JP3350899B2 - プローブブロックの支持枠体 - Google Patents

プローブブロックの支持枠体

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JP3350899B2
JP3350899B2 JP24510499A JP24510499A JP3350899B2 JP 3350899 B2 JP3350899 B2 JP 3350899B2 JP 24510499 A JP24510499 A JP 24510499A JP 24510499 A JP24510499 A JP 24510499A JP 3350899 B2 JP3350899 B2 JP 3350899B2
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敏雄 奥野
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    • H01J1/88—Mounting, supporting, spacing, or insulating of electrodes or of electrode assemblies
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
    • G—PHYSICS
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    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
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    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は検査対象であるフラ
ットパネルディプレイの電極パッドに加圧接触する液晶
パネルに代表されるフラットパネルディスプレイの辺縁
部に配置された電極パッドに加圧接触する検査用プロー
ブブロックの支持枠に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記フラットパネルディスプレイの支持
枠及び検査用プローブブロックの支持枠は、何れも方形
枠体によって構成されており、図６Ａ，Ｂに示すよう
に、液晶パネルに代表されるフラットパネルディスプレ
イ７を支持した後方方形枠体１の前面側に検査用プロー
ブブロック８を支持した前方方形枠体１を配置し、後方
方形枠体１を前方方形枠体１に進退可に設け、同前進に
よってフラットパネルディスプレイ７の辺縁部に配置さ
れた電極パッド１０に検査用プローブブロック８の検査
プローブ９を加圧接触せしめ、又後方方形枠体１の後退
時にフラットパネルディスプレイ７の交換を行うように
している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】然るに従来はフラット
パネルディスプレイの大きさに応じた専用の前方枠体を
用意して検査用のプローブブロックを支持せしめるよう
にしている。
【０００４】従って従来は大きさの異なるフラットパネ
ルディスプレイ毎にこれに適合する前方枠体を持った検
査装置を設備せねばならないか、又は前方枠体をフラッ
トパネルディスプレイの大きさに応じ交換できるように
互換性を持たせた構造にせねばならず、多大な設備負担
と高重量の枠体を交換する作業負担と検査作業の効率悪
化を招来していた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題を適切
に解決し、１台の検査装置において大きさの異なるフラ
ットパネルディスプレイに適切に対応し得るプローブフ
ロックの支持枠体を提供するものである。
【０００６】本発明はプローブブロックの支持枠体を形
成する上下横枠板と左右縦枠板とが各枠板一端の枠板に
対して単独で夫々縦移動又は横移動でき、且つ一緒に横
移動又は縦移動できるように組み立てて、各枠板で形成
する窓の拡大又は縮小を図る構成にすると共に、該拡大
又は縮小された窓に面する上下横枠板部と左右縦枠板部
とに上記フラットパネルディスプレイの辺縁部に配され
た電極パッドに加圧接触するプローブブロックを支持す
る構成とする。
【０００７】更に上記上下横枠板と左右縦枠板の両端に
位置決めピン又は位置決め孔を互いに等間隔に設け、該
位置決めピン又は位置決め孔にプローブブロックのホル
ダーたるベースの両端に設けた位置決め孔又は位置決め
ピンを挿入して上記上下横枠板と左右縦枠板とに一体に
且つ着脱可に取り付け、各ベースには上記拡大又は縮小
された窓の辺と対応する位置に複数のプローブブロック
を着脱可に取り付ける構成とした。
【０００８】上記上下横枠板と左右縦枠板の縦移動と横
移動とによって、フラットパネルディスプレイの大きさ
に対応した検査用プローブ支持枠体を容易に形成でき、
これにより１台の検査装置を大きさの異なる各種フラッ
トパネルディスプレイに適合させることができ、極めて
経済的であって、検査作業の効率を向上する検査装置を
提供できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下本発明の各実施形態例を図１
乃至図７に基づいて説明する。
【００１０】＜後方方形支持枠体の構造例＞（ 図１Ａ，Ｂ及び図６，
図７参照）
【００１１】１は検査対象である液晶パネルに代表され
るフラットパネルディスプレイ７を支持する方形支持枠
体である。
【００１２】上記方形支持枠体１は右縦枠板５に対して
単独で縦移動し且つ左縦枠板４の縦移動と一緒に縦移動
する上横枠板２と、左縦枠板４に対し単独で縦移動し且
つ右縦枠板５の縦移動と一緒に縦移動する下横枠板３
と、上横枠板２に対して単独で横移動し且つ下横枠板３
の横移動と一緒に横移動する左縦枠板４と、下横枠板３
に対して単独で横移動し且つ上横枠板２の横移動と一緒
に横移動する右縦枠板５とから組み立てられている。
【００１３】上記上下横枠板２，３と左右縦枠板４，５
の上記縦移動と横移動とにより上記上下横枠板２，３と
左右縦枠板４，５で画成される窓６を拡大又は縮小し、
該拡大又は縮小された窓６に面する上下横枠板２，３部
と左右縦枠板４，５部とに上記フラットパネルディスプ
レイ７を支持する。
【００１４】上記上横枠板２と右縦枠板５間は上横枠板
２の単独縦移動を案内し且つ上横枠板２と右縦枠板５と
を追随して横移動せしめるように連結する。
【００１５】以下同様に、上記左縦枠板４と上横枠板２
間は左縦枠板４の単独横移動を案内し且つ左縦枠板４と
上横枠板２とを追随して縦移動せしめるように連結し、
上記下横枠板３と左縦枠板４間は下横枠板３の単独縦移
動を案内し且つ下横枠板３と左縦枠板４とを追随して横
移動せしめるように連結し、上記右縦枠板５と下横枠板
３間は右縦枠板５の単独横移動を案内し且つ右縦枠板５
と下横枠板３とを追随して縦移動せしめるように連結す
る。
【００１６】上記連結機構は例えば図７に示される。図
示のように、上横枠板２の一端を右縦枠板５の内面に当
接し、以下同様に左縦枠板４の一端を上横枠板２の内面
に当接し、下横枠板３の一端を左縦枠板４の内面に当接
し、右縦枠板５の一端を下横枠板３の内面に当接する。
そして各当接部において上記連結機構を形成する。
【００１７】上記連結機構の具体例として、上下横枠板
２，３と左右縦枠板４，５の夫々の内面に沿い該内面で
開口するガイド溝１１を形成し、他方この内面に当接す
る上記各枠板２，３，４，５の端部に上記各ガイド溝１
１にキー結合する突起１２を形成し、該各突起１２を各
ガイド溝１１に滑合する（キー結合する）。
【００１８】これによって上横枠板２は右縦枠板５に対
し単独で縦移動し、且つ右縦枠板５と一緒に横移動可能
である。
【００１９】同様に左縦枠板４は上横枠板２に対し単独
で横移動し、且つ上横枠板２と一緒に縦移動可能であ
り、下横枠板３は左縦枠板４に対し単独で縦移動し、且
つ左縦枠板４と一緒に横移動可能であり、右縦枠板５は
下横枠板３に対し単独で横移動し、且つ下横枠板３と一
緒に縦移動可能である。よって上記窓６を拡大又は縮小
する。
【００２０】上記各枠板２，３，４，５の表面にはその
略全長に亘りサクション装置に接続される多数の吸引孔
１３を設け、上記拡大又は縮小された窓６に面する上下
横枠板２，３部表面と左右縦枠板４，５部表面に上記吸
引孔１３によりフラットパネルディスプレイ７の周縁部
を吸着支持する。
【００２１】図６Ａ，Ｂに示すように、各プローブブロ
ック８は多数のプローブ９を有し、各プローブ９の先端
を各電極パッド１０の表面に加圧接触する。
【００２２】 ＜前方方形支持枠体の構造例＞（図２Ａ，Ｂ及び図５乃
至図７参照）
【００２３】１は検査用プローブブロック８を支持する
方形支持枠体である。
【００２４】上記方形支持枠体１は右縦枠板５に対して
単独で縦移動し且つ左縦枠板４の縦移動と一緒に縦移動
する上横枠板２と、左縦枠板４に対し単独で縦移動し且
つ右縦枠板５の縦移動と一緒に縦移動する下横枠板３
と、上横枠板２に対して単独で横移動し且つ下横枠板３
の横移動と一緒に横移動する左縦枠板４と、下横枠板３
に対して単独で横移動し且つ上横枠板２の横移動と一緒
に横移動する右縦枠板５とから組み立てられている。
【００２５】上記上下横枠板２，３と左右縦枠板４，５
の上記縦移動と横移動とにより上記上下横枠板２，３と
左右縦枠板４，５で画成される窓６を拡大又は縮小し、
該拡大又は縮小された窓６に面する上下横枠板２，３部
と左右縦枠板４，５部とにフラットパネルディスプレイ
７の周縁部に配された多数の電極パッド１０に加圧接触
するプローブブロック８を支持する。
【００２６】図６に示すように、各プローブブロック８
は多数のプローブ９を有し、各プローブ９の先端を各電
極パッド１０の表面に加圧接触する。
【００２７】上記上横枠板２と右縦枠板５間は上横枠板
２の単独縦移動を案内し且つ上横枠板２と右縦枠板５と
を追随して横移動せしめるように連結する。
【００２８】以下同様に、上記左縦枠板４と上横枠板２
間は左縦枠板４の単独横移動を案内し且つ左縦枠板４と
上横枠板２とを追随して縦移動せしめるように連結し、
上記下横枠板３と左縦枠板４間は下横枠板３の単独縦移
動を案内し且つ下横枠板３と左縦枠板４とを追随して横
移動せしめるように連結し、上記右縦枠板５と下横枠板
３間は右縦枠板５の単独横移動を案内し且つ右縦枠板５
と下横枠板３とを追随して縦移動せしめるように連結す
る。
【００２９】上記連結機構は例えば図７に示される。図
示のように、上横枠板２の一端を右縦枠板５の内面に当
接し、以下同様に左縦枠板４の一端を上横枠板２の内面
に当接し、下横枠板３の一端を左縦枠板４の内面に当接
し、右縦枠板５の一端を下横枠板３の内面に当接する。
そして各当接部において上記連結機構を形成する。
【００３０】上記連結機構の具体例として、上下横枠板
２，３と左右縦枠板４，５の夫々の内面に沿い該内面で
開口するガイド溝１１を形成し、他方この内面に当接す
る上記各枠板２，３，４，５の端部に上記各ガイド溝１
１にキー結合する突起１２を形成し、該各突起１２を各
ガイド溝１１に滑合する（キー結合する）。
【００３１】これによって上横枠板２は右縦枠板５に対
し単独で縦移動し、且つ右縦枠板５と一緒に横移動可能
である。
【００３２】同様に左縦枠板４は上横枠板２に対し単独
で横移動し、且つ上横枠板２と一緒に縦移動可能であ
り、下横枠板３は左縦枠板４に対し単独で縦移動し、且
つ左縦枠板４と一緒に横移動可能であり、右縦枠板５は
下横枠板３に対し単独で横移動し、且つ下横枠板３と一
緒に縦移動可能である。よって上記窓６を拡大又は縮小
する。
【００３３】上記各枠板２，３，４，５は互いに等長に
し、該等長の各枠板２，３，４，５の表面にはその両端
に位置決めピン又は位置決め孔１４を夫々各枠板毎に互
いに等間隔で立設する。
【００３４】他方図５に示すように、プローブブロック
８のホルダーとして、等長の長さを有する複数のベース
１５を形成し、各ベース１５に上記拡大窓６の辺又は縮
小窓６の辺と対応する位置に複数のプローブブロック８
を着脱可に取り付けたプローブユニット１６Ａ，Ｂ，Ｃ
を準備する。
【００３５】これらのプローブユニット１６Ａ，Ｂ，Ｃ
を上記拡大窓６又は縮小窓６に応じて選択し、上記各枠
板２，３，４，５の位置決めピン又は位置決め孔１４に
プローブブロック８のホルダーたるベース１５の両端に
設けた位置決めピン又は位置 決め孔１４を挿入し、上記
上下横枠板２，３と左右縦枠板４，５とに一体に且つ着
脱可に取り付ける。よってプローブブロック８はホルダ
ーたるベース１５を介して各枠板２，３，４，５に取り
付け支持される。
【００３６】図６Ａ，Ｂに示すように、上記フラットパ
ネルディスプレイ７の支持枠体１及び検査用プローブブ
ロックの支持枠体１は、何れも方形枠体によって構成さ
れており、液晶パネルに代表されるフラットパネルディ
スプレイ７を支持した後方方形枠体１の前面側に検査用
プローブブロック８を支持した前方方形枠体１を配置
し、後方方形枠体１を前方方形枠体１に進退可に設け、
同前進によってフラットパネルディスプレイ７の辺縁部
に配置された電極パッド１０に検査用プローブブロック
８の検査プローブ９を加圧接触せしめ、又後方方形枠体
１の後退時にフラットパネルディスプレイ７の交換を行
うようにしている。
【００３７】又は前方方形枠体１の窓６を拡大して、前
方方形枠体１の前方から該拡大窓６を通して後方方形枠
体１上へのフラットパネルディスプレイ７の交換を行
う。この場合は後方方形枠体１を進退可に設けなくても
良い。
【００３８】 ＜後方方形支持枠体の他の構造例＞（図３Ａ，Ｂ及び図
６，図７参照）
【００３９】１は検査対象である液晶パネルに代表され
るフラットパネルディスプレイ７を支持する方形支持枠
体である。
【００４０】上記方形支持枠体１が左縦枠板４に対して
単独で縦移動し且つ右縦枠板５の縦移動と一緒に縦移動
する上横枠板２と、右縦枠板５に対し単独で縦移動し且
つ左縦枠板４の縦移動と一緒に縦移動する下横枠板３
と、下横枠板３に対して単独で横移動し且つ上横枠板２
の横移動と一緒に横移動する左縦枠板４と、上横枠板２
に対して単独で横移動し且つ下横枠板３の横移動と一緒
に横移動する右縦枠板５とから組み立てられている。
【００４１】上記上下横枠板２，３と左右縦枠板４，５
の上記縦移動と横移動とにより上記上下横枠板２，３と
左右縦枠板４，５で画成される窓６を拡大又は縮小し、
該拡大又は縮小された窓６に面する上下横枠板２，３部
と左右縦枠板４，５部とに上記フラットパネルディスプ
レイ７を支持する。
【００４２】上記上横枠板２と左縦枠板４間は上横枠板
２の単独縦移動を案内し且つ上横枠板２と左縦枠板４と
を追随して横移動せしめるように連結する。
【００４３】以下同様に、上記右縦枠板５と上横枠板２
間は右縦枠板５の単独横移動を案内し且つ右縦枠板５と
上横枠板２とを追随して縦移動せしめるように連結し、
上記下横枠板３と右縦枠板５間は下横枠板３の単独縦移
動を案内し且つ下横枠板３と右縦枠板５とを追随して横
移動せしめるように連結し、上記左縦枠板４と下横枠板
３間は左縦枠板４の単独横移動を案内し且つ左縦枠板４
と下横枠板３とを追随して縦移動せしめるように連結す
る。
【００４４】上記連結機構は例えば図７に示される。図
示のように、上横枠板２の一端を右縦枠板５の内面に当
接し、以下同様に左縦枠板４の一端を上横枠板２の内面
に当接し、下横枠板３の一端を左縦枠板４の内面に当接
し、右縦枠板５の一端を下横枠板３の内面に当接する。
そして各当接部において上記連結機構を形成する。
【００４５】上記連結機構の具体例として、上下横枠板
２，３と左右縦枠板４，５の夫々の内面に沿い該内面で
開口するガイド溝１１を形成し、他方この内面に当接す
る上記各枠板２，３，４，５の端部に上記各ガイド溝１
１にキー結合する突起１２を形成し、該各突起１２を各
ガイド溝１１に滑合する（キー結合する）。
【００４６】これによって上横枠板２は右縦枠板５に対
し単独で縦移動し、且つ右縦枠板５と一緒に横移動可能
である。
【００４７】同様に左縦枠板４は上横枠板２に対し単独
で横移動し、且つ上横枠板２と一緒に縦移動可能であ
り、下横枠板３は左縦枠板４に対し単独で縦移動し、且
つ左縦枠板４と一緒に横移動可能であり、右縦枠板５は
下横枠板３に対し単独で横移動し、且つ下横枠板３と一
緒に縦移動可能である。よって上記窓６を拡大又は縮小
する。
【００４８】上記各枠板２，３，４，５の表面にはその
略全長に亘りサクション装置に接続される多数の吸引孔
１３を設け、上記拡大又は縮小された窓６に面する上下
横枠板２，３部表面と左右縦枠板４，５部表面に上記吸
引孔１３によりフラットパネルディスプレイ７の周縁部
を吸着支持する。
【００４９】図６Ａ，Ｂに示すように、各プローブブロ
ック８は多数のプローブ９を有し、各プローブ９の先端
を各電極パッド１０の表面に加圧接触する。
【００５０】 ＜前方方形支持枠体の他の構造例＞（図４Ａ，Ｂ及び図
５乃至図７参照）
【００５１】１は検査用プローブブロック８を支持する
方形支持枠体である。
【００５２】上記方形支持枠体１が左縦枠板４に対して
単独で縦移動し且つ右縦枠板５の縦移動と一緒に縦移動
する上横枠板２と、右縦枠板５に対し単独で縦移動し且
つ左縦枠板４の縦移動と一緒に縦移動する下横枠板３
と、下横枠板３に対して単独で横移動し且つ上横枠板２
の横移動と一緒に横移動する左縦枠板４と、上横枠板２
に対して単独で横移動し且つ下横枠板３の横移動と一緒
に横移動する右縦枠板５とから組み立てられている。
【００５３】上記上下横枠板２，３と左右縦枠板４，５
の上記縦移動と横移動とにより上記上下横枠板２，３と
左右縦枠板４，５で画成される窓６を拡大又は縮小し、
該拡大又は縮小された窓６に面する上下横枠板２，３部
と左右縦枠板４，５部とにフラットパネルディスプレイ
７の周縁部に配された多数の電極パッド１０に加圧接触
するプローブブロック８を支持する。
【００５４】図６に示すように、各プローブブロック８
は多数のプローブ９を有し、各プローブ９の先端を各電
極パッド１０の表面に加圧接触する。
【００５５】上記上横枠板２と左縦枠板４間は上横枠板
２の単独縦移動を案内し且つ上横枠板２と左縦枠板４と
を追随して横移動せしめるように連結する。
【００５６】以下同様に、上記右縦枠板５と上横枠板２
間は右縦枠板５の単独横移動を案内し且つ右縦枠板５と
上横枠板２とを追随して縦移動せしめるように連結し、
上記下横枠板３と右縦枠板５間は下横枠板３の単独縦移
動を案内し且つ下横枠板３と右縦枠板５とを追随して横
移動せしめるように連結し、上記左縦枠板４と下横枠板
３間は左縦枠板４の単独横移動を案内し且つ左縦枠板４
と下横枠板３とを追随して縦移動せしめるように連結す
る。
【００５７】上記連結機構は例えば図７に示される。図
示のように、上横枠板２の一端を右縦枠板５の内面に当
接し、以下同様に左縦枠板４の一端を上横枠板２の内面
に当接し、下横枠板３の一端を左縦枠板４の内面に当接
し、右縦枠板５の一端を下横枠板３の内面に当接する。
そして各当接部において上記連結機構を形成する。
【００５８】上記連結機構の具体例として、上下横枠板
２，３と左右縦枠板４，５の夫々の内面に沿い該内面で
開口するガイド溝１１を形成し、他方この内面に当接す
る上記各枠板２，３，４，５の端部に上記各ガイド溝１
１にキー結合する突起１２を形成し、該各突起１２を各
ガイド溝１１に滑合する（キー結合する）。
【００５９】これによって上横枠板２は右縦枠板５に対
し単独で縦移動し、且つ右縦枠板５と一緒に横移動可能
である。
【００６０】同様に左縦枠板４は上横枠板２に対し単独
で横移動し、且つ上横枠板２と一緒に縦移動可能であ
り、下横枠板３は左縦枠板４に対し単独で縦移動し、且
つ左縦枠板４と一緒に横移動可能であり、右縦枠板５は
下横枠板３に対し単独で横移動し、且つ下横枠板３と一
緒に縦移動可能である。よって上記窓６を拡大又は縮小
する。
【００６１】上記各枠板２，３，４，５は互いに等長に
し、該等長の各枠板２，３，４，５の表面にはその両端
に位置決めピン又は位置決め孔１４を夫々各枠板毎に互
いに等間隔で立設する。
【００６２】他方図５に示すように、プローブブロック
８のホルダーとして、等長の長さを有する複数のベース
１５を形成し、各ベース１５に上記拡大窓６の辺又は縮
小窓６の辺と対応する位置に複数のプローブブロック８
を着脱可に取り付けたプローブユニット１６Ａ，Ｂ，Ｃ
を準備する。
【００６３】これらのプローブユニット１６Ａ，Ｂ，Ｃ
を上記拡大窓６又は縮小窓６に応じて選択し、上記各枠
板２，３，４，５の位置決めピン又は位置決め孔１４に
挿入し、一体に且つ着脱可に取り付ける。よってプロー
ブブロック８はホルダーたるベース１５を介して各枠板
２，３，４，５に取り付け支持される。
【００６４】図６Ａ，Ｂに示すように、上記フラットパ
ネルディスプレイ７の支持枠体１及び検査用プローブブ
ロックの支持枠体１は、何れも方形枠体によって構成さ
れており、液晶パネルに代表されるフラットパネルディ
スプレイ７を支持した後方方形枠体１の前面側に検査用
プローブブロック８を支持した前方方形枠体１を配置
し、後方方形枠体１を前方方形枠体１に進退可に設け、
同前進によってフラットパネルディスプレイ７の辺縁部
に配置された電極パッド１０に検査用プローブブロック
８の検査プローブ９を加圧接触せしめ、又後方方形枠体
１の後退時にフラットパネルディスプレイ７の交換を行
うようにしている。
【００６５】又は前方方形枠体１の窓６を拡大して、前
方方形枠体１の前方から該拡大窓６を通して後方方形枠
体１上へのフラットパネルディスプレイ７の交換を行
う。この場合は後方方形枠体１を進退可に設けなくても
良い。
【００６６】即ち上記第１乃至第４実施形態例において
は、検査用プローブブロック８を支持する枠板２，３，
４，５から成る方形支持枠体１の背面側に、フラットパ
ネルディスプレイ７を支持する枠板２，３，４，５から
成る方形支持枠体１を配し、フラットパネルディスプレ
イ７を支持する背面側の方形支持枠体１の窓６の背後に
照光手段を設け、該照光手段により窓６を通してフラッ
トパネルディスプレイ７を照光し、これにより前面の方
形支持枠体１の窓６を通して電極パッド１０とプローブ
９の接触状態を照光観察しつつ検査を実行する。
【００６７】
【発明の効果】本発明によれば、上記上下横枠板と左右
縦枠板の縦移動と横移動とによって、フラットパネルデ
ィスプレイの大きさに対応した検査用プローブ支持枠体
を容易に形成でき、これにより１台の検査装置を大きさ
の異なる各種フラットパネルディスプレイに適合させる
ことができ、極めて経済的であって、検査作業の効率を
向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】Ａ，Ｂはフラットパネルディスプレイの支持枠
体の拡大と縮小状態を示す正面図。
【図２】Ａ，Ｂはプローブブロックの支持枠体の拡大と
縮小状態を示す正面図。
【図３】Ａ，Ｂはフラットパネルディスプレイの支持枠
体の他例を拡大と縮小状態を以って示す正面図。
【図４】Ａ，Ｂはプローブブロックの支持枠体の他例を
拡大と縮小状態を以って示す正面図。
【図５】プローブユニットの各例を示す平面図。
【図６】プローブブロックを支持する方形枠体とフラッ
トパネルディスプレイを支持する方形枠体とによって形
成される検査装置を接触前（Ａ図）と接触後（Ｂ図）を
以って示す断面図。
【図７】各枠板相互の連結機構を示す拡大断面図。
【符号の説明】
１ 支持枠体 ２ 上横枠板 ３ 下横枠板 ４ 左縦枠板 ５ 右縦枠板 ６ 窓 ７ フラットパネルディスプレイ ８ プローブブロック ９ プローブ １０ 電極パッド １１ ガイド溝 １２ 突起 １３ 吸引孔 １４ 位置決めピン又は位置決め孔 １５ ベース １６Ａ プローブユニット １６Ｂ プローブユニット １６Ｃ プローブユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平９−229965（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−40302（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−78122（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 11/00 G01R 1/06 G01R 31/00 G01R 31/28 G02F 1/13 101 G09F 9/00 352 G09G 3/20 670 H01J 9/42

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】検査対象であるフラットパネルディプレイ
    の電極パッドに加圧接触する検査用のプローブロックを
    支持する方形支持枠体であって、該方形支持枠体が右縦
    枠板に対して単独で縦移動し且つ左縦枠板の縦移動と一
    緒に縦移動する上横枠板と、左縦枠板に対し単独で縦移
    動し且つ右縦枠板の縦移動と一緒に縦移動する下横枠板
    と、上横枠板に対して単独で横移動し且つ下横枠板の横
    移動と一緒に横移動する左縦枠板と、下横枠板に対して
    単独で横移動し且つ上横枠板の横移動と一緒に横移動す
    る右縦枠板とから組み立てられ、上記上下横枠板と左右
    縦枠板の上記縦移動と横移動とにより上記上下横枠板と
    左右縦枠板で画成される窓を拡大又は縮小する構成と
    し、更に上記上下横枠板と左右縦枠板の両端に位置決め
    ピン又は位置決め孔を互いに等間隔に設け、該位置決め
    ピン又は位置決め孔にプローブブロックのホルダーたる
    ベースの両端に設けた位置決め孔又は位置決めピンを挿
    入して上記上下横枠板と左右縦枠板とに一体に且つ着脱
    可に取り付け、各ベースには上記拡大又は縮小された窓
    の辺と対応する位置に複数のプローブブロックを着脱可
    に取り付ける構成としたことを特徴とするプローブブロ
    ックの支持枠体。
  2. 【請求項２】検査対象であるフラットパネルディプレイ
    の電極パッドに加圧接触する検査用のプローブロックを
    支持する方形支持枠体であって、該方形支持枠体が左縦
    枠板に対して単独で縦移動し且つ右縦枠板の縦移動と一
    緒に縦移動する上横枠板と、右縦枠板に対し単独で縦移
    動し且つ左縦枠板の縦移動と一緒に縦移動する下横枠板
    と、下横枠板に対して単独で横移動し且つ上横枠板の横
    移動と一緒に横移動する左縦枠板と、上横枠板に対して
    単独で横移動し且つ下横枠板の横移動と一緒に横移動す
    る右縦枠板とから組み立てられ、上記上下横枠板と左右
    縦枠板の上記縦移動と横移動とにより上記上下横枠板と
    左右縦枠板で画成される窓を拡大又は縮小する構成と
    し、更に上記上下横枠板と左右縦枠板の両端に位置決め
    ピン又は位置決め孔を互いに等間隔に設け、該位置決め
    ピン又は位置決め孔にプローブブロックのホルダーたる
    ベースの両端に設けた位置決め孔又は位置決 めピンを挿
    入して上記上下横枠板と左右縦枠板とに一体に且つ着脱
    可に取り付け、各ベースには上記拡大又は縮小された窓
    の辺と対応する位置に複数のプローブブロックを着脱可
    に取り付ける構成としたことを特徴とするプローブブロ
    ックの支持枠体。
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