KR100786631B1 - 디스플레이 패널 또는 프로브 블록의 지지틀 - Google Patents

Abstract

검사장치에 있어서 크기가 다른 디스플레이 패널에 적절하게 대응할 수 있는 디스플레이 패널 또는 프로브 블록의 지지틀을 제공한다.

디스플레이 패널을 지지하는 틀1 또는 프로브 블록을 지지하는 틀1의 변2, 3, 4, 5을 이동하여 각 지지틀1을 확대 또는 축소시킬 수 있다.

Description

디스플레이 패널 또는 프로브 블록의 지지틀{DISPLAY PANEL OR PROBE BLOCK SUPPORT FRAMEWORK}

도1은 제1발명에서의 실시예를 나타내는 디스플레이 패널(display panel) 또는 프로브 블록(probe block)의 지지틀(framework)의 사시도이다.

도2는 동(同) 틀을 축소한 상태에서 디스플레이 패널을 지지하는 상태를 나타내는 평면도이다.

도3은 동 틀을 확대한 상태에서 디스플레이 패널을 지지하는 상태를 나타내는 평면도이다.

도4는 동 틀을 축소한 상태에서 프로브 블록을 지지하는 상태를 나타내는 평면도이다.

도5는 동 틀을 확대한 상태에서 프로브 블록을 지지하는 상태를 나타내는 평면도이다.

도6은 동 틀에 부착하는 프로브 블록으로 디스플레이 패널의 단위를 복수 단위로 설치한 집합 패널을 검사하는 상태를 나타내는 사시도이다.

도7은 제2발명에서 디스플레이 패널 또는 프로브 블록의 지지틀을 축소한 상태에서 디스플레이 패널을 지지하는 상태를 나타내는 평면도이다.

도8은 동 틀을 확대한 상태에서 디스플레이 패널을 지지하는 상태를 나타내는 평면도이다.

도9는 동 틀을 축소한 상태에서 프로브 블록을 지지하는 상태를 나타내는 평면도이다.

도10은 동 틀을 확대한 상태에서 프로브 블록을 지지하는 상태를 나타내는 평면도이다.

도11은 틀의 연결 부분을 확대한 평면도이다.

도12는 동 단면도이다.

도13은 프로브 블록 지지틀과 패널 지지틀의 상대배치에 있어서 접촉을 해제한 상태를 나타내는 단면도이다.

도14는 프로브 블록 지지틀과 패널 지지틀의 상대배치에 있어서 접촉된 상태를 나타내는 단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 지지틀 2 : 고정틀

3 : Y축 구동틀 4 : X축 구동틀

5 : X축 이동틀 2': X축 구동틀

3' : Y축 구동틀 4' : X축 구동틀

5' : X축 이동틀 6 : 윈도우(window)

7 : 스탠드(stand) 8 : 흡착 구멍

9 : 레일 10 : 슬라이더(slider)

11 : 부착 구멍 12 : 전극 패드(electrode pad)

13 : 단자 14 : 모터

15 : 나사 16 : 너트

17 : 어레이(array) P : 디스플레이 패널(display panel)

B : 프로브 블록(probe block)

본 발명은 검사대상인 디스플레이 패널 또는 검사용 프로브 블록의 지지틀을 개량하는 것에 관한 것으로서, 주로 리퀴드 크리스탈 디스플레이 패널(LCD(liquid crystal display) : 액정 패널), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP(plasma display panel)) 등으로 대표되는 디스플레이 패널의 지지틀 또는 이 디스플레이 패널의 주변부에 배치되는 전극 패드에 가압시켜 접촉하는 검사용 프로브 블록의 지지틀에 주안점을 두어 개발된 것이다.

상기 디스플레이 패널의 지지틀 및 검사용 프로브 블록의 지지틀은, 사각형틀에 의하여 구성되어 있고, 도13, 도14에 나타나 있는 바와 같이 액정 패널로 대표되는 디스플레이 패널P을 지지하는 후방 지지틀의 전면(前面)측에 검사용 프로브 블록B을 지지하는 전방 지지틀을 배치하고, 후방 지 지틀을 전방 지지틀에 대하여 진퇴(進退)시킬 수 있도록 설치하고, 이러한 전진 동작에 의하여 디스플레이 패널P의 주변부에 배치되는 전극 패드12에 검사용 프로브 블록B의 검사용 단자13를 가압하여 접촉시켜 고정하고, 또 후방 지지틀을 후퇴시켜 옆쪽으로 이동시켜서 디스플레이 패널P을 교환하도록 되어 있다.

그런데 종래에는 크기가 다른 디스플레이 패널P마다 전용(專用)의 후방 지지틀을 준비하고, 마찬가지로 디스플레이 패널P의 크기에 따른 전용의 전방 지지틀을 준비하여 검사용 프로브 블록B을 지지하여 고정하도록 되어 있다.

따라서 크기가 다른 디스플레이 패널P마다 이에 적합한 전후의 지지틀을 구비하는 검사장치를 갖추어야 하거나 또는 전후의 지지틀만을 디스플레이 패널P의 크기에 따라 교환할 수 있도록 호환성(互換性)을 갖는 구조로 하여야 하므로, 막대한 설비부담과 고중량(高重量)의 틀을 교환하는 작업부담과 검사작업의 효율 악화를 초래하고 있었다.

본 발명은 상기 문제를 해결하려고 하는 것으로서, 제1과제는 각종 크기의 디스플레이 패널에 대응하는 크기의 지지틀을 용이하게 형성할 수 있고, 마찬가지로 이 디스플레이 패널의 크기에 대응하는 검사용 프로브 지지틀을 용이하게 형성할 수 있고, 1대의 검사장치를 크기가 다른 각종 디스플레이 패널에 적합하게 사용하게 하는 것이다. 이에 따라 패널검사의 런닝 코스트를 감소시킬 수 있다.

제2과제는 한정된 구동원(驅動源)으로 확대 또는 축소 가능하게 만든 디스플레이 패널의 지지틀 또는 프로브 블록의 지지틀로서, 확대와 축소가 가능한 지지틀을 합리적으로 구성하는 것이다.

제1발명은, 상기 과제를 해결하기 위하여 검사대상인 디스플레이 패널 또는 검사용 프로브 블록을 지지하는 사각형 지지틀을 다음과 같이 구성한다.

첫번째, 사각형의 일측(一側) 변을 고정틀로 한다.

두번째, 고정틀의 일방에 인접하는 측의 변을 구성하고, 고정틀로 구성된 상기 일측의 변을 따른 방향(Y축방향)으로 구동 가능한 Y축 구동틀을 설치한다.

세번째, 고정틀과 대향(對向)하는 측의 변을 구성하고 Y축 구동틀에 의하여 Y축방향으로 이동 가능하며 또한 고정틀에 접근하거나 멀어지는 방향(X축방향)으로 구동 가능한 X축 구동틀을 설치한다.

네번째, 고정틀의 타방(他方)에 인접하는 측의 변을 구성하고 X축 구동틀에 의하여 X축방향으로 이동 가능한 X축 이동틀을 설치한다.

다섯번째, Y축 구동틀의 Y축방향 구동과 X축 구동틀의 X축방향 구동에 의하여 상기 네 변의 틀로 구성되는 윈도우를 확대 또는 축소한다.

여섯번째, 상기 확대 또는 축소된 윈도우를 구성하는 틀에 상기 디스플레이 패널 또는 상기 디스플레이 패널에 배치되는 전극 패드에 가압시켜 접촉하는 프로브 블록을 지지한다.

제2발명은, 상기 과제를 해결하기 위하여 검사대상인 디스플레이 패널 또는 검사용 프로브 블록을 지지하는 사각형 지지틀을 다음과 같이 구성한다.

첫번째, 사각형의 일측 변을 구성하는 틀을, 상기 일측 변과 직교하는 방향(X축방향)으로 구동 가능한 제1 X축 구동틀로 한다.

두번째, 상기 제1 X축 구동틀의 일방에 인접하는 측의 변을 구성하고 제1 X축 구동틀에 의하여 X축방향으로 이동 가능하며 또한 제1 X축 구동틀을 따른 방향(Y축방향)으로 구동 가능한 Y축 구동틀을 설치한다.

세번째, 상기 제1 X축 구동틀과 대향(對向)하는 측의 변을 구성하고 Y축 구동틀에 의하여 Y축방향으로 이동 가능하며 또한 X축방향으로 구동 가능한 제2 X축 구동틀을 설치한다.

네번째, 제1 X축 구동틀의 타방에 인접하는 측의 변을 구성하고 제2 X축 구동틀에 의하여 X축방향으로 이동 가능한 X축 이동틀을 설치한다.

다섯번째, Y축 구동틀의 Y축방향 구동과 제1 X축 구동틀 및 제2 X축 구동틀의 X축방향 구동에 의하여 상기 네 변의 틀로 구성되는 윈도우를 확대 또는 축소한다.

여섯번째, 상기 확대 또는 축소된 윈도우를 구성하는 틀에 상기 디스플레이 패널 또는 상기 디스플레이 패널에 배치되는 전극 패드에 가압시켜 접촉하는 프로브 블록을 지지한다.

상기 각 틀 상호간에는 슬라이드 레일을 통하여 상기 소정의 X축방향 또는/및 Y축방향으로 이동하도록 연결한다.

(실시예)

이하, 본 발명의 실시예를 도1 내지 도14에 의거하여 설명한다. 도면 중에서 부호1은 검사대상인 액정 디스플레이 패널로 대표되는 디스플레이 패널을 지지하는 사각형 지지틀이다.

사각형 지지틀1은 사각형에 있어서 일측(一側)의 변을 고정틀2로 한다. 도면에 나타나 있는 실시예에서는 좌측 세로틀이 고정틀2이 된다.

고정틀2인 좌측 세로틀에 인접하게 설치되는 측의 변 중에서 하나를, 고정틀2로 구성된 일측의 변을 따른 방향(Y축방향, 도2 및 도3 중에서 세로방향)으로 구동 가능한 Y축 구동틀3로 한다. 도면에 나타나 있는 실시예에서는 하부 가로틀이 Y축 구동틀3로 된다.

Y축 구동틀3에 있어서 Y축 구동기구는, 제1모터14, 제1모터14에 의하여 회전하게 되는 볼 나사15, 볼 나사15의 회전력을 Y축 구동틀3에 있어서 Y축방향의 구동력으로 바꾸고 이 틀3에 부착되는 너트16로 구성되어 있다. 또한 Y축 구동틀3은 고정틀2의 연장영역 내에서 Y축방향으로 이동한다.

고정틀2과 대향(對向)하는 측의 변을 구성하고 하부 가로틀에 의하여 Y축방향으로 이동 가능하며 또한 고정틀2에 접근하거나 멀어지는 방향(X축방향)으로 구동 가능한 X축 구동틀4로 한다. 실시예에서는 우측 세로틀이 X축 구동틀4이 된다.

X축 구동틀4에 있어서 X축 구동기구는, 제2모터14, 제2모터14에 의하여 회전하게 되는 볼 나사15, 볼 나사15의 회전력을 X축 구동틀4에 있어서 X축방향의 구동력으로 바꾸고 이 틀4에 부착되는 너트16로 구성되어 있다. 또한 X축 구동틀4은 Y축 구동틀3의 연장영역 내에서 X축방향으로 이동한다. 모터14의 회전량에 의하여 구동틀3, 4의 이동량을 설정한다.

고정틀2의 타방(他方)에 인접하게 설치되는 측의 변을 X축 구동틀4에 의하여 X축방향으로 이동 가능한 X축 이동틀5로 한다. 실시예에서는 상부 가로틀이 X축 이동틀5이 된다. X축 이동틀5은 독자적인 구동기구를 구비하지 않는다. 또한 X축 이동틀5은 고정틀2의 연장영역 내에서 X축방향으로 이동한다.

상기 Y축 구동틀3, X축 이동틀5, 고정틀2 및 X축 구동틀4에 있어서 상기 Y축방향의 이동과 X축방향의 이동에 의하여 상기 Y축 구동틀3, X축 이동틀5, 고정틀2 및 X축 구동틀4로 구성되는 윈도우(window)6를 확대 또는 축소하고, 이렇게 확대 또는 축소된 윈도우6를 구성하는 틀에 상기 디스플레이 패널P의 각 변을 재치(載置)하여 지지한다.

각 틀3, 5, 2, 4 중 둘 내지 넷에는 이 길이방향에 걸쳐 가늘고 길게 연장되는 스탠드(stand)7를 돌출시켜 설치하고, 이 스탠드7에는 패널 지지면으로 개구되는 흡착 구멍8을 길이방향에 걸쳐 간격을 두고 병렬로 여러 개 형성한다. 상기 디스플레이 패널P의 두 변 내지 네 변을 상기 스탠드7에 의하여 지지하면서 이 두 변 내지 네 변을 흡착 구멍8에 의하여 흡착하여 지지한다.

한편 상기 지지틀1을 프로브 블록(probe block)B의 지지수단으로서 사용하는 경우에는, 마찬가지로 상기 Y축 구동틀3과 X축 이동틀5과 고정틀2과 X축 구동틀4의 상기 Y축방향 이동과 X축방향 이동에 의하여 상기 Y축 구동틀3과 X축 이동틀5과 고정틀2과 X축 구동틀4로 구성되는 윈도우6를 확대 또는 축소한다. 그리고 상기 각 틀3, 5, 2, 4에 스탠드7나 흡착 구멍8을 설치하지 않고, 프로브 블록B을 나사로 체결하기 위한 부착 구멍11 등 부착수단을 형성하고, 각 틀3, 5, 2, 4을 상기한 바와 같이 이동시켜 윈도우6를 확대 또는 축소한 후에 상기 프로브 블록B을 각 틀3, 5, 2, 4의 한 변 내지 네 변에 나사 등으로 체결한다.

상기 프로브 블록B은 여러 개 병렬로 배치된 리드를 보유하는 플레이트 또는 시트를 홀더 블록(holder block)에 접합시켜 이루어지고, 각 리드단을 홀더 블록으로부터 돌출시켜 디스플레이 패널의 각 전극 패드12에 가압시켜 접촉하는 단자13를 구성하고 있다.

상기 각 틀3, 5, 2, 4에 있어서 상호간에는 슬라이드 레일을 통하여 상기 소정의 X축방향 또는/및 Y축방향으로 이동하도록 연결한다.

상세하게 설명하면, 틀2, 3 사이에서는 틀2의 내측 변을 따라 Y축방향의 레일9을 설치하고, 틀3에 이 레일9과 슬라이딩 결합하는 슬라이더10를 설치하고, 이 슬라이더10가 레일9을 따라 이동함으로써 틀3이 Y축방향으로 이동하는 것을 안내한다.

마찬가지로, 틀3, 4 사이에서는 틀3의 내측 변을 따라 X축방향의 레일9을 설치하고, 틀4에 이 레일9과 슬라이딩 결합하는 슬라이더10를 설치하고, 이 슬라이더10가 레일9을 따라 이동함으로써 틀4이 X축방향으로 이동하는 것을 안내한다.

마찬가지로, 틀4, 5 사이에서는 틀4의 내측 변을 따라 Y축방향의 레일9을 설치하고, 틀5에 이 레일9과 슬라이딩 결합하는 슬라이더10를 설치하고, 이 슬라이더10가 레일9을 따라 이동함으로써 틀4이 Y축방향으로 이동하는 것을 안내한다.

마찬가지로, 틀5, 2 사이에서는 틀5의 내측 변을 따라 X축방향의 레일9을 설치하고, 틀2에 이 레일9과 슬라이딩 결합하는 슬라이더10를 설치하고, 이 슬라이더10가 레일9을 따라 이동함으로써 틀5이 X축방향으로 이동하는 것을 안내한다.

제2발명은, 상기 과제를 해결하기 위하여 검사대상인 디스플레이 패널 또는 검사용 프로브 블록을 지지하는 사각형 지지틀1을 다음과 같이 구성한다.

사각형 지지틀1의 일측 변을 구성하는 틀을, 이 일측 변과 직교하는 방향(X축방향)으로 구동 가능한 X축 구동틀2'로 한다.

X축 구동틀2'에 있어서 X축 구동기구는, 제1모터14, 제1모터14에 의하여 회전하게 되는 볼 나사15, 볼 나사15의 회전력을 X축 구동틀2'에 있어서 X축방향의 구동력으로 바꾸는 이 틀2'에 부착되는 너트16로 구성되어 있다. 또한 X축 구동틀2'은 X축 이동틀5'의 연장영역 내에서 X축방향으로 이동한다.

이 X축 구동틀2'의 일방(一方)에 인접하는 측의 변을 구성하여 X축 구동틀2'에 의하여 X축방향으로 이동 가능하며 또한 X축 구동틀2'을 따른 방향(Y축방향)으로 구동 가능한 Y축 구동틀3'을 설치한다.

Y축 구동틀3'에 있어서 Y축구동기구는, 제2모터14, 제2모터14에 의하여 회전하게 되는 볼 나사15, 볼 나사15의 회전력을 Y축 구동틀3'에 있어서 Y축방향의 구동력으로 바꾸고 이 틀3'에 부착되는 너트16로 구성되어 있다. 또한 Y축 구동틀3'은 X축 구동틀2'의 연장영역 내에서 Y축방향으로 이동한다.

상기 X축 구동틀2'과 대향하는 측의 변을 구성하고 Y축 구동틀3'에 의하여 Y축방향으로 이동 가능하며 또한 X축방향으로 구동 가능한 X축 구동틀4'을 설치한다.

X축 구동틀4'에 있어서 X축 구동기구는, 제3모터14, 제3모터에 의하여 회전하게 되는 볼 나사15, 볼 나사15의 회전력을 X축 구동틀4'에 있어서 X축방향의 구동력으로 바꾸고 이 틀4'에 부착되는 너트16로 구성되어 있다. 또한 X축 구동틀4'은 Y축 구동틀3'의 연장영역 내에서 X축방향으로 이동한다. 모터14의 회전량에 의하여 구동틀2', 3', 4'의 이동량을 설정한다.

X축 구동틀2'의 타방에 인접하는 측의 변을 구성하고 X축 구동틀4'에 의하여 X축방향으로 이동 가능한 X축 이동틀5'을 설치한다.

Y축 구동틀3'에 있어서 Y축방향의 구동과 X축 구동틀2' 및 X축 구동틀4'에 있어서 X축방향의 구동에 의하여 상기 네 변의 틀3', 5', 4', 2'로 구성되는 윈도우6를 확대 또는 축소한다.

이렇게 확대 또는 축소된 윈도우6를 구성하는 틀에 상기 디스플레이 패널P 또는 이 디스플레이 패널에 배치되는 전극 패드12에 가압시켜 접촉하는 프로브 블록B를 지지한다.

각 틀3', 5', 2', 4' 중 둘 내지 넷에는 이 길이방향에 걸쳐 가늘고 길게 연장되는 스탠드7를 돌출시켜 설치하고, 이 스탠드7에는 패널 지지면으로 개구되는 흡착 구멍8을 길이방향에 걸쳐 간격을 두고 여러 개 병렬로 형성한다. 상기 디스플레이 패널P의 두 변 내지 네 변을 상기 스탠드7로 지지하면서 이 두 변 내지 네 변을 흡착 구멍8으로 흡착하여 지지한다.

한편 상기 지지틀1을 프로브 블록B의 지지수단으로서 사용하는 경우에는 상기 각 틀3', 5', 2', 4'에 스탠드7나 흡착 구멍8을 설치하지 않고, 프로브 블록B을 나사로 체결하기 위한 부착 구멍11 등 부착수단을 형성하고, 각 틀3', 5', 2', 4'을 상기한 바와 같이 이동시켜 윈도우6를 확대 또는 축소한 후에 상기 프로브 블록B을 각 틀3', 5', 2', 4'의 한 변 내지 네 변에 나사 등으로 체결한다.

상기 프로브 블록B은 여러 개 병렬로 배치하는 리드를 보유하는 플레이트 또는 시트를 홀더 블록에 접합하여 이루어지고, 각 리드단을 홀더 블록으로부터 돌출시켜 디스플레이 패널의 각 전극 패드12에 가압시켜 접촉하는 단자13를 구성하고 있다.

상기와 마찬가지로, 상기 각 틀3', 5', 2', 4'에 있어서 상호간에는 슬라이드 레일을 통하여 상기 소정의 X축방향 또는/및 Y축방향으로 이동하도록 연결한다.

상세하게 설명하면, 틀2', 3' 사이에서는 틀2'의 내측 변을 따라 Y축방향의 레일9을 설치하고, 틀3'에 이 레일9과 슬라이딩 결합하는 슬라이더10를 설치하고, 이 슬라이더10가 레일9을 따라 이동함으로써 틀3'이 Y축방향으로 이동하는 것을 안내한다.

마찬가지로, 틀3', 4' 사이에서는 틀3'의 내측 변을 따라 X축방향의 레일9을 설치하고, 틀4'에 이 레일9과 슬라이딩 결합하는 슬라이더10를 설치하고, 이 슬라이더10가 레일9을 따라 이동함으로써 틀4이 X축방향으로 이동하는 것을 안내한다.

마찬가지로, 틀4', 5' 사이에서는 틀4'의 내측 변을 따라 Y축방향의 레일9을 설치하고, 틀5'에 이 레일9과 슬라이딩 결합하는 슬라이더10를 설치하고, 이 슬라이더10가 레일9을 따라 이동함으로써 틀4'이 Y축방향으로 이동하는 것을 안내한다.

마찬가지로, 틀5', 2' 사이에서는 틀5'의 내측 변을 따라 X축방향의 레일9을 설치하고, 틀2'에 이 레일9과 슬라이딩 결합하는 슬라이더10를 설치하고, 이 슬라이더10가 레일9을 따라 이동함으로써 틀2'이 X축방향으로 이동하는 것을 안내한다.

상기 제1, 제2발명에서 틀2 내지 5, 틀2' 내지 5'에 있어서 상호간에는 각각 X축방향 또는 Y축방향으로 떨어지지 않도록 교차시켜 조립한다.

다음에 검사순서에 관하여 설명한다. 프로브 블록13이 부착된 지지틀1과 디스플레이 패널P이 흡착되어 지지된 지지틀1의 일방 또는 쌍방을 상기 구조로 하고, 도13에 나타나 있는 위치에 마주 놓고, 디스플레이 패널P의 지지틀1을 도13의 화살표 방향으로 전진시켜 프로브 블록B 단자13에 디스플레이 패널P의 각 전극 패드12를 가압하여 접촉시켜서 검사를 한다. 도14가 이 상태를 나타낸다. 검사를 종료한 후에는 가압접촉을 해제하고, 그 후에 프로브 블록B의 지지틀1이 확대되어 디스플레이 패널P의 교환이 이루어지고, 다음 검사로 이행한다.

도6은 다른 검사장치에 관한 것으로서, 지지틀1에 부착한 프로브 블록B으로 4장의 디스플레이 패널P을 검사하는 상태를 나타내는 사시도이다. 프로브 블록B이 부착된 지지틀1은 한 장의 디스플레이 패널P의 크기에 맞추어 형성되어 있다. 한편 4장의 디스플레이 패널P은 X축방향(전후방향), Y축 방향(좌우방향) 및 Z축방향(상하방향)으로 이동할 수 있는 스테이지(도면에 나타나 있지 않다)에 재치(載置)되는 어레이(array)17에 배치되어 있다.

검사할 때에는 프로브 블록B이 부착된 지지틀1은 이동하지 않고, 스테이지를 X축방향, Y축방향으로 이동시켜 디스플레이 패널P과 프로브 블록B 단자13의 위치맞춤을 한 후, 스테이지를 통하여 디스플레이 패널P을 상승시켜 프로브 블록B 단자13에 디스플레이 패널P의 각 전극 패드12를 가압하여 접촉시켜서 검사를 한다. 최초의 디스플레이 패널P 검사가 종료되면, 스테이지를 다음 검사 대상인 디스플레이 패널P을 프로브 블록B을 향하여 X축방향, Y축방향으로 이동시켜 위치맞춤을 한 후에 상승시켜 마찬가지로 검사를 한다.

본 발명에 의하면, 틀의 X축방향 이동과 Y축방향 이동에 의하여 각종 크기의 디스플레이 패널에 대응하는 크기의 지지틀을 용이하게 형성할 수 있고, 마찬가지로 이 디스플레이 패널의 크기에 대응하는 검사용 프로브 지지틀을 용이하게 형성할 수 있고, 이에 따라 1대의 검사장치를 크기가 다른 각종 디스플레이 패널에 적합하게 사용할 수 있어 매우 경제적으로 검사작업의 효율 향상과 검사 코스트를 줄일 수 있다.

Claims (4)

1. 검사대상인 디스플레이 패널(displsy panel) 또는 검사용 프로브 블록(probe block)을 지지하는 사각형 지지틀에 있어서, 상기 사각형 지지틀의 네 변의 틀이, 사각형의 일측(一側) 변을 구성하는 고정틀(2)과, 고정틀(2)의 일방(一方)에 인접하는 측의 변을 구성하고 고정틀(2)로 구성된 상기 일측의 변을 따른 방향(Y축방향)으로 구동 가능하게 슬라이드 레일을 통하여 교차시켜서 조립한 Y축 구동틀(3)과,

   고정틀(2)과 대향(對向)하는 측의 변을 구성하고 Y축 구동틀(3)에 의하여 Y축방향으로 이동 가능하며 또한 고정틀(2)에 접근하거나 멀어지는 방향(X축방향)으로 구동 가능하게 슬라이드 레일을 통하여 교차시켜서 조립한 X축 구동틀(4)과,

   고정틀(2)의 타방(他方)에 인접하는 측의 변을 구성하고 X축 구동틀(4)에 의하여 X축방향으로 이동 가능하게 슬라이드 레일을 통하여 교차시켜서 조립한 X축 이동틀(5)

   로 이루어지고,

   상기 Y축 구동틀(3)에 있어서 Y축 구동기구는, 제1모터와 제1모터에 의하여 회전하게 되는 볼 나사와 볼 나사의 회전력을 Y축 구동틀(3)에 있어서 Y축방향의 구동력으로 바꾸는 동 틀(3)에 부착되는 너트로 구성되고, 마찬가지로, 상기 X축 구동틀(4)에 있어서 X축 구동기구는, 제2모터와 제2모터에 의하여 회전하게 되는 볼 나사와 볼 나사의 회전력을 X축 구동틀(4)에 있어서 X축방향의 구동력으로 바꾸는 동 틀(4)에 부착되는 너트로 구성되어 상기 볼 나사의 회전에 의한 Y축 구동틀(3)의 Y축방향 구동과 X축 구동틀(4)의 X축방향의 구동에 의하여 상기 네 변의 틀((2), (3), (4), (5))로 구성되는 윈도우를 확대 또는 축소하고, 상기 확대 또는 축소된 윈도우를 구성하는 틀에 상기 디스플레이 패널 또는 상기 디스플레이 패널에 배치되는 전극 패드(electrode pad)에 가압시켜 접촉하는 프로브 블록을 지지하는 구성으로 하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 지지틀.
2. 검사대상인 디스플레이 패널 또는 검사용 프로브 블록을 지지하는 사각형 지지틀에 있어서, 상기 사각형 지지틀의 네 변의 틀이, 사각형의 일측 변을 구성하여 상기 일측 변과 직교하는 방향(X축방향)으로 구동 가능한 제1 X축 구동틀(2’)과, 상기 제1 X축 구동틀(2’)의 일방에 인접하는 측의 변을 구성하고 제1 X축 구동틀(2’)에 의하여 X축방향으로 이동 가능하며 또한 제1 X축 구동틀(2’)을 따른 방향(Y축방향)으로 구동 가능하게 슬라이드 레일을 통하여 교차시켜서 조립한 Y축 구동틀(3’)과,

   상기 제1 X축 구동틀(2’)과 대향하는 측의 변을 구성하고 Y축 구동틀(3’)에 의하여 Y축방향으로 이동 가능하며 또한 X축방향으로 구동 가능하게 슬라이드 레일을 통하여 교차시켜서 조립한 제2 X축 구동틀(4’)과,

   제1 X축 구동틀(2’)의 타방에 인접하는 측의 변을 구성하고 제2 X축 구동틀(4’)에 의하여 X축방향으로 이동 가능하게 슬라이드 레일을 통하여 교차시켜서 조립한 X축 이동틀(5’)로

   이루어지고,

   상기 제1 X축 구동틀(2’)에 있어서 X축 구동기구는, 제1모터와 제1모터에 의하여 회전하게 되는 볼 나사와 볼 나사의 회전력을 제1 X축 구동틀(2’)에 있어서 X축방향의 구동력으로 바꾸는 동 틀(2’)에 부착되는 너트로 구성되고, 마찬가지로 상기 Y축 구동틀(3’)에 있어서 Y축 구동기구는, 제2모터와 제2모터에 의하여 회전하게 되는 볼 나사와 볼 나사의 회전력을 Y축 구동틀(3’)에 있어서 Y축방향의 구동력으로 바꾸는 동 틀(3’)에 부착되는 너트로 구성되고, 마찬가지로 상기 제2 X축 구동틀(4’)에 있어서 X축 구동기구는, 제3모터와 제3모터에 의하여 회전하게 되는 볼 나사와 볼 나사의 회전력을 제2 X축 구동틀(4’)에 있어서 X축방향의 구동력으로 바꾸는 동 틀(4’)에 부착되는 너트로 구성되어 상기 볼 나사의 회전에 의한 Y축 구동틀(3’)의 Y축방향 구동과 제1 X축 구동틀(2’) 및 제2 X축 구동틀(4’)의 X축방향 구동에 의하여 상기 네 변의 틀((2’), (3’), (4’), (5’))로 구성되는 윈도우를 확대 또는 축소하고, 상기 확대 또는 축소된 윈도우를 구성하는 틀에 상기 디스플레이 패널 또는 상기 디스플레이 패널에 배치되는 전극 패드에 가압시켜 접촉하는 프로브 블록을 지지하는 구성으로 하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 지지틀.
3. 검사대상인 디스플레이 패널(displsy panel) 또는 검사용 프로브 블록(probe block)을 지지하는 사각형 지지틀에 있어서, 상기 사각형 지지틀의 네 변의 틀이, 사각형의 일측(一側) 변을 구성하는 고정틀(2)과, 고정틀(2)의 일방(一方)에 인접하는 측의 변을 구성하고 고정틀(2)로 구성된 상기 일측의 변을 따른 방향(Y축방향)으로 구동 가능하게 슬라이드 레일을 통하여 교차시켜서 조립한 Y축 구동틀(3)과,

   고정틀(2)과 대향(對向)하는 측의 변을 구성하고 Y축 구동틀(3)에 의하여 Y축방향으로 이동 가능하며 또한 고정틀(2)에 접근하거나 멀어지는 방향(X축방향)으로 구동 가능하게 슬라이드 레일을 통하여 교차시켜서 조립한 X축 구동틀(4)과,

   고정틀(2)의 타방(他方)에 인접하는 측의 변을 구성하고 X축 구동틀(4)에 의하여 X축방향으로 이동 가능하게 슬라이드 레일을 통하여 교차시켜서 조립한 X축 이동틀(5)

   로 이루어지고,

   상기 Y축 구동틀(3)에 있어서 Y축 구동기구는, 제1모터와 제1모터에 의하여 회전하게 되는 볼 나사와 볼 나사의 회전력을 Y축 구동틀(3)에 있어서 Y축방향의 구동력으로 바꾸는 동 틀(3)에 부착되는 너트로 구성되고, 마찬가지로, 상기 X축 구동틀(4)에 있어서 X축 구동기구는, 제2모터와 제2모터에 의하여 회전하게 되는 볼 나사와 볼 나사의 회전력을 X축 구동틀(4)에 있어서 X축방향의 구동력으로 바꾸는 동 틀(4)에 부착되는 너트로 구성되어 상기 볼 나사의 회전에 의한 Y축 구동틀(3)의 Y축방향 구동과 X축 구동틀(4)의 X축방향의 구동에 의하여 상기 네 변의 틀((2), (3), (4), (5))로 구성되는 윈도우를 확대 또는 축소하고, 상기 확대 또는 축소된 윈도우를 구성하는 틀에 상기 디스플레이 패널 또는 상기 디스플레이 패널에 배치되는 전극 패드(electrode pad)에 가압시켜 접촉하는 프로브 블록을 지지하는 구성으로 하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록의 지지틀.
4. 검사대상인 디스플레이 패널 또는 검사용 프로브 블록을 지지하는 사각형 지지틀에 있어서, 상기 사각형 지지틀의 네 변의 틀이, 사각형의 일측 변을 구성하여 상기 일측 변과 직교하는 방향(X축방향)으로 구동 가능한 제1 X축 구동틀(2’)과, 상기 제1 X축 구동틀(2’)의 일방에 인접하는 측의 변을 구성하고 제1 X축 구동틀(2’)에 의하여 X축방향으로 이동 가능하며 또한 제1 X축 구동틀(2’)을 따른 방향(Y축방향)으로 구동 가능하게 슬라이드 레일을 통하여 교차시켜서 조립한 Y축 구동틀(3’)과,

   상기 제1 X축 구동틀(2’)과 대향하는 측의 변을 구성하고 Y축 구동틀(3’)에 의하여 Y축방향으로 이동 가능하며 또한 X축방향으로 구동 가능하게 슬라이드 레일을 통하여 교차시켜서 조립한 제2 X축 구동틀(4’)과,

   제1 X축 구동틀(2’)의 타방에 인접하는 측의 변을 구성하고 제2 X축 구동틀(4’)에 의하여 X축방향으로 이동 가능하게 슬라이드 레일을 통하여 교차시켜서 조립한 X축 이동틀(5’)로

   이루어지고,

   상기 제1 X축 구동틀(2’)에 있어서 X축 구동기구는, 제1모터와 제1모터에 의하여 회전하게 되는 볼 나사와 볼 나사의 회전력을 제1 X축 구동틀(2’)에 있어서 X축방향의 구동력으로 바꾸는 동 틀(2’)에 부착되는 너트로 구성되고, 마찬가지로 상기 Y축 구동틀(3’)에 있어서 Y축 구동기구는, 제2모터와 제2모터에 의하여 회전하게 되는 볼 나사와 볼 나사의 회전력을 Y축 구동틀(3’)에 있어서 Y축방향의 구동력으로 바꾸는 동 틀(3’)에 부착되는 너트로 구성되고, 마찬가지로 상기 제2 X축 구동틀(4’)에 있어서 X축 구동기구는, 제3모터와 제3모터에 의하여 회전하게 되는 볼 나사와 볼 나사의 회전력을 제2 X축 구동틀(4’)에 있어서 X축방향의 구동력으로 바꾸는 동 틀(4’)에 부착되는 너트로 구성되어 상기 볼 나사의 회전에 의한 Y축 구동틀(3’)의 Y축방향 구동과 제1 X축 구동틀(2’) 및 제2 X축 구동틀(4’)의 X축방향 구동에 의하여 상기 네 변의 틀((2’), (3’), (4’), (5’))로 구성되는 윈도우를 확대 또는 축소하고, 상기 확대 또는 축소된 윈도우를 구성하는 틀에 상기 디스플레이 패널 또는 상기 디스플레이 패널에 배치되는 전극 패드에 가압시켜 접촉하는 프로브 블록을 지지하는 구성으로 하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록의 지지틀.

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