JP4916712B2 - 表示パネル検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、表示パネルの電気的検査に用いられる表示パネル検査装置に関する。

液晶表示パネルのような表示パネルのための電気検査装置の一つに、被検査検体である表示パネルの外縁を受ける矩形枠体を備えるものがある（特許文献１）。この矩形枠体上で保持された表示パネルの電極に多数のプローブが接続されることにより、例えば液晶表示パネルの駆動回路に電力が供給される。また、液晶表示パネルの点灯検査では、矩形枠体の開口部を経て表示パネルの背面からバックライト光が照射される。このバックライト光を利用して矩形枠体上の液晶表示パネルは、そのセルに欠陥があるか否かの検査を受ける。

検査を受ける表示パネルには種々の大きさのものがあり、これらに適用できるように、矩形枠体を１つの固定辺部材と、３つの可動辺部材で構成し、また該可動辺部材を駆動する駆動装置を設けた検査装置がある（特許文献２）。固定辺部材を除く３つの可動辺部材のそれぞれは、その長手方向および該長手方向と直角な幅方向へ移動可能である。また、相互に隣接する両辺部材のうちの一方の各辺部材の一端部は、他方の辺部材の側部に当接するように井桁状に組み合わせられている。これにより、固定辺部材との関係を除いて、各可動辺部材は、その前記一端部が当接する隣接する各辺部材に関して、この隣接する辺部材の幅方向へこれと一体的に移動可能である。また固定辺部材を除く各可動辺部材は、固定辺部材を含むそれぞれの隣接する辺部材に関して該辺部材の長手方向へ相対的に移動自在に連結されている。矩形枠体を構成する少なくとも２つの可動辺部材をその幅方向へ移動させることにより、矩形枠体の大きさ、すなわち該矩形枠体で規定される開口部の大きさが可変となる。

前記可動辺部材を駆動する各駆動機構は、該駆動機構が設けられる前記可動辺部材から該可動辺部材の幅方向外方へ伸びる雄ねじ部材と、該雄ねじ部材をその軸線の周りに駆動回転する電動モータと、前記雄ねじ部材に螺合し前記可動辺部材に固定された雌ねじ部材とを備える。前記雄ねじ部材が前記電動モータによって駆動回転されると、前記雄ねじ部材の回転運動が前記雌ねじによって該雄ねじ部材が設けられた前記可動辺部材の幅方向への運動に変換される。この運動変換により、固定辺部材を除く各可動辺部材がその長手方向または幅方向へ移動され、これにより矩形枠体の前記開口部の大きさが検査を受ける表示パネルの大きさに応じて変えられる。

特開２００２−３５０４８５号公報 特許３４８０９２５号公報

しかしながら、前記各駆動機構は、可動辺部材に設けられる雄ねじ部材が対応する可動辺部材の幅方向に沿って配置されることから、この雄ねじ部材および該雄ねじ部材を駆動する電動モータが枠体の外方へ大きく張り出し、そのために、表示パネル検査装置の全体的な平面寸法が拡大する。

そこで、本発明の目的は、平面寸法の拡大を抑制し、従来に比較してコンパクトな表示パネル検査装置を提供することにある。

本発明は、矩形の表示パネルの電極が検査用プローブに接触可能となるように前記表示パネルの縁部を受ける矩形枠体と、該矩形枠体を駆動する駆動手段とを含む表示パネル検査装置であって、前記矩形枠体は、互いに平行に配置される一対の縦辺部材および一対の横辺部材を有し、前記各辺部材は、少なくともその長手方向と直角な幅方向へ移動可能であり、前記駆動手段は、前記各辺部材に対応してそれぞれの長手方向に沿って設けられ、対応する前記各辺部材の長手方向への駆動力を出力する駆動装置と、該各駆動装置と対応する前記各辺部材との間に設けられ前記各駆動装置からの駆動力を対応する前記各辺部材の長手方向と直角な幅方向への駆動力に変換する運動変換機構とを含む。

本発明に係る前記表示パネル検査装置では、前記各辺部材に対応して設けられる駆動装置は、対応した前記各辺部材の長手方向に沿って配置され、該辺部材の長手方向に沿って出力された前記駆動装置の駆動力はそれらの運動変換機構によって対応する前記各辺部材に該辺部材の幅方向への作用力に変換される。したがって、前記駆動装置が矩形枠体を構成する前記辺部材の幅方向へ従来ほどに大きく張り出すことは無く、この駆動装置の作動によって対応する前記各辺部材をそれらの幅方向へ移動させることができるので、被検査体である表示パネルの大きさに応じて、前記矩形枠体により規定される矩形開口部の大きさを可変とすることができる。

また、前記したような矩形枠体は、４つの辺部材のすべてが可動部材で構成されることから、前記矩形開口部の大きさの変更時、４つの可動部材で構成される枠体の開口部の中心位置を該枠体開口部の大きさの如何に拘わらず、一定位置に保持することができる。このことから、例えばバックライト光を用いた検査でバックライト光の中心位置と矩形枠体開口部の中心位置とのずれを防止することができるので、両中心位置のずれによる矩形枠体開口部の領域内での光量のむらを防止できる。

前記矩形枠体を次のように構成することができる。すなわち、一方の縦辺部材は、その長手方向に沿って移動するとき、該縦辺部材に一端部を連結された一方の前記横辺部材を移動させることなく移動可能でありかつ前記一方の縦辺部材の一端部が連結された他方の前記横辺部材は前記一方の縦辺部材と一体的に移動可能である。前記一方の横辺部材は、その長手方向へ移動するとき、該横辺部材に一端部を連結された他方の前記縦辺部材を移動させることなく移動可能でありかつ前記一方の横辺部材の前記一端部が連結された前記一方の縦辺部材は前記一方の横辺部材と一体的に移動可能である。前記他方の縦辺部材は、その長手方向に沿って移動するとき、該縦辺部材に一端部を連結された前記他方の横辺部材を移動させることなく移動可能でありかつ前記他方の縦辺部材の前記一端部が連結された前記一方の横辺部材は前記他方の縦辺部材と一体的に移動可能である。前記他方の横辺部材は、その長手方向へ移動するとき、該横辺部材に前記一端部を連結された前記一方の縦辺部材を移動させることなく移動可能でありかつ前記他方の横辺部材の前記一端部が連結された前記他方の縦辺部材は前記他方の横辺部材と一体的に移動可能である。

これらの連結構成を採用することにより、隣り合う両辺部材の一方をその幅方向へ駆動するとき、該一方の辺部材を移動させかつその他方の辺部材をこれに連動させることができる。これにより、前記駆動装置相互間の高精密での駆動制御を行うことなく、前記各辺部材でそれらの間に間隙を生じることなく、適正な大きさの矩形枠体を構成することができる。

この場合、前記駆動手段は、さらに、前記運動変換機構と該運動変換機構に対応する前記各辺部材との間に両者を解除可能に固定する固定機構を設けることができる。相互に隣接する一組の前記辺部材のうち、一方の前記辺部材に関連して設けられた前記固定機構が前記両者を固定する作動状態にあり、他方の前記辺部材に関連して設けられた前記固定機構が作動解除の状態にある場合、前記一方の辺部材の前記駆動装置が作動されると、該一方の前記辺部材はこれに関連する前記固定機構を介して該辺部材の幅方向へ駆動される。このとき、前記他方の前記辺部材はこれに関連して設けられた駆動装置との連動が解除されていることから、前記一方の辺部材の幅方向への移動に伴って、前記他方の辺部材はその長手方向への前記一方の辺部材による連行を許される。

したがって、各駆動装置によって対応する前記辺部材のそれぞれの幅方向へ移動させることにより、相互に隣り合う前記各辺部材を適宜その長手方向へ連動させることができるので、前記各辺部材により規定される矩形開口部の形状に歪みを与えることなく、この矩形枠の開口部の大きさを適正に変更することができる。

前記各駆動装置には、その構成要素として、対応する前記各辺部材に沿って配置された雄ねじ部材と、該雄ねじ部材をその軸線の周りに可逆的に駆動回転する駆動源と、前記雄ねじ部材に螺合し該雄ねじ部材の軸線の周りの回転を阻止された雌ねじ部材とを設けることができる。

また、前記運動変換機構には、その構成要素として、前記雄ねじ部材に螺合し対応する前記辺部材の長手方向に対して傾斜する傾斜面を有する第１の運動変換部材と、対応する前記辺部材に該辺部材の長手方向へ移動可能に支持され、前記第１の運動変換部材の前記傾斜面に対応して該傾斜面に摺動可能に結合された傾斜面を有する第２の運動変換部材とを設けることができる。

液晶表示装置を前記表示パネルとして前記枠体上に配置することができる。この場合、液晶表示パネルは、その検査のために、その背面からバックライト光の照射を受ける。このバックライト光を用いた検査では、前記第１および第２の運動変換部材には、前記枠体の外方へ漏れ出る照射光に対する遮光部材としての機能を付与するができる。この運動変換部材の遮光機能により、検査の妨げとなる前記枠体の外方からのバックライト光の漏れを抑制することができる。

前記固定機構は、前記第２の運動変換部材を該運動変換部材に対応する前記辺部材に解除可能に位置決めするための制動装置で構成することができる。

この制動装置には、前記第２の運動変換部材に保持され、該運動変換部材に対応する前記辺部材に係合可能のシュー部材と、該シュー部材を前記辺部材に解除可能に押圧するピストンシリンダ装置とを設けることができる。前記ピストンシリンダ装置はその突出位置で前記シュー部材を介して前記第２の運動変換部材と、対応する前記辺部材との相対的な移動を阻止し、その収縮動作位置で前記前記第２の運動変換部材と対応する前記辺部材との間の相対的な移動を許す。

前記ピストンシリンダ装置は、対応する前記辺部材の長手方向に平行に配置される。前記ピストンシリンダ装置のシリンダから突出するピストンロッドの突出部には、対応する前記辺部材に対向して該辺部材の長手方向に関して角度的に形成された傾斜面が形成され、該傾斜面と対応する前記辺部材との間で前記シュー部材が対応する前記辺部材に当接可能に前記ピストンロッドの前記突出部に保持される。

前記矩形枠体のそれぞれの前記辺部材は、矩形開口を有する矩形ベース部材上で、該ベース部材の対応する矩形開口辺のそれぞれに沿って移動可能にかつ対応する矩形開口辺に近づく方向および遠ざかる方向へ移動可能に支持することができる。これにより前記矩形枠体の矩形開口部は、前記ベース部材の矩形開口領域内で大きさが可変となり、この矩形開口領域範囲内で大きさの異なる表示パネルに対応可能となる。

本発明によれば、前記したように、前記駆動装置が矩形枠体を構成する前記辺部材の幅方向へ従来ほどに大きく張り出すことは無く、この駆動装置の作動によって、対応する前記各辺部材をそれらの幅方向へ移動させることができ、これにより表示パネルの大きさに応じて前記枠体の大きさを可変とするができるので、従来に比較して平面寸法がコンパクトな表示パネル検査装置を提供することができる。

本発明に係る検査装置１０は、図１および図２に示されているように、液晶表示パネル１２のような表示パネルの例えば点灯検査のような電気試験に用いられる。液晶表示パネル１２は、矩形の形状を有し、一方の面の各辺に沿って配置された多数の電極１４の群（図２参照）が相互に間隔を置いて形成されている。これらの電極１４は、液晶表示パネル１２の図示しない液晶駆動回路に接続されている。

検査装置１０は、図１の線II-IIに沿って得られた図２に示されているように、ステージ１６上にこれから間隔をおいて配置される平板状の矩形ベース部材から成るワークテーブル１８と、該ワークテーブル上に組み立てられ、液晶表示パネル１２を受けるパネル受けを構成する矩形枠体２０と、該枠体の上方に配置されたプローブステージ２２とを備える。

プローブステージ２２には、図面の簡素化のために図示されていないフレーム部材を介して矩形枠体２０上に保持されたプローブベース２４が設けられており、該プローブベースには、多数のプローブユニット２６が支持されている。また、図示の例では、プローブベース２４上には、プローブユニット２６の各プローブとこれに対応する液晶表示パネル１２の前記電極１４との位置合わせを正確に行うためのアライメントカメラ２８が支持されている。プローブユニット２６は、従来よく知られているように、それぞれに設けられた各プローブが液晶表示パネル１２の電極１４に当接するように、各プローブを一体的に昇降させる。

ワークテーブル１８は、図２に示すように、矩形開口１８ａを規定し、ステージ１６上の矩形開口１８ａに対応する領域には、矩形枠体２０上に配置される液晶表示パネル１２の点灯試験のための多数の蛍光管３０ａを有するバックライト装置３０が配置されている。

液晶表示パネル１２は、その電極１４を上方へ向けた姿勢で背面からバックライト装置３０からの光の照射を受けるように、矩形枠体２０の内縁上に縁部を乗せて保持される。この保持状態で電極１４に接続されるプローブユニット２６から検査のための電力が液晶表示パネル１２に供給される。ステージ１６は、従来よく知られているように、ステージ面上のＸ軸、Ｙ軸およびこれらに垂直なＺ軸の各軸方向へ移動可能でありかつＺ軸の周りに角度θで回転可能である。

ワークテーブル１８上には、矩形枠体２０の構造を示す図３および図４に示されているように、Ｙ軸方向へ伸びる軌道部材である一対のレール３２（３２ａ、３２ｂ）が、ワークテーブル１８の矩形開口１８ａの一対の縦辺に沿って設けられている。また、ワークテーブル１８上には、Ｘ軸方向へ伸びる軌道部材である一対のレール３４（３４ａ、３４ｂ）が、ワークテーブル１８の矩形開口１８ａの一対の横辺に沿って設けられている。各レール３２、３４は、逆台形の横断面形状を有し、ワークテーブル１８上で同一高さ寸法を有することから、同一面上に矩形枠体２０のための案内面を規定する。

矩形枠体２０は、ワークテーブル１８に設けられたレール３２（３２ａ、３２ｂ）、３４（３４ａ、３４ｂ）よりも上方に位置する同一平面上で、一対のレール３２に平行に配置された一対の細長い縦辺部材３６（３６ａ、３６ｂ）およびこれと同様に一対のレール３４に平行に配置された一対の細長い横辺部材３８（３８ａ、３８ｂ）を備える。

各辺部材３６、３８は、ワークテーブル１８の矩形開口１８ａ（図３参照）の各辺に沿って井桁状に配置されており、それぞれの一方の端部は、該端部に隣接する各辺部材３６、３８に連結されている。また、各辺部材３６、３８の他端部は、該端部に隣接する各辺部材３６、３８と、対応するレール３２、３４とを越えて該レールよりも外方へ突出する。

すなわち、一対の縦辺部材３６ａ、３６ｂのうち、図４で見て右方に位置する一方の縦辺部材３６ａの前記他端部は、該他端部に隣接する一方の横辺部材３８ａの前記一方の端部を横切りかつ対応するレール３４ａを横切って該レールの外方へ伸長する。この一方の縦辺部材３６ａの前記他端部の下面には、案内部４０ａが形成されている。案内部４０ａは、縦辺部材３６ａの長手方向に沿って伸長し、台形の横断面形状を有する。案内部４０ａは、レール３４ａ上をこれに直交する。相互に直交する案内部４０ａおよびレール３４ａとの間には、図３に明確に示されているように、それぞれに蟻溝嵌合する十字状の摺動結合子４２aが設けられており、案内部４０ａおよびレール３４ａは、摺動結合子４２aを介して相互に直角へ移動可能に結合されている。これにより、縦辺部材３６ａは、その幅方向であるＸ軸方向およびその長手方向であるＹ軸方向への移動が許されている。

また、他方の縦辺部材３６ｂの前記他端部は、図４に示すように、該他端部に隣接する他方の横辺部材３８ｂの前記一方の端部を横切りかつ対応するレール３４ｂを横切って該レールの外方へ伸長する。この他方の縦辺部材３６ｂの前記他端部の下面にも、縦辺部材３６ｂにおけると同様な案内部４０ｂが設けられている。案内部４０ｂおよびレール３４ｂは、これらに蟻溝嵌合する摺動結合子４２ｂを介して、相互に直角方向へ移動可能に結合されていることから、縦辺部材３６ｂは、Ｘ軸方向およびＹ軸方向への移動が許されている。

さらに、一方の横辺部材３８aおよび他方の横辺部材３８ｂの前記各他端部は、該他端部に隣接するそれぞれの縦辺部材３６ｂおよび３６ａの前記各一方の端部を横切りかつ対応するレール３２ｂおよび３２ａをそれぞれ横切って該レールの外方へ伸長する。これらの横辺部材３８ａ、３８ｂの前記各他端部の下面にも、縦辺部材３６ａ、３６ｂの案内部４０ａ、４０ｂと同様な案内部４４ａ、４４ｂが設けられている。各案内部４４ａ、４４ｂおよびこれに交差する各レール３２ｂ、３２ａは、これらに蟻溝嵌合する各摺動結合子４６ａ、４６ｂを介して、相互に直角方向へ移動可能に結合されている。したがって、両横辺部材３８ａ、３８ｂも、それらの幅方向であるＹ軸方向およびそれらの長手方向であるＸ軸方向への移動が許されている。

一方の横辺部材３８ａの前記一方の端部には、図３に示されているように、該一方の端部に隣接する一方の縦辺部材３６ａの下方に伸びる段部４８ａが形成されており、該段部には、縦辺部材３６ａの案内部４０ａに蟻溝嵌合する線形の嵌合部５０ａが固定されている。この嵌合部５０ａにより、一方の横辺部材３８ａは、該横辺部材の長手方向へのこれに対する一方の縦辺部材３６ａの相対移動を阻止するように、縦辺部材３６ａに連結されている。また、この一方の横辺部材３８ａは、嵌合部５０ａと、レール３２ｂに嵌合する摺動結合子４６ａとの案内作用により、一方の縦辺部材３６ａの長手方向への該縦辺部材に対する相対移動が可能である。

他方の横辺部材３８ｂの前記一方の端部には、前記したと同様な段部４８ｂが形成されており、横辺部材３８ｂの前記一方の端部は、段部４８ｂに固定された線形の嵌合部５０ｂ（図４参照）を介して、他方の縦辺部材３６ｂに、連結されている。したがって、他方の横辺部材３８ｂは、該横辺部材の長手方向へのこれに対する他方の縦辺部材３６ｂの相対移動を阻止するように、該横辺部材に連結されている。また、この他方の横辺部材３８ｂは、嵌合部５０ｂと、レール３２ａに嵌合する摺動結合子４６ｂとの案内作用により、他方の縦辺部材３６ｂの長手方向への該縦辺部材に対する相対移動が可能である。

また、一方の縦辺部材３６ａおよび他方の縦辺部材３６ｂの前記各一方の端部は、図４に示すように、横辺部材３８ａ、３８ｂにおけると同様な段部５２ａ、５２ｂにそれぞれ設けられた線形の嵌合部５４ａ、５４ｂを介して、横辺部材３８ｂ、３８ａに連結されている。これにより、両縦辺部材３６ａ、３６ｂは、該縦辺部材の長手方向への該縦辺部材に対する横辺部材３８ｂ、３８ａの相対移動を阻止するように、対応する各横辺部材３８ｂ、３８ａに連結されており、また嵌合部５４ａ、５４ｂと、レール３４ａ、３４ｂにそれぞれ嵌合する摺動結合子４２ａ、４２ｂとの案内作用により、対応する横辺部材３８ｂ、３８ａの長手方向への該横辺部材に対する相対移動が可能である。

前記した結合関係により、互いに平行に配置された一対の縦辺部材３６ａ、３６ｂおよび一対の横辺部材３８ａ、３８ｂで構成させる矩形枠体２０は、図１に示すように、その内縁で矩形開口部２０ａを規定する。また、一方の縦辺部材３６ａは、その長手方向に沿って移動するとき、該縦辺部材に一方の端部を連結された一方の横辺部材３８ａを移動させることなく移動可能でありかつ一方の縦辺部材３６ａの一方の端部が連結された他方の横辺部材３８ｂは一方の縦辺部材３６ａと一体的に移動可能である。

また、一方の横辺部材３８ａは、その長手方向へ移動するとき、該横辺部材に一方の端部を連結された他方の縦辺部材３６ｂを移動させることなく移動可能でありかつ一方の横辺部材３８ａの一方の端部が連結された一方の縦辺部材３６ａは一方の横辺部材３８ａと一体的に移動可能である。

さらに、他方の縦辺部材３６ｂは、その長手方向に沿って移動するとき、該縦辺部材に一方の端部を連結された他方の横辺部材３８ｂを移動させることなく移動可能でありかつ他方の縦辺部材３６ｂの一方の端部が連結された一方の横辺部材３８ａは他方の縦辺部材３６ｂと一体的に移動可能である。

さらに、他方の横辺部材３８ｂは、その長手方向へ移動するとき、該横辺部材に一方の端部を連結された一方の縦辺部材３６ａを移動させることなく移動可能でありかつ他方の横辺部材３８ｂの一方の端部が連結された他方の縦辺部材３６ｂは他方の横辺部材３８ｂと一体的に移動可能である。

したがって、各辺部材３６（３６ａ、３６ｂ）、３８（３８ａ、３８ｂ）をそれらの幅方向へ移動させることにより、矩形枠体２０の矩形開口部２０ａの寸法を液晶表示パネル１２の大きさに応じて変化させることができる。

矩形枠体２０に、前記したような結合構造を採用することにより、個々の辺部材３６ａ、３６ｂ、３８ａ、３８ｂの独立した運動を防止することにより、隣り合う辺部材間に間隙が生じることを防止し、また隣り合う辺部材の直角関係を確実に維持した状態で各辺部材３６ａ、３６ｂ、３８ａ、３８ｂを移動させることができる。矩形枠体２０を構成する各辺部材３６ａ、３６ｂ、３８ａ、３８ｂの配置パターンとして、図示の配置パターンと図１の紙面に直角な面に関して面対称な関係にある配置パターンを採用することができる。

各辺部材３６（３６ａ、３６ｂ）、３８（３８ａ、３８ｂ）の内縁部には、図１に示すように、液晶表示パネル１２を受けるための平坦なパネル受け部５６が設けられている。また、矩形枠体すなわちパネル受け２０上の液晶表示パネル１２を正確に位置決めかつ確実に保持するために、パネル受け２０には、位置決めピン５８およびプッシャ６０が設けられている。位置決めピン５８は、一方の縦辺部材３６ａおよび一方の横辺部材３８ａに、液晶表示パネル１２の外縁に当接可能に設けられている。また、プッシャ６０は、他方の縦辺部材３６ｂおよび他方の横辺部材３８ｂに設けられ、対向する位置決めピン５８と共同して液晶表示パネル１２を解除可能に挟持する。

本発明に係る検査装置１０では、矩形枠体２０を駆動する手段６２は、各辺部材３６ａ、３６ｂ、３８ａ、３８ｂに対応して、それぞれに設けられている。各辺部材に設けられた駆動手段６２は、同一構成を有することから、一方の縦辺部材３６ａに対応して設けられた駆動手段６２に沿って以下に説明する。

駆動手段６２は、図１に示すように、対応する縦辺部材３６ａの長手方向に沿って設けられた駆動装置６４と、該駆動装置および対応する前記辺部材３６ａ間に設けられた運動変換機構６６とを備える。

駆動装置６４は、該駆動装置に対応する前記辺部材３６ａの長手方向に沿ってこれと平行に配置され、一対の軸受６８を介してワークテーブル１８上に回転可能に支持された雄ねじ部材７０と、該雄ねじ部材の一端に出力軸が固定された電動モータから成る駆動源７２とを備える。駆動源７２は、雄ねじ部材７０をその軸線の周りに可逆的に駆動回転する。駆動回転される雄ねじ部材７０には、その軸線の周りへの回転が阻止かつ軸線方向への移動が許される雌ねじ部材７４が螺合する。駆動源７２が雄ねじ部材７０を時計方向あるいは反時計方向へ駆動回転すると、該雄ねじ部材の回転方向に応じて雌ねじ部材７４が雄ねじ部材７０の軸線方向へ変位する。したがって、駆動装置６４は、その雌ねじ部材７４を介して縦辺部材３６ａの長手方向への駆動力を出力する。

運動変換機構６６は、図示の例では、雌ねじ部材７４と一体的に形成された第１の運動変換部材７６と、該第１の運動変換部材および対応する縦辺部材３６ａ間に配置された第２の運動変換部材７８とを備える。

第２の運動変換部材７８は、図１に示すように、直角三角形の平面形状を有し、その直角を挟む両辺の一方を縦辺部材３６ａの外側面に対向して配置されている。第２の運動変換部材７８の前記一方の辺が対向する縦辺部材３６ａの前記外側面には、台形の横断面形状（図５（ａ）参照）を有する案内部８０が縦辺部材３６ａの長手方向に沿って形成されており、その上底を前記外側面に接合させている。第２の運動変換部材７８の前記一方の辺には、案内部８０に蟻溝嵌合する嵌合部８２が固定されており、第２の運動変換部材７８は、嵌合部８２を介して、縦辺部材３６ａにその長手方向へ移動可能に結合されている。したがって、第２の運動変換部材７８は、その斜辺を構成する傾斜面７８ａを第１の運動変換部材７６に向けて配置されている。

雌ねじ部材７４と一体的に形成された第１の運動変換部材７６に向けて配置された第２の運動変換部材７８の傾斜面７８ａには、案内部８０と同様な案内部８４が、その上底を傾斜面７８ａに接合させて前記傾斜面の長手方向、すなわち前記斜辺に沿って伸びる。

第１の運動変換部材７６は、第２の運動変換部材７８の傾斜面７８ａに平行な傾斜面７６ａを有し、該傾斜面には、第２の運動変換部材７８の案内部８０に蟻溝嵌合する嵌合部８６が固定されている。第１の運動変換部材７６は、その嵌合部８６を介して、第２の運動変換部材７８にその斜辺の長手方向へ移動可能に結合されている。したがって、雌ねじ部材７４と一体的に形成された第１の運動変換部材７６が雄ねじ部材７０の回転に伴って縦辺部材３６ａの長手方向へ移動するとき、第２の運動変換部材７８が縦辺部材３６ａの長手方向への移動を規制されている限り、第２の運動変換部材７８は縦辺部材３６ａの幅方向への作用力を受ける。そのため、各駆動手段６２の運動変換機構６６は、対応する前記辺部材３６、３８の長手方向に沿った雌ねじ部材７４に作用する駆動力を対応する前記辺部材の幅方向に沿った駆動力にそれぞれ変換する作用をなす。

各駆動手段６２には、また縦辺部材３６ａと該辺部材に対応する運動変換機構６６とを解除可能に固定するための固定機構８８がそれぞれ設けられている。図示の例では、各固定機構８８は、図５（ａ）および図５（ｃ）に示すような制動装置からなる。

制動装置（８８）は、第２の運動変換部材７８の前記一辺に固定されかつ案内部８０にあり溝嵌合する全体にコの字状のハウジング９０を備え、該ハウジングの案内部８０の両側に位置する部分には、一対のピストンシリンダ装置９２（図５（ｂ）にはその一方が示され、他方が省略されている。）が組み込まれている。各ピストンシリンダ装置９２のシリンダ９２ａ内には、ピストン９２ｂに結合されたピストンロッド９２ｃをその突出位置へ向けて押し出すための圧縮コイルスプリング９２ｄが組み込まれている。ピストンシリンダ装置９２は、そのシリンダ９２ａのシリンダ室９２ｅへの圧縮気体の供給により、ピストンロッド９２ｃを圧縮コイルスプリング９２ｄのばね力に打ち勝って後退位置へ後退させる。

ピストンロッド９２ｃには、その先端へ向けて幅寸法を漸減するテーパが付されており、これによりピストンロッド９２ｃの案内部８０に対向する面すなわち前記辺部材３６ａに対向する面には、該辺部材の長手方向に関して角度的に形成された傾斜面９４が形成されている。

一対のピストンシリンダ装置９２の各ピストンロッド９２ｃの傾斜面９４と案内部８０との間には、それぞれブレーキシュー９６が案内部８０へ押圧可能に配置されている。各ブレーキシュー９６のピストンロッド９２ｃと対向する面には、ピストンロッド９２ｃの傾斜面９４に対向する傾斜面９６ａが形成されており、該傾斜面にはこれに沿って案内部９８が形成されている。ブレーキシュー９６の案内部９８は、台形の横断面形状を有し、その上面をブレーキシュー９６の傾斜面９６ａに接合させている。また、ピストンロッド９２ｃの傾斜面９４には、ブレーキシュー９６の案内部９８に蟻溝嵌合する嵌合部１００が固定されている。

ピストンシリンダ装置９２のシリンダ室９２ｅに圧縮空気のような加圧流体のが供給されていない状態では、そのピストンロッド９２ｃは、圧縮コイルスプリング９２ｄのばね力により、ハウジング９０に支持されたガイドローラ１０２とブレーキシュー９６との間に割り込む突出位置に保持されている。この突出位置へ向けてのピストンロッド９２ｃの移動は、嵌合部１００の案内部９８に沿った摺動およびガイドローラ１０２の回転により、円滑になされる。

ピストンロッド９２ｃの突出位置では、該ピストンロッド９２ｃの前記した割り込み作用によって、ブレーキシュー９６が案内部８０に押し付けられることから、ハウジング９０に固定された第２の運動変換部材７８と、縦辺部材３６ａに固定された案内部８０とが固定的に結合される。したがって、各固定機構８８のロック作動状態では、前記各辺部材３６、３８と、該各辺部材に対応して設けられた第２の運動変換部材７８とは、ロック状態におかれる。

また、ピストンシリンダ装置９２のシリンダ室９２ｅに加圧流体が供給され、ピストン９２ｂへのその作用圧力が圧縮コイルスプリング９２ｄのばね力に打ち勝つと、ピストンシリンダ装置９２のピストンロッド９２ｃは前記した後退位置へ向けて作動される。このピストンロッド９２ｃの後退作動により、ブレーキシュー９６に作用する案内部８０へ向けての押圧力は解除される。

その結果、ピストンシリンダ装置９２の作動状態では、第２の運動変換部材７８と、縦辺部材３６ａに固定された案内部８０とを固定関係が解除される。そのため、各固定機構８８のロック解除状態では、前記各辺部材３６、３８は、それぞれに対応して設けられた第２の運動変換部材７８とのロック状態を解除される。これにより、前記各辺部材３６、３８は、これらに対応する固定機構８８のロック解除状態では、対応する各駆動手段６２との結合が解除されることから、それぞれの各辺部材３６、３８の長手方向に沿った、対応する前記各辺部材３６、３８に対する相対移動が許される。

前記辺部材３６、３８とこれに対応する第２の運動変換部材７８とを解除可能に固定する固定機構８８は、ブレーキシュー９６を有する制動装置に代えて、ロック解除が可能のクランプ機構のような他の種々の適切な固定機構を採用することができる。

本発明に係る検査装置１０において、矩形枠体２０の開口部２０ａの大きさを液晶表示パネル１２の大きさに応じて、小さくする場合、図６に矢印１０４で示されているように、例えば、まず一対の縦辺部材３６ａ、３６ｂをこれらが相近づくように移動させるために、各縦辺部材３６ａ、３６ｂに対応して設けられた駆動手段６２が作動されるが、この駆動手段６２の作動に先立って、各辺部材３６、３８に対応して設けられた駆動手段６２の各固定機構８８の作動が制御される。

すなわち、相近づくように幅方向へ移動させようとする一対の縦辺部材３６ａ、３６ｂに対応して設けられたそれぞれの駆動手段６２の固定機構８８がロック状態におかれる。これにより、一対の縦辺部材３６ａ、３６ｂに対応して設けられた各第２の運動変換部材７８が、前記したように、対応する縦辺部材３６ａ、３６ｂに固定される。

また、幅方向へ移動させようとする一対の縦辺部材３６ａ、３６ｂにそれぞれ前記一端部が連結された一対の横辺部材３８ａ、３８ｂに対応する各駆動手段６２の固定機構８８がロック解除の状態におかれる。これにより一対の横辺部材３８ａ、３８ｂは、前記したように、該横辺部材は対応する各第２の運動変換部材７８に対して長手方向への移動が許される。

これら各固定機構８８のロックおよびその解除の設定後、一対の縦辺部材３６ａ、３６ｂに対応して設けられたそれぞれの駆動手段６２の駆動源７２が作動される。駆動源７２が作動すると、該駆動源に結合された雄ねじ部材７０が回転する。この雄ねじ部材７０に螺合する雌ねじ部材７４は、第１の運動変換部材７６と一体的に形成され、これにより、雄ねじ部材７０の軸線の周りの回転が阻止されていることから、駆動源７２の駆動力は、雄ねじ部材７０の軸線方向に沿った駆動力として第１の運動変換部材７６に伝達される。この第１の運動変換部材７６に伝達された駆動力は、該第１の運動変換部材に連結された第２の運動変換部材７８が対応する縦辺部材３６ａにロックされていることから、該第２の運動変換部材７８を経てこれに固定された各縦辺部材３６ａ、３６ｂにその幅方向への駆動力として伝えられる。
他方、前記したように、各縦辺部材３６ａ、３６ｂに一端部を連結された各横辺部材３８ａ、３８ｂは、対応する各第２の運動変換部材７８とのロックが解錠されていることから、その長手方向への移動が自在である。
そのため、各縦辺部材３６ａ、３６ｂにその幅方向への駆動力が伝えられると、各縦辺部材３６ａ、３６ｂは、前記一端部が連結された横辺部材３８ａ、３８ｂを連行して、各縦辺部材３６ａ、３６ｂの幅方向へ移動する。したがって、横辺部材３８ａ、３８ｂは、この連行により、その長手方向へ各縦辺部材３６ａ、３６ｂと一体的に移動する。

各縦辺部材３６ａ、３６ｂの幅方向への駆動後、図７に符号１０６で示すように、一対の横辺部材３８ａ、３８ｂをこれらが相近づくように移動させるために、各横辺部材３８ａ、３８ｂに対応して設けられた駆動手段６２が作動される。この場合、前記したと同様に、駆動手段６２の作動に先立って、相近づくように幅方向へ移動させようとする一対の横辺部材３８ａ、３８ｂに対応して設けられたそれぞれの駆動手段６２の固定機構８８がロック状態におかれる。また、幅方向へ移動させようとする一対の横辺部材３８ａ、３８ｂにそれぞれ前記一端部が連結された一対の縦辺部材３６ａ、３６ｂに対応する各駆動手段６２の固定機構８８がロック解除の状態におかれる。

この状態で、一対の横辺部材３８ａ、３８ｂのそれぞれに対応する駆動手段６２の駆動力が運動変換機構６６を経て対応する横辺部材３８ａ、３８ｂにその幅方向への駆動力として伝えられると、前記したと同様に、各横辺部材３８ａ、３８ｂは、前記一端部が連結された縦辺部材３６ａ、３６ｂを連行して、各縦辺部材３６ａ、３６ｂの幅方向へ移動する。その結果、液晶表示パネル１２の大きさに応じて、矩形枠体２０の開口部２０ａの大きさを変えることができる。

本発明に係る表示パネル検査装置１０では、各辺部材３６、３８に対応して設けられる駆動装置６４は、対応した各辺部材３６、３８の長手方向に沿って配置され、該辺部材の長手方向に沿って出力された駆動装置６４の駆動力はそれらの運動変換機構６６によって対応する各辺部材３６、３８に該辺部材の幅方向への作用力に変換される。したがって、駆動装置６４が矩形枠体２０を構成する各辺部材３６、３８の幅方向へ従来ほどに大きく張り出すことは無く、この駆動装置６４の作動によって対応する各辺部材３６、３８をそれらの幅方向へ移動させることができる。

また、前記した各第２の運動変換部材７８は、対応するそれぞれの辺部材３６、３８の外方を覆うことから、バックライト装置３０からワークテーブル１８と各辺部材３６、３８との間隙を経てその間から漏れ出すバックライト光の一部を遮断する。そのため、矩形枠体２０上の液晶表示パネル１２の表面に回り込むバックライト光の光量が減少する。このバックライト光の漏れを抑制し、これによる漏れ光の回り込みを抑制することにより、液晶表示パネル１２の欠陥観察作業は容易となり、またその精度も向上する。

前記したところでは、一対の縦辺部材３６ａ、３６ｂを同時的にそれらの幅方向へ同量駆動し、または一対の横辺部材３８ａ、３８ｂを同時的に、同量移動させた例について説明した。これに代えて、両縦辺部材３６ａ、３６ｂあるいは両横辺部材３８ａ、３８ｂをそれぞれの幅方向へ時間差をおいて駆動することができる。しかしながら、作業時間の短縮化の上で、前記したように一対の縦辺部材３６ａ、３６ｂまたは一対の横辺部材３８ａ、３８ｂをそれぞれ同時的に駆動することが望ましい。

また、一対の縦辺部材３６ａ、３６ｂのいずれか一方を移動させることなくその他方のみを移動し、あるいは一対の横辺部材３８ａ、３８ｂいずれか一方を移動させることなくその他方のみを移動することにより、矩形枠体２０の開口部２０ａの大きさを変えることができる。

しかしながら、この場合、バックライト装置３０の中心位置と矩形枠体２０の開口部２０ａの中心位置との間にずれが生じることから、液晶表示パネル１２を照射するバックライト光にむらが生じる虞がある。このむらを確実に防止する上で、両縦辺部材３６ａ、３６の移動量が互いに等しくなり、また両横辺部材３８ａ、３８ｂの移動量が互いに等しくなるように、各駆動手段６２の駆動源７２の作動を制御することが、望ましい。

本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。

本発明に係る表示パネル検査装置の平面図である。 図１に示された線II-IIに沿って得られた断面図である。 図１に示した表示パネル検査装置の一部を破断して示す斜視図である。 図１に示した表示パネル検査装置の矩形枠体を構成する各辺部材の結合関係を示す平面図である。 本発明に係る固定機構を示し、その（ａ）は固定機構の斜視図であり、その（ｂ）は固定機構の構成を概略的に示す説明図である。 本発明に係る表示パネル検査装置の矩形枠体により規定される矩形開口部の寸法の変更工程（その１）を示す矩形枠体の平面図である。 本発明に係る表示パネル検査装置の矩形枠体により規定される矩形開口部の寸法の変更工程（その２）を示す矩形枠体の平面図である。

符号の説明

１０ 検査装置
１２ 液晶表示パネル
１４ 液晶表示パネルの電極
２０ 矩形枠体
２０ａ 矩形枠体の開口
２６ プローブユニット
３０ バックライト装置
３６（３６ａ、３６ｂ） 縦辺部材
３８（３８ａ、３８ｂ） 横辺部材
６２ 駆動手段
６４ 駆動装置
６６ 運動変換機構
７０ 雄ねじ部材
７２ 駆動源（電動モータ）
７４ 雌ねじ部材
７６ 第１の運動変換部材
７８ 第２の運動変換部材
８８ 固定機構（制動装置）
９２ ピストンシリンダ装置
９２ｃ ピストンロッド
９４ ピストンロッドの傾斜面
９６ ブレーキシュー

Claims (9)

1. 矩形の表示パネルの電極が検査用プローブに接触可能となるように前記表示パネルの縁部を受ける矩形枠体と、該矩形枠体を駆動する駆動手段とを含む表示パネル検査装置であって、
   前記矩形枠体は、互いに平行に配置される一対の縦辺部材および一対の横辺部材を有し、前記各辺部材は、少なくともその長手方向と直角な幅方向へ移動可能であり、
   前記駆動手段は、前記各辺部材に対応してそれぞれの長手方向に沿って設けられ対応する前記各辺部材の長手方向への駆動力を出力する駆動装置と、該各駆動装置と対応する前記各辺部材との間に設けられ前記各駆動装置からの駆動力を対応する前記各辺部材の長手方向と直角な幅方向への駆動力に変換する運動変換機構とを含む、表示パネル検査装置。
2. 一方の前記縦辺部材は、その長手方向に沿って移動するとき、該縦辺部材に一端部を連結された一方の前記横辺部材を移動させることなく移動可能でありかつ前記一方の縦辺部材の一端部が連結された他方の前記横辺部材は前記一方の縦辺部材と一体的に移動可能であり、
   前記一方の横辺部材は、その長手方向へ移動するとき、該横辺部材に一端部を連結された他方の前記縦辺部材を移動させることなく移動可能でありかつ前記一方の横辺部材の前記一端部が連結された前記一方の縦辺部材は前記一方の横辺部材と一体的に移動可能であり、
   前記他方の縦辺部材は、その長手方向に沿って移動するとき、該縦辺部材に一端部を連結された前記他方の横辺部材を移動させることなく移動可能でありかつ前記他方の縦辺部材の前記一端部が連結された前記一方の横辺部材は前記他方の縦辺部材と一体的に移動可能であり、
   前記他方の横辺部材は、その長手方向へ移動するとき、該横辺部材に前記一端部を連結された前記一方の縦辺部材を移動させることなく移動可能でありかつ前記他方の横辺部材の前記一端部が連結された前記他方の縦辺部材は前記他方の横辺部材と一体的に移動可能であり、
   前記駆動手段は、さらに、前記運動変換機構と該運動変換機構に対応する前記各辺部材との間に設けられ両者を解除可能に固定する固定機構とを含む、請求項１に記載の表示パネル検査装置。
3. 前記各駆動装置は、対応する前記各辺部材に沿って配置された雄ねじ部材と、該雄ねじ部材をその軸線の周りに可逆的に駆動回転する駆動源と、前記雄ねじ部材に螺合し該雄ねじ部材の軸線の周りの回転を阻止された雌ねじ部材とを備える、請求項２に記載の表示パネル検査装置。
4. 前記運動変換機構は、前記雌ねじに固定され、対応する前記辺部材の長手方向に対して傾斜する傾斜面を有する第１の運動変換部材と、対応する前記辺部材に該辺部材の長手方向へ移動可能に支持され、前記第１の運動変換部材の前記傾斜面に対応して該傾斜面に摺動可能に結合された傾斜面を有する第２の運動変換部材とを備える、請求項３に記載の表示パネル検査装置。
5. 前記枠体に支持された前記表示パネルは、該表示パネルの検査のためにその背面に配置されたバックライト光の照射を受け、前記第１および第２の運動変換部材は、前記枠体の外方へ漏れ出る照射光に対する遮光部材として機能する、請求項４に記載の表示パネル検査装置。
6. 前記固定機構は、前記第２の運動変換部材を該運動変換部材に対応する前記辺部材に解除可能に位置決めするための制動装置からなる、請求項４に記載の表示パネル検査装置。
7. 前記制動装置は、前記第２の運動変換部材に保持され、該運動変換部材に対応する前記辺部材に係合可能のシュー部材と、該シュー部材を前記辺部材に解除可能に押圧するピストンシリンダ装置とを有し、該ピストンシリンダ装置はその突出位置で前記シュー部材を介して前記第２の運動変換部材と、対応する前記辺部材との相対的な移動を阻止し、その収縮動作位置で前記前記第２の運動変換部材と対応する前記辺部材との間の相対的な移動を許す、請求項６に記載の表示パネル検査装置。
8. 前記ピストンシリンダ装置は、対応する前記辺部材の長手方向に平行に配置されており、前記ピストンシリンダ装置のシリンダから突出するピストンロッドの突出部には、対応する前記辺部材に対向して該辺部材の長手方向に関して角度的に形成された傾斜面が形成され、該傾斜面と対応する前記辺部材との間で前記シュー部材が対応する前記辺部材に当接可能に前記ピストンロッドの前記突出部に保持されている、請求項７に記載の表示パネル検査装置。
9. 前記矩形枠体のそれぞれの前記辺部材は、矩形開口を有する矩形ベース部材上で、該ベース部材の対応する矩形開口辺のそれぞれに沿って移動可能にかつ対応する矩形開口辺に近づく方向および遠ざかる方向へ移動可能に支持されており、これにより異なる大きさの表示パネルに対応可能である、請求項２に記載の表示パネル検査装置。

Images