KR100767298B1 - 표시기판 또는 회로기판의 검사장치 - Google Patents
표시기판 또는 회로기판의 검사장치 Download PDFInfo
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Abstract
대략 기판 검사시의 점유 스페이스 내에서 표시기판 또는 회로기판의 교환이 가능하여, 종래의 예에 있어서의 교환을 위한 옆쪽 스페이스를 필요로 하지 않아 표시기판 또는 회로기판의 검사장치의 대폭적인 소형화를 가능하게 한다.
표시기판 또는 회로기판P의 전극패드3에 검사용 프로브 블록B의 검사용의 단자4를 가압하여 접촉시켜 검사를 하는 표시기판 또는 회로기판의 검사장치에 있어서, 프로브 지지틀2을 신축 가능한 구조로 하여 그 프로브 지지틀2을 확대하는 동시에, 기판 지지틀1을 상대적으로 전진시켜 그 상대적인 전진에 의하여 상기 표시기판 또는 회로기판P을 상기 프로브 지지틀2의 확대된 개구부16를 통과시켜 프로브 블록B의 단자4 선단보다 전방으로 돌출시켜 기판 지지틀1로 지지되는 표시기판 또는 회로기판P을 교환하는 구성으로 한다.
Description
도1은 접촉해제 상태에 있는 프로브 지지틀과 기판 지지틀의 상대배치를 나타내는 단면도,
도2는 접촉상태에 있는 프로브 지지틀과 기판 지지틀의 상대배치를 나타내는 단면도,
도3은 표시기판 또는 회로기판 교환시의 프로브 지지틀과 기판 지지틀의 상대배치를 나타내는 단면도,
도4는, A는 분리형의 프로브 지지틀을 확대한 상태에 있어서의 기판 지지틀과의 상대배치를 나타내는 정면도, B, C는 확대한 상태에 있어서의 기판 교환시의 상대배치를 나타내는 단면도,
도5는, A는 축소된 상태에서 프로브 지지틀과 기판 지지틀의 검사 대기상태에 있어서의 상대배치를 나타내는 정면도, B는 동 단면도,
도6은, A는 축소된 상태에서 프로브 지지틀과 기판 지지틀의 검사상태에 있어서의 상대배치를 나타내는 정면도, B는 동 단면도,
도7은 교차시켜 조립한 프로브 지지틀의 축소상태를 나타내는 정면도,
도8은 교차시켜 조립한 프로브 지지틀의 확대상태를 나타내는 정면도,
도9는 교차시켜 조립한 패널 지지틀의 교차조립부의 확대 정면도,
도10은 교차시켜 조립한 패널 지지틀의 교차조립부의 확대 단면도이다.
*도면의 주요부호에 대한 설명*
1 : 기판 지지틀 2 : 프로브 지지틀
3 : 전극패드 4 : 단자
5 : 부착구멍 6 : 모터
7 : 볼나사 8 너트
9 : 레일 10 : 슬라이더
11 : 흡착구멍(吸着孔) 12, 13, 14, 15 : 틀
P : 표시기판 또는 회로기판 B : 프로브 블록
본 발명은 표시기판 또는 회로기판의 검사장치에 관한 것으로서, 특히 검사장치에 있어서의 표시기판 또는 회로기판의 교환기구에 관한 것이다.
종래에 액정 패널이나 플라즈마 디스플레이 패널로 대표되는 표시기판 또는 회로기판의 검사에 있어서는, 도1, 도2에 나타나 있는 바와 같이 전방에 검사용 프로브 블록B를 지지하는 프로브 지지틀2을 배치하고, 후방에 표시기판 또는 회로기판P을 지지하는 기판 지지틀1을 배치하며, 후방의 기판 지지틀1을 전방의 프로브 지지틀2에 대하여 진퇴 가능하게 설치하여, 그 기판 지지틀1의 전진에 의해서 이것으로 지지되는 표시기판 또는 회로기판P의 전극패드3에 프로브 지지틀2로 지지되는 검사용 프로브 블록B의 검사용 단자4를 가압하여 접촉시키면서 검사를 하고, 검사종료 후에 기판 지지틀1을 후퇴시키고 또한 기판 지지틀1을 옆쪽으로 대피시켜 표시기판 또는 회로기판P의 교환을 하도록 하고 있었다.
따라서 검사장치에는, 검사를 위한 표시기판 또는 회로기판의 점유 스페이스 이외에 교환을 위한 점유 스페이스가 필요하게 되어 검사장치의 대형화를 초래하는 원인으로 되었다.
본 발명은, 표시기판 또는 회로기판의 교환을 위한 점유 스페이스를 필요로 하지 않아 표시기판 또는 회로기판 검사장치의 소형화를 가능하게 하는 동시에, 프로브 블록의 검사용 단자와 표시기판 또는 회로기판의 간섭을 초래하지 않고, 프로브 지지틀의 전면(前面)에 있어서 간단하고 안전하게 표시기판 또는 회로기판을 교환할 수 있는 표시기판 또는 회로기판의 검사장치를 제공한다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위하여, 상기 프로브 지지틀을 신축 가능한 구조로 하여 그 프로브 지지틀을 확대하는 동시에 상기 기판 지지틀을 상대적으로 전진시켜 그 상대적인 전진에 의하여 상기 표시기판 또는 회로기판을 상기 프로브 지지틀의 확대된 개구부를 통과시켜 프로브 블록의 단자 선단보다 전방으로 돌출시켜 기판 지지틀로 지지되는 표시기판 또는 회로기판을 교환하는 구성으로 하는 표시기판 또는 회로기판의 검사장치를 제공한다.
(실시예)
이하, 도1 내지 도10에 의거하여 본 발명의 실시예에 관하여 설명한다. 본 실시예에 있어서의 표시기판 또는 회로기판의 검사장치는, 도면에 나타나 있는 바와 같이 검사용의 프로브 블록B가 지지되고 신축 가능한 구조를 구비하는 프로브 지지틀2과, 검사대상의 표시기판 또는 회로기판P이 지지되는 기판 지지틀1으로 이루어지고, 전방에 검사용 프로브 블록B를 지지하는 프로브 지지틀2을 배치하고 후방에 표시기판 또는 회로기판P을 지지하는 기판 지지틀1을 배치하여, 후방의 기판 지지틀1과 전방의 프로브 지지틀2을 상대적으로 진퇴 가능하게 설치한다.
상기 프로브 블록B는 병렬로 배치되는 다수의 리드를 구비하는 플레 이트 또는 시트를 홀더블록에 접합시킨 것으로서, 각 리드단(lead端)을 홀더블록으로부터 돌출시켜 단자4를 형성하고, 그 단자4를 표시기판 또는 회로기판P의 각 전극패드3에 가압하면서 접촉하도록 구성되어 있다. 단자4와 전극패드3의 관계는 도1 및 도2에 나타나 있다.
도7, 도8에 나타나 있는 바와 같이, 프로브 지지틀2에는 프로브 블록B를 나사로 체결하는 부착구멍5 등의 부착수단을 형성하여, 상기 프로브 블록B를 프로브 지지틀2에 나사 등으로 체결하여 장착하고, 상기 단자4를 틀2의 개구부16 내를 향하여 돌출시킨다.
프로브 지지틀2은, 도7내지 도10에 나타나 있는 바와 같이 4변의 각 틀12, 13, 14, 15이 교차하여 조립되어 신축 가능하게 하는 예와, 도4 내지 도6에 나타나 있는 바와 같이 4변의 각 틀12, 13, 14, 15이 분리, 독립하여 신축 가능하게 하는 예를 들 수 있다.
각 틀12~15를 신축하기 위한 구동기구는, 모터6와, 모터6에 의하여 회전되는 볼나사7와, 그 볼나사7에 나사 결합되고 각 틀12~15 등에 부착된 너트 등으로 구성되어 있다. 모터6에 의해서 볼나사7가 회전하면 그 회전방향에 따라 너트 및 각 틀12~15가 진퇴되고, 또한 볼나사7의 회전수에 의하여 진퇴량이 설정되고, 따라서 프로브 지지틀2의 개구부16의 신축량이 결정된다.
한편, 도1 내지 도10에 나타내는 기판 지지틀1은, 전방 및 후방으로 진퇴하는 구동기구에 의하여 지지되어 있다. 도1, 도2에 나타나 있는 바 와 같이, 이 기판 지지틀1에는 패널 지지면에서 개구하는 흡착구멍11을 길이방향에 걸쳐서 간격을 두고 다수 형성하여 표시기판 또는 회로기판P의 2변 내지 4변을 흡착구멍11으로 흡착하여 지지하고 착탈 가능하게 하고 있다.
따라서 프로브 지지틀2을 구성하는 각 틀12~15를 후퇴시켜 그 틀12~15에 의하여 형성되는 개구부16를 확대하는 동시에, 상기 기판 지지틀1을 상대적으로 전진시켜 그 상대적인 전진에 의하여 상기 표시기판 또는 회로기판P을 상기 프로브 지지틀2의 확대된 개구부16를 통과시켜 프로브 블록B의 단자4 선단보다 전방으로 돌출시켜 기판 지지틀1로 지지되는 표시기판 또는 회로기판P을 교환한다.
기판 지지틀1의 상대적인 전진은 직접 기판 지지틀1을 전방으로 돌출하도록 전진시키는 방법이 일반적이지만, 프로브 지지틀2을 후방으로 후퇴시켜 기판 지지틀1을 상대적으로 전방으로 돌출시키는 방법이나, 프로브 지지틀2 및 기판 지지틀1 모두를 이동시켜 기판 지지틀1을 전방으로 돌출시키는 방법이 알려져 있다.
이하 도4 내지 도6에 나타낸 분리 독립형의 프로브 지지틀2을 사용하여 표시기판 또는 회로기판P의 장착, 검사, 교환 등을 하는 경우에 관하여 설명한다. 우선 도4에 의거하여 교환에 관하여 설명한다.
도4A, B에 나타나 있는 바와 같이 프로브 지지틀2의 4변의 틀12~15가 상기한 구동기구에 의하여 축소위치(검사위치)부터 틀 개구면 상을 후퇴하 여 개구부16를 기판 지지틀1보다 크게 확대한다.
그리고 도3, 도4B, C에 나타나 있는 바와 같이 기판 지지틀1을 후방 대기위치로부터 틀2의 개구면과 직교하는 방향으로 전진시켜 표시기판 또는 회로기판P을 기판 지지틀1과 함께 전방으로 돌출시킨다. 즉 프로브 지지틀2의 확대에 의하여 단자4가 표시기판 또는 회로기판P과 간섭하지 않는 위치까지 후퇴하거나 또는 프로브 지지틀2의 확대에 의하여 단자4가 기판P 및 기판 지지틀1과 간섭하지 않는 위치까지 후퇴하고, 다음에 상기 기판 지지틀1을 전진시켜 적어도 기판P을 확대된 개구부16를 통과시켜 단자4의 전면측으로 돌출시킨다.
이 상태에서 기판P의 흡착지지 상태를 해제하여 기판P을 기판 지지틀1로부터 떼어낸다. 또는 흡착지지 상태를 해제하지 않고서 기판P을 기판 지지틀1로부터 떼어내고 흡착을 해제한다.
다음에 새로운 표시기판 또는 회로기판P을 기판 지지틀1에 실고 흡착, 지지하고, 다음에 틀2의 개구면과 직교하는 방향으로 후퇴시켜 후방 대기위치를 형성한다.
다음에 도5, 도6에 의거하여 검사상태에 관하여 설명한다. 기판 지지틀1이, 도4C에 가상선으로 나타내는 대기위치까지 후퇴한 뒤에 도5에 나타나 있는 바와 같이 프로브 지지틀2을 구성하는 틀12~15가 틀2의 개구면 상을 전진하여 프로브 블록B의 단자4가 표시기판 또는 회로기판P의 각 전극패드3의 상방에 위치하도록 프로브 지지틀2의 개구부16를 축소시킨다.
다음에 도2, 도6에 나타나 있는 바와 같이 기판 지지틀1이 후방 대기위치로부터 틀2의 개구면과 직교하는 방향에 있어서 전방으로 이동하여, 프로브 블록B의 단자4에 표시기판 또는 회로기판P의 각 전극패드3를 가압하여 접촉시킨다. 이 상태에서 통전(通電)하여 검사를 한다. 검사종료 후에 기판 지지틀1은 다시 후방 대기위치로 후퇴하고, 또한 도4에 의거하여 설명한 바와 같이 프로브 지지틀2을 확대하는 동시에 기판 지지틀1을 전진시켜 상기 기판P을 교환한다.
상기한 바와 같이 프로브 지지틀2은, 적어도 단자4의 선단부가 표시기판 또는 회로기판P과 간섭하지 않는 위치까지 후퇴하면, 상기 기판의 교환을 대략 검사시의 점유 스페이스 내에서 할 수 있다.
다음에 도7 내지 도10에 의거하여 프로브 지지틀2을 교차하게 조립하여 신축 가능하게 하여 상기 교환 등을 하도록 한 경우에 관하여 설명한다. 이 프로브 지지틀2은, 사각형으로 교차하게 조립된 4변을 구성하는 4개의 틀12~15로 이루어진다.
한 쌍의 대향하는 틀12, 14은 상기 구동기구에 의하여 X축방향으로 틀2의 개구면 상을 진퇴 가능하게 지지되고, 다른 한 쌍의 대향하는 틀13, 15은 상기 구동기구에 의하여 Y축방향으로 틀2의 개구면 상을 진퇴 가능하게 지지된다.
상기 틀12의 일단 내측 변에 틀13의 일단을 교차하게 조립하고, 그 틀13의 타단 내측 변에 틀14의 일단을 교차하게 조립하고, 그 틀14의 타 단 내측 변에 틀15의 일단을 교차하게 조립하며, 그 틀15의 타단 내측 변에 상기 틀12의 타단을 교차하게 조립한다.
상세하게 설명하면, 도9, 도10에 나타나 있는 바와 같이, 직교하는 틀12, 13 사이와 틀14, 15 사이에서는 틀12과 틀14의 내측 변을 따라 Y축방향의 레일9를 설치하는 한편 틀13과 틀15에 그 레일9과 슬라이딩 결합하는 슬라이더10를 설치하여, 그 슬라이더10가 레일9을 따라 이동함으로써 틀13 및 틀15의 Y축방향의 이동을 안내한다.
마찬가지로 틀13, 14 사이와 틀12, 15 사이에서는 틀13과 틀15의 내측 변을 따라 X축방향의 레일9을 설치하고, 틀14과 틀12에 그 레일9과 슬라이딩 결합하는 슬라이더10를 설치하여, 그 슬라이더10가 레일9을 따라 이동함으로써 틀14 및 틀12의 X축방향의 이동을 안내한다.
상기 각 틀12~15를 신축하기 위한 구동기구는, 모터6와, 모터6에 의하여 회전되는 볼나사7와, 그 볼나사7에 나사 결합되고 각 틀12~15 등에 부착된 너트로 구성되어 있다. 모터6에 의하여 볼나사7가 회전하면, 그 회전방향에 의하여 너트 및 각 틀12~15가 진퇴되며, 또한 볼나사7의 회전수에 의하여 진퇴량이 설정되고, 따라서 프로브 지지틀2의 개구부16의 신축량이 결정된다.
한편, 기판 지지틀1은 전방 및 후방으로 진퇴하는 구동기구에 의하여 지지되어 있다. 이 기판 지지틀1에는 패널 지지면에서 개구하는 흡착구멍11을 길이방향에 걸쳐 간격을 두고 나란하게 다수 형성하여, 표시기판 또는 회로기판P의 2변 내지 4변을 흡착구멍11으로 흡착하여 지지하고 착탈 가능하게 하고 있다.
따라서 프로브 지지틀2를 구성하는 각 틀12~15를 후퇴시켜, 그 틀12~15에 의하여 구성되는 개구부16를 확대하는 동시에, 상기 기판 지지틀1을 상대적으로 전진시키고, 그 상대적인 전진에 의하여 상기 표시기판 또는 회로기판P을 상기 프로브 지지틀2의 확대된 개구부16를 통과시켜 프로브 블록B의 단자4 선단보다 전방으로 돌출시켜 기판 지지틀1에 지지된 표시기판 또는 회로기판P을 교환한다.
기판 지지틀1의 상대적인 전진으로서는 직접 기판 지지틀1을 전방으로 돌출하도록 전진시키는 방법이 일반적이지만, 프로브 지지틀2을 후방으로 후퇴시켜 기판 지지틀1을 상대적으로 전방으로 돌출시키는 방법이나, 프로브 지지틀2 및 기판 지지틀1 모두를 이동시켜 기판 지지틀1을 전방으로 돌출시키는 방법이 알려져 있다.
이하 도7, 도8에 의거하여 상기 교차하여 조립된 프로브 지지틀2을 사용한 경우에 있어서의 표시기판 또는 회로기판P의 장착, 검사 및 교환까지의 절차를 설명한다.
도7에 나타나 있는 바와 같이 틀12이 구동기구에 의하여 개구면 상을 X축방향으로 전진하면 틀13이 교차조립부를 통하여 X축방향으로 이동하고, 틀13이 구동기구에 의하여 개구면상을 Y축방향으로 전진하면 틀14이 교차조립부를 통하여 Y축방향으로 이동하고, 틀14이 구동기구에 의하여 개 구면 상을 X축방향으로 전진하면 틀15이 교차조립부를 통하여 X축방향으로 이동하고, 틀15이 구동기구에 의하여 개구면 상을 Y축방향으로 전진하면 틀12이 교차조립부를 통하여 Y축방향으로 이동한다. 따라서 상기 이동에 의하여 프로브 지지틀2의 개구부16를 축소하여 기판검사 위치를 형성한다.
이렇게 하여 프로브 지지틀2을 기판검사 위치로 축소한 뒤에 도2, 도6에 나타나 있는 바와 같이 기판 지지틀1을 후방 대기위치로부터 틀2의 개구면과 직교하는 방향으로 전진시켜 기판P의 전극패드3를 단자4에 가압하여 접촉시켜 검사를 실시한다.
한편, 도8에 나타나 있는 바와 같이 상기 구동기구에 의하여 틀12이 개구면 상을 X축방향으로 후퇴하면 틀13이 교차조립부를 통하여 X축방향으로 이동하고, 틀13이 구동기구에 의하여 개구면 상을 Y축방향으로 후퇴하면 틀14이 교차조립부를 통하여 Y축방향으로 이동하고, 틀14이 구동기구에 의하여 개구면 상을 X축방향으로 후퇴하면 틀15이 교차조립부를 통하여 X축방향으로 이동하고, 틀15이 구동기구에 의하여 개구면 상을 Y축방향으로 후퇴하면 틀12이 교차조립부를 통하여 Y축방향으로 이동한다. 따라서 상기 이동에 의하여 프로브 지지틀2의 개구부16를 확대하여 기판교환 위치를 형성한다.
이렇게 하여 프로브 지지틀2을 기판교환 위치까지 후퇴시킨 뒤에 도4C와 도3에 나타나 있는 바와 같이 기판 지지틀1을 기판대기 위치로부터 틀2의 개구면과 직교하는 방향으로 전진시켜, 적어도 기판P을 확대 개구부16를 통과시켜 단자4의 선단과 간섭하지 않는 위치까지 돌출시켜 상기 기판을 교환한다.
본 발명에 의하면, 대략 기판 검사시의 점유 스페이스 내에서 표시기판 또는 회로기판의 교환이 이루어질 수 있어, 종래의 예에 있어서의 교환을 위한 옆쪽 스페이스를 필요로 하지 않아 표시기판 또는 회로기판의 검사장치의 대폭적인 소형화를 가능하게 한다.
Claims (1)
- 전방에 검사용 프로브 블록을 지지하는 프로브 지지틀을 배치하고, 후방에 표시기판 또는 회로기판을 지지하는 기판 지지틀을 배치하고, 후방의 기판 지지틀과 전방의 프로브 지지틀을 상대적으로 진퇴 가능하게 설치하여, 기판 지지틀의 상대적인 전진에 의하여 표시기판 또는 회로기판의 전극패드에 검사용 프로브 블록의 검사용 단자를 가압하여 접촉시켜 검사를 하는 표시기판 또는 회로기판의 검사장치에 있어서, 상기 프로브 지지틀을 신축 가능한 구조로 하여 그 프로브 지지틀을 확대하는 동시에 상기 기판 지지틀을 상대적으로 전진시켜 그 상대적인 전진에 의하여 상기 표시기판 또는 회로기판을 상기 프로브 지지틀의 확대된 개구부를 통과시켜 프로브 블 록의 단자 선단보다 전방으로 돌출시켜 기판 지지틀로 지지되는 표시기판 또는 회로기판을 교환하는 구성으로 하는 것을 특징으로 하는 표시기판 또는 회로기판의 검사장치.
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