JP3099873B2 - プリント基板検査装置およびユニバーサル型プリント基板検査装置の使用方法 - Google Patents
プリント基板検査装置およびユニバーサル型プリント基板検査装置の使用方法Info
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- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
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- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
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- G01R1/07328—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support for testing printed circuit boards
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、プリント基板検
査装置に関し、特に、ユニバーサル型プリント基板検査
装置の汎用性向上に関する。
査装置に関し、特に、ユニバーサル型プリント基板検査
装置の汎用性向上に関する。
【０００２】
【従来技術】従来のユニバーサル型プリント基板検査装
置５１を、図５に示す。ユニバーサル型プリント基板検
査装置５１は、上治具２および下治具３を有している。
上治具２は、プローブ５が格子状に設置された基台６を
有している。基台６には、バネ４３を介して、板８が取
付けられている。板８には、プローブ５と同じ位置に貫
通孔８ａが設けられている。板８には、ポスト４７を介
して変換用下板４９が設けられている。変換用下板４９
には、下治具３に載置された検査対象基板１９の表面の
パターンの計測位置に対応して、貫通孔４９ａが設けら
れている。貫通孔８ａおよび貫通孔４９ａを貫通して、
テストピン７が挿入されている。このテストピン７は、
格子状に設けられたプローブ５の計測位置を現実の計測
位置に変換する機能を有する。
置５１を、図５に示す。ユニバーサル型プリント基板検
査装置５１は、上治具２および下治具３を有している。
上治具２は、プローブ５が格子状に設置された基台６を
有している。基台６には、バネ４３を介して、板８が取
付けられている。板８には、プローブ５と同じ位置に貫
通孔８ａが設けられている。板８には、ポスト４７を介
して変換用下板４９が設けられている。変換用下板４９
には、下治具３に載置された検査対象基板１９の表面の
パターンの計測位置に対応して、貫通孔４９ａが設けら
れている。貫通孔８ａおよび貫通孔４９ａを貫通して、
テストピン７が挿入されている。このテストピン７は、
格子状に設けられたプローブ５の計測位置を現実の計測
位置に変換する機能を有する。
【０００３】導通テストは、以下の様にして行なわれ
る。下治具３をプレス機（図示せず）によって上昇させ
る。これにより、上側治具２においては、テストピン７
の先端と被検査基板１９が接触するとともに、テストピ
ン７の他端とプローブ５が接触する。下側治具３におい
ても同様である。
る。下治具３をプレス機（図示せず）によって上昇させ
る。これにより、上側治具２においては、テストピン７
の先端と被検査基板１９が接触するとともに、テストピ
ン７の他端とプローブ５が接触する。下側治具３におい
ても同様である。
【０００４】このように、ユニバーサル型プリント基板
検査装置５１においては、被検査基板の計測位置にあわ
せた位置に貫通孔４９ａを設けた変換用下板４９に取替
えるだけで、どのような基板をも計測することができ
る。
検査装置５１においては、被検査基板の計測位置にあわ
せた位置に貫通孔４９ａを設けた変換用下板４９に取替
えるだけで、どのような基板をも計測することができ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、今日、プリ
ント基板のファインピッチ化が進み、上記のようなテス
トピンを用いたユニバーサル型プリント基板検査装置５
１では、正確な計測が不可能となってきた。
ント基板のファインピッチ化が進み、上記のようなテス
トピンを用いたユニバーサル型プリント基板検査装置５
１では、正確な計測が不可能となってきた。
【０００６】そこで、トランスレータボードを前記テス
トピンの代わりに用いた検査装置が提案されている（特
願昭５４−１２９２１１号参照）。
トピンの代わりに用いた検査装置が提案されている（特
願昭５４−１２９２１１号参照）。
【０００７】しかしながら、従来のユニバーサル型プリ
ント基板検査装置に、前記テストピンに代えてトランス
レータボードを取付けることは、以下の様な問題があっ
た。
ント基板検査装置に、前記テストピンに代えてトランス
レータボードを取付けることは、以下の様な問題があっ
た。
【０００８】導通テストは、下治具３をプレス機（図示
せず）によって上昇させることによって行なう。この上
昇可能範囲については、所定のストロークが設定されて
いる。したがって、ユニバーサル型プリント基板検査装
置５１において、板８、ポスト４７および変換用下板４
９を取外してしまうと、上昇すべきストロークが前記上
昇可能範囲を越えてしまい、ストローク不足となる。こ
れにより、プリント基板検査装置のテスト行なうことが
できない。
せず）によって上昇させることによって行なう。この上
昇可能範囲については、所定のストロークが設定されて
いる。したがって、ユニバーサル型プリント基板検査装
置５１において、板８、ポスト４７および変換用下板４
９を取外してしまうと、上昇すべきストロークが前記上
昇可能範囲を越えてしまい、ストローク不足となる。こ
れにより、プリント基板検査装置のテスト行なうことが
できない。
【０００９】また、かかるストローク不足を解消する
為、上昇可能範囲を調整できる場合であっても、このよ
うに変更してしまうと、トランスレータボードを用いた
検査しかできなくなる。しかし、例えば、ファインピッ
チでない基板を検査する場合等、テストピン方式の方が
簡易に調査をすることができる場合もある。なぜなら、
トランスレータボードを製作するよりも、所定の位置に
貫通孔４９ａを設けた変換用下板４９を製作する方が簡
易かつ、コスト面でも好ましいからである。
為、上昇可能範囲を調整できる場合であっても、このよ
うに変更してしまうと、トランスレータボードを用いた
検査しかできなくなる。しかし、例えば、ファインピッ
チでない基板を検査する場合等、テストピン方式の方が
簡易に調査をすることができる場合もある。なぜなら、
トランスレータボードを製作するよりも、所定の位置に
貫通孔４９ａを設けた変換用下板４９を製作する方が簡
易かつ、コスト面でも好ましいからである。
【００１０】さらに、既に一度検査した基板を再検査を
する場合に、既にその基板に合致する変換用下板４９を
保管しており、これをセットさえすれば検査を行なうこ
とができるにも拘らず、前記ストローク調整をしてしま
うと、この様な場合でも、新たにトランスレータボード
１３を作り直さなければならない。
する場合に、既にその基板に合致する変換用下板４９を
保管しており、これをセットさえすれば検査を行なうこ
とができるにも拘らず、前記ストローク調整をしてしま
うと、この様な場合でも、新たにトランスレータボード
１３を作り直さなければならない。
【００１１】この発明は、プリント基板検査装置におい
て、被検査対象基板のパターンや種類に応じて、ピッチ
変換ピンまたはピッチ変換板のいずれを用いた方法でも
検査が可能なプリント基板検査装置を提供することを目
的とする。
て、被検査対象基板のパターンや種類に応じて、ピッチ
変換ピンまたはピッチ変換板のいずれを用いた方法でも
検査が可能なプリント基板検査装置を提供することを目
的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１のプリント基板
検査装置においては、 Ａ）以下のa1)〜a3)を有し、被検査基板の第１の面の導
通状態を検査する為の上側治具、 a1)計測用プローブの設置位置と同様の位置に貫通孔が
設けられた前記計測用プローブ側の上板、 a2)前記被検査基板の計測点に一致した貫通孔を有する
前記被検査基板側の位置変換用下板、 a3)一端が前記計測用プローブと接触可能に前記上板に
抜け止め保持され、他端が被検査基板の計測点と接触可
能に前記位置変換用下板の前記貫通孔に挿入される変換
ピン、 Ｂ） 前記位置変換用下板を、前記計測用プローブの設置
位置と同様の位置に貫通孔を有する非位置変換用下板に
交換可能とするとともに、この非位置変換用下板の前記
被検査基板側に、前記計測用プローブの設置位置が前記
被検査基板の計測点に一致するように変換するように設
けられた位置変換部材、 Ｃ)非検査時に前記位置変換部材に対して前記変換ピン
を非接触保持する非接触保持部材、を備えた ことを特徴
とする。
検査装置においては、 Ａ）以下のa1)〜a3)を有し、被検査基板の第１の面の導
通状態を検査する為の上側治具、 a1)計測用プローブの設置位置と同様の位置に貫通孔が
設けられた前記計測用プローブ側の上板、 a2)前記被検査基板の計測点に一致した貫通孔を有する
前記被検査基板側の位置変換用下板、 a3)一端が前記計測用プローブと接触可能に前記上板に
抜け止め保持され、他端が被検査基板の計測点と接触可
能に前記位置変換用下板の前記貫通孔に挿入される変換
ピン、 Ｂ） 前記位置変換用下板を、前記計測用プローブの設置
位置と同様の位置に貫通孔を有する非位置変換用下板に
交換可能とするとともに、この非位置変換用下板の前記
被検査基板側に、前記計測用プローブの設置位置が前記
被検査基板の計測点に一致するように変換するように設
けられた位置変換部材、 Ｃ)非検査時に前記位置変換部材に対して前記変換ピン
を非接触保持する非接触保持部材、を備えた ことを特徴
とする。
【００１３】
【００１４】請求項２のプリント基板検査装置において
は、前記非接触保持部材は、前記上板を前記非位置変換
用下板から離れる方向に付勢することにより、前記非接
触保持することを特徴とする。
は、前記非接触保持部材は、前記上板を前記非位置変換
用下板から離れる方向に付勢することにより、前記非接
触保持することを特徴とする。
【００１５】請求項３のプリント基板検査装置において
は、前記非接触保持部材は、前記位置変換部材を前記非
位置変換用下板から離れる方向に付勢することにより、
前記非接触保持することを特徴とする。
は、前記非接触保持部材は、前記位置変換部材を前記非
位置変換用下板から離れる方向に付勢することにより、
前記非接触保持することを特徴とする。
【００１６】請求項４のプリント基板検査においては、
前記上板の前記貫通孔は前記変換ピンと嵌合する径であ
り、前記非位置変換用下板の前記貫通孔は前記変換ピン
よりも大きな径を有し、これにより、前記非位置変換用
下板は水平方向に微移動可能に構成されていること、を
特徴とする。
前記上板の前記貫通孔は前記変換ピンと嵌合する径であ
り、前記非位置変換用下板の前記貫通孔は前記変換ピン
よりも大きな径を有し、これにより、前記非位置変換用
下板は水平方向に微移動可能に構成されていること、を
特徴とする。
【００１７】請求項５のユニバーサル型プリント基板検
査装置の使用方法においては、前記変換ピンを、前記計
測用プローブの設置位置から鉛直に設けるとともに、前
記変換ピンの一端が前記被検査基板の計測点に一致する
ように変換する位置変換部材を、非検査状態では前記変
換ピンと非接触状態となるよう取付け、前記変換ピンの
自重が前記位置変換部材にかからないようにするため
に、非検査時に前記位置変換部材に対して前記変換ピン
を非接触保持することを特徴とする。
査装置の使用方法においては、前記変換ピンを、前記計
測用プローブの設置位置から鉛直に設けるとともに、前
記変換ピンの一端が前記被検査基板の計測点に一致する
ように変換する位置変換部材を、非検査状態では前記変
換ピンと非接触状態となるよう取付け、前記変換ピンの
自重が前記位置変換部材にかからないようにするため
に、非検査時に前記位置変換部材に対して前記変換ピン
を非接触保持することを特徴とする。
【００１８】以下、特許請求の範囲の用語と実施形態と
の対応について説明する。図５に示す板４９が位置変換
用下板に該当する。テストピン７が変換ピンに該当す
る。図１に示す板９、および図４に示す板３１、３２
が、非位置変換用下板に該当する。図１に示すトランス
レータボード１３が位置変換部材に該当する。図１に示
すピン引上げ器１５および図３に示すトランスレータ引
下げ器２５が非接触保持部材に該当する。
の対応について説明する。図５に示す板４９が位置変換
用下板に該当する。テストピン７が変換ピンに該当す
る。図１に示す板９、および図４に示す板３１、３２
が、非位置変換用下板に該当する。図１に示すトランス
レータボード１３が位置変換部材に該当する。図１に示
すピン引上げ器１５および図３に示すトランスレータ引
下げ器２５が非接触保持部材に該当する。
【００１９】また「嵌合状態」とは、貫通穴の径に対し
てピンの径がやや大きく、これにより、貫通穴に対して
ピンが鉛直方向には可動可能であり、直径方向にはほと
んど可動できない状態をいう。
てピンの径がやや大きく、これにより、貫通穴に対して
ピンが鉛直方向には可動可能であり、直径方向にはほと
んど可動できない状態をいう。
【００２０】また「検査時」とは、プレス動作を行ない
短絡または導通検査を行なうときをいい、「非検査時」
とは、プレス動作が行なわれていない状態をいう。
短絡または導通検査を行なうときをいい、「非検査時」
とは、プレス動作が行なわれていない状態をいう。
【００２１】
【発明の効果】請求項１のプリント基板検査装置におい
ては、前記位置変換用下板を、前記計測用プローブの設
置位置と同様の位置に貫通孔を有する非位置変換用下板
に交換可能とするとともに、この非位置変換用下板の前
記被検査基板側に、前記計測用プローブの設置位置が前
記被検査基板の計測点に一致するように変換する位置変
換部材を設けている。したがって、前記位置変換用下板
をそのまま用いる場合には、前記変換ピンによって計測
位置変換をすることができる。また、前記非位置変換用
下板を用いる場合には、前記位置変換部材によって計測
位置変換をすることができる。これにより、被検査対象
基板のパターンや種類に応じて、いずれの方法でも検査
が可能なプリント基板検査装置を提供することができ
る。
ては、前記位置変換用下板を、前記計測用プローブの設
置位置と同様の位置に貫通孔を有する非位置変換用下板
に交換可能とするとともに、この非位置変換用下板の前
記被検査基板側に、前記計測用プローブの設置位置が前
記被検査基板の計測点に一致するように変換する位置変
換部材を設けている。したがって、前記位置変換用下板
をそのまま用いる場合には、前記変換ピンによって計測
位置変換をすることができる。また、前記非位置変換用
下板を用いる場合には、前記位置変換部材によって計測
位置変換をすることができる。これにより、被検査対象
基板のパターンや種類に応じて、いずれの方法でも検査
が可能なプリント基板検査装置を提供することができ
る。
【００２２】さらに、前記非接触保持部材は、非検査時
には、前記位置変換部材に対して前記変換ピンを非接触
保持する。したがって、前記変換ピンの自重が前記位置
変換部材にかかることを防止することができる。これに
より、前記位置変換部材の曲り、破損等を防ぐことがで
きるプリント基板検査装置を提供することができる。
には、前記位置変換部材に対して前記変換ピンを非接触
保持する。したがって、前記変換ピンの自重が前記位置
変換部材にかかることを防止することができる。これに
より、前記位置変換部材の曲り、破損等を防ぐことがで
きるプリント基板検査装置を提供することができる。
【００２３】請求項２のプリント基板検査装置において
は、前記非接触保持部材は、前記上板を前記非位置変換
用下板から離れる方向に付勢する。ここで、前記変換ピ
ンは、前記上板に抜け止め保持されているので、その他
端を前記計測用プローブから非接触状態で保持すること
ができる。
は、前記非接触保持部材は、前記上板を前記非位置変換
用下板から離れる方向に付勢する。ここで、前記変換ピ
ンは、前記上板に抜け止め保持されているので、その他
端を前記計測用プローブから非接触状態で保持すること
ができる。
【００２４】請求項３のプリント基板検査装置において
は、前記非接触保持部材は、前記位置変換部材を前記非
位置変換用下板から離れる方向に付勢する。ここで、前
記変換ピンは、前記上板に抜け止め保持されているの
で、その他端を前記計測用プローブから非接触状態で保
持することができる。
は、前記非接触保持部材は、前記位置変換部材を前記非
位置変換用下板から離れる方向に付勢する。ここで、前
記変換ピンは、前記上板に抜け止め保持されているの
で、その他端を前記計測用プローブから非接触状態で保
持することができる。
【００２５】請求項４のプリント基板検査装置において
は、前記非位置変換用下板は水平方向に微移動可能であ
る。ここで、前記上板の前記貫通孔は前記変換ピンと嵌
合する径であり、前記非位置変換用下板の前記貫通孔は
前記変換ピンよりも大きな径を有する。したがって、前
記非位置変換用下板が水平方向に微移動しても、前記変
換ピンは前記上板によって鉛直状態で保持される。
は、前記非位置変換用下板は水平方向に微移動可能であ
る。ここで、前記上板の前記貫通孔は前記変換ピンと嵌
合する径であり、前記非位置変換用下板の前記貫通孔は
前記変換ピンよりも大きな径を有する。したがって、前
記非位置変換用下板が水平方向に微移動しても、前記変
換ピンは前記上板によって鉛直状態で保持される。
【００２６】また、前記変換ピンは、非検査時には、前
記位置変換部材に対して非接触保持されている。したが
って、前記非位置変換用下板が前記非位置変換部材とと
もに水平方向に微移動しても、前記変換ピンによって前
記位置変換部材が害されない。すなわち、前記変換ピン
によって前記位置変換部材が害されず、かつ前記被検査
基板に対して微調整をして位置決めを行なうことができ
る。
記位置変換部材に対して非接触保持されている。したが
って、前記非位置変換用下板が前記非位置変換部材とと
もに水平方向に微移動しても、前記変換ピンによって前
記位置変換部材が害されない。すなわち、前記変換ピン
によって前記位置変換部材が害されず、かつ前記被検査
基板に対して微調整をして位置決めを行なうことができ
る。
【００２７】請求項５のユニバーサル型プリント基板検
査装置の使用方法においては、前記変換ピンを、前記計
測用プローブの設置位置から鉛直に設けるとともに、
前記変換ピンの自重が前記位置変換部材にかからないよ
うにするために、前記変換ピンの一端が前記被検査基板
の計測点に一致するように変換する位置変換部材を、非
検査状態では前記変換ピンと非接触状態となるよう取付
けている。したがって、前記変換ピンによる計測位置変
換および前記位置変換部材による計測位置変換のいずれ
の方法にて、計測位置変換が可能となる。これにより、
被検査対象基板のパターンや種類に応じていずれの方法
でも検査が可能であるとともに、前記位置変換部材の曲
り、破損等を防ぐことができるユニバーサル型プリント
基板検査装置の使用方法を提供することができる。
査装置の使用方法においては、前記変換ピンを、前記計
測用プローブの設置位置から鉛直に設けるとともに、
前記変換ピンの自重が前記位置変換部材にかからないよ
うにするために、前記変換ピンの一端が前記被検査基板
の計測点に一致するように変換する位置変換部材を、非
検査状態では前記変換ピンと非接触状態となるよう取付
けている。したがって、前記変換ピンによる計測位置変
換および前記位置変換部材による計測位置変換のいずれ
の方法にて、計測位置変換が可能となる。これにより、
被検査対象基板のパターンや種類に応じていずれの方法
でも検査が可能であるとともに、前記位置変換部材の曲
り、破損等を防ぐことができるユニバーサル型プリント
基板検査装置の使用方法を提供することができる。
【００２８】
【発明の実施の態様】本発明の一実施形態について、図
面を用いて説明する。図１に、プリント基板検査装置１
の概略図を示す。
面を用いて説明する。図１に、プリント基板検査装置１
の概略図を示す。
【００２９】プリント基板検査装置１は、上治具２およ
び下治具３を有している。上治具２は、格子状にプロー
ブ５が設けられた基台６を有する。基台６にはバネ４３
を介して板８が取付けられている。板８には、基台６と
同様に格子状に貫通孔８ａが設けられている。また、貫
通孔８ａと同じ位置に、板９に貫通穴９ａが設けられて
いる。貫通孔８ａおよび貫通孔９ａを貫通して、テスト
ピン７が挿入されている。本実施形態においてはテスト
ピン７の直径を０．４ｍｍとし、貫通孔８ａおよび貫通
孔９ａについては０．５ｍｍとした。なお、テストピン
７の頭部７ａは、貫通孔８ａの上軸側にて、ぬけ止め状
態で保持されている。
び下治具３を有している。上治具２は、格子状にプロー
ブ５が設けられた基台６を有する。基台６にはバネ４３
を介して板８が取付けられている。板８には、基台６と
同様に格子状に貫通孔８ａが設けられている。また、貫
通孔８ａと同じ位置に、板９に貫通穴９ａが設けられて
いる。貫通孔８ａおよび貫通孔９ａを貫通して、テスト
ピン７が挿入されている。本実施形態においてはテスト
ピン７の直径を０．４ｍｍとし、貫通孔８ａおよび貫通
孔９ａについては０．５ｍｍとした。なお、テストピン
７の頭部７ａは、貫通孔８ａの上軸側にて、ぬけ止め状
態で保持されている。
【００３０】板８と板９の間には、ピン引上げ器１５が
介在されている。ピン引上げ器１５は、本体部１５ａお
よびバネ１５ｂを備えている。ばね１５ｂは、板９に対
して板８を矢印α方向に付勢する。したがって、テスト
ピン７の頭部７ａが矢印α方向に引上げられ、これによ
り、テストピン７の先端７ｂは、隙間ｔ０を介して、ト
ランスレータボード１３の第１の面と非接触状態で保持
される。板９には、トランスレータボード１３がネジ２
７で固定されている。
介在されている。ピン引上げ器１５は、本体部１５ａお
よびバネ１５ｂを備えている。ばね１５ｂは、板９に対
して板８を矢印α方向に付勢する。したがって、テスト
ピン７の頭部７ａが矢印α方向に引上げられ、これによ
り、テストピン７の先端７ｂは、隙間ｔ０を介して、ト
ランスレータボード１３の第１の面と非接触状態で保持
される。板９には、トランスレータボード１３がネジ２
７で固定されている。
【００３１】トランスレータボード１３について、図２
を用いて説明する。トランスレータボードとは、ユニバ
ーサルタイプ治具のプローブ間ピッチよりもピッチの細
かい検査基板の検査に用いられるものであり、被検査対
象基板のパターンに合せて製作される。トランスレータ
ボード１３は、変換部１１および導電性ゴム部１２から
構成されている。変換部１１には、プローブ側電極１１
ａおよび検査側電極１１ｃが形成されている。検査側電
極１１ｃ側には、導電性ゴム部１２が設けられている。
導電性ゴム部１２は、偏在形ＰＣＲ部１２ｒを備えてい
る。本実施形態においては、トランスレータボード１３
として、ＪＳＲ日本合成ゴム株式会社製「オフグリット
アダプターＪＰ２０００」を採用した。
を用いて説明する。トランスレータボードとは、ユニバ
ーサルタイプ治具のプローブ間ピッチよりもピッチの細
かい検査基板の検査に用いられるものであり、被検査対
象基板のパターンに合せて製作される。トランスレータ
ボード１３は、変換部１１および導電性ゴム部１２から
構成されている。変換部１１には、プローブ側電極１１
ａおよび検査側電極１１ｃが形成されている。検査側電
極１１ｃ側には、導電性ゴム部１２が設けられている。
導電性ゴム部１２は、偏在形ＰＣＲ部１２ｒを備えてい
る。本実施形態においては、トランスレータボード１３
として、ＪＳＲ日本合成ゴム株式会社製「オフグリット
アダプターＪＰ２０００」を採用した。
【００３２】下治具３には従来と同様検査対象基板１９
が載置されている。
が載置されている。
【００３３】このように、板８と板９の間にピン引上げ
器１５が介在されているため、先端７ｂとトランスレー
タボード１３の計測ポイントを非検査時に非接触状態と
することができる。これにより、トランスレータボード
１３にテストピン７の自重がかかることがない。したが
って、トランスレータボード１３が曲ったり、または破
損したりすることを防ぐことができる。
器１５が介在されているため、先端７ｂとトランスレー
タボード１３の計測ポイントを非検査時に非接触状態と
することができる。これにより、トランスレータボード
１３にテストピン７の自重がかかることがない。したが
って、トランスレータボード１３が曲ったり、または破
損したりすることを防ぐことができる。
【００３４】貫通孔８ａおよび貫通穴９ａは、テストピ
ン７の直径よりもやや大きく形成されている。そして、
ピッチ変換については、トランスレータボード１３で行
なうので、テストピン７については、ほぼ鉛直方向に保
持される。したがって、プレス時にテストピンの先端と
トランスレータボード１３の接触位置がずれるという問
題を回避することができる。
ン７の直径よりもやや大きく形成されている。そして、
ピッチ変換については、トランスレータボード１３で行
なうので、テストピン７については、ほぼ鉛直方向に保
持される。したがって、プレス時にテストピンの先端と
トランスレータボード１３の接触位置がずれるという問
題を回避することができる。
【００３５】上記実施形態においては、ピン引上げ器１
５によって板９に対し板８を矢印α方向に引き上げるよ
うにしたが、図３に示すように、板９に対してトランス
レータボード１３を、トランスレータ引下げ器２５によ
って、矢印α方向とは逆方向に付勢するようにしてもよ
い。トランスレータ引下げ器２５においては、本体部２
５ａの内部にはバネ（図示せず）が内蔵されており、ト
ランスレータボード１３を板９から離す方向に付勢す
る。
５によって板９に対し板８を矢印α方向に引き上げるよ
うにしたが、図３に示すように、板９に対してトランス
レータボード１３を、トランスレータ引下げ器２５によ
って、矢印α方向とは逆方向に付勢するようにしてもよ
い。トランスレータ引下げ器２５においては、本体部２
５ａの内部にはバネ（図示せず）が内蔵されており、ト
ランスレータボード１３を板９から離す方向に付勢す
る。
【００３６】次に、別の実施形態について説明する。図
４は、トランスレータボード１３の位置を検査対象基板
１９に対して微調整できるようにした実施形態である。
４は、トランスレータボード１３の位置を検査対象基板
１９に対して微調整できるようにした実施形態である。
【００３７】この実施形態では、図１における板９が、
３枚の板３０、３１、３２にて構成されている。
３枚の板３０、３１、３２にて構成されている。
【００３８】板８には、図１の実施形態と同様に、テス
トピン７と嵌合する貫通孔８ａが設けられている。板３
０には、板８と同様、テストピン７と嵌合する貫通孔３
０ａが設けられている。本実施形態においては、テスト
ピン７の直径０．４ｍｍに対して、貫通孔８ａ、貫通孔
３３ａについては０．５ｍｍとした。
トピン７と嵌合する貫通孔８ａが設けられている。板３
０には、板８と同様、テストピン７と嵌合する貫通孔３
０ａが設けられている。本実施形態においては、テスト
ピン７の直径０．４ｍｍに対して、貫通孔８ａ、貫通孔
３３ａについては０．５ｍｍとした。
【００３９】板３１および板３２には、それぞれテスト
ピン７の直径よりも大きな貫通孔３１ａおよび貫通孔３
２ａが設けられている。本実施形態においてはテストピ
ン７の直径０．４ｍｍに対して、貫通孔３１ａおよび貫
通孔３２ａについては直径０．８ｍｍとした。
ピン７の直径よりも大きな貫通孔３１ａおよび貫通孔３
２ａが設けられている。本実施形態においてはテストピ
ン７の直径０．４ｍｍに対して、貫通孔３１ａおよび貫
通孔３２ａについては直径０．８ｍｍとした。
【００４０】板８と板３０の間には、図１と同様、板３
０に対して板８を矢印α方向に付勢するピン引上げ器１
５が設けられている。板３０には、貫通穴３０ｂが設け
られている。また、板３１、３２については、それぞ
れ、貫通孔３１ｂ、３２ｂが設けられている。板３２に
は、落下防止ねじ１６の座１６ａよりも径大のざぐりが
設けられている。貫通孔３１ｂ、３２ｂには、落下防止
ねじ１６が挿入され、落下防止ねじ１６の雄ねじは、板
３０の貫通穴３０ｂを貫通して、ピン引上げ器１５にね
じ止めされる。したがって、板３１、３２が、板３０に
対して保持される。
０に対して板８を矢印α方向に付勢するピン引上げ器１
５が設けられている。板３０には、貫通穴３０ｂが設け
られている。また、板３１、３２については、それぞ
れ、貫通孔３１ｂ、３２ｂが設けられている。板３２に
は、落下防止ねじ１６の座１６ａよりも径大のざぐりが
設けられている。貫通孔３１ｂ、３２ｂには、落下防止
ねじ１６が挿入され、落下防止ねじ１６の雄ねじは、板
３０の貫通穴３０ｂを貫通して、ピン引上げ器１５にね
じ止めされる。したがって、板３１、３２が、板３０に
対して保持される。
【００４１】ここで、落下防止ねじ１６に対して貫通孔
３１ｂ、３２ｂは、各々バカ穴であり、板３１、３２
は、板３０に対して、隙間ｔ１を保持したまま、吊り下
げ保持される。したがって、この様な状況下では、板３
１、３２は、板３０に対して可動可能となる。なお、板
３０はピン引上げ器１５により、板８に対して矢印β方
向に可動不能である。
３１ｂ、３２ｂは、各々バカ穴であり、板３１、３２
は、板３０に対して、隙間ｔ１を保持したまま、吊り下
げ保持される。したがって、この様な状況下では、板３
１、３２は、板３０に対して可動可能となる。なお、板
３０はピン引上げ器１５により、板８に対して矢印β方
向に可動不能である。
【００４２】トランスレータボード１３と板３２とは、
位置決めピン３５で位置決め保持されている。
位置決めピン３５で位置決め保持されている。
【００４３】板３２は、駆動部（図示せず）に連結され
ており、矢印β方向またはその逆方向に、板３２を移動
させることができる。本実施形態においては、既に述べ
たように、テストピン７の直径０．４ｍｍとし、貫通孔
３１ａおよび貫通孔３２ａを直径０．８ｍｍとしたの
で、左右に０．２ｍｍずつ移動可能に構成されている。
ており、矢印β方向またはその逆方向に、板３２を移動
させることができる。本実施形態においては、既に述べ
たように、テストピン７の直径０．４ｍｍとし、貫通孔
３１ａおよび貫通孔３２ａを直径０．８ｍｍとしたの
で、左右に０．２ｍｍずつ移動可能に構成されている。
【００４４】駆動部（図示せず）により、板３２を矢印
β方向またはその逆方向に動かすと、トランスレータボ
ード１３が板３２と連動して移動する。この場合、貫通
孔３１ａおよび貫通孔３２ａの径の方が大きいので、テ
ストピン７は鉛直状態で保持される。したがって、上側
治具全体を移動させることなく、検査対象基板１９に対
してトランスレータボード１３の位置決めを容易に行な
うことができる。
β方向またはその逆方向に動かすと、トランスレータボ
ード１３が板３２と連動して移動する。この場合、貫通
孔３１ａおよび貫通孔３２ａの径の方が大きいので、テ
ストピン７は鉛直状態で保持される。したがって、上側
治具全体を移動させることなく、検査対象基板１９に対
してトランスレータボード１３の位置決めを容易に行な
うことができる。
【００４５】さらに、この実施形態においても、テスト
ピン７の先端とトランスレータボード１３のパターンが
非接触状態で保持されるので、トランスレータボード１
３が水平方向に移動してもパターンを傷つけることがな
い。このように、図５の変換用下板４９の代わりに、図
１に示すように貫通孔８ａと同じ位置に貫通穴９ａを設
け、テストピン７を鉛直状態で保持させ、さらにピッチ
変換についてはトランスレータボード１３で行なうこと
により、従来のユニバーサル型プリント基板検査装置５
１についてトランスレータボード１３を用いた検査、ト
ランスレータボード１３を用いないテストピン７のみに
よる検査、何れも行なうことができる。
ピン７の先端とトランスレータボード１３のパターンが
非接触状態で保持されるので、トランスレータボード１
３が水平方向に移動してもパターンを傷つけることがな
い。このように、図５の変換用下板４９の代わりに、図
１に示すように貫通孔８ａと同じ位置に貫通穴９ａを設
け、テストピン７を鉛直状態で保持させ、さらにピッチ
変換についてはトランスレータボード１３で行なうこと
により、従来のユニバーサル型プリント基板検査装置５
１についてトランスレータボード１３を用いた検査、ト
ランスレータボード１３を用いないテストピン７のみに
よる検査、何れも行なうことができる。
【００４６】特に、本実施形態においては、貫通孔８
ａ、３０ａがテストピン７と嵌合状態となっているの
で、テストピン７が鉛直状態で保持される。このため、
プレスした時に位置がずれるという問題を確実に回避す
ることができる。
ａ、３０ａがテストピン７と嵌合状態となっているの
で、テストピン７が鉛直状態で保持される。このため、
プレスした時に位置がずれるという問題を確実に回避す
ることができる。
【００４７】なお、本実施形態においてはテストピン７
を鉛直状態で保持するようにしたが、従来のようにテス
トピン７を斜めに用いると共に、トランスレータボード
１３で再度ピッチ変換を行なうようにしてもよい。
を鉛直状態で保持するようにしたが、従来のようにテス
トピン７を斜めに用いると共に、トランスレータボード
１３で再度ピッチ変換を行なうようにしてもよい。
【００４８】また、本実施形態においては、テストピン
７を取外していないので、プローブ先端の形状（凹形
状）を変更することなく、従来のプリント基板検査装置
でそのまま、トランスレーターボードを用いた検査をす
ることができる。
７を取外していないので、プローブ先端の形状（凹形
状）を変更することなく、従来のプリント基板検査装置
でそのまま、トランスレーターボードを用いた検査をす
ることができる。
【００４９】なお、上記実施形態においては、板３２に
駆動装置を連結して、板３１、３２を水平方向（Ｘ，
Ｙ，θ方向）に微移動可能とすることにより、トランス
レーターボード１３の位置合せを可能としたが、板８に
駆動装置を連結して、板８、板３０、３１、３２ととも
に微移動可能としてもよい。この場合には、少なくとも
貫通穴８ａを、バカ穴としておけば、プローブ５との位
置ずれを吸収することができる。この場合、他の貫通穴
３０ａ，３１ａ，３２ａについては、バカ穴でも嵌合穴
でもどちらでもよい。
駆動装置を連結して、板３１、３２を水平方向（Ｘ，
Ｙ，θ方向）に微移動可能とすることにより、トランス
レーターボード１３の位置合せを可能としたが、板８に
駆動装置を連結して、板８、板３０、３１、３２ととも
に微移動可能としてもよい。この場合には、少なくとも
貫通穴８ａを、バカ穴としておけば、プローブ５との位
置ずれを吸収することができる。この場合、他の貫通穴
３０ａ，３１ａ，３２ａについては、バカ穴でも嵌合穴
でもどちらでもよい。
【図１】プリント基板検査装置１と要部断面図を示す図
である。
である。
【図２】トランスレータボードの要部断面図である。
【図３】トランスレータ引下げ器２５を用いた実施形態
を示す要部断面図である。
を示す要部断面図である。
【図４】位置決め調整機構を設けた実施形態を示す要部
断面図である。
断面図である。
【図５】従来のユニバーサル型プリント基板検査装置５
１の要部断面図である。
１の要部断面図である。
１ プリント基板検査装置 ２ 上治具 ３ 下治具 ７ テストピン ８ 板 ８ａ 貫通孔 ９ 板 ９ａ 貫通孔 １３ トランスレータボード １５ ピン引上げ器 １９ 検査対象基板 ２５ トランスレータ引下げ器 ３０ 板 ３１ 板 ３２ 板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 31/02
Claims (5)
- 【請求項１】Ａ）以下のa1)〜a3)を有し、被検査基板の
第１の面の導通状態を検査する為の上側治具、 a1)計測用プローブの設置位置と同様の位置に貫通孔が
設けられた前記計測用プローブ側の上板、 a2)前記被検査基板の計測点に一致した貫通孔を有する
前記被検査基板側の位置変換用下板、 a3)一端が前記計測用プローブと接触可能に前記上板に
抜け止め保持され、他端が被検査基板の計測点と接触可
能に前記位置変換用下板の前記貫通孔に挿入される変換
ピン、 Ｂ） 前記位置変換用下板を、前記計測用プローブの設置
位置と同様の位置に貫通孔を有する非位置変換用下板に
交換可能とするとともに、この非位置変換用下板の前記
被検査基板側に、前記計測用プローブの設置位置が前記
被検査基板の計測点に一致するように変換するように設
けられた位置変換部材、 Ｃ)非検査時に前記位置変換部材に対して前記変換ピン
を非接触保持する非接触保持部材、 を備えた ことを特徴とするプリント基板検査装置。 - 【請求項２】請求項１のプリント基板検査装置におい
て、 前記非接触保持部材は、前記上板を前記非位置変換用下
板から離れる方向に付勢することにより、前記非接触保
持すること、 を特徴とするプリント基板検査装置。 - 【請求項３】請求項１のプリント基板検査装置におい
て、 前記非接触保持部材は、前記位置変換部材を前記非位置
変換用下板から離れる方向に付勢することにより、前記
非接触保持すること、 を特徴とするプリント基板検査装置。 - 【請求項４】 請求項１〜請求項３のいずれかのプリント
基板検査装置において、 前記上板の前記貫通孔は前記変換ピンと嵌合する径であ
り、前記非位置変換用下板の前記貫通孔は前記変換ピン
よりも大きな径を有し、これにより、前記非位置変換用
下板は水平方向に微移動可能に構成されていること、 を特徴とするプリント基板検査装置。 - 【請求項５】格子状に設けられた計測用プローブと前記
計測用プローブの設置位置を被検査基板の検査位置に一
致するように変換する変換ピンとを有する上側治具を備
えたユニバーサル型プリント基板検査装置の使用方法に
おいて、 前記変換ピンを、前記計測用プローブの設置位置から鉛
直に設けるとともに、前記変換ピンの一端が前記被検査
基板の計測点に一致するように変換する位置変換部材
を、非検査状態では前記変換ピンと非接触状態となるよ
う取付け、 前記変換ピンの自重が前記位置変換部材にかからないよ
うにするために、非検査時に前記位置変換部材に対して
前記変換ピンを非接触保持すること、 を特徴とするユニバーサル型プリント基板検査装置の使
用方法 。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08325637A JP3099873B2 (ja) | 1996-12-05 | 1996-12-05 | プリント基板検査装置およびユニバーサル型プリント基板検査装置の使用方法 |
| US08/985,848 US6049214A (en) | 1996-05-12 | 1997-12-05 | Universal printed circuit board inspection apparatus, and method of using same |
| EP97121442A EP0846953B1 (en) | 1996-12-05 | 1997-12-05 | Printed circuit board inspecting apparatus |
| DE69707624T DE69707624T2 (de) | 1996-12-05 | 1997-12-05 | Apparat zur Inspektion von Leiterplatten |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08325637A JP3099873B2 (ja) | 1996-12-05 | 1996-12-05 | プリント基板検査装置およびユニバーサル型プリント基板検査装置の使用方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10170580A JPH10170580A (ja) | 1998-06-26 |
| JP3099873B2 true JP3099873B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=18179070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08325637A Expired - Fee Related JP3099873B2 (ja) | 1996-05-12 | 1996-12-05 | プリント基板検査装置およびユニバーサル型プリント基板検査装置の使用方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6049214A (ja) |
| EP (1) | EP0846953B1 (ja) |
| JP (1) | JP3099873B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| US20020053734A1 (en) | 1993-11-16 | 2002-05-09 | Formfactor, Inc. | Probe card assembly and kit, and methods of making same |
| US6483328B1 (en) | 1995-11-09 | 2002-11-19 | Formfactor, Inc. | Probe card for probing wafers with raised contact elements |
| US6447339B1 (en) * | 2001-12-12 | 2002-09-10 | Tektronix, Inc. | Adapter for a multi-channel signal probe |
| US6876211B2 (en) * | 2002-03-13 | 2005-04-05 | Seagate Technology Llc | Printed circuit board test fixture that supports a PCB to be tested |
| CN100592432C (zh) * | 2006-11-16 | 2010-02-24 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 主板固定装置 |
| WO2008085463A1 (en) * | 2006-12-29 | 2008-07-17 | In Test Corporation | Test head positioning system and method |
| TWI490513B (zh) * | 2006-12-29 | 2015-07-01 | Intest Corp | 用於使負載沿平移軸線平移之負載定位系統以及使負載達到平衡之方法 |
| JP2013015508A (ja) * | 2011-06-06 | 2013-01-24 | Ricoh Co Ltd | 基板検査用治具及び基板検査方法 |
| US11050208B2 (en) * | 2018-10-31 | 2021-06-29 | International Business Machines Corporation | Pre-screening, compliant pin guiding and quality monitoring press-fit apparatus |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3654585A (en) * | 1970-03-11 | 1972-04-04 | Brooks Research And Mfg Inc | Coordinate conversion for the testing of printed circuit boards |
| US4551675A (en) * | 1983-12-19 | 1985-11-05 | Ncr Corporation | Apparatus for testing printed circuit boards |
| US4724383A (en) * | 1985-05-03 | 1988-02-09 | Testsystems, Inc. | PC board test fixture |
| FR2634025B1 (fr) * | 1988-07-08 | 1990-11-09 | Thomson Csf | Adaptateur de brochage pour le test de circuits imprimes de haute densite |
| DE4237591A1 (de) * | 1992-11-06 | 1994-05-11 | Mania Gmbh | Leiterplatten-Prüfeinrichtung mit Folienadapter |
| US5399982A (en) * | 1989-11-13 | 1995-03-21 | Mania Gmbh & Co. | Printed circuit board testing device with foil adapter |
| KR100288344B1 (ko) * | 1991-09-17 | 2001-11-30 | 마쯔모또 에이찌 | 프린트배선판용검사전극유니트와그것을포함하는검사장치및프린트배선판용의검사방법 |
| DE19507127A1 (de) * | 1995-03-01 | 1996-09-12 | Test Plus Electronic Gmbh | Adaptersystem für Baugruppen-Platinen, zu verwenden in einer Prüfeinrichtung |
| US5883520A (en) * | 1996-06-14 | 1999-03-16 | Star Technology Group, Inc. | Retention of test probes in translator fixtures |
| US5828226A (en) * | 1996-11-06 | 1998-10-27 | Cerprobe Corporation | Probe card assembly for high density integrated circuits |
-
1996
- 1996-12-05 JP JP08325637A patent/JP3099873B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-12-05 US US08/985,848 patent/US6049214A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-05 DE DE69707624T patent/DE69707624T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-05 EP EP97121442A patent/EP0846953B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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| EP0846953A2 (en) | 1998-06-10 |
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