JP7250182B2 - ディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体、この制御方法およびディスプレイパネル検査装置 - Google Patents

Description

本発明はディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体、この制御方法およびディスプレイパネル検査装置に関する。

平板ディスプレイ装置として使われる有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）は視野角が広く、コントラストが優秀であるとともに応答速度が速いという長所を有しているため、最近スマートフォン、テレビなどに広く使われている。

有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）は基板となるパネル上に有機発光層の形成のための有機物層が蒸着されることになり、これによって、電気的信号によって光と色を出すことになるピクセルが具現されることになる。

ここで、蒸着によって基板となるパネル上に有機物層が形成されてピクセルが具現されることになると、封止工程の前にピクセルの不良の有無に対する検査が進行されなければならない。

従来には検査の途中で飛散するパーティクルからの汚染などを防止するために、フェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）方式、すなわち、検査が必要なディスプレイパネルの蒸着部が存在する一面が下を向いている状態で検査が進行された。

ディスプレイパネルは使用目的により多様な大きさで製造されてもよく、製造工程上でマザーガラスパネル上に提供されることになり、マザーガラスパネルは面取り効率を増大させるために、同一大きさのディスプレイパネルが複数個存在する単一タイプまたは多様な大きさのディスプレイパネルが混合されて形成される混合タイプであってもよい。

従来にはディスプレイパネルの不良の有無を検査するために、マザーガラスパネル上のディスプレイパネルの蒸着部が存在する一面が下部を向いている状態でフィッシュボーン（Ｆｉｓｈｂｏｎｅ）タイプのステージモジュールに配置され、フィッシュボーン（Ｆｉｓｈｂｏｎｅ）タイプのステージモジュールは前記蒸着部が下部を向いている状態で蒸着部が存在する一面のうち蒸着部が形成されていない外郭部分をグリップした後、検査のためのチャンバー内に移動することになる。

その後、真空プレートによって蒸着部が存在しないマザーガラスパネルの他面が吸着されることになり、プローブユニットのプローブブロックが位置する所に移動された後、ディスプレイパネルの接触パッドがプローブブロックに接触するようにすることによって検査が進行された。

しかし、従来の検査方法は比較的大きさの小さいマザーガラスパネル上のディスプレイパネルを検査するには有用であるものの、大型マザーガラスパネル上のディスプレイパネルをフェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）方式で不良の有無を検査するには深刻な問題が発生して適用が難しいのが実情である。

換言すると、大型マザーガラスパネルの場合、蒸着部が存在する一面が下部を向いている状態でフィッシュボーン（Ｆｉｓｈｂｏｎｅ）タイプのステージモジュールに配置することになると、フィッシュボーン（Ｆｉｓｈｂｏｎｅ）タイプのステージモジュールは蒸着部が存在する一面のうち蒸着部が形成されていない外郭部分を支持することになるが、この時、大型マザーガラスパネルは自重によって中央部が垂れてしまい、事実上正確な検査が不可能である。

また、従来の検査方法は前述した問題の他に下記のような問題がさらに発生することになる。

プローブユニットには一種類のディスプレイパネルの不良の有無を検査するためのプローブブロックが装着されるしかなく、このため、マザーガラスパネル上に検査が必要な多様な大きさのディスプレイパネルが存在して検査の対象となるディスプレイパネルが変わる場合、必然的にそれに合う新しいプローブユニットに取り替える必要がある。

プローブユニットの取り替え作業は作業者によって手動でなされるのが一般的であり、これに伴い、取り替え作業に所要する時間が長くなって歩留まりが低下する問題がある。

それだけでなく、プローブユニットの取り替え時に作業者が怪我または感電する場合がたびたび発生する問題があった。

したがって、検査の途中で飛散するパーティクルからの汚染などを防止するためのフェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）方式で、大型マザーガラスパネル上の多様な種類のディスプレイパネルの不良の有無を迅速かつ正確に検査するための設備開発に対する研究が急を要しているのが実情である。

本発明の目的は、フェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）またはフェイスアップ（Ｆａｃｅ ｕｐ）方式で大型または小型マザーガラスパネル内に含まれた多様な大きさのディスプレイパネルの不良の有無に対する検査をプローブユニットの取り替えなしに進行されるようにして、歩留まりの増加および作業者の安全事故が防止されるようにするディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体、この制御方法およびディスプレイパネル検査装置を提供することである。

本発明に係るディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体は、マザーガラスパネル－前記マザーガラスパネルの一面は有機発光層の形成のための有機物層が蒸着された少なくとも一種類以上のディスプレイパネルが備えられ、前記ディスプレイパネルは、側面に沿って形成された複数の電極パッドを具備する－の位置移動を通じて、検査位置に移動された前記ディスプレイパネルの前記複数の電極パッドが接触して不良の有無に対する検査が進行されるようにする複数のプローブブロック；および前記複数のプローブブロックを支持するプローブユニット；を含み、前記複数のプローブブロックは、それぞれの前記複数の電極パッドに接触するそれぞれのプローブピンを具備し、前記ディスプレイパネルに対する検査が進行されるために、それぞれプローブブロック積載ユニットに積載されたプローブブロック内で選択された後、搬出されて前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるための位置に存在する前記プローブユニット上の所定の位置に装着されることを特徴とすることができる。

前記ディスプレイパネルの検査が完了した後、大きさの異なる他のディスプレイパネルの検査のために前記複数のプローブブロックのうち少なくとも一つが不要であるか取り替えが必要な場合、本発明に係るプローブブロック組立体の前記不要であるか取り替えが必要なプローブブロックは、前記プローブユニットから選択された後に搬出されて前記プローブブロック積載ユニットに積載されることを特徴とすることができる。

本発明に係るプローブブロック組立体の前記プローブユニットは、前記ディスプレイパネルの検査が完了した後、大きさの異なる他のディスプレイパネルの検査のために追加プローブブロックが必要な場合、前記プローブブロック積載ユニットに積載されたプローブブロック内で前記追加プローブユニットが選択された後、搬出されて前記追加プローブユニットが装着され得る装着領域を提供することを特徴とすることができる。

本発明に係るプローブブロック組立体の前記プローブユニットは、プローブブロックがそれぞれ個別的に装着されるための複数の装着領域を具備し、前記複数の装着領域のうちプローブブロックが装着されるための装着領域は、検査の対象となるディスプレイパネルの電極パッドの個数および形成位置に基づいて選択されることを特徴とすることができる。

本発明に係るプローブブロック組立体の前記複数の装着領域は、それぞれプローブブロックが装着される位置を案内するために、前記プローブブロックに形成された位置固定部と相互作用をする案内部を具備することを特徴とすることができる。

本発明に係るプローブブロック組立体の前記プローブユニットは、前記プローブユニット上に前記複数のプローブブロックが装着される場合、それぞれのプローブブロックに対して電源が印加されるようにする電源印加部；をさらに含み、前記プローブブロックは、複数のプローブピン、前記複数のプローブピンを支持する本体、前記電源印加部との電気的接続によって前記電源が前記複数のプローブピンに印加されるようにする接続端子および前記複数のプローブピンと前記接続端子を電気的に連結するための回路パターン部を含むことを特徴とすることができる。

本発明に係るプローブブロック組立体の前記接続端子は、前記電源印加部によって電源が印加される電源印加端子と同じ個数または以下の個数で形成され、前記回路パターン部は、前記複数のプローブピンの個数が前記電源印加端子の個数より少ない場合、前記電源印加端子に印加された電源の一部のみ前記複数のプローブピンに印加されるようにすることを特徴とすることができる。

本発明に係るプローブブロック組立体の前記プローブユニットは、取り替えなしに、前記所定の位置に装着された前記複数のプローブブロックのうち少なくとも一つ以上を取り替えて、前記検査が進行される前記ディスプレイパネルと他のディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるようにすることを特徴とすることができる。

本発明に係るディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体、この制御方法およびディスプレイパネル検査装置によると、フェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）またはフェイスアップ（Ｆａｃｅ ｕｐ）方式で大型または小型マザーガラスパネル内に含まれた多様な大きさのディスプレイパネルの不良の有無に対する検査をプローブユニットの取り替えなしに進行されるようにして、歩留まりの増加および作業者の安全事故を防止することができる。

本発明に係るディスプレイパネル検査設備によって不良の有無が検査されるディスプレイパネルを説明するための図面である。 本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供されるステージモジュール上に載置され得るマザーガラスパネルに含まれたディスプレイパネルの組み合わせに対する多様な実施例を説明するための図面である。 本発明に係るディスプレイパネル検査設備を説明するためのブロック構成図である。 本発明に係るディスプレイパネル検査設備を説明するための図面である。 本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供される検査工程進行設備内の空気の流れを説明するための図面であって、図４のＡＡ線に沿った概略断面図である。 本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供される検査工程進行設備内の空気の流れを説明するための図面であって、図４のＢＢ線に沿った概略断面図である。 本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供されるマザーガラスパネル移送装置によってマザーガラスパネルが真空吸着モジュールに吸着される過程を説明するためのフローチャートである。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるステージモジュール上にマザーガラスパネルが正常状態で載置される状況を説明するための図面である。 図８に図示された状況からステージモジュールの回転によって正常状態のマザーガラスパネルが逆転状態に変化する状況を説明するための図面である。 図８に図示された状況からステージモジュールの回転によって正常状態のマザーガラスパネルが逆転状態に変化する状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールがステージモジュールに進入する状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールが逆転状態のマザーガラスパネルを吸着した状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールが逆転状態のマザーガラスパネルを吸着した状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールが第１位置に移動した状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるピッカーモジュールが下降して逆転状態のマザーガラスパネルを吸着する状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるピッカーモジュールが下降して逆転状態のマザーガラスパネルを吸着する状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールが元の位置に復帰する状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるピッカーモジュールが第２位置に上昇する状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるピッカーモジュールが第３位置に上昇する状況を説明するための図面である。 本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供されるディスプレイパネル検査装置を説明するための図面である。 本発明に係るディスプレイパネル検査装置によってマザーガラスパネルに備えられる６５インチディスプレイパネルと５５インチディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行される状況を説明するための図面である。 本発明に係るディスプレイパネル検査装置によってマザーガラスパネルに備えられる６５インチディスプレイパネルと５５インチディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行される状況を説明するための図面である。 本発明に係るディスプレイパネル検査装置によってマザーガラスパネルに備えられる６５インチディスプレイパネルと５５インチディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行される状況を説明するための図面である。 本発明に係るディスプレイパネル検査装置によってマザーガラスパネルに備えられる６５インチディスプレイパネルと５５インチディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行される状況を説明するための図面である。 本発明に係るディスプレイパネル検査装置によってマザーガラスパネルに備えられる６５インチディスプレイパネルと５５インチディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行される状況を説明するための図面である。 本発明に係るディスプレイパネル検査装置によってマザーガラスパネルに備えられる６５インチディスプレイパネルと５５インチディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行される状況を説明するための図面である。 本発明に係るディスプレイパネル検査装置によってマザーガラスパネルに備えられる６５インチディスプレイパネルと５５インチディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行される状況を説明するための図面である。 本発明に係るディスプレイパネル検査装置によってマザーガラスパネルに備えられる６５インチディスプレイパネルと５５インチディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行される状況を説明するための図面である。 プローブブロックに提供されるプローブピンに電源が印加される他の方法を説明するための図面である。 プローブユニット上にプローブブロックを固定または分離させるための方法を説明するための図面である。 プローブユニット上にプローブブロックを固定または分離させるための方法を説明するための図面である。

本発明に係るディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体は、マザーガラスパネル－前記マザーガラスパネルの一面は有機発光層の形成のための有機物層が蒸着された少なくとも一種類以上のディスプレイパネルが備えられ、前記ディスプレイパネルは、側面に沿って形成された複数の電極パッドを具備する－の位置移動を通じて、検査位置に移動された前記ディスプレイパネルの前記複数の電極パッドが接触して不良の有無に対する検査が進行されるようにする複数のプローブブロック；および前記複数のプローブブロックを支持するプローブユニット；を含み、前記複数のプローブブロックは、それぞれ前記複数の電極パッドそれぞれに接触するプローブピンを具備し、前記ディスプレイパネルに対する検査が進行されるために、それぞれプローブブロック積載ユニットに積載されたプローブブロック内で選択された後、搬出されて前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるための位置に存在する前記プローブユニット上の所定の位置に装着されることを特徴とすることができる。

以下では、図面を参照して本発明の具体的な実施例を詳細に説明する。ただし、本発明の思想は提示される実施例に制限されず、本発明の思想を理解する当業者は同一思想の範囲内で他の構成要素を追加、変更、削除等を通じて、退歩的な他の発明や本発明思想の範囲内に含まれる他の実施例を容易に提案できるであろうが、これもまた本願発明思想範囲内に含まれるものと言える。

また、各実施例の図面に示される同一思想の範囲内の機能が同一の構成要素は同一の参照符号を使って説明する。

１．ディスプレイパネルおよびマザーガラスパネル
図１は本発明に係るディスプレイパネル検査設備によって不良の有無が検査されるディスプレイパネルを説明するための図面であり、図２は本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供されるステージモジュール上に載置され得るマザーガラスパネルに含まれたディスプレイパネルの組み合わせに対する多様な実施例を説明するための図面である。

図１を参照すると、ディスプレイパネルＤＰは基板となるパネル上に有機発光層の形成のための有機物層が蒸着されてピクセルが具現されたものであり、例えばＬＣＤまたはＯＬＥＤであってもよく、封止工程の前に本発明に係るディスプレイパネル検査設備（１０００、図３および図４参照）により不良の有無に対する検査が進行され得る。

前記ディスプレイパネルＤＰは、ピクセルの不良の有無に対する検査のために第１側面に沿って形成される第１電極パッドＥＰ１、第２側面に沿って形成される第２電極パッドＥＰ２、第３側面に沿って形成される第３電極パッドＥＰ３および第４側面に沿って形成される第４電極パッドＥＰ４を具備することができる。

ただし、前記ディスプレイパネルＤＰはパネルの特性により電極パッドの個数および形成位置などは変わり得る。

前記ディスプレイパネルＤＰは製造工程上でステージモジュール（１１０、図３および図４参照）の大きさに従属的に大きさが決定されるマザーガラスパネルＭＰに複数個が形成された後、切断などの工程を通じて製造され得、前記マザーガラスパネルＭＰはディスプレイパネルＤＰの生産の基盤となるガラス基板であってもよい。

前記マザーガラスパネルＭＰは空いた空間を最小化して不良検査に対する効率性を増大させるために、すなわち、面取り効率を増大させるために、同一大きさのディスプレイパネルＤＰが複数個存在する単一タイプまたは多様な大きさのディスプレイパネルＤＰが混合されて形成された混合タイプであってもよい。

例えば、前記マザーガラスパネルＭＰは図２（ａ）に図示された通り、９８インチディスプレイパネル２個の混合タイプ、図２（ｂ）に図示された通り、６５インチディスプレイパネル３個と３２インチディスプレイパネル６個の混合タイプ、図２（ｃ）に図示された通り、３１．５インチディスプレイパネル１８個の単一タイプ、図２（ｄ）に図示された通り、４９インチディスプレイパネル２個と７５インチディスプレイパネル２個の混合タイプおよび図２（ｅ）に図示された通り、６５インチディスプレイパネル３個と５５インチディスプレイパネル２個の混合タイプであってもよいが、必ずしもこれに限定されるものではなく、多様な大きさのディスプレイパネルの混合タイプが適用されたパネルであってもよい。

本発明に係るディスプレイパネル検査設備１０００は、前述した多様な組み合わせの混合タイプのマザーガラスパネルＭＰに含まれたすべてのディスプレイパネルのそれぞれに対する不良の有無を検査することができ、以下では前記マザーガラスパネルが６５インチディスプレイパネル３個と５５インチディスプレイパネル２個か形成された混合タイプである場合を代表的な例として説明する。

２．ディスプレイパネル検査設備
図３は本発明に係るディスプレイパネル検査設備を説明するためのブロック構成図であり、図４は本発明に係るディスプレイパネル検査設備を説明するための図面である。

図３および図４を参照すると、本発明に係るディスプレイパネル検査設備１０００は、背面吸着方式、すなわち、フェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）方式でマザーガラスパネルＭＰ内に含まれた多様な大きさのディスプレイパネルＤＰの不良の有無をプローブユニット（ＰＵ１、ＰＵ２、図２０参照）の取り替えなしに進行されるようにして、不良の有無の検査の正確性および迅速性などを最大化できる検査設備であって、検査工程準備設備１１００および検査工程進行設備１２００を含むことができる。

検査工程準備設備１１００は、一面に有機発光層の形成のための有機物層が蒸着された少なくとも一種類以上のディスプレイパネルＤＰが備えられるマザーガラスパネルＭＰの前記一面が上部を向いている正常状態で前記マザーガラスパネルＭＰの他面がステージモジュール１１０に吸着されると、前記ステージモジュール１１０は回転されて前記マザーガラスパネルＭＰが前記正常状態から前記一面が下部を向いている状態である逆転状態になるようにした後、移送モジュール１２０が前記逆転状態の前記マザーガラスパネルＭＰの伝達を受けて前記逆転状態を維持しながら、次回の工程のための設備に前記マザーガラスパネルＭＰを移動させるための設備であってもよい。

検査工程進行設備１２００は、前記移送モジュール１２０によって進入した前記マザーガラスパネルＭＰの他面をピッカーモジュール１３０が吸着した後、前記ピッカーモジュール１３０の位置移動を通じて真空吸着モジュール１４０が前記逆転状態の前記マザーガラスパネルＭＰを吸着すると、前記真空吸着モジュール１４０の位置移動を通じて前記ディスプレイパネルＤＰの電極パッドがディスプレイパネル検査装置２００のプローブブロック（ＰＢ、図２２参照）のプローブピン（３００２、図２２参照）に接触するようにして、前記ディスプレイパネルＤＰの不良の有無に対する検査が進行されるための設備であってもよい。

一方、本発明に係るディスプレイパネル検査設備１０００は、マザーガラスパネルＭＰがステージモジュール１１０に載置され、移送モジュール１２０によって前記マザーガラスパネルＭＰがピッカーモジュール１３０を媒介として真空吸着モジュール１４０に吸着されるまでの構成要素をマザーガラスパネル移送装置１００と定義することができ、前記マザーガラスパネル移送装置１００によって前記真空吸着モジュール１４０に吸着されたディスプレイパネルＤＰがプローブブロック組立体２０００およびプローブブロック積載ユニット３０００を含むディスプレイパネル検査装置２００によって不良の有無に対する検査が進行される過程は図２０～図２８を参照して具体的に説明する。

図５および図６は本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供される検査工程進行設備内の空気の流れを説明するための図面であって、図５は図４のＡＡ線に沿った概略断面図であり、図６は図４のＢＢ線に沿った概略断面図である。

図３および図４とともに図５および図６を参照すると、検査工程進行設備１２００はディスプレイパネルＤＰの電極パッドとプローブブロック（ＰＢ、図２２参照）のプローブピン（３００２、図２２参照）が接触して前記ディスプレイパネルＤＰの前記不良の有無に対する検査が進行されるための第１空間部３００、および前記不良の有無に対する検査の対象となるディスプレイパネルＤＰを撮影して前記ディスプレイパネルＤＰ上のシミまたはスクラッチなどの存在の有無を確認するためのビジョンモジュール４１０が位置移動可能に設置される第２空間部４００を含むことができ、前記第２空間部４００は前記第１空間部３００の下部に位置することができる。

ここで、前記ビジョンモジュール４１０は例えば、４個のカメラユニットを含むことができ、前記カメラユニットは撮影の対象となるディスプレイパネルＤＰのサイズによりＷｏｒｋｉｎｇ Ｄｉｓｔａｎｃｅ（ＷＤ）が変わることになるため、上部または下部に向かって位置移動可能であってもよい。

また、４個のカメラユニットは撮影対象となるディスプレイパネルＤＰの大きさに対応して前記ディスプレイパネルＤＰの全体領域を撮影しなければならないため、それぞれ撮影の対象となるディスプレイパネルＤＰの１／４領域の中央部に位置しなければならず、このために前方または後方、左方または右方に位置移動され得る。また、必要な場合、撮影の対象となるディスプレイパネルＤＰの回転に対応するために正回転または逆回転されてもよい。

一方、検査工程準備設備１１００および検査工程進行設備１２００内でのディスプレイパネルＤＰの不良の有無に対する検査は、窒素雰囲気下で進行され得る。

特に、検査工程進行設備１２００の場合、第１空間部３００および第２空間部４００内で前記窒素空気は停滞することなく循環が安定的になされなければならない。

このために、前記検査工程進行設備１２００は、前記第１空間部３００内の上部に位置する強制循環モジュール３１０、前記第１空間部３００内での前記窒素空気の循環のために上部と下部を連結する第１循環ダクトモジュール３２０および前記第１空間部３００と前記第２空間部４００を連結する第２循環ダクトモジュール４２０を含むことができる。

前記第２循環ダクトモジュール４２０は前記第１空間部３００から前記第２空間部４００に流入した前記窒素空気が前記第１空間部３００に再び流入して循環され得るようにすることができ、前記第２循環ダクトモジュール４２０上には強制吸入モジュール４３０が位置することができる。

ここで、前記強制循環モジュール３１０および前記強制吸入モジュール４２０は一種の吸入ファンであって、前記強制吸入モジュール４２０は前記第２循環ダクトモジュール４１０上に位置して前記第１空間部３００から前記第２空間部４００に流入した前記窒素空気を吸入した後、前記第１空間部３００に排出されるようにすることができる。

したがって、前記検査工程進行設備１２００は均一な窒素雰囲気下でディスプレイパネルの検査工程が進行されることになる。

一方、検査工程準備設備１１００および検査工程進行設備１２００はメンテナンス時に作業者が内部に入らなければならないため、清浄乾燥空気（ＣＤＡ）雰囲気への転換がなされ得る。

３．マザーガラスパネル移送装置
図７は、本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供されるマザーガラスパネル移送装置によってマザーガラスパネルが真空吸着モジュールに吸着される過程を説明するためのフローチャートである。

まず、図３および図４を参照すると、マザーガラスパネル移送装置１００はステージモジュール１１０、移送モジュール１２０、ピッカーモジュール１３０および真空吸着モジュール１４０等を含むことができる。

前記ステージモジュール１１０はマザーガラスパネルＭＰの一面が上部を向いている正常状態で前記マザーガラスパネルＭＰの他面を吸着して固定させるための構成要素であって、前記マザーガラスパネルＭＰの一面は有機発光層の形成のための有機物層が蒸着された少なくとも一種類以上のディスプレイパネルＤＰが備えられ得る。

ここで、前記マザーガラスパネルＭＰの前記他面は全体的に非蒸着部であってもよい。

前記ステージモジュール１１０は前記ディスプレイパネルがフェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）方式で検査されるようにするために回転され得、これによって前記ステージモジュール１１０に前記正常状態に配置されて吸着された前記マザーガラスパネルＭＰは前記一面が下部を向いている状態である逆転状態となり得る。

前記移送モジュール１２０は前記ステージモジュール１１０上で前記正常状態から前記逆転状態に状態が変化した前記マザーガラスパネルＭＰの前記他面を吸着した後、前記マザーガラスパネルＭＰを前記逆転状態を維持しながら不良の有無に対する検査のための第１位置に移動させるための構成要素であってもよい。

前記ピッカーモジュール１３０は前記移送モジュール１２０により前記第１位置に移動した前記マザーガラスパネルＭＰの前記他面を吸着した後、前記逆転状態を維持しながら前記第１位置を基準として上昇した位置である第２位置に移動させるための構成要素であって、後述する板状の真空吸着モジュール１４０が前記逆転状態の前記マザーガラスパネルＭＰを吸着するようにすることができる。

前記真空吸着モジュール１４０は前記移送モジュール１２０により前記第２位置に前記逆転状態のマザーガラスパネルＭＰが移動されると、前記逆転状態で平滑度を維持しながら前記マザーガラスパネルＭＰを吸着することができ、以後にはディスプレイパネル検査装置２００のプローブブロックＰＢのプローブピン３００２との相互作用によって前記ディスプレイパネルＤＰの不良の有無に対する検査が進行されるようにする構成要素であってもよい。

前記真空吸着モジュール１４０により前記逆転状態でマザーガラスパネルＭＰが吸着されると、前記真空吸着モジュール１４０は前記マザーガラスパネルＭＰを前記逆転状態で維持した状態で位置移動を通じて、前記ディスプレイパネルＤＰの電極パッドと前記プローブブロックＰＢのプローブピン３００２が接触するようにして、前記逆転状態で前記ディスプレイパネルＤＰの不良の有無に対する検査が進行されることになる。

ここで、前記マザーガラスパネルＭＰが最終的に前記逆転状態を維持しながら真空吸着モジュール１４０に吸着されなければならない理由は、ディスプレイパネルＤＰの不良の有無の検査のためのディスプレイパネルＤＰの正確な位置制御およびディスプレイパネルＤＰの平滑度を維持するためであり、もし真空吸着モジュール１４０ではなく他の構成要素によってマザーガラスパネルＭＰが吸着された状態でディスプレイパネル検査装置２００に移動することになると、平滑度などで問題が発生して正確な不良の有無に対する検査が保障できないためである。

以下では、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置１００によってマザーガラスパネルＭＰが真空吸着モジュール１４０に吸着される過程を説明する。

図７を参照すると、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置１００によってマザーガラスパネルが真空吸着モジュールに吸着される段階は、正常状態でマザーガラスパネルＭＰがステージモジュール１１０上に配置される第１段階（Ｓ１０）、前記ステージモジュール１１０が回転する第２段階（Ｓ２０）、移送モジュール１２０が進入して前記マザーガラスパネルＭＰを吸着する第３段階（Ｓ３０）、前記移送モジュール１２０が第１位置に移動する第４段階（Ｓ４０）、ピッカーモジュール１３０が下降して前記マザーガラスパネルＭＰを吸着する第５段階（Ｓ５０）、前記移送モジュール１２０が復帰する第６段階（Ｓ６０）、前記ピッカーモジュール１３０が第２位置に上昇する第７段階（Ｓ７０）、真空吸着モジュール１４０により前記ディスプレイパネルＤＰが吸着される第８段階（Ｓ８０）、前記ピッカーモジュール１３０が上昇して第３位置に移動する第９段階（Ｓ９０）を含むことができる。

以下では、前述した各段階について図８～図１９を参照して具体的に説明する。

図８は、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるステージモジュール上にマザーガラスパネルが正常状態で載置される状況を説明するための図面である。

図８を参照すると、マザーガラスパネルＭＰは正常状態でステージモジュール１１０上に配置（Ｓ１０）された後、吸着され得る。

ここで、前記マザーガラスパネルＭＰは説明の便宜のために、少なくとも一つ以上のディスプレイパネルＤＰが備えられた一面を陰影で表現したことを明らかにしておく。

一方、前記マザーガラスパネルＭＰを前記ステージモジュール１１０上に配置させる方法は特に定められるものではなく、窒素雰囲気下でロボット装置などによる自動方法または作業者による手動方法など、多様であってもよい。

前記ステージモジュール１１０は前記正常状態で前記マザーガラスパネルＭＰの前記他面ＳＦ２を吸着するための複数のステージユニット１１２を含むことができ、前記ステージユニット１１２はそれぞれ互いに離隔するように配置された間に第１空間Ｓ１が形成されるようにすることができる。

例えば、前記ステージユニット１１２は図８に図示された通り、９個で形成され得るが、必ずしもこれに限定されるものではなく、支持すべき前記マザーガラスパネルＭＰが自重によって中央部が垂れずに安定的に支持できる程度であれば個数が変更されてもよい。

前記ステージユニット１１２にはそれぞれ前記マザーガラスパネルＭＰを吸着するための吸着パッドなどの吸着手段１１４を具備することができ、前記吸着手段１１４の個数は制限がない。

図９および図１０は、図８に図示された状況からステージモジュールの回転によって正常状態のマザーガラスパネルが逆転状態に変化する状況を説明するための図面である。

図９および図１０を参照すると、前記ステージモジュール１１０は正常状態で前記マザーガラスパネルＭＰを吸着したまま回転（Ｒ、Ｓ２０）され得、回転方向は制限がない。

前記ステージモジュール１１０の回転のための駆動方法は特に定められるものではなく、例えば、公知のモータなどを利用して回転され得る。

前記ステージモジュール１１０が回転すると、正常状態で吸着されたマザーガラスパネルＭＰは蒸着部が存在する一面ＳＦ１が下部を向いている状態である逆転状態に状態が変化することになる。

前記マザーガラスパネルＭＰは不良の有無に対する検査が進行される間持続的に逆転状態を維持することになり、これによってディスプレイパネルＤＰはフェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）方式で不良の有無に対する検査を進行できることになる。

図１１は本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールがステージモジュールに進入する状況を説明するための図面であり、図１２および図１３は本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールが逆転状態のマザーガラスパネルを吸着した状況を説明するための図面である。

図１１～図１３を参照すると、前記ステージモジュール１１０の回転によってマザーガラスパネルＭＰが逆転状態になると、移送モジュール１２０が前記ステージモジュール１１０に進入した後、前記マザーガラスパネルＭＰを吸着（Ｓ３０）することになる。

前記移送モジュール１２０は前記ステージユニット１１２により提供される第１空間Ｓ１に挿入されて逆転状態に配置される前記マザーガラスパネルＭＰの他面ＳＦ２を吸着するための複数の移送ユニット１２２を含むことができる。

前記移送ユニット１２２は前記ステージユニット１１２と同様にそれぞれ離隔するように配置され得る。

例えば、前記移送ユニット１２２は図面に図示された通り、８個で形成され得るが、必ずしもこれに限定されるものではない。

前記移送ユニット１２２は前記マザーガラスパネルＭＰと前記ステージユニット１１２により提供される第１空間Ｓ１に進入した後、前記マザーガラスパネルＭＰの他面ＳＦ２を吸着することができ、前記マザーガラスパネルＭＰの吸着のために必要であれば上下方向に位置移動してもよい。

前記移送ユニット１２２にはそれぞれ前記マザーガラスパネルＭＰを吸着するための吸着パッドなどの吸着手段１２４を具備することができ、前記吸着手段１２４の個数は制限がない。

前記のように前記移送ユニット１２２により前記マザーガラスパネルＭＰが吸着されると、前記ステージユニット１１２による前記マザーガラスパネルＭＰの吸着は解除されることになり、これによって前記マザーガラスパネルＭＰは前記移送ユニット１２２の移動と連動されることになる。

図１４は、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールが第１位置に移動した状況を説明するための図面である。

図１４を参照すると、移送モジュール１２０は逆転状態のマザーガラスパネルＭＰを吸着した状態で、前記逆転状態を維持しながら不良の有無に対する検査のための第１位置に移動（Ｓ４０）され得る。

ここで、前記第１位置は前記逆転状態のマザーガラスパネルＭＰが真空吸着モジュール１４０およびピッカーモジュール１３０が配置される位置を基準として下部上の位置を意味し得、以後の段階で前記ピッカーモジュール１３０が前記逆転状態の前記マザーガラスパネルＭＰを前記逆転状態を維持しながら安定的に吸着できるようにすることができる。

図１５および図１６は本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるピッカーモジュールが下降して逆転状態のマザーガラスパネルを吸着する状況を説明するための図面であり、図１７は本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールが元の位置に復帰する状況を説明するための図面である。

図１５および図１６を参照すると、ピッカーモジュール１３０は第３位置に位置した状態で下降によって真空吸着モジュール１４０を通過した後、第１位置に移動することができ、移送モジュール１２０により前記第１位置に移動した逆転状態のマザーガラスパネルＭＰを吸着（Ｓ５０）することができる。

前記ピッカーモジュール１３０は前記マザーガラスパネルＭＰの他面ＳＦ２を均一に吸着して垂れることを防止するように互いに離隔して配置される複数のピッカーユニット１３２を含むことができる。

前記ピッカーモジュール１３０により前記マザーガラスパネルＭＰが吸着されると、前記移送モジュール１２０は図１７に図示された通り、吸着を解除して前記マザーガラスパネルＭＰから分離されて元の位置に位置移動（Ｓ６０）され得る。

元の位置に位置移動した前記移送モジュール１２０は他のマザーガラスパネルに備えられる他のディスプレイパネルを検査するために動作できることになる。

図１８は、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるピッカーモジュールが第２位置に上昇する状況を説明するための図面である。

図１８を参照すると、ピッカーモジュール１３０は逆転状態のマザーガラスパネルＭＰを吸着した後、上昇によって第２位置に移動（Ｓ７０）され得、これによって真空吸着モジュール１４０は前記マザーガラスパネルＭＰを吸着（Ｓ８０）できることになる。

ここで、前記第２位置は前記第１位置を基準として前記ピッカーモジュール１３０により前記真空吸着モジュール１４０まで上昇した位置であってもよく、前記真空吸着モジュール１４０は前記ピッカーモジュール１３０により安定的に前記マザーガラスパネルＭＰを逆転状態で吸着できることになる。

前記真空吸着モジュール１４０は前記マザーガラスパネルＭＰを吸着するための吸着パッドなどの複数の吸着手段を具備することができる。

図１９は、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるピッカーモジュールが第３位置に上昇する状況を説明するための図面である。

図１９を参照すると、第２位置に移動した前記マザーガラスパネルＭＰの前記他面ＳＦ２が前記真空吸着モジュール１４０により吸着されると、ピッカーモジュール１３０は吸着を解除して前記マザーガラスパネルＭＰから分離された後、上昇して前記第３位置に復帰（Ｓ９９０）され得る。

以後には、前記真空吸着モジュール１４０およびディスプレイパネル検査装置２００との相互作用によって不良の有無に対する検査が進行され得る。

ここで、前記相互作用は真空吸着モジュール１４０が位置移動してマザーガラスパネルＭＰに備えられるディスプレイパネルＤＰの電極パッドとプローブブロックＰＢのプローブピン３００２の接触を具現し、ディスプレイパネルＤＰの不良の有無に対する検査が進行されることを意味し得る。

以下では、ディスプレイパネル検査装置２００によりディスプレイパネルＤＰの不良の有無に対する検査が進行される過程などを具体的に説明する。

４．ディスプレイパネル検査装置
図２０は、本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供されるディスプレイパネル検査装置を説明するための図面である。

図２０を参照すると、ディスプレイパネル検査装置２００はＬＣＤまたはＯＬＥＤなどを検査できる装置であり、プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２およびプローブブロックＰＢを使ってディスプレイパネルを検査するすべての設備に適用可能であってもよい。

すなわち、前記ディスプレイパネル検査装置２００は図１～図１９を参照して説明したフェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）方式で検査する設備に適用され得るだけでなく、フェイスアップ（Ｆａｃｅ ｕｐ）方式で検査する設備にも適用され得る。

以下では、前記ディスプレイパネル検査装置２００が図１～図１９を参照して説明したフェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）方式で検査する設備に適用される状況を例として説明する。

前記ディスプレイパネル検査装置２００はプローブブロック組立体２０００およびプローブブロック積載ユニット３０００を含むことができる。

前記プローブブロック組立体２０００は、マザーガラスパネルＭＰの一面が下部を向いている逆転状態で前記マザーガラスパネルＭＰの他面を吸着する真空吸着モジュール１４０の位置移動を通じて、検査位置に移動されたディスプレイパネルＤＰが前記逆転状態で不良の有無に対する検査が進行されるようにするための構成であり、前記ディスプレイパネルＤＰの電極パッドと接触するプローブブロックＰＢおよび前記プローブブロックＰＢを支持するプローブユニットＰＵ１、ＰＵ２を含むことができる。

ここで、前記プローブブロック組立体２０００はフェイスアップ（Ｆａｃｅ ｕｐ）方式でマザーガラスパネルＭＰを吸着する真空吸着モジュールの位置移動を通じて、検査位置に移動されたディスプレイパネルＤＰの不良の有無に対する検査が進行されるようにするための構成であってもよい。

前記プローブブロック積載ユニット３０００は多様な種類のプローブブロックＰＢを積載して保管している構成であり、積載されたプローブブロックＰＢの搬出と搬入が可能であってもよい。

前記プローブブロックＰＢはディスプレイパネルＤＰに対する検査が進行されるために、前記プローブブロック積載ユニット３０００に積載された状態で選択された後、搬出されて前記プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２上の所定の位置に装着され得る。

前記プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２はディスプレイパネルＤＰの検査のための第１プローブユニットＰＵ１および前記ディスプレイパネルＤＰの検査が完了した後、大きさの異なる他のディスプレイパネルの検査のための第２プローブユニットＰＵ２を含むことができる。

前記第１プローブユニットＰＵ１は横方向Ｄ１に配置された第１－１プローブユニットＰＵ１－１、縦方向Ｄ２に配置された第１－２プローブユニットＰＵ１－２、前記縦方向Ｄ２に配置された第１－３プローブユニットＰＵ１－３および前記横方向Ｄ１に配置された第１－４プローブユニットＰＵ１－４を含むことができる。

前記第２プローブユニットＰＵ２は横方向Ｄ１に配置された第２－１プローブユニットＰＵ２－１、縦方向Ｄ２に配置された第２－２プローブユニットＰＵ２－２、前記縦方向Ｄ２に配置された第２－３プローブユニットＰＵ２－３および前記横方向Ｄ１に配置された第２－４プローブユニットＰＵ２－４を含むことができる。

ここで、前記第１－１プローブユニットＰＵ１－１および前記第２－１プローブユニットＰＵ２－１は図面に図示された通り、単一ユニットで形成されてもよい。

前記プローブブロック積載ユニット３０００に積載されたプローブブロックＰＢは検査の対象となるディスプレイパネルＤＰに基づいて搬出されてプローブユニットＰＵ１、ＰＵ２上に装着され得、プローブブロックＰＢの搬出および装着は図示されていない搬出装着手段によって具現され得る。

搬出装着手段はロボットアームなどの多様な公知の手段であってもよく、例えば、ベルトまたはレールなどを含むなどの特別な制限がない。

以下では、図２０に図示されたディスプレイパネル検査装置２００によりマザーガラスパネルＭＰに含まれた６５インチディスプレイパネルと５５インチディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行される過程を説明する。

図２１～図２８は、本発明に係るディスプレイパネル検査装置によってマザーガラスパネルに備えられる６５インチディスプレイパネルと５５インチディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行される状況を説明するための図面である。

まず、一つのマザーガラスパネルＭＰに６５インチディスプレイパネル３個と５５インチディスプレイパネル２個か含まれており、それぞれのディスプレイパネルの電極パッドは各側面のすべてに備えられている場合を仮定して説明するものの、６５インチディスプレイパネルを優先的に検査し、すべての６５インチディスプレイパネルに対して検査が完了した後に５５インチディスプレイパネルに対する検査が進行されるものと仮定して説明する。

本発明に係るディスプレイパネル検査装置２００は、図示されていない感知ユニットにマザーガラスパネルＭＰに６５インチディスプレイパネル３個と５５インチディスプレイパネル２個が含まれていることを感知することになる。

前記感知ユニットはカメラなどを利用した撮像ユニットおよび／または各種センサユニットなどを含むことができ、前記マザーガラスパネルＭＰがステージモジュール１１０上に載置された後、前記マザーガラスパネルＭＰが前記真空吸着モジュール１４０に吸着された状態で前記プローブユニットＰＵ、ＰＵ２が配置された位置に移動する前または移動する途中で、前記マザーガラスパネルＭＰを構成するディスプレイパネルＤＰの大きさ、ディスプレイパネルＤＰの電極パッドの個数および形成位置などを感知することになる。

もちろん、前記感知ユニットによる前記ディスプレイパネルＤＰの電極パッドの個数および形成位置などによる感知は、ディスプレイパネル検査装置２００により検査が進行される前であれば時間上の制約はない。

前記感知ユニットによって前記マザーガラスパネルＭＰを構成するディスプレイパネルＤＰの大きさおよび／または種類が感知されると、制御ユニットによってどの種類のディスプレイパネルを先に検査するかを決定することになり、以下では、前述した通り、６５インチディスプレイパネルが５５インチディスプレイパネルより優先的に検査対象として決定された状況を例として説明する。

前記制御ユニットによってマザーガラスパネルＭＰに形成されたディスプレイパネルの大きさおよび／または種類が感知され、感知されたディスプレイパネルのうち６５インチディスプレイパネルを優先的に検査する場合、前記制御ユニットは前記感知ユニットによって感知された６５インチディスプレイパネルの電極パッドの個数および形成位置などに基づいて、プローブブロック積載ユニット３０００に積載されたプローブブロックＰＢのうち検査に必要なプローブブロックＰＢを選択し、プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２上の装着領域ＳＲのうち選択されたプローブブロックが装着されなければならない装着領域ＳＲを選択決定する。

ここで、前記装着領域ＳＲはプローブブロックＰＢがそれぞれ個別的に装着されるための領域であり、前記プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２は複数の装着領域ＳＲを具備することができ、検査の対象となるディスプレイの種類、電極パッドの形成位置および個数などにより特定装着領域ＳＲにはプローブブロックが装着されなくてもよい。

一方、前記制御ユニットは前記のような過程が完了すると、第１プローブユニットＰＵ１を制御する。

すなわち、前記制御ユニットは前記第１－１プローブユニットＰＵ１－１が固定された状態で、前記第１－２プローブユニットＰＵ１－２、前記第１－３プローブユニットＰＵ１－３および前記第１－４プローブユニットＰＵ１－４のうち少なくとも一つを位置移動させて、第１プローブユニットＰＵ１が前記６５インチディスプレイパネルに備えられる電極パッドと対応する位置に配置されるようにする。

例えば、前記制御ユニットは図２１に図示された通り、前記第１－１プローブユニットＰＵ１－１が支持プレートユニット２１０上に固定された状態で、前記第１－２プローブユニットＰＵ１－２、前記第１－３プローブユニットＰＵ１－３および前記第１－４プローブユニットＰＵ１－４を前記支持プレートユニット２１０上で位置移動させることができ、位置移動は直線移動による位置移動であってもよい。

ここで、前記位置移動はリニアモーションガイド、モータ、ボールスクリューおよびボールナットなどの多様な公知の要素を利用して具現され得るが、これは一例に過ぎず、多様な公知の移動方式が適用されて具現され得る。

前記第１－２プローブユニットＰＵ１－２および前記第１－３プローブユニットＰＵ１－３は互いに向かって所定距離接近することができ、第１－４プローブユニットＰＵ１－４は第１－１プローブユニットＰＵ１－１に向かって所定距離接近することができる。

ここで、前記第１－４プローブユニットＰＵ１－４は直線移動時、前記第１－２プローブユニットＰＵ１－２および前記第１－３プローブユニットＰＵ１－３との干渉が防止されるように、前記第１－２プローブユニットＰＵ１－２および前記第１－３プローブユニットＰＵ１－３の下部で位置移動が具現され得る。

前記のように６５インチディスプレイパネルを検査するために第１プローブユニットＰＵ１の位置移動が完了すると、制御ユニットは選択されたプローブブロックＰＢが搬出装着手段によって第１－１プローブユニットＰＵ１－１上の定められた装着領域ＳＲ、第１－２プローブユニットＰＵ１－２上の定められた装着領域ＳＲ、第１－３プローブユニットＰＵ１－３上の定められた装着領域ＳＲ、第１－４プローブユニットＰＵ１－４上の定められた装着領域ＳＲに装着されるように、前記搬出装着手段を制御する。

プローブブロックＰＢの装着は図２２および図２３に図示された通り、位置固定部３００１、３００３および案内部３００５、３００７の相互作用によって安定的に具現され得、前記位置固定部３００１、３００３は前記プローブブロックＰＢの底面から陥入して形成される第１位置固定部３００１および前記底面から突出して形成される第２位置固定部３００３を含むことができる。

前記案内部３００５、３００７はプローブユニットＰＵ１、ＰＵ２の上面から突出して形成される第１案内部３００５および前記上面から陥入して形成される第２案内部３００７を含むことができる。

前記プローブブロックＰＢは前記第１位置固定部３００１が前記第１案内部３００５とマッチングされ、第２位置固定部３００３が前記第２案内部３００７とマッチングされることによって、安定的に前記プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２上の装着領域ＳＲに装着され得るようになる。

前記プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２上の装着領域ＳＲは、プローブブロックＰＢが装着される位置を案内するために前記プローブブロックＰＢに形成された位置固定部３００１、３００３と相互作用をする案内部３００５、３００７を具備することができ、前記プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２に前記プローブブロックＰＢが安定的に装着されるようにする方式は前記の方式以外に他の公知の方式が適用されてもよい。

一方、前記プローブブロック積載ユニット３０００から前記プローブブロックＰＢが搬出されて、搬出された前記プローブブロックＰＢが前記プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２上の装着領域ＳＲに装着されると、図２２および図２３に図示された通り、前記プローブブロックＰＢのプローブピン３００２は接続端子３００６と電源印加部３００９による電気的接続によって電源の印加が可能であってもよい。

前記電源印加部３００９は前記プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２上にプローブブロックＰＢが装着される場合、前記プローブブロックＰＢに対して電源が印加されるようにする一種の電源印加端子パターンが形成された回路基板であってもよい。

前記プローブブロックＰＢはディスプレイパネルの電極パッドと接触するプローブピン３００２、前記プローブピン３００２を支持する本体３００４、前記電源印加部３００９との電気的接続によって前記電源が前記プローブピン３００２に印加されるようにする接続端子３００６および前記プローブピン３００２と前記接続端子３００６を電気的に連結するための回路パターン部３００８を含むことができ、前記回路パターン部３００８は印刷回路基板であってもよい。

ここで、前記接続端子３００６は前記電源印加部３００９により電源が印加される電源印加端子と同じ個数または以下の個数で形成され得、前記回路パターン部３００８は前記プローブピン３００２の個数が前記電源印加端子の個数より少ない場合、前記電源印加端子に印加された電源の一部のみ前記プローブピン３００２に印加されるようにすることができる印刷回路基板であってもよい。

一方、搬出装着手段によってプローブブロック積載ユニット３０００から搬出されたプローブブロックのうち、前記第１－４プローブユニットＰＵ１－４に装着されるプローブブロックＰＢは前記プローブブロック積載ユニット３０００から搬出されて前記第１－２プローブユニットＰＵ１－２または前記第１－３プローブユニットＰＵ１－３に装着されるプローブブロックＰＢより高さ方向Ｄ３に長く形成されて、前記第１－２プローブユニットＰＵ１－２および前記第１－３プローブユニットＰＵ１－３を基準とした前記第１－４プローブユニットＰＵ１－４の前記高さ方向Ｄ３への位置を補償することができる。

換言すると、検査の対象となるディスプレイパネルＤＰは水平状態を維持することになるが、この状態でプローブブロックＰＢのプローブピン３００２がすべての電極パッドに接触するためには、すべてが同一の高さに位置しなければならない。

このような理由により、前記第１－２プローブユニットＰＵ１－２および前記第１－３プローブユニットＰＵ１－３より相対的に低い位置に位置する第１－４プローブユニットＰＵ１－４の場合には、前記第１－２プローブユニットＰＵ１－２および前記第１－３プローブユニットＰＵ１－３に装着されるプローブブロックＰＢより高さ方向Ｄ３にさらに長いプローブブロックＰＢが装着されなければならないのである。

つまり、プローブブロックＰＢが第１－４プローブユニットＰＵ１－４に装着されなければならない場合、制御ユニットは高さ方向Ｄ３への位置補償のためのプローブブロックＰＢを選択するのである。

もちろん、前記第１－４プローブユニットＰＵ１－４に装着されなければならないプローブブロックＰＢは、スペーサーなどの別途の構成要素と結合されて前記第１－２プローブユニットＰＵ１－２および前記第１－３プローブユニットＰＵ１－３に装着されるプローブブロックＰＢより高さ方向Ｄ３にさらに長く具現されてもよい。

前記では制御ユニットによって第１プローブユニットＰＵ１が前記６５インチディスプレイパネルに備えられる電極パッドと対応する位置に配置された後、プローブブロックＰＢが前記第１プローブユニットＰＵ１上に装着されるものとして説明したが、必ずしもこれに限定されるものではなく、前記プローブブロックＰＢが前記第１プローブユニットＰＵ１上に装着された後、前記プローブブロックＰＢが装着された前記第１プローブユニットＰＵ１が前記６５インチディスプレイパネルに備えられる電極パッドと対応する位置に配置されてもよい。

図２４に図示された通り、第１プローブユニットＰＵ１上に前記６５インチディスプレイパネルの検査のためのプローブブロックＰＢの装着が完了すると、前記第１プローブユニットＰＵ１は第２５に図示された通り、支持プレートユニット２１０の回転（Ｒ）により１８０度回転されることになる。

前記支持プレートユニット２１０の回転によって前記第１プローブユニットＰＵ１が回転されると、真空吸着モジュール１４０の位置移動によって６５インチディスプレイパネルの電極パッドは第１プローブユニットＰＵ１に装着されたプローブブロックＰＢのプローブピン３００２と接触することになり、電源印加部３００９を通じての電源の印加によって不良の有無に対する検査が進行されることになる。

一方、図２６に図示された通り、第１プローブユニットＰＵ１により６５インチディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行される途中、第２プローブユニットＰＵ２は制御ユニットによって５５インチディスプレイパネルの不良の有無に対する検査のための準備をすることになる。

制御ユニットは第２－１プローブユニットＰＵ２－１が固定された状態で、第２－２プローブユニットＰＵ２－２、第２－３プローブユニットＰＵ２－３および第２－４プローブユニットＰＵ２－４のうち少なくとも一つを位置移動させて、第２プローブユニットＰＵ２が前記５５インチディスプレイパネルに備えられる電極パッドと対応する位置に配置されるようにする。

例えば、前記制御ユニットは図２６に図示された通り、前記第２－１プローブユニットＰＵ２－１が支持プレートユニット２１０上に固定された状態で、前記第２－２プローブユニットＰＵ２－２、前記第２－３プローブユニットＰＵ２－３および前記第２－４プローブユニットＰＵ２－４を前記支持プレートユニット２１０上で位置移動させることができ、位置移動は直線移動による位置移動であってもよい。

ここで、前記位置移動はリニアモーションガイド、モータ、ボールスクリューおよびボールナットなどの多様な公知の要素を利用して具現され得るが、これは一例に過ぎず、多様な公知の移動方式が適用されて具現され得る。

前記第２－２プローブユニットＰＵ２－２および前記第２－３プローブユニットＰＵ２－３は互いに向かって所定距離接近することができ、第２－４プローブユニットＰＵ２－４は第２－１プローブユニットＰＵ２－１に向かって所定距離接近することができる。

ここで、前記第２－４プローブユニットＰＵ２－４は直線移動時、前記第２－２プローブユニットＰＵ２－２および前記第２－３プローブユニットＰＵ２－３との干渉が防止されるように、前記第２－２プローブユニットＰＵ２－２および前記第２－３プローブユニットＰＵ２－３の下部で位置移動が具現され得る。

前記のように５５インチディスプレイパネルを検査するために第２プローブユニットＰＵ２の位置移動が完了すると、制御ユニットは選択されたプローブブロックＰＢが搬出装着手段によって第２－１プローブユニットＰＵ２－１上の定められた装着領域ＳＲ、第２－２プローブユニットＰＵ２－２上の定められた装着領域ＳＲ、第２－３プローブユニットＰＵ２－３上の定められた装着領域ＳＲ、第２－４プローブユニットＰＵ２－４上の定められた装着領域ＳＲに装着されるように、前記搬出装着手段を制御する。

その結果、図２７に図示された通り、第２プローブユニットＰＵ２上に前記５５インチディスプレイパネルの検査のためのプローブブロックＰＢの装着が完了し、第１プローブユニットＰＵ１により６５インチディスプレイパネルすべてに対する検査が完了すると、支持プレートユニット２１０の回転（Ｒ）により図２８に図示された通り、第２プローブユニットＰＵ２は１８０度回転されることになる。

前記支持プレートユニット２１０の回転によって前記第２プローブユニットＰＵ２が回転されると、真空吸着モジュール１４０の位置移動によって５５インチディスプレイパネルの電極パッドは第２プローブユニットＰＵ２に装着されたプローブブロックＰＢのプローブピン３００２と接触することになり、電源印加部３００９を通じての電源の印加によって不良の有無に対する検査が進行されることになる。

ここで、前記第１プローブユニットＰＵ１に装着されたプローブブロックＰＢは、搬出装着手段によってプローブブロック積載ユニット３０００に移動するなどのさらに異なる大きさのディスプレイパネルを検査するための準備モードに進行されることになり、前記のような過程が繰り返されることになる。

一方、前記では検査の対象となるディスプレイパネルＤＰの電極パッドが４個の側面すべてに形成されたものを例として説明したが、検査の対象となるディスプレイパネルＤＰの電極パッドは４個の側面のうち一部の側面にのみ形成されてもよく、この場合、検査に必要なプローブユニットも一部のみが使われ得ることは言うまでもない。

前記の内容を整理すると、下記の通りである。

本発明に係るディスプレイパネル検査装置２００は、プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２上に検査に必要なプローブブロックＰＢを選別的に装着してディスプレイパネルＤＰに対する検査を進行し、他のディスプレイパネルＤＰに対する検査を進行しようとする場合、プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２の取り替えなしにプローブブロックＰＢの取り替えを通じてより便利に検査作業を進行して歩留まりなどを向上させることができる装置である。

このために、前記ディスプレイパネル検査装置２００はプローブブロック組立体２０００およびプローブブロック積載ユニット３０００を含むことができ、前記プローブブロック組立体２０００はディスプレイパネルＤＰの側面に備えられる複数の電極パッドと接触する複数のプローブブロックＰＢ、および前記複数のプローブブロックＰＢを支持するプローブユニットＰＵ１、ＰＵ２を含むことができる。

ここで、前記複数のプローブブロックＰＢはディスプレイパネルＤＰに対する検査が進行されるために、それぞれ前記プローブブロック積載ユニット３０００に積載されたプローブブロックＰＢ内で選択された後、搬出されて前記ディスプレイパネルＤＰの不良の有無に対する検査が進行されるための位置に存在している前記プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２上の所定の位置に装着されることになる。

前記プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２はプローブブロックＰＢがそれぞれ個別的に装着されるための複数の装着領域ＳＲを具備することができ、前記複数の装着領域ＳＲのうち、プローブブロックＰＢが装着されるための装着される装着領域ＳＲは検査の対象となるディスプレイパネルＤＰの電極パッドの個数および形成位置に基づいて選択されることになる。

一方、前記プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２は第１プローブユニットＰＵ１および第２プローブユニットＰＵ２を含むことができ、前記第１プローブユニットＰＵ１および前記第１プローブユニットＰＵ１上に装着されたプローブブロックＰＢにより特定ディスプレイパネルの検査が完了すると、大きさの異なる他のディスプレイパネルの検査のために回転されて前記第１プローブユニットＰＵ１と前記第２プローブユニットＰＵ２の位置が互いに入れ替えられるようにして、前記第２プローブユニットＰＵ２および前記第２プローブユニットＰＵ２上に装着されたプローブブロックＰＢにより前記他のディスプレイパネルの検査が進行されるようにすることができる。

すなわち、前記プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２は外部に存在する他のプローブユニットとの取り替えなしに前記特定ディスプレイパネルおよび前記他のディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行され得る。

もちろん、前記第１プローブＰＵ１または前記第２プローブユニットＰＵ２は、互いに位置を入れ替えることなく検査のために現在装着されたプローブブロックＰＢを取り替えることだけで、現在不良の有無に対する検査が進行されるディスプレイパネルと異なる大きさのディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるようにすることができる。

前記で言及したプローブブロック組立体２０００は、プローブユニット上にディスプレイパネルＤＰの検査に必要な複数のプローブブロックＰＢを必要に応じて装着して前記ディスプレイパネルＤＰの検査を進行できる組立体であって、フェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）またはフェイスアップ（Ｆａｃｅ ｕｐ）方式でディスプレイパネルＤＰの検査のための装置にはすべて適用可能であってもよい。

この時、前記プローブブロック組立体２０００の制御方法は、マザーガラスパネルＭＰに含まれた少なくとも一種類以上のディスプレイパネル－前記ディスプレイパネルは、側面に沿って形成された複数の電極パッドを具備する－のうち不良の有無に対する検査が必要な第１ディスプレイパネルの複数の電極パッドの個数および形成位置を感知する第１段階、前記第１段階による前記感知結果に基づいて、プローブブロック積載ユニットに積載されたプローブブロックのうち検査に必要なプローブブロックを選択する第２段階、前記第１段階による前記感知結果に基づいて、プローブユニット上の装着領域のうちプローブブロックが装着されなければならない装着領域を選択する第３段階および前記選択されたプローブブロックを前記プローブブロック積載ユニットから搬出して、前記選択された装着領域に装着させる第４段階を含むことができる。

ここで、前記第４段階は前記第１ディスプレイパネルの検査が完了した後、大きさの異なる第２ディスプレイパネルの検査のために、前記装着領域に装着されたプローブブロックのうち少なくとも一つが不要であるか取り替えが必要な場合、前記不要であるか取り替えが必要なプローブブロックを選択した後、搬出して前記プローブブロック積載ユニットに積載する段階を含むことができる。

また、前記第４段階は前記第１ディスプレイパネルの検査が完了した後、大きさの異なる第２ディスプレイパネルの検査のために、追加プローブブロックが必要な場合、前記プローブブロック積載ユニットに積載されたプローブブロックで前記追加プローブブロックを選択して、前記追加プローブブロックが装着されなければならない装着領域を選択した後、前記選択された追加プローブブロックを前記選択された装着領域に装着する段階を含むことができる。

したがって、前記プローブブロック組立体はプローブブロックの取り替えによって数多くの種類のディスプレイパネルの不良の有無に対する検査を進行できることになる。

図２９は、プローブブロックに提供されるプローブピンに電源が印加される他の方法を説明するための図面である。

図２９を参照すると、プローブブロックＰＢ’の接続端子３１０６と電源印加部３１０９の接続はソケットなどの方式によって具現され得る。

ここで、搬出装着手段はプローブブロック積載ユニット３０００からプローブブロックＰＢ’を搬出する場合、本体３１０４および接続端子３１０６をグリップした後、前記本体３１０４をプローブユニット上の装着領域に載置させると共に前記接続端子３１０６を電源印加部３１０９に挿入して、前記接続端子３１０６と前記電源印加部３１０９の電気的接続が具現されるようにする。

図３０および図３１は、プローブユニット上にプローブブロックを固定または分離させるための方法を説明するための図面である。

図３０を参照すると、プローブユニットの装着領域は区画壁Ｗによって区画され得、プローブブロックＰＢは第１固定手段３２００および第２固定手段３３００により位置固定および分離が可能であってもよい。

前記第１固定手段３２００は高さ方向Ｄ３に位置移動が可能であってもよく、高さ方向Ｄ３の下側に移動することになると、第２固定手段３３００はヒンジを基準として回転することになってプローブブロックＰＢの分離が可能となる。

図３１を参照すると、第３固定手段３４００によりプローブブロックＰＢの位置固定および分離が可能であってもよく、前記第３固定手段３４００のスライディングによってプローブブロックＰＢを加圧していた加圧手段３５００は回転することになって、プローブブロックＰＢの分離が可能となる。

前記では本発明に係る実施例を基準として本発明の構成と特徴を説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明の思想と範囲内で多様に変更または変形できることは本発明が属する技術分野の当業者に明白なものであり、したがってこのような変更または変形は添付された特許請求の範囲に属するものであることを明らかにする。

Claims (6)

1. マザーガラスパネルの一面には有機発光層の形成のための有機物層が蒸着された少なくとも一種類以上のディスプレイパネルが備えられ、前記ディスプレイパネルは、側面に沿って形成された複数の電極パッドを具備し、前記マザーガラスパネルの位置移動を通じて、検査位置に移動された前記ディスプレイパネルの前記複数の電極パッドが接触して不良の有無に対する検査を進行する複数のプローブブロックと、
   前記複数のプローブブロックを支持するプローブユニットと、
   を含み、
   前記複数のプローブブロックは、
   それぞれの前記複数の電極パッドに接触するそれぞれのプローブピンを具備し、
   前記ディスプレイパネルに対する検査が進行されるために、それぞれの前記複数のプローブブロックがプローブブロック積載ユニットに積載されたプローブブロックのうちで選択された後、搬出されて前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるための位置に存在する前記プローブユニット上の所定の位置に装着されると共に、
   前記プローブユニット上に前記複数のプローブブロックが装着される場合、それぞれのプローブブロックに対して電源が印加されるようにする電源印加部をさらに含み、
   前記プローブブロックは、
   複数のプローブピンと、
   前記複数のプローブピンを支持する本体と、
   前記電源印加部との電気的接続によって前記電源が前記複数のプローブピンに印加されるようにする接続端子と、
   前記複数のプローブピンと前記接続端子とを電気的に連結するための回路パターン部と、
   を含み、
   前記接続端子は、
   前記電源印加部によって電源が印加される電源印加端子と同じ個数または以下の個数で形成され、
   前記回路パターン部は、
   前記複数のプローブピンの個数が前記電源印加端子の個数より少ない場合、前記電源印加端子に印加された電源の一部のみが前記複数のプローブピンに印加されるようにすることを特徴とする、ディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体。
2. 前記ディスプレイパネルの検査が完了した後、大きさの異なる他のディスプレイパネルの検査のために前記複数のプローブブロックのうち少なくとも一つが不要であるか取り替えが必要な場合、
   前記不要であるか取り替えが必要なプローブブロックは、
   前記プローブユニットから選択された後に搬出されて前記プローブブロック積載ユニットに積載されることを特徴とする、請求項１に記載のディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体。
3. 前記プローブユニットは、
   前記ディスプレイパネルの検査が完了した後、大きさの異なる他のディスプレイパネルの検査のために追加プローブブロックが必要な場合、前記プローブブロック積載ユニットに積載されたプローブブロックのうちで前記追加プローブブロックが選択された後、搬出されて前記追加プローブブロックが装着され得る装着領域を提供することを特徴とする、請求項１に記載のディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体。
4. 前記プローブユニットは、
   プローブブロックがそれぞれ個別的に装着されるための複数の装着領域を具備し、
   前記複数の装着領域のうちプローブブロックが装着されるための装着領域は、
   検査の対象となるディスプレイパネルの電極パッドの個数および形成位置に基づいて選択されることを特徴とする、請求項１に記載のディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体。
5. 前記複数の装着領域は、
   それぞれプローブブロックが装着される位置を案内するために、前記プローブブロックに形成された位置固定部と相互作用をする案内部を具備することを特徴とする、請求項４に記載のディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体。
6. 前記プローブユニットは、
   取り替えなしに、前記所定の位置に装着された前記複数のプローブブロックのうち少なくとも一つ以上を取り替えて、前記検査が進行される前記ディスプレイパネルと他のディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるようにすることを特徴とする、請求項１に記載のディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体。

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