JP2001074599A - フラットパネルディスプレイ又はプローブブロックの支持枠体 - Google Patents

フラットパネルディスプレイ又はプローブブロックの支持枠体

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JP2001074599A JP24510499A JP24510499A JP2001074599A JP 2001074599 A JP2001074599 A JP 2001074599A JP 24510499 A JP24510499 A JP 24510499A JP 24510499 A JP24510499 A JP 24510499A JP 2001074599 A JP2001074599 A JP 2001074599A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】検査装置において大きさの異なるフラットパネ
ルディスプレイに適切に対応し得るフラットパネルディ
スプレイの支持枠体、又はプローブフロックの支持枠体
を提供する。 【解決手段】フラットパネルディスプレイ7又はプロー
ブブロックの支持枠体1を形成する上下横枠板2,3と
左右縦枠板4,5とが各枠板2,3,4,5の一端の枠
板に対して単独で夫々縦移動又は横移動でき、且つ一緒
に横移動又は縦移動できるように組み立てて、各枠板
2,3,4,5で形成する窓6の拡大又は縮小を図る構
成にすると共に、該拡大又は縮小された窓6に面する上
下横枠板2,3部と左右縦枠板4,5部とに上記フラッ
トパネルディスプレイ7又は該フラットパネルディスプ
レイ7の辺縁部に配された電極パッドに加圧接触するプ
ローブブロックを支持する構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は検査対象である液晶
パネルに代表されるフラットパネルディスプレイの支持
枠、又は該フラットパネルディスプレイの辺縁部に配置
された電極パッドに加圧接触する検査用プローブブロッ
クの支持枠に関する。
【0002】
【従来の技術】上記フラットパネルディスプレイの支持
枠及び検査用プローブブロックの支持枠は、何れも方形
枠体によって構成されており、図6A,Bに示すよう
に、液晶パネルに代表されるフラットパネルディスプレ
イ7を支持した後方方形枠体1の前面側に検査用プロー
ブブロック8を支持した前方方形枠体1を配置し、後方
方形枠体1を前方方形枠体1に進退可に設け、同前進に
よってフラットパネルディスプレイ7の辺縁部に配置さ
れた電極パッド10に検査用プローブブロック8の検査
プローブ9を加圧接触せしめ、又後方方形枠体1の後退
時にフラットパネルディスプレイ7の交換を行うように
している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】然るに従来は大きさの
異なるフラットパネルディスプレイ毎に専用の後方枠体
を用意し、同様にフラットパネルディスプレイの大きさ
に応じた専用の前方枠体を用意して検査用のプローブブ
ロックを支持せしめるようにしている。
【0004】従って従来は大きさの異なるフラットパネ
ルディスプレイ毎にこれに適合する前後枠体を持った検
査装置を設備せねばならないか、又は前後枠体のみをフ
ラットパネルディスプレイの大きさに応じ交換できるよ
うに互換性を持たせた構造にせねばならず、多大な設備
負担と高重量の枠体を交換する作業負担と検査作業の効
率悪化を招来していた。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題を適切
に解決し、1台の検査装置において大きさの異なるフラ
ットパネルディスプレイに適切に対応し得るフラットパ
ネルディスプレイの支持枠体、又はプローブフロックの
支持枠体を提供するものである。
【0006】本発明はフラットパネルディスプレイ又は
プローブブロックの支持枠体を形成する上下横枠板と左
右縦枠板とが各枠板一端の枠板に対して単独で夫々縦移
動又は横移動でき、且つ一緒に横移動又は縦移動できる
ように組み立てて、各枠板で形成する窓の拡大又は縮小
を図る構成にすると共に、該拡大又は縮小された窓に面
する上下横枠板部と左右縦枠板部とに上記フラットパネ
ルディスプレイ又は該フラットパネルディスプレイの辺
縁部に配された電極パッドに加圧接触するプローブブロ
ックを支持する構成とする。
【0007】上記上下横枠板と左右縦枠板の縦移動と横
移動とによって、各種大きさのフラットパネルディスプ
レイに対応した大きさの支持枠体を容易に形成でき、同
様に該フラットパネルディスプレイの大きさに対応した
検査用プローブ支持枠体を容易に形成でき、これにより
1台の検査装置を大きさの異なる各種フラットパネルデ
ィスプレイに適合させることができ、極めて経済的であ
って、検査作業の効率を向上する検査装置を提供でき
る。
【0008】
【発明の実施の形態】以下本発明の各実施形態例を図1
乃至図7に基づいて説明する。
【0009】<第1実施形態例>(図1A,B及び図
6,図7参照)
【0010】1は検査対象である液晶パネルに代表され
るフラットパネルディスプレイ7を支持する方形支持枠
体である。
【0011】上記方形支持枠体1は右縦枠板5に対して
単独で縦移動し且つ左縦枠板4の縦移動と一緒に縦移動
する上横枠板2と、左縦枠板4に対し単独で縦移動し且
つ右縦枠板5の縦移動と一緒に縦移動する下横枠板3
と、上横枠板2に対して単独で横移動し且つ下横枠板3
の横移動と一緒に横移動する左縦枠板4と、下横枠板3
に対して単独で横移動し且つ上横枠板2の横移動と一緒
に横移動する右縦枠板5とから組み立てられている。
【0012】上記上下横枠板2,3と左右縦枠板4,5
の上記縦移動と横移動とにより上記上下横枠板2,3と
左右縦枠板4,5で画成される窓6を拡大又は縮小し、
該拡大又は縮小された窓6に面する上下横枠板2,3部
と左右縦枠板4,5部とに上記フラットパネルディスプ
レイ7を支持する。
【0013】上記上横枠板2と右縦枠板5間は上横枠板
2の単独縦移動を案内し且つ上横枠板2と右縦枠板5と
を追随して横移動せしめるように連結する。
【0014】以下同様に、上記左縦枠板4と上横枠板2
間は左縦枠板4の単独横移動を案内し且つ左縦枠板4と
上横枠板2とを追随して縦移動せしめるように連結し、
上記下横枠板3と左縦枠板4間は下横枠板3の単独縦移
動を案内し且つ下横枠板3と左縦枠板4とを追随して横
移動せしめるように連結し、上記右縦枠板5と下横枠板
3間は右縦枠板5の単独横移動を案内し且つ右縦枠板5
と下横枠板3とを追随して縦移動せしめるように連結す
る。
【0015】上記連結機構は例えば図7に示される。図
示のように、上横枠板2の一端を右縦枠板5の内面に当
接し、以下同様に左縦枠板4の一端を上横枠板2の内面
に当接し、下横枠板3の一端を左縦枠板4の内面に当接
し、右縦枠板5の一端を下横枠板3の内面に当接する。
そして各当接部において上記連結機構を形成する。
【0016】上記連結機構の具体例として、上下横枠板
2,3と左右縦枠板4,5の夫々の内面に沿い該内面で
開口するガイド溝11を形成し、他方この内面に当接す
る上記各枠板2,3,4,5の端部に上記各ガイド溝1
1にキー結合する突起12を形成し、該各突起12を各
ガイド溝11に滑合する(キー結合する)。
【0017】これによって上横枠板2は右縦枠板5に対
し単独で縦移動し、且つ右縦枠板5と一緒に横移動可能
である。
【0018】同様に左縦枠板4は上横枠板2に対し単独
で横移動し、且つ上横枠板2と一緒に縦移動可能であ
り、下横枠板3は左縦枠板4に対し単独で縦移動し、且
つ左縦枠板4と一緒に横移動可能であり、右縦枠板5は
下横枠板3に対し単独で横移動し、且つ下横枠板3と一
緒に縦移動可能である。よって上記窓6を拡大又は縮小
する。
【0019】上記各枠板2,3,4,5の表面にはその
略全長に亘りサクション装置に接続される吸引孔13を
設け、上記拡大又は縮小された窓6に面する上下横枠板
2,3部表面と左右縦枠板4,5部表面に上記吸引孔1
3によりフラットパネルディスプレイ7の周縁部を吸着
支持する。
【0020】図6A,Bに示すように、各プローブブロ
ック8は多数のプローブ9を有し、各プローブ9の先端
を各電極パッド10の表面に加圧接触する。
【0021】上記フラットパネルディスプレイ7の支持
枠体1及び検査用プローブブロックの支持枠体1は、何
れも方形枠体によって構成されており、液晶パネルに代
表されるフラットパネルディスプレイ7を支持した後方
方形枠体1の前面側に検査用プローブブロック8を支持
した前方方形枠体1を配置し、後方方形枠体1を前方方
形枠体1に進退可に設け、同前進によってフラットパネ
ルディスプレイ7の辺縁部に配置された電極パッド10
に検査用プローブブロック8の検査プローブ9を加圧接
触せしめ、又後方方形枠体1の後退時にフラットパネル
ディスプレイ7の交換を行うようにしている。
【0022】又は前方方形枠体1の窓6を拡大して、前
方方形枠体1の前方から該拡大窓6を通して後方方形枠
体1上へのフラットパネルディスプレイ7の交換を行
う。この場合は後方方形枠体1を進退可に設けなくても
良い。
【0023】<第2実施形態例>(図2A,B及び図5
乃至図7参照)
【0024】1は検査用プローブブロック8を支持する
方形支持枠体である。
【0025】上記方形支持枠体1は右縦枠板5に対して
単独で縦移動し且つ左縦枠板4の縦移動と一緒に縦移動
する上横枠板2と、左縦枠板4に対し単独で縦移動し且
つ右縦枠板5の縦移動と一緒に縦移動する下横枠板3
と、上横枠板2に対して単独で横移動し且つ下横枠板3
の横移動と一緒に横移動する左縦枠板4と、下横枠板3
に対して単独で横移動し且つ上横枠板2の横移動と一緒
に横移動する右縦枠板5とから組み立てられている。
【0026】上記上下横枠板2,3と左右縦枠板4,5
の上記縦移動と横移動とにより上記上下横枠板2,3と
左右縦枠板4,5で画成される窓6を拡大又は縮小し、
該拡大又は縮小された窓6に面する上下横枠板2,3部
と左右縦枠板4,5部とにフラットパネルディスプレイ
7の周縁部に配された多数の電極パッド10に加圧接触
するプローブブロック8を支持する。
【0027】図6に示すように、各プローブブロック8
は多数のプローブ9を有し、各プローブ9の先端を各電
極パッド10の表面に加圧接触する。
【0028】上記上横枠板2と右縦枠板5間は上横枠板
2の単独縦移動を案内し且つ上横枠板2と右縦枠板5と
を追随して横移動せしめるように連結する。
【0029】以下同様に、上記左縦枠板4と上横枠板2
間は左縦枠板4の単独横移動を案内し且つ左縦枠板4と
上横枠板2とを追随して縦移動せしめるように連結し、
上記下横枠板3と左縦枠板4間は下横枠板3の単独縦移
動を案内し且つ下横枠板3と左縦枠板4とを追随して横
移動せしめるように連結し、上記右縦枠板5と下横枠板
3間は右縦枠板5の単独横移動を案内し且つ右縦枠板5
と下横枠板3とを追随して縦移動せしめるように連結す
る。
【0030】上記連結機構は例えば図7に示される。図
示のように、上横枠板2の一端を右縦枠板5の内面に当
接し、以下同様に左縦枠板4の一端を上横枠板2の内面
に当接し、下横枠板3の一端を左縦枠板4の内面に当接
し、右縦枠板5の一端を下横枠板3の内面に当接する。
そして各当接部において上記連結機構を形成する。
【0031】上記連結機構の具体例として、上下横枠板
2,3と左右縦枠板4,5の夫々の内面に沿い該内面で
開口するガイド溝11を形成し、他方この内面に当接す
る上記各枠板2,3,4,5の端部に上記各ガイド溝1
1にキー結合する突起12を形成し、該各突起12を各
ガイド溝11に滑合する(キー結合する)。
【0032】これによって上横枠板2は右縦枠板5に対
し単独で縦移動し、且つ右縦枠板5と一緒に横移動可能
である。
【0033】同様に左縦枠板4は上横枠板2に対し単独
で横移動し、且つ上横枠板2と一緒に縦移動可能であ
り、下横枠板3は左縦枠板4に対し単独で縦移動し、且
つ左縦枠板4と一緒に横移動可能であり、右縦枠板5は
下横枠板3に対し単独で横移動し、且つ下横枠板3と一
緒に縦移動可能である。よって上記窓6を拡大又は縮小
する。
【0034】上記各枠板2,3,4,5は互いに等長に
し、該等長の各枠板2,3,4,5の表面にはその両端
に位置決めピン又は位置決め孔14を夫々各枠板毎に互
いに等間隔で立設する。
【0035】他方図5に示すように、プローブブロック
8のホルダーとして、等長の長さを有する複数のベース
15を形成し、各ベース15に上記拡大窓6の辺又は縮
小窓6の辺と対応する位置に複数のプローブブロック8
を着脱可に取り付けたプローブユニット16A,B,C
を準備する。
【0036】これらのプローブユニット16A,B,C
を上記拡大窓6又は縮小窓6に応じて選択し、上記各枠
板2,3,4,5の位置決めピン又は位置決め孔14に
挿入し、一体に且つ着脱可に取り付ける。よってプロー
ブブロック8はホルダーたるベース15を介して各枠板
2,3,4,5に取り付け支持される。
【0037】図6A,Bに示すように、上記フラットパ
ネルディスプレイ7の支持枠体1及び検査用プローブブ
ロックの支持枠体1は、何れも方形枠体によって構成さ
れており、液晶パネルに代表されるフラットパネルディ
スプレイ7を支持した後方方形枠体1の前面側に検査用
プローブブロック8を支持した前方方形枠体1を配置
し、後方方形枠体1を前方方形枠体1に進退可に設け、
同前進によってフラットパネルディスプレイ7の辺縁部
に配置された電極パッド10に検査用プローブブロック
8の検査プローブ9を加圧接触せしめ、又後方方形枠体
1の後退時にフラットパネルディスプレイ7の交換を行
うようにしている。
【0038】又は前方方形枠体1の窓6を拡大して、前
方方形枠体1の前方から該拡大窓6を通して後方方形枠
体1上へのフラットパネルディスプレイ7の交換を行
う。この場合は後方方形枠体1を進退可に設けなくても
良い。
【0039】<第3実施形態例>(図3A,B及び図
6,図7参照)
【0040】1は検査対象である液晶パネルに代表され
るフラットパネルディスプレイ7を支持する方形支持枠
体である。
【0041】上記方形支持枠体1が左縦枠板4に対して
単独で縦移動し且つ右縦枠板5の縦移動と一緒に縦移動
する上横枠板2と、右縦枠板5に対し単独で縦移動し且
つ左縦枠板4の縦移動と一緒に縦移動する下横枠板3
と、下横枠板3に対して単独で横移動し且つ上横枠板2
の横移動と一緒に横移動する左縦枠板4と、上横枠板2
に対して単独で横移動し且つ下横枠板3の横移動と一緒
に横移動する右縦枠板5とから組み立てられている。
【0042】上記上下横枠板2,3と左右縦枠板4,5
の上記縦移動と横移動とにより上記上下横枠板2,3と
左右縦枠板4,5で画成される窓6を拡大又は縮小し、
該拡大又は縮小された窓6に面する上下横枠板2,3部
と左右縦枠板4,5部とに上記フラットパネルディスプ
レイ7を支持する。
【0043】上記上横枠板2と左縦枠板4間は上横枠板
2の単独縦移動を案内し且つ上横枠板2と左縦枠板4と
を追随して横移動せしめるように連結する。
【0044】以下同様に、上記右縦枠板5と上横枠板2
間は右縦枠板5の単独横移動を案内し且つ右縦枠板5と
上横枠板2とを追随して縦移動せしめるように連結し、
上記下横枠板3と右縦枠板5間は下横枠板3の単独縦移
動を案内し且つ下横枠板3と右縦枠板5とを追随して横
移動せしめるように連結し、上記左縦枠板4と下横枠板
3間は左縦枠板4の単独横移動を案内し且つ左縦枠板4
と下横枠板3とを追随して縦移動せしめるように連結す
る。
【0045】上記連結機構は例えば図7に示される。図
示のように、上横枠板2の一端を右縦枠板5の内面に当
接し、以下同様に左縦枠板4の一端を上横枠板2の内面
に当接し、下横枠板3の一端を左縦枠板4の内面に当接
し、右縦枠板5の一端を下横枠板3の内面に当接する。
そして各当接部において上記連結機構を形成する。
【0046】上記連結機構の具体例として、上下横枠板
2,3と左右縦枠板4,5の夫々の内面に沿い該内面で
開口するガイド溝11を形成し、他方この内面に当接す
る上記各枠板2,3,4,5の端部に上記各ガイド溝1
1にキー結合する突起12を形成し、該各突起12を各
ガイド溝11に滑合する(キー結合する)。
【0047】これによって上横枠板2は右縦枠板5に対
し単独で縦移動し、且つ右縦枠板5と一緒に横移動可能
である。
【0048】同様に左縦枠板4は上横枠板2に対し単独
で横移動し、且つ上横枠板2と一緒に縦移動可能であ
り、下横枠板3は左縦枠板4に対し単独で縦移動し、且
つ左縦枠板4と一緒に横移動可能であり、右縦枠板5は
下横枠板3に対し単独で横移動し、且つ下横枠板3と一
緒に縦移動可能である。よって上記窓6を拡大又は縮小
する。
【0049】上記各枠板2,3,4,5の表面にはその
略全長に亘りサクション装置に接続される吸引孔13を
設け、上記拡大又は縮小された窓6に面する上下横枠板
2,3部表面と左右縦枠板4,5部表面に上記吸引孔1
3によりフラットパネルディスプレイ7の周縁部を吸着
支持する。
【0050】図6A,Bに示すように、各プローブブロ
ック8は多数のプローブ9を有し、各プローブ9の先端
を各電極パッド10の表面に加圧接触する。
【0051】上記フラットパネルディスプレイ7の支持
枠体1及び検査用プローブブロックの支持枠体1は、何
れも方形枠体によって構成されており、液晶パネルに代
表されるフラットパネルディスプレイ7を支持した後方
方形枠体1の前面側に検査用プローブブロック8を支持
した前方方形枠体1を配置し、後方方形枠体1を前方方
形枠体1に進退可に設け、同前進によってフラットパネ
ルディスプレイ7の辺縁部に配置された電極パッド10
に検査用プローブブロック8の検査プローブ9を加圧接
触せしめ、又後方方形枠体1の後退時にフラットパネル
ディスプレイ7の交換を行うようにしている。
【0052】又は前方方形枠体1の窓6を拡大して、前
方方形枠体1の前方から該拡大窓6を通して後方方形枠
体1上へのフラットパネルディスプレイ7の交換を行
う。この場合は後方方形枠体1を進退可に設けなくても
良い。
【0053】<第4実施形態例>(図4A,B及び図5
乃至図7参照)
【0054】1は検査用プローブブロック8を支持する
方形支持枠体である。
【0055】上記方形支持枠体1が左縦枠板4に対して
単独で縦移動し且つ右縦枠板5の縦移動と一緒に縦移動
する上横枠板2と、右縦枠板5に対し単独で縦移動し且
つ左縦枠板4の縦移動と一緒に縦移動する下横枠板3
と、下横枠板3に対して単独で横移動し且つ上横枠板2
の横移動と一緒に横移動する左縦枠板4と、上横枠板2
に対して単独で横移動し且つ下横枠板3の横移動と一緒
に横移動する右縦枠板5とから組み立てられている。
【0056】上記上下横枠板2,3と左右縦枠板4,5
の上記縦移動と横移動とにより上記上下横枠板2,3と
左右縦枠板4,5で画成される窓6を拡大又は縮小し、
該拡大又は縮小された窓6に面する上下横枠板2,3部
と左右縦枠板4,5部とにフラットパネルディスプレイ
7の周縁部に配された多数の電極パッド10に加圧接触
するプローブブロック8を支持する。
【0057】図6に示すように、各プローブブロック8
は多数のプローブ9を有し、各プローブ9の先端を各電
極パッド10の表面に加圧接触する。
【0058】上記上横枠板2と左縦枠板4間は上横枠板
2の単独縦移動を案内し且つ上横枠板2と左縦枠板4と
を追随して横移動せしめるように連結する。
【0059】以下同様に、上記右縦枠板5と上横枠板2
間は右縦枠板5の単独横移動を案内し且つ右縦枠板5と
上横枠板2とを追随して縦移動せしめるように連結し、
上記下横枠板3と右縦枠板5間は下横枠板3の単独縦移
動を案内し且つ下横枠板3と右縦枠板5とを追随して横
移動せしめるように連結し、上記左縦枠板4と下横枠板
3間は左縦枠板4の単独横移動を案内し且つ左縦枠板4
と下横枠板3とを追随して縦移動せしめるように連結す
る。
【0060】上記連結機構は例えば図7に示される。図
示のように、上横枠板2の一端を右縦枠板5の内面に当
接し、以下同様に左縦枠板4の一端を上横枠板2の内面
に当接し、下横枠板3の一端を左縦枠板4の内面に当接
し、右縦枠板5の一端を下横枠板3の内面に当接する。
そして各当接部において上記連結機構を形成する。
【0061】上記連結機構の具体例として、上下横枠板
2,3と左右縦枠板4,5の夫々の内面に沿い該内面で
開口するガイド溝11を形成し、他方この内面に当接す
る上記各枠板2,3,4,5の端部に上記各ガイド溝1
1にキー結合する突起12を形成し、該各突起12を各
ガイド溝11に滑合する(キー結合する)。
【0062】これによって上横枠板2は右縦枠板5に対
し単独で縦移動し、且つ右縦枠板5と一緒に横移動可能
である。
【0063】同様に左縦枠板4は上横枠板2に対し単独
で横移動し、且つ上横枠板2と一緒に縦移動可能であ
り、下横枠板3は左縦枠板4に対し単独で縦移動し、且
つ左縦枠板4と一緒に横移動可能であり、右縦枠板5は
下横枠板3に対し単独で横移動し、且つ下横枠板3と一
緒に縦移動可能である。よって上記窓6を拡大又は縮小
する。
【0064】上記各枠板2,3,4,5は互いに等長に
し、該等長の各枠板2,3,4,5の表面にはその両端
に位置決めピン又は位置決め孔14を夫々各枠板毎に互
いに等間隔で立設する。
【0065】他方図5に示すように、プローブブロック
8のホルダーとして、等長の長さを有する複数のベース
15を形成し、各ベース15に上記拡大窓6の辺又は縮
小窓6の辺と対応する位置に複数のプローブブロック8
を着脱可に取り付けたプローブユニット16A,B,C
を準備する。
【0066】これらのプローブユニット16A,B,C
を上記拡大窓6又は縮小窓6に応じて選択し、上記各枠
板2,3,4,5の位置決めピン又は位置決め孔14に
挿入し、一体に且つ着脱可に取り付ける。よってプロー
ブブロック8はホルダーたるベース15を介して各枠板
2,3,4,5に取り付け支持される。
【0067】図6A,Bに示すように、上記フラットパ
ネルディスプレイ7の支持枠体1及び検査用プローブブ
ロックの支持枠体1は、何れも方形枠体によって構成さ
れており、液晶パネルに代表されるフラットパネルディ
スプレイ7を支持した後方方形枠体1の前面側に検査用
プローブブロック8を支持した前方方形枠体1を配置
し、後方方形枠体1を前方方形枠体1に進退可に設け、
同前進によってフラットパネルディスプレイ7の辺縁部
に配置された電極パッド10に検査用プローブブロック
8の検査プローブ9を加圧接触せしめ、又後方方形枠体
1の後退時にフラットパネルディスプレイ7の交換を行
うようにしている。
【0068】又は前方方形枠体1の窓6を拡大して、前
方方形枠体1の前方から該拡大窓6を通して後方方形枠
体1上へのフラットパネルディスプレイ7の交換を行
う。この場合は後方方形枠体1を進退可に設けなくても
良い。
【0069】即ち上記第1乃至第4実施形態例において
は、検査用プローブブロック8を支持する枠板2,3,
4,5から成る方形支持枠体1の背面側に、フラットパ
ネルディスプレイ7を支持する枠板2,3,4,5から
成る方形支持枠体1を配し、フラットパネルディスプレ
イ7を支持する背面側の方形支持枠体1の窓6の背後に
照光手段を設け、該照光手段により窓6を通してフラッ
トパネルディスプレイ7を照光し、これにより前面の方
形支持枠体1の窓6を通して電極パッド10とプローブ
9の接触状態を照光観察しつつ検査を実行する。
【0070】本発明は上記フラットパネルディスプレイ
7を支持する方形支持枠体1又は検査用プローブブロッ
ク8を支持する方形支持枠体1の何れかに実施する。
【0071】
【発明の効果】本発明によれば、上記上下横枠板と左右
縦枠板の縦移動と横移動とによって、各種大きさのフラ
ットパネルディスプレイに対応した大きさの支持枠体を
容易に形成でき、同様に該フラットパネルディスプレイ
の大きさに対応した検査用プローブ支持枠体を容易に形
成でき、これにより1台の検査装置を大きさの異なる各
種フラットパネルディスプレイに適合させることがで
き、極めて経済的であって、検査作業の効率を向上する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】A,Bはフラットパネルディスプレイの支持枠
体の拡大と縮小状態を示す正面図。
【図2】A,Bはプローブブロックの支持枠体の拡大と
縮小状態を示す正面図。
【図3】A,Bはフラットパネルディスプレイの支持枠
体の他例を拡大と縮小状態を以って示す正面図。
【図4】A,Bはプローブブロックの支持枠体の他例を
拡大と縮小状態を以って示す正面図。
【図5】プローブユニットの各例を示す平面図。
【図6】プローブブロックを支持する方形枠体とフラッ
トパネルディスプレイを支持する方形枠体とによって形
成される検査装置を接触前(A図)と接触後(B図)を
以って示す断面図。
【図7】各枠板相互の連結機構を示す拡大断面図。
【符号の説明】
1 支持枠体 2 上横枠板 3 下横枠板 4 左縦枠板 5 右縦枠板 6 窓 7 フラットパネルディスプレイ 8 プローブブロック 9 プローブ 10 電極パッド 11 ガイド溝 12 突起 13 吸引孔 14 位置決めピン又は位置決め孔 15 ベース 16A プローブユニット 16B プローブユニット 16C プローブユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G011 AA02 AA15 AB06 AB07 AC02 AC06 AE01 AF07 2G032 AE03 AE04 AF02 AF03 AF04 AK04 2G086 EE10 5G435 AA17 KK05 KK10

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】検査対象であるフラットパネルディスプレ
    イ又は検査用のプローブロックを支持する方形支持枠体
    であって、該方形支持枠体が右縦枠板に対して単独で縦
    移動し且つ左縦枠板の縦移動と一緒に縦移動する上横枠
    板と、左縦枠板に対し単独で縦移動し且つ右縦枠板の縦
    移動と一緒に縦移動する下横枠板と、上横枠板に対して
    単独で横移動し且つ下横枠板の横移動と一緒に横移動す
    る左縦枠板と、下横枠板に対して単独で横移動し且つ上
    横枠板の横移動と一緒に横移動する右縦枠板とから組み
    立てられ、上記上下横枠板と左右縦枠板の上記縦移動と
    横移動とにより上記上下横枠板と左右縦枠板で画成され
    る窓を拡大又は縮小し、該拡大又は縮小された窓に面す
    る上下横枠板部と左右縦枠板部とに上記フラットパネル
    ディスプレイ又は該フラットパネルディスプレイの辺縁
    部に配された電極パッドに加圧接触するプローブブロッ
    クを支持する構成としたことを特徴とするフラットパネ
    ルディスプレイ又はプローブブロックの支持枠体。
  2. 【請求項2】上記上横枠板と右縦枠板間は上横枠板の単
    独縦移動を案内し且つ上横枠板と右縦枠板とを追随して
    横移動せしめるように連結し、上記左縦枠板と上横枠板
    間は左縦枠板の単独横移動を案内し且つ左縦枠板と上横
    枠板とを追随して縦移動せしめるように連結し、上記下
    横枠板と左縦枠板間は下横枠板の単独縦移動を案内し且
    つ下横枠板と左縦枠板とを追随して横移動せしめるよう
    に連結し、上記右縦枠板と下横枠板間は右縦枠板の単独
    横移動を案内し且つ右縦枠板と下横枠板とを追随して縦
    移動せしめるように連結したことを特徴とする請求項1
    記載のフラットパネルディスプレイ又はプローブブロッ
    クの支持枠体。
  3. 【請求項3】検査対象であるフラットパネルディスプレ
    イ又は検査用のプローブロックを支持する方形支持枠体
    であって、該方形支持枠体が左縦枠板に対して単独で縦
    移動し且つ右縦枠板の縦移動と一緒に縦移動する上横枠
    板と、右縦枠板に対し単独で縦移動し且つ左縦枠板の縦
    移動と一緒に縦移動する下横枠板と、下横枠板に対して
    単独で横移動し且つ上横枠板の横移動と一緒に横移動す
    る左縦枠板と、上横枠板に対して単独で横移動し且つ下
    横枠板の横移動と一緒に横移動する右縦枠板とから組み
    立てられ、上記上下横枠板と左右縦枠板の上記縦移動と
    横移動とにより上記上下横枠板と左右縦枠板で画成され
    る窓を拡大又は縮小し、該拡大又は縮小された窓に面す
    る上下横枠板部と左右縦枠板部とに上記フラットパネル
    ディスプレイ又は該フラットパネルディスプレイの辺縁
    部に配された電極パッドに加圧接触するプローブブロッ
    クを支持する構成としたことを特徴とするフラットパネ
    ルディスプレイ又はプローブブロックの支持枠体。
  4. 【請求項4】上記上横枠板と左縦枠板間は上横枠板の単
    独縦移動を案内し且つ上横枠板と左縦枠板とを追随して
    横移動せしめるように連結し、上記右縦枠板と上横枠板
    間は右縦枠板の単独横移動を案内し且つ右縦枠板と上横
    枠板とを追随して縦移動せしめるように連結し、上記下
    横枠板と右縦枠板間は下横枠板の単独縦移動を案内し且
    つ下横枠板と右縦枠板とを追随して横移動せしめるよう
    に連結し、上記左縦枠板と下横枠板間は左縦枠板の単独
    横移動を案内し且つ左縦枠板と下横枠板とを追随して縦
    移動せしめるように連結したことを特徴とする請求項3
    記載のフラットパネルディスプレイ又はプローブブロッ
    クの支持枠体。
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