TWI439709B - 用於使負載沿平移軸線平移之操縱器與負載定位系統 - Google Patents

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Description

用於使負載沿平移軸線平移之操縱器與負載定位系統
本發明是關於積體電路(integrated circuit: IC)自動測試設備之測試頭定位器之技術領域。
為了便於在積體電路(IC)製造過程之選定階段中對IC進行電氣測試，有人已開發出IC自動測試設備(automatic test equipment: ATE)。此種ATE常常包括測試頭；必須使用測試頭定位器(或操縱器)將該測試頭操縱至對測試周邊裝置而言之停駐位置上。測試頭定位器大體闡述於例如美國專利第6,911,816號、第6,888,343號、第5,608,334號、第5,450,766號、第5,030,869號、第4,893,074號及第4,715,574號、以及美國專利申請案第10/955,441號中。其他特別相關的刊物是Christian Mueller的WIPO公開WO 05015245A2、Christian Mueller的WO 04031782A1以及頒予Nathan R. Smith的美國專利第4,705,447號。由於其揭示用於積體電路或其他電子裝置自動測試設備的測試頭定位器領域，因而所有上述文獻皆全文併入本案供參考。
簡而言之，習知自動測試系統一般包括周邊設備，此周邊設備用於將受測IC元件(device under test: DUT)精確放置並約束於一固定位置測試地點。亦包括用於測試DUT之可移動測試頭。周邊設備可例如是晶圓探測器或封裝處理機，前者用於在元件從矽晶圓中分割出之前對元件 進行測試，後者是用於定位並測試封裝後的元件。實際上，使測試頭平移及/或圍繞一或多個軸旋轉，並將該測試頭帶到包含於周邊設備中之DUT測試地點附近。在停駐之前，使測試頭之配合連接器精確對準DUT測試地點，以免損壞任何易碎之電氣及機械構件。一旦停駐好，測試頭之測試電子裝置便藉由DUT之各種接點傳輸訊號，並在DUT內執行特定測試程序。在測試過程中，測試頭接收DUT之輸出訊號，該些輸出訊號表示DUT之電氣特性。
為了使測試頭與周邊設備精確配合，視需要使測試頭能夠以所有六個空間自由度運動。為了有利於此種運動，通常使用測試頭定位器系統將測試頭相對於周邊設備精確定位。在此項技術中，亦可將測試頭定位器系統稱作測試頭定位器或測試頭操縱器。
現在參見敘述於美國專利第6,888,343號中之典型的測試頭定位器。測試頭502連結於主臂511。主臂511可滑動地連結於沿柱狀體545之長度垂直延伸之直線導軌510上，如在圖5A及5B中所最佳地顯示。馬達2416可適於使主臂511(及測試頭502)沿直線導軌510垂直平移。在脫離馬達後，配重總成將主臂511(及測試頭502)之重量偏置於一實質上固定之垂直位置上。如在圖23及24中所最佳地顯示，馬達2416安裝至柱狀體545之框架2422上，並藉由正時皮帶(timing belt)2420間接連接至皮帶輪2421。皮帶輪2421藉由緊固件2407(顯示於圖23中，但未編號)安裝至皮帶輪2406上，以使皮帶輪2421與2406 同時旋轉。纜索2410定位於皮帶輪2421的周圍。纜索2410之一端連結於主臂511之安裝座736，而纜索2410之相對端則連結於一平衡塊(counter balance)2413。在運作中，若馬達2416之離合器2426嚙合，則馬達2416使皮帶輪2406及2421旋轉，藉以使纜索2410的連接於安裝座736之一端沿Y軸平移。因此，纜索2410使主臂511之安裝座736與測試頭502一同沿垂直方向平移。一旦馬達2416之離合器2426不銜接，平衡塊2413便使安裝座736及測試頭502懸垂於一實質上固定之垂直位置。此外，在馬達2416之離合器2426不銜接時，測試頭502處於一實質上無重力狀態，並可在外部(用手)所施加的相對小的力作用下輕鬆地移動。此稱作順應性，且順應性使操作員能夠用手對測試頭或停駐設備進行定位，以巧妙地操縱測試頭進入或離開對周邊設備而言之停駐位置。
此外，在WO 05015245A2、WO 04031782A1以及美國專利第4,705,447號中所揭露之典型的測試頭定位器皆藉助氣動設備而非配重塊將測試頭支撐於實質上無重力之順應狀態。在WO 05015245A2及WO 04031782A1中，提供一氣動控制器，該氣動控制器除提供順應性之外，亦使測試頭自動地垂直平移。
前述測試頭定位器系統可能已滿足要求。然而，仍繼續需要在重量、效率、簡單性及成本方面進一步改良測試頭垂直支撐系統。
根據本發明之一態樣，提供一種用於使負載沿平移軸線平移之操縱器。操縱器包括外柱以及毗鄰外柱定位之伸縮柱。伸縮柱附著於負載上並架構成使負載沿平移軸線平移。至少一個引導構件安裝於外柱與伸縮柱之間，其中引導構件架構成在伸縮柱沿平移軸線平移時引導伸縮柱。
根據本發明之另一態樣，提供一種用於使負載沿平移軸線平移之負載定位系統。負載定位系統包括連結於負載的伸縮柱、以及架構成沿平移軸線驅動伸縮柱的氣動操作活塞。氣動控制單元架構成沿平移軸線升高、降低或實質上保持伸縮柱之位置不變。
根據本發明之另一態樣，提供一種用於使負載沿平移軸線平移之負載定位系統。負載定位系統包括連結於負載的伸縮柱、以及架構成沿平移軸線驅動伸縮柱的氣動操作活塞。氣動控制單元包括調節器，調節器架構成根據調節器所接收之引導壓力沿平移軸線升高、降低或實質上保持伸縮柱之位置不變。
根據本發明之另一態樣，提供一種用於使負載沿平移軸線平移之負載定位系統。負載定位系統包括連結於負載的伸縮柱、架構成沿平移軸線驅動伸縮柱的氣動操作活塞、以及架構成在制動鎖作動時實質上鎖定活塞之位置的氣動操作制動鎖。制動鎖可更架構成感測負載何時不平衡並當負載不平衡時防止鎖解開。
下文將參照附圖解說本發明。這種附圖旨在例示而非 限定本發明，且包含於本文中是為了便於解釋本發明。附圖未必按比例繪製，且並不打算用作工程圖。在附圖中，元件符號後面之數字(例如16(I))表示該元件符號(例如元件符號16)所表示特徵之位置或取向(例如位置I)。
為了與關於先前技術測試頭定位器系統之說明保持一致，使用圖1A、1B、3及5中所示之笛卡兒座標系100，其中垂直軸(又稱作Y軸)是由軸102表示，水平軸(又稱作X軸、邊對邊軸或左右軸)是由軸104表示，且另一水平軸(又稱作Z軸或進出軸)由軸106表示。
現在參見圖1A，自動測試設備由數字10表示。根據本典型實施例，自動測試設備10包括周邊測試設備30，周邊測試設備30可例如為探測器、封裝處理機、元件處理機、或其他用於將DUT(未顯示)放置並約束於大致固定位置之裝置。在圖1A所示的典型系統中，所示典型的周邊設備恰好為探測器，測試頭12可移動地位於周邊測試設備30上方並架構成選擇性地連接DUT，以在IC製造過程之各個階段中達成測試目的。樞接臂總成14將測試頭12互連至測試頭操縱器16。具體而言，樞接臂總成14被緊固至板19上，板19安裝於測試頭操縱器16之一表面上。樞接臂總成14包括三個部分，該三個部分能夠圍繞軸102彼此相對旋轉並平行於軸102。樞接臂總成14之旋轉能力與下文之教示內容尤其相關。特別是，樞接臂總成14在平行於X軸104及Z軸106之水平面中提供三個運動自由度。在樞接臂總成14中使用低摩擦軸承及組件，以在X 軸104及Z軸106方向之平移方面以及圍繞平行於Y軸102之軸旋轉方面提供順應性。樞接臂總成14源自於在美國專利第4,705,447中所述之定位器臂總成。美國專利第4,705,447號專利還闡述了替代之臂結構，其能在水平面中提供三個運動自由度並可適用於本發明。
現在參見圖1A及1B，測試頭12之垂直位置受測試頭操縱器16控制。測試頭操縱器16大體包括位於剛性外柱22內之伸縮柱20。伸縮柱20定位成沿Y軸102相對於固定之外柱22平移。外柱22固定地安裝至底板27上且在本典型實施例中一般不能運動。然而，如在美國專利第6,888,343號中所述，外柱22可附著於基座總成上，以利於沿X軸及Z軸平移以及圍繞Y軸旋轉。此外，儘管所示實施例具有位於固定之外柱構件內之伸縮柱構件，然而亦可將該裝置架構成使內部構件固定並使外部構件相對其伸縮。
在圖1A中顯示伸縮柱20處於縮回位置，而在圖1B中則顯示其處於伸出位置。在伸縮柱20之縮回位置上，測試頭12直接鄰接處理設備30以便進行測試。在圖1B所示之伸縮柱20之伸出位置上，測試頭12則遠離處理設備30。
基於流體之動力源架構成使伸縮柱20沿Y軸102平移。在本典型實施例中，較佳為由空氣操作之氣動動力源。然而，其他實施例可利用除空氣以外之氣體，或者在某些情形中使用不可壓縮液體。更具體而言，在本典型實施例 中，安裝於外柱22外側之氣動控制單元18架構成向位於外柱22內之氣動單元26(參見圖2D)供給壓縮空氣。氣動單元26包括活塞，該活塞因應由氣動控制單元18供應給氣動單元26之空氣壓而平移。該活塞連結於伸縮柱20，並架構成使伸縮柱20沿垂直軸102平移，此將參照圖2D進行更詳細說明。
氣動控制單元18包括用於與壓縮空氣源(未顯示)連結之減壓調節器24。儘管圖中未明白顯示，然而氣動控制單元18包括第二可調壓力調節器。藉由調節第二壓力調節器之壓力刻度，使伸縮柱20向上、向下平移或者保持於固定之順應位置上，此將在下文予以說明。當處於固定之順應位置上時，一相當小的外力便可使伸縮柱20向上或向下垂直地運動，從而使測試頭12具有垂直順應性。
現在參見圖2A，其顯示測試頭操縱器16之詳細視圖。測試頭操縱器16在該圖(及圖2B)中由羅馬數字「Ⅰ」表示，以意味著圖中顯示伸縮柱20處於縮回位置。在該圖中，為清楚起見，未顯示氣動控制單元18。
在圖2A中，切除外柱22及操縱器蓋21之一部分，以顯露出放入伸縮柱20與外柱22間之兩個引導構件總成32。測試頭操縱器16視需要包括總共四個引導構件總成(參見圖2B)。每一引導構件總成32包括兩個引導構件(例如凸輪從動件、滾子或輪子)，該兩個引導構件圍繞其各自軸線自由旋轉，以利於伸縮柱20相對於外柱22垂直平移，此最佳地顯示於圖4中。各引導構件總成32分別 通過一組四個緊固件41而固定地安裝於外柱22之角落上。
穩定腿34藉由一或多個緊固件(圖中顯示一個緊固件)固定地安裝於操縱器16之底板27上。測試頭12之一部分重量分布於穩定腿34之長度上。穩定腿34限制測試頭操縱器16在測試頭12重量作用下之撓曲。支撐體43位於穩定腿34下側上，以接觸測試設備之地面。儘管圖中未顯示，然而亦可將穩定腿安裝於地面上或者安裝於周邊測試設備30之一表面上，以增強操縱器16之結構完整性。儘管僅顯示一個穩定腿，然而，操縱器可包括任意數量之穩定腿。要求這些穩定腿支撐測試頭重量，並且使操縱器保持於實質上直立的位置。支撐腿39緊固於底板27之下側上，以接觸地面。
可移開式維修蓋(access cover)31設置在外柱22上，以便於接近測試頭操縱器16的內部，此將參照圖2B更詳細地進行說明。蓋21緊固於外柱22之頂部開口端上。蓋21限制外柱22之頂部開口端在測試頭12重量的作用下變形。如參照圖5所示自由體受力圖所做的更詳細說明，測試頭12之重量導致一彎曲力矩分布於伸縮柱20之長度上。該彎曲力矩所產生之反作用力直接施加於引導構件上。由於引導構件如圖所示安裝於外柱22頂端上或頂端附近，因而該彎曲力矩所產生之力量中相當多的部分被施加於外柱22的頂端。蓋21被緊固於外柱22的頂端，以限制外柱22可能出現變形。此外，蓋21使灰塵及碎屑不積於測試頭操縱器16內部或者不干擾引導構件旋轉。
現在參見圖2B，為了顯露出全長的伸縮柱20以及氣動單元26之壓缸體之一小部分，未顯示維修蓋31。氣動單元26視需要位於伸縮柱20的內部並固定地安裝於底板27上。氣動單元26藉由一或多個流體載送管(未顯示)且經由氣動控制單元18連通至受壓空氣源(未顯示)。儘管該圖中未顯示，然而伸縮活塞桿在氣動單元26之壓缸體內移動。該活塞桿間接連結於伸縮柱20，從而使伸縮柱20沿Y軸102平移，此將在下文中參照圖2D進行更詳細的說明。
在該圖中，切除外柱22之一部分，以顯露出安裝於外柱22之兩相對角落上之四個引導構件總成32。一組兩個相對之引導構件總成32位於外柱22之頂端，且第二組相對之引導構件總成32位於外柱22之長度之大約中點處。如圖所示，安裝於外柱22頂端之該兩個引導構件總成32定位成實質上限制或防止伸縮柱20在測試頭12重量的作用下撓曲。沿外柱22位於適當處以便符合設計計算之兩個引導構件32為伸縮柱20提供額外支撐。儘管在本典型實施例中包括四個引導構件總成32，然而測試頭操縱器亦可包括任意數量之引導構件總成32。儘管顯示四個引導構件總成32，然而在某些情形中亦可能期望包括不止四個引導構件總成32。在其他情形中，則可能期望僅在足以支撐負載之位置上包括兩個引導構件總成32。
現在參見圖2C，其顯示測試頭操縱器16之另一詳細視圖(為清楚起見，未顯示氣動控制單元18及維修蓋31)。 在該圖(及圖2D)中，測試頭操縱器16由羅馬數字「Ⅱ」表示，以意味著圖示的伸縮柱20處於伸出位置。在該圖中，伸縮柱20升高至伸出位置，藉以與圖2B相比顯露出氣動單元26之更大長度之壓缸體。
球面軸承51將水平軸(horizontal shaft)50與氣動單元26之動態活塞桿(在該圖中未顯示)連結在一起。水平軸50穿過配置於伸縮柱20上端中之開孔33安裝。氣動單元26及伸縮柱20在水平軸50與開孔33間之交界面互連。儘管未顯示，然而水平軸50亦可藉助此項技術中所知之任何手段(例如銷、緊固件、螺栓)安裝於開孔33。
現在參見圖2D，為了顯露出氣動單元26，未顯示伸縮柱20及維修蓋31。氣動單元26包括前述之壓缸體、在壓缸體內移動之伸縮活塞桿28、以及水平軸50，其中水平軸50藉由球面軸承51而耦合至伸縮活塞桿28之頂端。水平軸50支撐於伸縮柱20之開孔33中，以使伸縮活塞桿28之軸向運動直接傳遞至伸縮柱20及測試頭12。在所示實施例中，氣動單元26包括制動鎖630，制動鎖630架構成鎖定伸縮活塞桿28相對於氣動單元26之壓缸體之位置。
現在參見圖3，其顯示圖2D所示測試頭操縱器16沿線3-3截取之剖視圖。如在圖3中所最佳顯示，外柱22環繞伸縮柱20，且伸縮柱20環繞氣動單元26。氣動單元26之活塞桿28自一圓柱活塞45伸出。圓柱活塞45可滑動地支撐於在氣動單元26之壓缸體中所界定之壓缸46內。活塞45在壓缸46內沿軸向102之垂直運動相依於作用於活 塞45上下表面上之軸向力。活塞45下面之氣壓在活塞45上提供一作用於使活塞45向上運動之方向上的力量。作用於活塞桿28上之氣壓及負載重量則在活塞45上提供一作用於使活塞45向下運動之方向上的力量。應注意，負載重量包括活塞桿28、伸縮柱20、測試頭12、臂總成14及附著於活塞桿28上的所有其他設備之組合重量。
更具體而言，在以下的條件，活塞45在壓缸46內上升：由活塞45下面之流體壓力引起的向上之力量大於由活塞45上面之流體壓力與負載重量相結合而引起的施加於活塞45頂部的向下之力量。由此可知，在以下的條件，活塞45在壓缸46內沿Y軸102下降：由活塞45下面之流體壓力引起的向上之力量小於由活塞45上面之流體壓力與負載重量相結合而引起的施加於活塞45頂部之力量。若對活塞45的向上及向下之力量實質上相等，則活塞45保持於實質上固定之位置上不變。在本典型實施例中，活塞45上面之壓缸內的區域與外界大氣相通，因此，活塞45上面之流體是保持於大氣壓的空氣。應理解，活塞45下面之流體壓力受到控制並相依於氣動控制單元18之壓力刻度。因此，藉由改變控制單元18所提供之流體壓力，便可控制活塞45向上運動、向下運動或保持靜止。此外，可實行的是，可給系統附加額外之控制裝置以在活塞45上方提供受控制的流體壓力，在某些情形中，此作法可提供控制上的優點。然而，為求簡單且在達成合理效能情況下使成本最低起見，較佳為所述典型實施例之架構，此架構使用 空氣作為受控制的流體。氣動單元26及氣動控制單元18之運作將參照圖6進行更詳細說明。
仍參見圖3，引導構件總成32位於伸縮柱20之相對拐角處。兩個引導構件35可旋轉地安裝於每一引導構件總成32上。每一引導構件35接觸伸縮柱20上的一點，以使伸縮柱20之每一外側定位成貼靠引導構件35。可旋轉引導構件35與伸縮柱20之外表面以摩擦的方式銜接，以利於使柱20沿軸102平滑且均勻地平移。此外，約束伸縮柱20之所有四個側(即藉由與引導構件35相接觸)將實質上限制伸縮柱20圍繞Y軸102旋轉，並實質上限制伸縮柱20圍繞以及沿軸104和106旋轉以及平移。
引導構件總成32安裝於外柱22之相對角上。在本文所未顯示之另一典型實施例中，引導構件總成32安裝於外柱22之所有四個角上。然而，已經發現，僅需兩個引導構件總成32便能有利於伸縮柱20沿Y軸102平移，同時限制柱20圍繞軸102旋轉。此外，藉由僅採用兩個而非四個引導構件總成32，可節約成本。
應理解，伸縮柱並非限於任何特定的截面形狀，乃因伸縮柱之截面形狀為例如三角形、矩形、正方形、六角形或任何其他多邊形狀皆可達成相同結果。或者，伸縮柱之截面形狀可為圓形，並包含狹縫、彎曲部、凹處、軌道、凸起或此項技術中所知之任何其他用以限制伸縮柱圍繞其縱向軸線旋轉之形體。柱20及22可由如鋼般的任何剛性材料製成，以支撐測試頭12及樞接臂總成14之重量。
若伸縮柱20之截面形狀不同於圖中所示，則可將引導構件35排列於與該截面形狀互補之任何所期望位置上，以利於伸縮柱20沿Y軸102平移，同時，限制伸縮柱20圍繞其平行於Y軸102之縱向軸線旋轉，並限制伸縮柱20圍繞或沿軸104及106旋轉以及平移。
儘管伸縮柱20在圖中位於外柱22內，然而外柱22可位於伸縮柱20內以達成相同之優點。由此可知，可如圖所示將引導構件總成32安裝於外柱22上，或者可將引導構件總成32安裝於伸縮柱20上。
現在參見圖4，其顯示引導構件總成32之詳細立體圖。引導構件總成32包括實心塊37及兩個可旋轉地安裝於塊37上之引導構件35。塊37包括四個用於容納緊固件41之螺紋孔43。在組裝時，將緊固件41穿過外管22之壁並藉螺紋緊固於螺紋孔43，以將引導構件總成32安裝於外管22上。
在本典型實施例中，引導構件總成32包括兩個引導構件35。引導構件35適於圍繞其各自之旋轉軸線自由旋轉。引導構件35較佳是凸輪從動件，但亦可為腳輪、環、墊圈、輪子、滾子、軸承或此項技術中已知有利於滑行動作之任何其他手段。
各引導構件35之位置實質上相互正交，以使伸縮柱20之拐角可位於引導構件之間。在組裝時，將每一引導構件35之旋轉面定位成接觸伸縮柱20之一外表面，如在圖3中所最佳顯示，以平滑地引導伸縮管20。應理解，若伸 縮柱20包括另一形狀，例如三角形，則引導構件之位置可互相形成其他角度。
如在「先前技術」部分中所述，美國專利第6,888,343號中所述之測試頭定位器包括主臂511，主臂511可滑動地連結於沿柱545之長度垂直延伸之直線導軌510上。一複雜且昂貴之電動皮帶輪總成使主臂511沿Y軸平移，以使測試頭502在垂直方向上平移。測試頭502之重量由重的平衡塊支撐。
本文所述之氣動測試頭操縱器明顯不同於在美國專利第6,888,343號(下文稱'343)中所述之電動測試頭定位器。與'343中之電動皮帶輪總成相比，本文所述之氣動測試頭操縱器包含顯然較少的構件且重量輕很多。而且，利用多個引導構件可提供恰當之效能，且在成本方面相對於在當前測試頭定位器技術中常用的'343中所述昂貴直線導軌510及相關軸承得到顯著改良。相比之下，引導構件35則有利於以相當低之成本使伸縮柱20平滑且有效率地平移。
現在參見圖5，其顯示一自由體受力圖，用以圖解說明施加至測試頭操縱器16之力量。測試頭12及伸縮柱20藉由樞接臂總成14而相隔一水平距離(沿水平軸104)。藉由將測試頭12與伸縮柱20隔開，測試頭12之重量(由向下之箭頭42表示)引起圍繞伸縮柱20的彎曲力矩「M」。在此項技術中，此力矩通常亦可稱為懸臂負載。彎曲力矩「M」分布於伸縮柱20之長度上。彎曲力矩「M」產生偏 置之反作用力44及46，反作用力44及46如圖所示施加於引導構件35(1)與35(2)間之接觸點處。由此可知，引導構件35、用於將引導構件35連結於引導構件總成32之緊固件、以及用於將引導構件總成32連結於外柱22之緊固件皆被獨特地設計成耐得住彎曲力矩「M」之合成應力。
參見圖6，下文將說明例示性氣動系統600，其為氣動控制單元18之一部分且架構成控制伸縮柱20之直線運動。氣動系統600架構成控制往氣動單元26之流體之壓力及流動，以控制活塞桿28之上下運動以及其靜態及順應性的行為。儘管此處將系統600描述為一種利用空氣作為工作流體之氣動系統，然而本發明之系統並不限於這種流體及其他流體，而是可利用其他流體，例如油。
在本實施例中，氣動單元26是雙作用壓缸，此壓缸在活塞45一側的通口601處連通大氣，並在活塞45之相對側連接至氣動饋送管線603。彈簧偏置止回閥602設置在饋送管線603中，且架構成在系統中引導壓力減少時關閉，以防止活塞桿28下降。引導式偏置壓力調節器604沿饋送管線603定位，且架構成控制輸送至氣動單元26之流體之壓力(以及由此造成的流動率(rate of flow))。壓力調節器604沿壓力饋送管線605自壓力源650接收受壓流體。壓力調節器648沿壓力饋送管線605設置，以將流體壓力調節至所需壓力。壓力調節器648亦包括過濾器(未顯示)，以在空氣進入系統時淨化空氣。
偏置壓力調節器604包括偏置構件，例如控制旋鈕， 以使通過調節器604之壓力及流體流動的機械性調節，能夠將系統初始化。亦可在此後調節偏置構件以根據需要而重設系統。對偏置構件進行操縱，以使經過偏置壓力調節器604之流體壓力對活塞45提供一向上之力量，此力量實質上等於一由伸縮柱20及相關負載施加於活塞桿28上之向下之力量。藉由使此壓力相等，使活塞桿28上之壓力達到平衡，藉以使伸縮柱20並進而使測試頭12處於靜態或實質上無重力狀態。在無重力狀態中，可用手對重的測試頭12進行定位，以使重的測試頭12之測試電子裝置與周邊測試設備30上之受測IC接合(即結合或銜接)。一對可變節流閥607、609可設置於壓力調節器604與氣動單元26之間，以在活塞桿28向上或向下運動期間控制流動率。如在WO/05015245A2中所更詳細說明，由於與活塞45相關聯之摩擦及起步力量，作用於活塞45上之向上及向下之壓力不需要恰好相等便能保持靜態位置不變。如在WO/05015245A2中所更詳細說明，可將系統所提供之壓力略微調高或調低以增加系統功能及能力。
於氣動系統600中設置肘節閥(toggle valve)610，以使操作員能夠控制活塞桿28向上及向下運動。儘管是顯示並說明肘節閥，然而亦可利用其他類型之方向控制閥。肘節閥610被彈簧偏置至中性位置，在該位置上，對偏置壓力調節器604之引導控制提供零引導壓力(相對於大氣壓力而言)。在不對引導控制提供引導壓力時，偏置壓力調節器604保持處於均衡位置，以使活塞桿28保持於平衡或靜 止狀態。
為了向上移動伸縮柱20，操作員將肘節閥移動至「向上(up)」位置，在該位置上，肘節閥610開啟通往壓力源650之「向上」引導壓力管線611。受壓流體經過「向上」引導壓力管線611流至三位向上/向下閥612(其在正常情況下處於關閉位置)之向上引導控制裝置，並經過梭動閥614流至引導入口閥(pilot access valve)616(其在正常情況下亦處於關閉位置)之引導控制裝置。引導入口閥616之引導控制裝置上之壓力使閥616開啟，藉以在壓力調節器604之引導控制裝置與向上/向下閥612之間提供流體管線615。同時，經過「向上」引導壓力管線611到達向上/向下閥612之「向上」引導控制裝置上之壓力使向上/向下閥612之「向上」通口開啟，藉以於壓力源650與壓力調節器之引導控制裝置之間提供一直接管線613。較佳為沿壓力管線613設置一壓力調節器617，以對偏置壓力調節器604之引導控制裝置提供所需之正壓力。因此，調節器617將控制氣動單元在向上方向上之速率及/或力量。
在本實施例中，施加至偏置壓力調節器604之引導控制裝置之正壓使調節器604之設定壓力升高，進而使氣動單元26內之壓力升高，致使活塞桿28及伸縮柱20上升。釋放肘節(toggle)則將會使肘節閥610返回中性位置，進而中斷施加至調節器604之引導控制裝置之額外引導壓力。因此，使調節器604之輸出壓力返回至由機械偏置構件所界定之其初始設定壓力，且活塞桿28再次處於平衡或靜止 狀態。
為清楚起見，下文簡要地解釋偏置壓力調節器604(例如ControlAir公司的650型(正偏壓中繼閥：positve bias relay)或200型(精準空氣中繼閥：precision air relay)之基本運作。偏置壓力調節器604產生一實質上等於設定壓力之輸出壓力，該設定壓力是各輸入(偏置構件及引導控制構件)之和。因此，可藉由減小或增大機械性偏置構件上之力量而調節偏置壓力調節器604之設定壓力。此外，可藉由加上或減去施加至引導控制構件之引導壓力而調節偏置壓力調節器604之設定壓力。該兩個輸入(偏置構件及引導控制構件)提供輸出壓力之完全控制並可分別受到控制。可得到關於此種類型偏置壓力調節器之其他資訊，包括可能之應用以及原理。
為了使伸縮柱20向下平移，操作員將肘節移動至向下位置，在該位置上，肘節閥610開啟通往壓力源650之向下引導壓力管線619。類似於「向上」情形，受壓流體經過向下引導壓力管線619及梭動閥614流至引導入口閥616之引導控制裝置，藉以在控制閥604之引導控制裝置與向上/向下閥612之間提供流體管線615。同時，經過向下引導壓力管線619之受壓流體亦激發真空控制閥618之引導控制裝置，此引導控制裝置使常閉閥618開啟。真空控制閥618的開啟會使真空發生器620藉由壓力管線621連接至壓力源650。同樣，較佳為沿壓力管線621設置一壓力調節器622。真空抽氣器620所接收之正壓沿壓力管 線623形成負壓(即低於大氣壓之壓力)。經過向下引導壓力管線619之受壓流體亦激發向上/向下閥門612之向下引導控制裝置，此向下引導控制裝置會開啟負壓管線623與引導流體管線615間之管線。因此，偏置壓力調節器604之引導控制裝置承受降低之引導壓力，此引導壓力會使調節器604之輸出壓力降低，藉以使施加至氣動單元26之壓力亦降低。換言之，對調節器604之引導控制裝置施加低於大氣壓之壓力，此壓力會降低其設定點壓力，從而又會降低輸送至氣動單元26之壓力。因此，活塞桿28、伸縮柱20及測試頭12之重量將大於氣動單元26中之壓力，且活塞桿28將下降。同樣，釋放肘節將會使肘節閥610返回至中性位置，藉以中斷施加至控制閥604之引導控制裝置之負引導壓力。因此，調節器604之輸出壓力返回至其原始位置，且活塞桿28再次保持於平衡或靜止狀態。
圖6中所示之氣動系統600亦包括一架構成鎖定伸縮柱20之位置之制動鎖630。制動鎖630受流體壓力控制。當不對其入通口施加流體壓力時，制動鎖630處於鎖定位置，使伸縮柱20保持處於固定位置上。為了移動伸縮柱20，對制動鎖630施加流體壓力。一雙位肘節閥632位於制動鎖630與氣動源650之間。肘節閥632是常閉的，從而不對制動鎖630施加壓力，藉以將伸縮柱20鎖定就位。為了解開制動鎖630，將肘節切換至開啟位置，以使受壓流體驅使制動鎖630解開。制動鎖630可例如是流體致動之線性桿鎖。較佳為在肘節閥632與制動鎖630之間設置 一節流閥634，以防止在肘節移動至開啟位置時突然驅使制動鎖632解開。亦可提供一由流體致動之指示器636，例如在施加壓力時發光之指示燈，以指示制動鎖630何時被解開。
參見圖7，下文將說明另一典型氣動系統600'，其為氣動控制單元18之一部分且架構成控制伸縮柱20之直線運動。氣動系統600'類似於前一實施例，且架構成控制往氣動單元26之流體之壓力及流動，以控制活塞桿28之上下運動以及其靜態及順應性行為。
如在前一實施例中一樣，氣動單元26是雙作用壓缸，其在活塞45之一側在通口601處連通大氣，並在活塞45之相對側連接至氣動饋送管線603。一彈簧偏置止回閥602設置於饋送管線603中，且架構成在系統中引導壓力減少時關閉，以防止活塞桿28下降。引導式偏置壓力調節器604沿饋送管線603定位，且架構成控制輸送至氣動單元26之流體之壓力(以及由此造成的流動率)。壓力調節器604沿壓力饋送管線605自壓力源650接收受壓流體。壓力調節器648沿壓力饋送管線605設置，以將流體壓力調節至所需壓力。壓力調節器648亦包括過濾器(未顯示)，以在空氣進入系統時淨化空氣。
節流閥總成660設置於氣動系統600'中，以使操作員能夠控制活塞桿28向上及向下之運動。節流閥總成660包括一具有活塞664之壓缸662；可藉由如手柄般的物體使活塞664於壓缸662內運動。壓缸662之一端包括對大 氣開放之通口667，而另一端包括連接至引導管線665之通口663，引導管線665連通至偏置壓力調節器604之引導控制裝置。可變體積室668界定於活塞664與通口663之間，然而，室668與引導管線665內之流體質量(例如空氣)是固定的。
節流閥總成660被組裝成當不對手柄666施加力時，活塞664之位置使室668及引導管線665內之流體壓力呈中性，即對偏置壓力調節器604之引導控制裝置提供零引導壓力(相對於大氣壓力而言)。在不對引導控制提供引導壓力時，偏置壓力調節器604保持處於均衡位置，以使活塞桿28保持於平衡或靜止狀態。
為了向上移動伸縮柱20，操作員朝通口663移動手柄666，以移動活塞664，進而減小室668之體積。由於流體質量恒定不變，因而室668體積之減小將使室668及引導管線665中之流體壓力升高。升高之壓力藉由引導管線665直接施加至壓力調節器604之引導控制裝置。如上文所解釋，可藉由增加或減去施加至引導控制構件之引導壓力而調節偏置壓力調節器604之設定壓力。
在向上運動情形中，施加至偏置壓力調節器604之引導控制裝置之正壓力使調節器604之設定壓力升高，進而使氣動單元26內之壓力升高，藉以使活塞桿28及伸縮柱20上升。調節器604設定壓力之升高量與引導控制裝置上之附加正壓力大小相關。由於手柄666之運動控制室668之體積，因而在活塞664自中性位置朝通口663之移動範 圍內，引導壓力升高量以及調節器604設定壓力之對應升高量可連續變化。
一旦放開手柄666，活塞664便移回至中性位置，以使室668及引導管線665內之壓力恢復至中性壓力。
為了向下平移伸縮柱20，操作員移動手柄666，使活塞664自中性位置遠離通口663移運，藉以增大室668之體積。由於流體質量恒定不變，因而室668體積之增大將使室668及引導管線665中之流體壓力降低。降低之壓力藉由引導管線665直接施加至壓力調節器604之引導控制裝置，此引導控制裝置使調節器604之設定壓力降低，進而使氣動單元26內之壓力降低。因此，活塞桿28、伸縮柱20及測試頭12之重力將大於氣動單元26中之壓力，且活塞桿28將下降。同樣，放開手柄666將使活塞664返回至中性位置，藉以中斷施加至控制閥604之引導控制裝置之負引導壓力。
如在向上情形中一樣，因手柄666之移動控制室668之體積，故在活塞664自中性位置遠離通口663之移動範圍內，引導壓力降低量以及調節器604設定壓力之對應降低量可連續變化。在向上及向下二種情形中，該可變壓力範圍於手柄666上提供觸覺回饋。操作員感覺到操作員對手柄666所施加之力愈大，因應於此而產生之壓力變化量將愈大(升高或降低量)。操作員藉由手柄666上之力所感覺到之壓力變化量代表藉由偏置壓力調節器604及節流閥總成660施加至活塞45之力，由此提供觸覺回饋。操作 員亦可藉此方式控制測試頭之加速度、速度、及位置。操作員可在他或她藉由上下移動手柄666而改變偏置調節器604之設定壓力及由此作用於活塞45之力時觀察測試頭之運動及/或行為。操作員可根據需要調節手柄666，從而以所需速率啟動測試頭之運動、保持所需速度、以及於所需速率及位置停止運動。
參見圖8，下文將說明另一用於例示的典型氣動系統600"，其為氣動控制單元18之一部分且架構成控制伸縮柱20之直線運動。氣動系統600"實質上相同於前一實施例，但以一踏板節流閥總成670取代節流閥總成660，踏板節流閥總成670亦在其移動範圍內連續可變，向操作員提供觸覺回饋並使操作員處於運動控制回饋迴路中。
踏板節流閥總成670包括由撓性囊676所界定之可變體積室678。囊676包括連接至引導管線675之出口。腳踏板672之一端藉由樞接點674用樞軸支撐於囊676上。藉由彈簧678或其均等物為踏板672之相對端提供所需偏置，以在放開踏板672時使踏板672返回中性位置。如在前述實施例中一樣，在中性位置上，對壓力調節器604之引導控制裝置提供零壓力。希望使囊676在中性位置上略微受到預壓縮，以提供相等之向上及向下行程。如在圖8中所示，對踏板672施加使囊676壓縮之力便會減小室678之體積，進而升高引導壓力並使伸縮柱20向上運動。相反地，對踏板672施加使囊676膨脹之力便會增大室678之體積，此室678之體積會降低引導壓力並使伸縮柱20向下 運動。
參見圖9，下文將說明另一用於例示的典型氣動系統600"'，其為氣動控制單元18之一部分且架構成控制伸縮柱20之直線運動。氣動系統600"'實質上相同於前二實施例，但以一柱塞節流閥總成680取代節流閥總成660，柱塞節流閥總成680亦在其運動範圍內連續可變。
柱塞節流閥總成680包括一由柱塞致動之壓力調節器682，壓力調節器682藉由管線681自壓力源650接收輸入壓力。該由柱塞致動之壓力調節器682藉由柱塞684而在從大氣壓至正壓之範圍內連續可變。柱塞節流閥總成680包括架構成銜接柱塞684之手柄686或其均等物。彈簧688或其均等物使手柄686偏置並緊靠柱塞684，以使柱塞684移動至中性位置，在中性位置上，預期的預負載壓力流過調節器682。在本實施例中，偏置壓力調節器604產生實質上等於設定壓力之輸出壓力，而設定壓力是各輸入(即來自偏置構件及預負載壓力之輸入)之和。偏置構件是在開始時將預負載壓力考量在內加以設定。預負載壓力可以是為提供充分之設定壓力升高或降低範圍而需要之任一預期壓力，例如10 psi。手柄686朝柱塞684的運動會使超過預負載壓力的升高之壓力經過由柱塞致動之壓力調節器682流至壓力調節器604之引導控制裝置。手柄686遠離柱塞684運動則會使相比預加載壓力降低之壓力經過由柱塞致動之壓力調節器682流至壓力調節器604之引導控制裝置。如在前二實施例中一樣，對升高或降低壓力之控制 是在手柄686之移動範圍內連續可變的，並為操作員提供垂直運動控制之手段。
參見圖10，下文將說明另一用於例示的典型氣動系統600""，其為氣動控制單元18之一部分且架構成控制伸縮柱20之直線運動。氣動系統600""實質上相同於前一實施例的氣動系統，但將柱塞節流閥總成690沿流體路徑693設置，流體路徑693與氣動單元26的位於活塞45對面之通口601相連，以使流體反作用於經壓力調節器604輸送至通口603之壓力。
柱塞節流閥總成690包括一由柱塞致動之壓力調節器692，壓力調節器692用於藉由管線691自壓力源650接收輸入壓力。該由柱塞致動之壓力調節器692藉由柱塞694而在從大氣壓至正壓之範圍內連續可變。柱塞節流閥總成690包括架構成銜接柱塞694之手柄696或其均等物。彈簧698或其均等物使手柄696偏置並緊靠柱塞694，以使柱塞694移動至中性位置，在中性位置上，預期的反壓力會流過調節器692。在本實施例中，壓力調節器604架構成產生一輸出壓力，該輸出壓力比為使負載保持於平衡狀態所需之壓力大了一實質上等於中性位置反壓力之量。由於對通口601供給中性位置反壓力，因而該反壓力反作用於藉由調節器604所提供之壓力，合成壓力實質上等於為使負載保持於平衡狀態所需之壓力。中性位置反壓力可以是為提供充分之反壓力升高或降低範圍而需要之任一壓力，例如10 psi。自中性位置反壓力起升高或降低反壓力 會在活塞45上形成不平衡力。手柄696朝柱塞694移動會形成升高之反壓力，進而使活塞45向下移動。手柄696遠離柱塞694移動則會使反壓力降低，進而使活塞45向上移動。如在前述實施例中一樣，對升高或降低壓力之控制是在手柄696之移動範圍內連續可變的，並為操作員提供垂直運動控制的手段。
參見圖11至13，下文將說明作為本發明替代實施例之氣動單元26'。如在前一實施例中一樣，氣動單元26'包括如前面所述之壓缸體、在壓缸體內運動之伸縮活塞桿630'、以及球面軸承51。在所示實施例中，氣動單元26包括制動鎖630'，制動鎖630'架構成鎖定伸縮活塞桿28相對於氣動單元26'之壓缸體之位置。制動鎖630'更架構成在氣壓缸失衡超過已知大小時向氣動控制單元18提供氣動訊號。氣動控制單元18可架構成在接收到該訊號時阻止制動鎖630'解開。
參見圖11至13，制動鎖630'包括制動控制通口631。如在前一實施例中一樣，制動鎖630'具有預設之鎖定位置，以在經由通口631未接收到壓力時上鎖。當制動鎖630'切換至未鎖定位置時，倘若如下文所述未偵測到不平衡狀態時向通口631提供流體，以釋放制動鎖630'。
在本實施例中，制動鎖630'包括貫穿的通道635，此通道635有利於將制動鎖630'定位於相對應的支撐桿720上。各支撐桿720分別在第一端上緊固於氣動單元26'之壓缸體。制動鎖630'可沿桿720在底部接觸板700與頂部 接觸板720間軸向移動。於底板700與制動鎖630'間放置彈簧721或其均等物，並於頂板710與制動鎖630'間放置彈簧723或其均等物。彈簧721及723支撐制動鎖630'，以於板700與710間達成有限之移動範圍。於桿720之相對兩端上緊固螺帽726或其均等物，以沿軸向緊固板700、710、彈簧721、723及制動鎖630'。可利用螺帽726之旋緊程度來控制制動鎖630'在板700與710間之移動範圍，藉以控制不平衡訊號之公差。
如參照圖6所述以及在圖14中所示，當將鎖開關移動至鎖定位置時，氣動壓力從制動鎖630、630'移除並且活塞桿28上鎖，藉以使鎖相對於活塞桿28固定。在本實施例中，彈簧721、723使制動鎖630'能夠在有限運動範圍內移動。因此，舉例而言，若制動鎖630'被鎖定且此後在活塞桿28上施加額外之重力或外力，則活塞桿28以及固定於其上面之制動鎖630'將反抗著彈簧721之力量移動。若該重力或外力足夠大，則制動鎖630'將移動至與底板700相接觸。如下文所述，該系統架構成在制動鎖630'移動至與底板700相接觸時提供一指示不平衡狀態之氣動訊號。類似地，若從活塞桿28移除重力，則活塞桿28及固定於其上面之制動鎖630'將在氣動單元26之壓力作用下反抗著彈簧723之力向上移動。若降低量足夠大，則制動鎖630'將移動至與頂板710相接觸。同樣，該系統架構成在制動鎖630'移動至與頂板710相接觸時提供一指示不平衡狀態之氣動訊號。
在圖14中概略顯示一架構成提供此種不平衡狀態氣動訊號之典型氣動系統600v 。系統600v 包括一類似於參照圖7所述之節流閥總成660，但可利用任何上下控制系統。如在前述實施例中一樣，自流體源650向壓力調節器604提供受壓流體。在本實施例中，亦提供用於將肘節閥632鎖定/解鎖之受壓流體。
肘節閥632在正常情況下關閉，因而不對制動鎖630'施加壓力，從而將制動鎖630'鎖定於活塞桿28上。為了解開制動鎖630'，將肘節切換至開啟位置。流過開啟之肘節閥632之流體流至一檢波閥(detector valve)730。檢波閥730被彈簧偏置至初始位置，在該位置上，流體朝一對感測器閥732及734前進，但不前進至制動鎖通口631。流體亦經過限流器634朝檢波閥730上之開啟引導裝置730a前進。限流器634架構成在使開啟引導裝置去從初始位置開啟檢波閥之前提供一足夠之延遲。
感測器閥732經由管線733連接至頂板710上之入通口712，入通口712藉由自頂板710底面伸出之可緊壓插塞714而連通至開放通口715，如在圖11至13中所示。類似地，感測器閥734經由管線735連接至底板700上之入通口702，入通口702藉由自底板700頂面伸出之可緊壓插塞704而連通至開放通口705。各該感測器閥732、734具有一常閉位置，以使流至其之流體繞過閥732、734並流出各自之開放通口715、705。倘若不存在背壓，則該二感測器閥732、734皆將保持於該關閉狀態。
若存在上文所述之不平衡狀態，則制動鎖630'將接觸其中一個板700、710並緊壓各插塞704、714，藉以關閉開放通口705、715。由於通口被關閉，在各感測器閥734、732上將承受背壓。該背壓使各自的感測器引導裝置作動並使感測器閥734、732開啟。流體前進經過感測器732、734並啟動各自之壓力過高或壓力過低指示器736、738。流體流繼續經過管線737或739以及梭動閥740到達檢波閥730之保持關閉引導裝置730b。保持關閉引導裝置730b之力與閥730之原始彈簧偏置力相結合，將使閥730甚至在流體經過限流器634並到達開啟引導裝置730a時亦保持處於閥730之初始位置。檢波閥730將保持於該初始位置，且將不允許流體流至制動解開通口631，直至負載達到平衡為止，進而解除對插塞704或714之緊壓並移除制動感測器閥732、734上之背壓。
壓力過高及壓力過低指示器736、738可用於使負載重新達到平衡。如上文所解釋，若當肘節閥632移動至解鎖位置時負載不平衡，則制動鎖630'將不解開且壓力過高指示器736或壓力過低指示器738將被啟動。在被啟動時，指示器736、738提供負載不平衡訊號至操作員，亦即，若負載已減小，則壓力過高指示器736將提供訊號，而若負載已增大，則壓力過低指示器738將提供訊號。該些訊號可呈各種形式，例如聲音訊號、視覺訊號、或其組合。於一典型配置中，每一指示器736、738包括一可延伸之柱(未顯示)，其於指示器736或738被啟動時藉氣動作用伸出。
該些指示器訊號提醒操作員作出必要之壓力調整，以使負載重新平衡。若壓力過高指示器736被啟動且提供訊號，則提醒操作員例如藉由降低作用於機械偏置構件上之力而降低偏置壓力調節器604之設定壓力。若壓力過低指示器738被啟動且提供訊號，則提醒操作員例如藉由增大作用於機械偏置構件上之力而升高偏置壓力調節器604之設定壓力。於一典型配置中，用於增大或減小作用於機械偏置構件上之力之手段是藉由一可旋轉刻度盤。於此種配置中，可將指示器736、738相對於可旋轉刻度盤進行定位，使被啟動的指示器736或738將引導操作員朝適當的方向旋轉刻度盤，以使負載重新平衡。舉例而言，若要逆時針旋轉刻度盤降低設定壓力，而且要順時針旋轉刻度盤升高設定壓力，則將壓力過高指示器736定位於刻度盤左側並將壓力過低指示器738定位於刻度盤右側。如此一來，若壓力過高指示器736被啟動，則操作員將知道轉向指示器736，藉以沿逆時針方向轉動刻度盤，反之，若壓力過低指示器738被啟動，則操作員將知道轉向指示器738，藉以沿順時針方向轉動刻度盤。本發明並不限於調節機構或指示器之此種構成。
一旦負載重新達到平衡，或者若負載一開始就是平衡的，則兩個通口715及705將保持開放，而相對應的感測器閥732、734將保持關閉。在感測器閥732、734關閉時，無流體壓力流至檢波閥730之保持關閉引導裝置730b。因此，流過限流器634之流體將到達開啟引導裝置730a並提 供足以克服檢波閥730之原始彈簧偏壓之力，進而使檢波閥730開啟，藉以使流體能夠流至制動鎖630'之解開通口631。在本實施例中，流體亦流至一節流釋放閥750之開啟引導裝置。節流釋放閥750沿引導管線665'定位，並具有預設關閉位置，以便在在檢波閥730開啟且制動鎖630'解開前，無法使用節流閥來達成上下運動。
所示各實施例顯示可包含於氣動控制單元18內之各種不同的特徵。本發明並非限於所示特徵。此外，儘管將本發明描述為利用受壓空氣之氣動系統，然而亦可利用其他流體。此外，儘管參照特定的測試設備來描述本文所述各種不同的控制系統，然而該些系統並非限於此，而是可與任何測試設備或負載定位設備一起使用，例如(但不限於)在美國專利第7,235,964號及共同申請之美國申請案第10/567,201號及第60/903,015號中所述之設備，各該美國專利(申請案)皆以引用方式併入本案供參考。此外，此些控制系統並不限於線性致動系統，而是可與任何負載定位設備(例如旋轉之原動機)一起使用。
儘管在此已顯示並描述本發明之典型實施例，然而應理解，此些實施例僅以舉例方式提供。在不變更本發明之精神下，熟習此項技術者將會想出多種變化、改變及代用。下文即包含此些變化之實例。
氣動定位器系統並不限於電子裝置測試設備，乃因亦可想像出其他應用及行業。氣動定位器系統可用於X射線機、或任何其他自動化承載設備中。因此，在附加的申請 專利範圍中所述之術語「負載(load)」並非限於測試頭，而是可代表任何物體。此外，定位器系統並不限於以空氣作動之氣動裝置，乃因亦可想像出其他動力系統，例如液壓裝置、馬達、齒輪、內燃機。
因此，企圖使附加的申請專利範圍涵蓋仍歸屬於本發明精神及範圍內之所有此些變化。
10‧‧‧自動測試設備
12‧‧‧測試頭
14‧‧‧樞接臂總成
16‧‧‧測試頭操縱器
18‧‧‧氣動控制單元
19‧‧‧板
20‧‧‧伸縮柱
21‧‧‧操縱器蓋
22‧‧‧外柱
24‧‧‧減壓調節器
26‧‧‧氣動單元
26'‧‧‧氣動單元
27‧‧‧底板
28‧‧‧伸縮活塞桿
30‧‧‧周邊測試裝置
31‧‧‧維修蓋
32‧‧‧引導構件總成
33‧‧‧開孔
34‧‧‧穩定腿
35‧‧‧引導構件
35(1)‧‧‧引導構件
35(2)‧‧‧引導構件
37‧‧‧實心塊
39‧‧‧支撐腿
41‧‧‧緊固件
42‧‧‧箭頭
43‧‧‧螺紋孔
44‧‧‧反作用力
45‧‧‧活塞
46‧‧‧反作用力
50‧‧‧水平軸
51‧‧‧球面軸承
100‧‧‧笛卡兒座標系
102‧‧‧Y軸
104‧‧‧X軸
106‧‧‧Z軸
600‧‧‧氣動系統
600'‧‧‧氣動系統
600"‧‧‧氣動系統
600"'‧‧‧氣動系統
600""‧‧‧氣動系統
600v ‧‧‧氣動系統
601‧‧‧通口
602‧‧‧彈簧偏置止回閥
603‧‧‧通口
604‧‧‧壓力調節器
605‧‧‧壓力饋送管線
607‧‧‧可變節流閥
609‧‧‧可變節流閥
610‧‧‧肘節閥
611‧‧‧「向上」引導壓力管線
612‧‧‧三位向上/向下閥
613‧‧‧直接管線
614‧‧‧梭動閥
615‧‧‧流體管線
616‧‧‧引導入口閥
617‧‧‧壓力調節器
618‧‧‧真空控制閥
619‧‧‧向下引導壓力管線
620‧‧‧真空發生器
621‧‧‧壓力管線
622‧‧‧壓力調節器
623‧‧‧負壓管線
630‧‧‧制動鎖
630'‧‧‧伸縮活塞桿
631‧‧‧制動控制通口
632‧‧‧肘節閥
634‧‧‧限流器(節流閥)
635‧‧‧貫穿的通道
636‧‧‧由流體致動之指示器
648‧‧‧壓力調節器
650‧‧‧氣動源
660‧‧‧節流閥總成
662‧‧‧壓缸
663‧‧‧通口
664‧‧‧活塞
665‧‧‧引導管線
665'‧‧‧引導管線
666‧‧‧手柄
667‧‧‧通口
668‧‧‧室
670‧‧‧踏板節流閥總成
672‧‧‧踏板
674‧‧‧樞接點
675‧‧‧引導管線
676‧‧‧撓性囊
678‧‧‧室
680‧‧‧柱塞節流閥總成
681‧‧‧管線
682‧‧‧壓力調節器
684‧‧‧柱塞
686‧‧‧手柄
688‧‧‧彈簧
690‧‧‧柱塞節流閥總成
691‧‧‧管線
692‧‧‧由柱塞致動之壓力調節器
694‧‧‧柱塞
696‧‧‧手柄
698‧‧‧彈簧
700‧‧‧底板(底部接觸板)
702‧‧‧入口通口
704‧‧‧可緊壓插塞
705‧‧‧開放通口
710‧‧‧頂板(頂部接觸板)
712‧‧‧入通口
714‧‧‧可緊壓插塞
715‧‧‧開放通口
720‧‧‧頂部接觸板
721‧‧‧彈簧
723‧‧‧彈簧
726‧‧‧螺帽
730‧‧‧檢波閥
730a‧‧‧開啟引導裝置
730b‧‧‧關閉引導裝置
732‧‧‧感測器閥
733‧‧‧管線
734‧‧‧感測器閥
735‧‧‧管線
736‧‧‧壓力過高指示器
737‧‧‧管線
738‧‧‧壓力過低指示器
739‧‧‧管線
740‧‧‧梭動閥
750‧‧‧節流釋放閥
結合附圖閱讀上文「實施方式」部分，將能最佳地理解本發明。應著重指出，根據通常之實務，附圖中之各種不同的特徵並未按比例繪製。相反地，為清楚起見，可隨意放大或縮小各種不同的特徵之尺寸。在附圖中包括下列圖式：
圖1A是測試頭操縱器系統之立體圖。
圖1B是圖1A所示測試頭操縱器系統之另一立體圖，其中顯示測試頭處於升高之位置上。
圖2A是圖1A及1B所示氣動操縱器總成之局部剖視立體圖，其中為清楚起見未顯示氣動控制單元。
圖2B是圖2A所示氣動操縱器總成之另一局部剖視立體圖。
圖2C是圖2A所示氣動操縱器總成之立體圖，其中為清楚起見未顯示維修門(access panel)及柱蓋，且圖中顯示伸縮柱及氣動活塞桿處於升高之位置。
圖2D是圖2C所示氣動操縱器總成之立體圖，其中為清楚起見未顯示伸縮柱。
圖3是氣動操縱器總成沿圖2D所示之線3-3截取之剖視圖。
圖4是圖3所示引導構件總成之詳細立體圖。
圖5是示意性自由體受力圖，其圖解說明作用於測試頭及氣動操縱器總成上的力。
圖6是用於控制自動測試設備之動作的典型氣動系統之一部分之示意圖。
圖7是用於控制自動測試設備之動作的另一典型氣動系統之一部分之示意圖。
圖8是用於控制自動測試設備之動作的又一典型氣動系統之一部分之示意圖。
圖9是用於控制自動測試設備之動作的再一典型氣動系統之一部分之示意圖。
圖10是用於控制自動測試設備之動作的尚一典型氣動系統之一部分之示意圖。
圖11是另一典型氣動單元之立體分解圖。
圖12是圖11所示氣動單元之立體組合圖。
圖13是氣動單元沿圖12所示線13-13截取之剖視圖。
圖14是用於控制自動測試設備之動作的另一典型氣動系統之一部分之示意圖。
10‧‧‧自動測試設備
12‧‧‧測試頭
14‧‧‧樞接臂總成
16‧‧‧測試頭操縱器
18‧‧‧氣動控制單元
19‧‧‧板
20‧‧‧伸縮柱
22‧‧‧外柱
24‧‧‧減壓調節器
27‧‧‧底板
30‧‧‧周邊測試設備
100‧‧‧笛卡兒座標系
102‧‧‧Y軸
104‧‧‧X軸
106‧‧‧Z軸

Claims (17)

  1. 一種用於使負載沿平移軸線平移之操縱器，所述操縱器包括：第一柱；伸縮柱，附著於所述負載上並架構成使所述負載沿所述平移軸線平移，所述第一柱與所述伸縮柱彼此相對伸縮地定位成，其中一者位於另一者內且在此兩者間存在空間；以及至少一個引導構件，安裝於所述第一柱與所述伸縮柱之間，其中所述至少一個引導構件架構成在所述伸縮柱沿所述平移軸線平移時引導所述伸縮柱，且所述至少一個引導構件架構成防止所述第一柱與所述伸縮柱之間發生圍繞所述平移軸線的相對旋轉。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之用於使負載沿平移軸線平移之操縱器，其中所述伸縮柱位於所述第一柱內。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之用於使負載沿平移軸線平移之操縱器，其中所述第一柱位於所述伸縮柱內。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之用於使負載沿平移軸線平移之操縱器，其中所述引導構件其中之一或多者被定位成限制所述伸縮柱在與所述平移軸線正交之軸線附近進行平移。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之用於使負載沿平移軸線平移之操縱器，其中所述至少一個引導構件是由下列所構成之族群中選出：凸輪從動件、凸輪、輪子、滾子、腳 輪以及軸承。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之用於使負載沿平移軸線平移之操縱器，其中所述負載是用於測試積體電路之測試頭。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之用於使負載沿平移軸線平移之操縱器，其中所述伸縮柱之截面形狀是多邊形。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之用於使負載沿平移軸線平移之操縱器，更包括多個引導構件，其中所述伸縮柱沿所述平移軸線延伸之每一側與至少一個引導構件相接觸地定位。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之用於使負載沿平移軸線平移之操縱器，其中所述第一柱之截面形狀是多邊形。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之用於使負載沿平移軸線平移之操縱器，其中所述至少一個引導構件安裝於所述第一柱上。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之用於使負載沿平移軸線平移之操縱器，其中所述至少一個引導構件安裝於所述伸縮柱上。
  12. 如申請專利範圍第1項所述之用於使負載沿平移軸線平移之操縱器，更包括安裝於所述第一柱與所述伸縮柱間之多個引導構件。
  13. 如申請專利範圍第10項所述之用於使負載沿平移軸線平移之操縱器，所述伸縮柱界定多個表面，其中每一表面與引導構件相接觸地定位。
  14. 一種用於使負載沿平移軸線平移之負載定位系統，所述負載定位系統包括：第一柱；伸縮柱，連結於所述負載，所述第一柱與所述伸縮柱彼此相對伸縮地定位成，其中一者位於另一者內；流體操作活塞，架構成沿所述平移軸線驅動所述伸縮柱，其中所述流體操作活塞架構成接收均衡的壓力，所述均衡的壓力實質上維持所述伸縮柱沿所述平移軸線之位置並可有選擇地調節，藉以升高壓力以在第一方向上改變所述伸縮柱沿所述平移軸線之位置，或者降低壓力以在相反方向上改變所述伸縮柱沿所述平移軸線之位置；以及至少一個引導構件，安裝於所述第一柱與所述伸縮柱之間，其中所述至少一個引導構件架構成在所述伸縮柱沿所述平移軸線平移時引導所述伸縮柱，且所述引導構件被定位成限制所述伸縮柱圍繞所述平移軸線旋轉。
  15. 如申請專利範圍第14項所述之用於使負載沿平移軸線平移之負載定位系統，其中所述系統架構成使在所述兩個方向中任一者上的位置變化率是所述壓力之函數。
  16. 如申請專利範圍第14項所述之用於使負載沿平移軸線平移之負載定位系統，其中所述引導構件其中之一或多者被定位成限制所述伸縮柱在與所述平移軸線正交之軸線附近進行平移。
  17. 如申請專利範圍第14項所述之用於使負載沿平移軸線平移之負載定位系統，其中所述負載是用於測試積體電路之測試頭。
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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI339737B (en) 2005-04-27 2011-04-01 Aehr Test Systems Contactor assembly, cartridge, and apparatus and method for testing integrated circuit of device
US8030957B2 (en) 2009-03-25 2011-10-04 Aehr Test Systems System for testing an integrated circuit of a device and its method of use
EP2947042B1 (en) 2014-05-23 2018-07-18 Butler Engineering & Marketing S.p.A. Lifting device for a tyred wheel or a tyre
NL2013123B1 (en) * 2014-07-04 2016-07-14 Stertil Bv Lifting device and system with integrated drive unit for lifting a vehicle, and method there for.
US9506961B2 (en) 2014-12-04 2016-11-29 Chicony Power Technology Co., Ltd. Power supply detection apparatus and detecting method thereof
US9380866B1 (en) * 2015-02-11 2016-07-05 Bradford L. Davis Telescopic support
WO2018071335A1 (en) * 2016-10-10 2018-04-19 Reid-Ashman Manufacturing, Inc. Manipulator
KR101776036B1 (ko) * 2016-12-13 2017-09-07 한국공항공사 탑승교의 로툰다 높이 조절장치
WO2018160557A1 (en) 2017-03-03 2018-09-07 Aehr Test Systems Electronics tester
US10858054B2 (en) 2018-01-31 2020-12-08 Honda Motor Co., Ltd. Multi-stage shift pack assembly and method
US11506712B2 (en) * 2018-07-02 2022-11-22 T-Mobile Usa, Inc. Modular wireless communication device testing system
EP4019822A1 (en) * 2020-12-22 2022-06-29 Roche Diagnostics GmbH Connecting joint for connecting components of a laboratory automation system
TWI805978B (zh) * 2020-12-22 2023-06-21 達明機器人股份有限公司 雙迴路力矩感知系統及其感知方法
CN113028206B (zh) * 2021-02-25 2022-06-17 江西财经大学 一种具有调节功能的用于金融数据管理的数据展示系统

Family Cites Families (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2359915A1 (de) 1972-12-07 1974-06-12 Philips Nv Teleskopischer tragemechanismus
US4180098A (en) * 1976-02-05 1979-12-25 Tadeusz Budzich Load responsive fluid control valve
FR2523232B1 (fr) * 1982-03-09 1985-09-20 Thomson Csf Colonne telescopique a tubes cylindriques
US4705447A (en) 1983-08-11 1987-11-10 Intest Corporation Electronic test head positioner for test systems
US4527942A (en) 1982-08-25 1985-07-09 Intest Corporation Electronic test head positioner for test systems
US4715574A (en) 1985-11-12 1987-12-29 Intest Corporation Safety lock for materials handling system
US4893074A (en) 1988-05-13 1990-01-09 Intest Corporation Electronic device testing system
US5030869A (en) 1990-07-25 1991-07-09 Intest Corporation Device testing system with cable pivot
US5241870A (en) 1991-07-22 1993-09-07 Intest Corporation Test head manipulator
JP3219844B2 (ja) 1992-06-01 2001-10-15 東京エレクトロン株式会社 プローブ装置
US5314174A (en) * 1993-03-08 1994-05-24 Hagman Erland L Ergonomic workpiece positioner
US5600258A (en) 1993-09-15 1997-02-04 Intest Corporation Method and apparatus for automated docking of a test head to a device handler
US6057695A (en) 1993-09-15 2000-05-02 Intest Corporation Method and apparatus for automated docking of a test head to a device handler
US5641261A (en) * 1993-10-18 1997-06-24 Taylor Iron-Machine Works, Inc. Fork lift truck
JP2967798B2 (ja) 1993-12-16 1999-10-25 株式会社東京精密 ウエハプローバ
EP0811167B1 (en) 1995-02-23 2001-09-05 Aesop Inc. Manipulator for automatic test equipment test head
US5608334A (en) 1995-04-20 1997-03-04 Intest Corporation Device testing system with cable pivot and method of installation
DK172403B1 (da) * 1996-03-15 1998-05-18 Ole Flemming Broechmann Hydraulisk aktuatorkredsløb til et hæve-sænke-system for et arbejdsbord, et liggemøbel eller en anden tung genstand
US5738344A (en) * 1996-04-01 1998-04-14 Hagman; Erland Ergonomic workpiece positioner
JP3099873B2 (ja) 1996-12-05 2000-10-16 日本電産リード株式会社 プリント基板検査装置およびユニバーサル型プリント基板検査装置の使用方法
US5949002A (en) 1997-11-12 1999-09-07 Teradyne, Inc. Manipulator for automatic test equipment with active compliance
DE19952245C2 (de) * 1998-12-05 2002-11-28 Gkn Loebro Gmbh Teleskopwelle
US6888343B1 (en) 1999-01-13 2005-05-03 Intest Ip Corporation Test head manipulator
US6731327B1 (en) * 1999-02-12 2004-05-04 Hypervision, Inc. Dynamic structural coupling mechanism for reducing optical degradation in vibrating environments
MY144519A (en) * 2000-03-01 2011-09-30 Intest Corp Vertical counter balanced test head manipulator
EP1277692A1 (en) * 2000-04-28 2003-01-22 Hirotaka Engineering Ltd. Air balance device
US6433532B1 (en) 2000-07-07 2002-08-13 Advanced Micro Devices, Inc. Method and apparatus for mounting a load board onto a test head
JP3480925B2 (ja) * 2000-09-12 2003-12-22 株式会社双晶テック ディスプレイパネル又はプローブブロックの支持枠体
MY147595A (en) * 2000-09-22 2012-12-31 Intest Corp Apparatus and method for balancing and for providing a compliant range to a test head
US6838868B1 (en) 2000-11-07 2005-01-04 Teradyne, Inc. Test head actuation system with positioning and compliant modes
US6586925B2 (en) 2001-04-09 2003-07-01 St Assembly Test Services Ltd. Method and apparatus for establishing quick and reliable connection between a semiconductor device handler plate and a semiconductor device test head plate
DE20106513U1 (de) * 2001-04-14 2001-08-02 Herbert Gruettner Gmbh & Co Kg Teleskopsäule insbesondere für Hubtische o.dgl.
US6557456B2 (en) * 2001-05-24 2003-05-06 The Raymond Corporation Cushioned actuator
US20050116729A1 (en) 2001-06-11 2005-06-02 Oliver Koester Method and device for testing or calibrating a pressure sensor on a wafer
US6876211B2 (en) 2002-03-13 2005-04-05 Seagate Technology Llc Printed circuit board test fixture that supports a PCB to be tested
KR20040106344A (ko) 2002-04-15 2004-12-17 인테스트 아이피 코포레이션 테스트 헤드 포지셔너 시스템
US6729648B2 (en) * 2002-06-07 2004-05-04 Sealy Technology Llc Non-linear energy absorbing column assembly
WO2003104062A1 (ja) * 2002-06-11 2003-12-18 日本精工株式会社 車両ステアリング用伸縮軸、及びカルダン軸継手付き車両ステアリング用伸縮軸
US6722215B2 (en) * 2002-06-18 2004-04-20 Michael Caradonna Manipulator apparatus with low-cost compliance
CA2434998C (en) 2002-07-18 2010-05-25 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Cover joining structure for outboard engine unit
CN100383534C (zh) 2002-10-02 2008-04-23 因泰斯特Ip公司 测试头定位装置
JP4254194B2 (ja) * 2002-10-10 2009-04-15 日本精工株式会社 車両ステアリング用伸縮軸
DE10301082B4 (de) * 2003-01-14 2007-02-01 Timken Gmbh Wälzlager für Linearbewegungen
DE04705321T1 (de) * 2003-01-28 2006-08-31 Intest Ip Corp. Handgelenk zum Positionieren eines Testkopfes
US7235964B2 (en) * 2003-03-31 2007-06-26 Intest Corporation Test head positioning system and method
WO2005002947A1 (ja) * 2003-07-02 2005-01-13 Nsk Ltd. 車両ステアリング用伸縮軸
DE20311524U1 (de) * 2003-07-26 2004-11-25 Herbert Grüttner GmbH & Co. KG Teleskopsäule
SG137846A1 (en) * 2003-08-06 2007-12-28 Intest Corp Test head positioning system
GB2407808B (en) * 2003-11-10 2006-08-02 Lansing Linde Ltd Lifting framework for an industrial truck
JP4809594B2 (ja) 2004-08-02 2011-11-09 東京エレクトロン株式会社 検査装置
US7610977B2 (en) * 2004-09-23 2009-11-03 Crown Equipment Corporation Lift truck having hydraulically separate main frame and power unit assembly
ES2582187T3 (es) * 2004-12-17 2016-09-09 Steelcase Inc. Mesa de altura ajustable
US7068056B1 (en) 2005-07-18 2006-06-27 Texas Instruments Incorporated System and method for the probing of a wafer
TWM282277U (en) * 2005-08-10 2005-12-01 Jinn Ming Industry Co Ltd Structure of a seamless connector for continuously adjusting the position for a pipe
DE102005038333A1 (de) * 2005-08-11 2007-02-15 Deere & Company, Moline Hydraulische Anordnung
US20070137535A1 (en) * 2005-12-16 2007-06-21 Steelcase Development Corporation Load compensator for height adjustable table
US7764076B2 (en) 2007-02-20 2010-07-27 Centipede Systems, Inc. Method and apparatus for aligning and/or leveling a test head

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