調整該等位置。於該狀 • 況，首先是鬆弛螺絲3 7和螺絲3 8，卸下基板3 1。其次， 將定位板33抽換成可對應於液晶面板2的定位板33。 φ 接著，將螺絲3 7穿過長孔3 5螺入位置限制板3 2的 螺絲孔40，使基板31形成大致定位。其次，將基板31移 動在長孔3 5的範圍，使圓孔3 6和螺絲孔42位置對準， 將螺絲3 8穿過圓孔3 6螺入螺絲孔42。接著，鎖緊螺絲 3 7和螺絲3 8，對基板3 1加以固定。 該動作，是針對止動銷5和面板夾緊構件6的全部執 行，使止動銷5和面板夾緊構件6相對於液晶面板2對準 在最佳位置。 • 如以上所述，定位機構7，由於是構成具備有：止動 銷5或面板夾緊構件6支撐用的基板31 :可使支撐著抵接 於上述液晶面板2緣部的止動銷5或面板夾緊構件6之上 ‘ 述基板31支撐成能移動在上述液晶面板2緣部平行方向 並且使該基板於上述緣部正交方向固定在設定位置的位置 限制板32 ;及可使配設成平行於該位置限制板32且支撐 在該位置限制板32的上述基板31定位支撐在上述液晶面 板2緣部平行方向的定位板33，能以位置限制板32使支 撐著上述止動銷5或面板夾緊構件6的上述基板31支撐 -14- 1328686 成能移動在上述液晶面板2緣部平行方向並且使該基板於 上述緣部正交方向固定在設定位置，能以定位板33使上 述基板31定位支撐在上述液晶面板2緣部平行方向，因 此就能夠使面板支撐機構1上的液晶面2支撐在正確位 置。 此外，上述基板31，具備有：朝上述液晶面板2緣部 平行方向形成長向，將該基板31固定在上述位置限制板 32用的螺絲穿通用的長孔35;及可穿通將上述基板31固 定在上述定位板3 3用的螺絲3 8做爲上述液晶面板2緣部 平行方向定位用的圓孔3 6，上述位置限制板3 2是於上述 液晶面板2緣部平行方向，具備有穿通在上述基板31長 孔3 5的螺絲3 7螺入用的複數螺絲孔40 ’上述定位板33 是配合上述基板31的設置位置設有1個或複數螺絲孔 42，於該螺絲孔42可螺入穿通在基板3 1圓孔36的螺絲 3 8，因此，只要將螺絲3 7螺入上述位置限制板3 2的螺絲 孔40，將螺絲3 8螺入上述定位板3 3的螺絲孔42 ’就能 夠使面板支撐機構1上的液晶面板2容易支撐並且支撐在 正確位置。 此外，針對不同尺寸的液晶面板2 ’只要更換定位板 33，就能夠正確並且容易定位止動銷5和面板夾緊構件 6 0 由於是在上述定位板33設有插銷孔43的同時’於上 述活動底座4設有上述插銷孔43所要嵌合的嵌合插銷 44，可根據液晶面板2的尺寸適宜加以更換裝配上述螺絲 -15- 1328686 孔42配設位置不同的複數定位板33，因此就可使面板支 撐機構1上的液晶面板2即使其尺寸改變還是能夠容易支 撐並且支撐在正確位置。 [變形例] 上述實.施形態，是根據第1圖、第2圖對面板支撐機 構1的例子進行了說明，但該面板支撐機構1的構成只是 —個例子，也可以是其他構成的面板支撐機構。只要其構 造是形成可安裝上述定位機構7之構造的面板支撐機構， 都可應用本發明，能夠達到上述相同的作用、效果。 上述實施形態是將定位機構7設置在止動銷5和面板 夾緊構件6雙方，但也可只設置在其中一方。只要能夠支 撐液晶面板2的緣部使液晶面板2定位在正確位置，可只 在上述雙方其中一方。 上述實施形態，對於嵌合部及被嵌合部是採用插銷孔 43及嵌合插銷44，但除了該插銷孔43及嵌合插銷44以 外，還可採用具有彼此可嵌合的突起、溝槽等構造的嵌合 部及被嵌合部。 上述實施形態是以液晶面板2爲例子進行了說明，但 也可以是其他的玻璃基板、有機EL等其他的顯示用面 板。 本發明並不限定於上述實施形態，只要不脫離其主旨 範圍，可加以各種變更。 -16- 1328686 【圖式簡單說明】 第1圖爲表示本發明實施形態相關的面板支撐機構透 • 視圖。 第2圖爲表示本發明實施形態相關的面板支撐機構局 部切除透視圖。 第3圖爲表示本發明實施形態相關的面板支撐機構的 活動底座動作平面圖。 φ 第4圖爲表示本發明實施形態相關的面板支撐機構的 活動底座動作平面圖。 第5圖爲本發明實施形態相關的面板支撐機構的定位 機構透視圖。 【主要元件符號說明】 1 :面板支撐機構 2 :液晶面板 φ 3 :固定底座 4 :活動底座 5 :止動銷 k 6 :面板夾緊構件 7 :定位機構 1 2 :面板承接構件 1 4 :結合裝置 16 :第1軌道 ! 7 :第1導件 -17- 1328686 1 8 :支撐板 ‘ 1 9 :第2軌道 • 2 0 :第2導件 2 1 :驅動部 ' 23 :滾珠螺桿 • 24 :驅動馬達 25 :螺帽 φ 26 :第3軌道 2 7 :第3導件 3 1 :基板 3 2 :位置限制板 3 3 :定位板 3 5 :長孔 3 6 :圓孔 3 7 :螺絲 φ 3 8 :螺絲 4 0 :螺絲孔 41 :面板夾緊單元 • 42 :螺絲孔 43 :插銷孔 44 :嵌合銷 -18

Claims (1)

1328686 十、申請專利範圍 1-一種面板支撐機構，爲讓檢查對象面板電極和接觸 • 元件彼此接觸，可將該檢查對象面板正確定位加以支撐的 面板支撐機構，其特徵爲，具備有： 可安裝在裝置本體側的固定底座； • 於該固定底座上配置4個組合形成矩形狀並且可配合 上述檢查對象面板尺寸形成移動的活動底座； φ 設置在該各活動底座其中之一，可抵接上述檢查對象 面板緣部對該檢查對象面板進行定位的止動銷； 於該止動銷的相向位置夾著上述檢查對象面板形成設 置，與該止動銷相結合對上述檢查對象面板進行夾持的面 板夾緊構件；及 以支撐著上述止動銷或面板夾緊構件的狀態安裝在上 述活動底座的定位機構， 上述定位機構，構成爲具備有：上述止動銷或面板夾 • 緊構件支撐用的基板；可使支撐著抵接於上述檢查對象面 板緣部的上述止動銷或面板夾緊構件之上述基板支撐成能 移動在上述檢查對象面板緣部平行方向並且使該基板於上 述緣部正交方向固定在設定位置的位置限制板；及可使配 設成平行於該位置限制板且支撐在該位置限制板的上述基 板定位支撐在上述檢查對象面板緣部平行方向的定位板。 2.如申請專利範圍第1項所記載的面板支撐機構，其 中， 上述基板，具備有：朝上述檢查對象面板緣部平行方 -19- 1328686 向形成長向’將該基板固定在上述位置限制板用的螺絲穿 通用的長孔；及可穿通將上述基板固定在上述定位板用的 螺絲做爲上述檢查對象面板緣部平行方向定位用的圓孔， 上述位置限制板是於上述檢查對象面板緣部平行方 向，具備有穿通在上述基板長孔的螺絲其螺入用的複數螺 絲孔， 上述定位板是配合上述基板的設置位置設有1個或複 數螺絲孔，於該螺絲孔可螺入穿通在基板圓孔的螺絲。 3 .如申請專利範圍第1項所記載的面板支撐機構，其 中， 於上述定位板設有嵌合部的同時，於上述活動底座設 有上述定位板嵌合部嵌合用的被嵌合部， 可適宜加以更換裝配上述螺絲孔配設位置不同的複數 上述定位板。 4. 如申請專利範圍第3項所記載的面板支撐機構，其 中， 上述嵌合部是以設置在上述定位板兩端的插銷孔構 成， 上述被嵌合部是以設置在上述活動底座的2個嵌合插 銷構成。 5. —種檢查裝置，可使檢查對象面板電極和接觸元件 彼此接觸進行通電實驗的檢查裝置，其特徵爲： 具備有可使上述檢查對象板正確定位支撐的面板支撐 機構， -20- 1328686 該面板支撐機構，構成爲具備有：可安裝在裝置本體 側的固定底座；於該固定底座上配置4個組合形成矩形並 且可配合上述檢查對象面板尺寸形成移動的活動底座：設 置在該各活動底座其中之一，可抵接著上述檢查對象面板 緣部對該檢查對象面板進行定位的止動銷；於該止動銷的 相向位置夾著上述檢查對象面板形成設置，與該止動銷相 結合對上述檢查對象面板進行夾持的面板夾緊構件；及以 支撐著上述止動銷或面板夾緊構件的狀態安裝在上述活動 底座的定位機構，上述定位機構，構成爲具備有：上述止 動銷或面板夾緊構件支撐用的基板；可使支撐著抵接於上 述檢査對象面板緣部的上述止動銷或面板夾緊構件之上述 基板支撐成能移動在上述檢查對象面板緣部平行方向並且 使該基板於上述緣部正交方向固定在設定位置的位置限制 板；及可使配設成平行於該位置限制板且支撐在該位置限 制板的上述基板定位支撐在上述檢查對象面板緣部平行方 向的定位板。