KR100625510B1 - 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치 및 이에 사용되는 서브 테이블 - Google Patents

Abstract

본 발명은 다양한 크기의 평판디스플레이 패널에 대응하여 자동정렬이 가능하고, 평판디스플레이 패널의 크기에 비례하여 기구 구성물의 크기도 변화하며, 작은 동력에 의하여 정교하게 틸팅할 수 있는 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치에 관한 것이다.

본 발명은 고정플레이트와, 상기 고정플레이트 양측 상부와 힌지결합되어 상기 고정플레이트 상부측에 설치되는 틸팅플레이트와, 상기 고정플레이트와 틸팅플레이트 소정부분에 마련되어 상기 틸팅플레이트를 소정 각도로 틸팅(tilting)시키는 틸팅수단과, 상기 틸팅플레이트 외곽에 마련된 홀 형상의 가이드를 따라 상기 틸팅플레이트 상부측에서 상하 이동하되, 상기 가이드에 삽입되어 이동하는 업다운축을 하부에 부착고정하고 있는 업다운플레이트와, 상기 틸팅플레이트와 업다운플레이트 사이에 마련되어 상기 업다운플레이트를 업다운시키는 업다운수단과, 상기 업다운플레이트 상측에서 회전가능하게 마련되어 공급할 패널을 지지하고 정렬하는 서브테이블과, 상기 서브테이블을 회전시키기 위하여 상기 업다운플레이트 하부에 설치되는 회전수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

평판디스플레이 패널, 검사장치, 패널공급장치

Description

평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치 및 이에 사용되는 서브 테이블{apparatus for supplying panel of FPD testing unit and sub-table used in the apparatus}

도 1은 일반적인 평판디스플레이 패널 검사장치의 구성도이다

도 2는 종래의 패널공급장치의 구성도이다.

도 3은 종래의 서브테이블의 구성도이다.

도 4는 본 발명에 적용되는 패널공급장치의 구성도이다.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 틸팅상태를 보여주는 예시도이다.

도 6은 본 발명에 적용되는 서브테이블의 구성도이다.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 패널정렬수단의 분리사시도이다.

본 발명은 평판디스플레이 패널 검사장치에서 검사할 패널을 패널이송장치에 전달하는 패널공급장치에 관한 것으로, 특히 다양한 크기의 평판디스플레이 패널에 대응하여 자동정렬이 가능하고, 평판디스플레이 패널의 크기에 비례하여 기구 구성물의 크기도 변화하며, 작은 동력에 의하여 정교하게 틸팅할 수 있는 평판디스플레 이 패널 검사장치의 패널공급장치에 관한 것이다.

일반적으로 알려진 바와 같은 평판디스플레이 패널 검사장치는 평판디스플레이 패널의 라인의 단선검사와 색상검사를 위해 프로브 유닛을 이용하여 점등검사를 행하게 되고, 그외 현미경을 이용하여 육안검사를 행하게 된다.

종래의 평판디스플레이 패널 검사장치는 도 1에 도시된 바와 같이 평판디스플레이 검사장치 본체(100)와, 상기 평판디스플레이 검사장치 본체(100) 일측에 마련된 패널공급장치(10)와, 상기 패널공급장치(10)와 나란하게 수평구조로 마련된 검사부(30)와 상기 패널공급장치(10)로부터 평판디스플레이 패널을 공급받아 상기 검사부(30)로 로딩 및 언로딩시키는 패널이송장치(40)로 구성된다.

여기서 상기 패널공급장치(10)는 로봇과 같은 패널로딩장치(미도시)로부터 전달되는 평판디스플레이 패널을 서브테이블(20) 상에 안착시킨 후 소정의 정렬단계를 거친 후 소정 각도로 회동된다. 그러면, 상기 패널이송장치(40)가 상기 평판디스플레이 패널을 클램핑한 후 상기 검사부(30)에 설치되는 워크테이블(미도시) 상에 상기 평판디스플레이 패널을 이송시킨다. 그런 후, 상기 워크테이블 상에 올려놓여진 평판디스플레이 패널은 상기 검사부(30)에 마련된 점등검사장치(미도시)에 의하여 단선 검사 및 색상 검사를 위한 점등검사를 받게된다.

도 2의 (a)와 도 2의 (b)는 종래의 패널공급장치(10)의 개략적인 구성도이다.

도 2의 (a) 또는 도 2의 (b)에 도시된 바와 같이, 종래의 패널공급장치(10)는 베이스플레이트(11)와, 상기 베이스플레이트(11) 상에 마련된 제1 힌지구조물 (16)에 힌지결합되는 에어실린더(12)와, 상기 에어실린더(12)에 의하여 신축되는 피스톤로드(18)와, 상기 피스톤로드(18) 끝단과 힌지결합되고 상기 베이스플레이트(11) 상에 마련된 제2 힌지구조물(17)에 힌지결합되는 사각판형의 링크스테이지(13)와, 상기 링크스테이지(13) 상단측에 일단이 결합되는 이동바(14)와, 상기 이동바(14)의 타단과 결합되어 평판디스플레이 패널을 지지하고 정렬을 수행하는 서브테이블(20)을 포함하여 이루어진다.

상기와 같은 구조에서, 상기 종래의 패널공급장치(10)는 로봇과 같은 패널로딩장치(미도시)로부터 평판디스플레이 패널을 전달받아 서브테이블(20) 상에 안착시킨다. 그러면, 상기 서브테이블(20)은 상기 평판디스플레이 패널을 지지함과 동시에 정렬수단(미도시)에 의하여 상기 평판디스플레이 패널을 정렬한다. 이에 대해서는 도 3을 참조하여 후술한다.

상기 평판디스플레이 패널에 대하여 정렬이 완료되면, 도 1을 참조하여 설명한 패널이송장치(40)에 의하여 평판디스플레이 패널이 클램핑될 수 있도록 소정각도로 틸팅(tilting)된다.

도 2의 (a)는 틸팅 전의 패널공급장치를 보여주고, 도 2의 (b)는 틸팅 후의 패널공급장치를 보여준다.

상기 도 2의 (a)에서 상기 도 2의 (b) 상태로 틸팅되기 위해서는 다음과 같은 동작에 의하여 이루어진다.

먼저, 에어실린더(12)에 에어를 공급하여 피스톤로드(18)가 일정 길이만큼 신장되게 한다. 그러면, 상기 피스톤로드(18)의 끝단과 힌지결합되어 있는 상기 링 크스테이지(13)는 피스톤로드(18)의 신장방향으로 힘을 받게된다. 이 때, 상기 링크스테이지(13)의 일단은 상기 베이스플레이트(11) 상에 마련된 제2 힌지구조물(17)과 결합되어 있기 때문에, 상기 링크스테이지(13)는 상기 제2 힌지구조물(17)에 대하여 회동한다.

그러면, 상기 링크스테이지(13) 상단측에 순서대로 결합된 이동바(14)와 서브테이블(20)도 회동하게 된다.

상기와 같이 에어실린더(12)에 의해서 서브테이블(20)을 틸팅하는 경우에는 틸팅각도를 정교하게 제어하기 힘들고, 상기와 같이 에어실린더(12)에 의하여 링크스테이지(13)를 회동시키는 경우에는 상기 제2 힌지구조물(17)과 상기 피스톤로드(18)의 끝단의 거리가 짧기 때문에 많은 동력이 소요되며 구조의 안정성이 떨어지게 된다.

도 3의 (a) 및 도 3의 (b)는 상기 종래 패널공급장치의 서브테이블을 보여주는 개략적인 구성도이다.

도 3의 (a) 및 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 종래의 서브테이블(20)은 네 개의 가이드판(21)으로 구성되는 기본판과 상기 기본판의 소정위치에 마련되는 패널지지대(22a, 22b, 22c, 22d)와, 상기 각각의 가이드판(21) 상에 설치되는 4개의 패널정렬수단으로 구성되어 있다.

상기 패널정렬수단은 상기 가이드판(21) 상에 평행하게 마련되는 L/M 가이드(23)와, 상기 L/M 가이드(23)에 맞물리는 가이드블록(미도시)이 하부면에 마련되어 있는 이동판(24)과, 상기 이동판(24) 상에 고정설치되어 평판디스플레이 패널의 측 부를 고정하는 패널고정대(25)와, 상기 이동판(24) 상에 설치되는 상기 이동판(24) 하부면 중앙에 구비된 너트결합체(미도시)에 결합되어 회전하는 볼스크류(26)와, 상기 볼스크류(26)를 회전시키는 모터(27)와 상기 모터(27)의 축에 연결되는 제1 풀리(28)와 상기 제1 풀리(28)와 벨트에 의하여 연결되어 상기 모터(27)에서 발생하는 동력을 상기 볼스크류(26)에 전달하는 제2 풀리(29)로 구성되어 있다.

상기와 같은 구조를 가지는 종래의 서브테이블은 다음과 같이 평판디스플레이를 지지하고 정렬한다.

먼저, 로봇과 같은 패널로딩장치(미도시)로부터 평판디스플레이 패널을 전달받아 서브테이블(20)의 패널지지대(22a, 22b, 22c, 22d) 상에 안착시킨다. 그리고, 상기 패널지지대(22a, 22b, 22c, 22d) 상에 안착된 평판디스플레이를 정렬하고 고정하기 위하여 상기 패널고정대(25)를 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이 평판디스플레이 패널 측부로 이동시킨다.

상기 패널고정대(25)를 상기 평판디스플레이 측부로 이동시키기 위하여, 회전수단(27, 28, 29)에 의하여 볼스크류(26)를 회전시킨다. 그러면, 상기 볼스크류(26)와 맞물려 연동하는 너트결합체(미도시)를 하부면에 부착하고 있는 이동체(24)는 상기 가이드판(21)에 평행하게 설치되는 L/M 가이드(23)를 따라 이동하고, 결과적으로 상기 이동체(24) 상에 고정설치되는 패널고정대(25)는 상기 평판디스플레이 패널 측부로 이동하여 상기 평판디스플레이 패널을 정렬함과 동시에 고정한다.

상기와 같은 동작에 따라 평판디스플레이 패널은 정렬되고, 전술한 틸팅동작에 따라 소정각도로 회동하여 패널이송장치에 의하여 클램핑되어 검사부로 전달된 다.

이상에서 설명한 종래의 패널공급장치에 의하면, 패널정렬수단이 설치되는 가이드판의 크기와 길이가 필요 이상 크게 제작되기 때문에 상기 패널공급장치 주위에 존재하는 구조물과 간섭이 발생할 수 있는 문제점이 있다.

또한, 종래의 패널공급장치에 의하면, 평판디스플레이 패널의 크기에 상관없이 상기 L/M 가이드가 설치되는 상기 가이드판은 동일한 공간을 점유하므로, 공간사용 효율이 떨어지는 문제점이 있고 불필요한 무게 증가를 불러일으키는 문제점이 발생한다.

또한, 서브테이블 상에 고정지지되는 평판디스플레이 패널을 소정각도로 틸팅시키기 위하여 에어실린더를 사용하기 때문에 원하는 각도로 틸팅시키는 것이 어렵고, 균형감 있고 안정적인 틸팅을 기대하기 어려운 문제점이 있다.

또한, 상기 종래의 패널공급장치는 구조가 복잡하고 많은 부품들로 구성되기 때문에 세팅하기 위해서는 많은 공구가 필요하고, 숙련도가 요청된다. 그리고, 숙련도가 있는 사람에 의하여 세팅을 하더라도 많은 노력과 시간이 소요되는 문제점이 있다.

또한, 에어실린더에 의하여 힌지구조로 결합되어 있는 중량감 있는 링크스테이지를 회동시킴으로써 상기 평판디스플레이를 틸팅시키기 때문에 과도한 파워가 요청되는 문제점이 발생한다.

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 서브테이블의 구조를 간단하게 하고 평판디스플레이 패널의 사이즈가 작은 경우 장비의 공간 점유율을 감소시켜 장비 내 주위 구조물과 간섭을 줄이며, 상기 평판디스플레이 패널을 원하는 각도와 작은 동력으로 틸팅시키는 것을 가능하게 하는 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 평판디스플레이 검사장치의 패널 공급장치를 이루는 구성수단은, 상기 검사장치 내부 소정부분에 고정되는 고정플레이트와, 상기 고정플레이트 양측 상부와 힌지결합되어 상기 고정플레이트 상부측에 설치되는 틸팅플레이트와, 상기 고정플레이트와 틸팅플레이트 소정부분에 마련되어 상기 틸팅플레이트를 소정 각도로 틸팅(tilting)시키는 틸팅수단과, 상기 틸팅플레이트 외곽에 마련된 홀 형상의 가이드를 따라 상기 틸팅플레이트 상부측에서 상하 이동하되, 상기 가이드에 삽입되어 이동하는 업다운축을 하부에 부착고정하고 있는 업다운플레이트와, 상기 틸팅플레이트와 업다운플레이트 사이에 마련되어 상기 업다운플레이트를 업다운시키는 업다운수단과, 상기 업다운플레이트 상측에서 회전가능하게 마련되어 공급할 패널을 지지하고 정렬하는 서브테이블과, 상기 서브테이블을 회전시키기 위하여 상기 업다운플레이트 하부에 설치되는 회전수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 틸팅수단은 상기 틸팅플레이트 일단에 힌지결합되는 제1 이동체 와, 상기 제1 이동체에 지지되어 회전하되 수직방향으로 마련되는 틸팅볼스크류와, 상기 볼스크류와 맞물려 연동하며 상기 고정플레이트 일단에 힌지결합되는 제2 이동체와, 상기 볼스크류에 회전동력을 전달하기 위하여 상기 고정플레이트 하측에 설치되는 틸팅동력수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 서브테이블은 네개의 소정형상 암(arm)으로 이루어진 베이스플레이트와, 상기 각각의 암과 상기 베이스플레이트 중앙부분에 결합되어 설치되는 패널지지수단과, 상기 베이스플레이트의 상부에 마련되어 X축 방향의 암을 따라 평행하게 설치되는 두개의 X축 패널정렬수단과, 상기 베이스플레이트의 하부에 마련되어 Y축 방향의 암을 따라 평행하게 설치되는 두개의 Y축 패널정렬수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 각각의 암에 설치되는 패널지지수단은 상기 각 암의 측단부에 설치되되, 각각의 패널지지수단이 이웃하지 않게 설치되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 X축 방향의 각 암 상에는 서로 마주보는 레일이 마련되고, 상기 두개의 X축 패널정렬수단은, 두개의 암 중에 한쪽 암의 측단부에 고정설치되는 정렬동력수단과, 상기 정렬동력수단에 의하여 회전하는 정렬볼스크류와, 상기 정렬볼스크류와 나사결합되어 상기 레일을 따라 암의 길이방향으로 이동하는 긴 직육면체 형상의 X축 이송체와, 상기 X축 이송체 끝단 상부에 고정설치되는 정렬바를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 두개의 X축 패널정렬수단은 서로 대칭적으로 설치되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 X축 이송체는 상기 정렬볼스크류와 나사결합되어 연동되기 위하여 일단에 너트결합체가 마련되고, 상기 정렬볼스크류를 수용할 수 있도록 중공형인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 Y축 방향의 각 암의 하부에는 서로 마주보는 레일이 마련되고, 상기 두개의 Y축 패널정렬수단은, 두개의 암 중에 한쪽 암의 측단부에 고정설치되는 정렬동력수단과, 상기 정렬동력수단에 의하여 회전하는 정렬볼스크류와, 상기 정렬볼스크류와 나사결합되어 상기 레일을 따라 암의 길이방향으로 이동하는 긴 직육면체 형상의 Y축 이송체와, 상기 Y축 이송체 끝단에 고정설치되어 암의 상부측을 향하게 마련되는 정렬바를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 두개의 Y축 패널정렬수단은 서로 대칭적으로 설치되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 Y축 이송체는 상기 정렬볼스크류와 나사결합되어 연동되기 위하여 일단에 너트결합체가 마련되고, 상기 정렬볼스크류를 수용할 수 있도록 중공형인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 정렬볼스크류와 연결되는 제1 풀리와, 상기 제1 풀리와 벨트에 의하여 연동되는 제2 풀리와, 상기 제2 풀리와 연결되어 동력을 발생시키는 정렬모터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치에 사용되며 기판을 지지하고 정렬하는 서브 테이블을 제공한다. 본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 서브 테이블은 베이스 플레이트, 상기 베이스 플레이트에 결합되어 설치되며 패널을 지지하는 패널지지수단, 상기 패널지지수단에 의해 지지된 패널을 정렬하되, 전체 길이가 가변되는 패널정렬수단을 포함한다.
일 예에 의하면 상기 패널정렬수단은 상기 베이스플레이트에 설치되는 정렬볼스크류, 상기 정렬볼스크류의 회전에 의해 상기 정렬볼스크류를 따라 이동되도록 상기 정렬볼스크류와 나사결합되는 이송체, 그리고 상기 이송체에 고정결합되며 상기 이송체의 이동에 의해 상기 패널의 측면을 밀어주는 정렬바를 구비하고, 상기 이송체가 이동될 때, 상기 이송체와 상기 정렬볼스큐가 결합된 전체 길이는 가변된다.
일 예에 의하면, 상기 패널정렬수단은, 상기 패널지지수단에 의해 지지된 패널을 제 1축 방향으로 정렬하는 제 1축 패널정렬수단을 포함한다. 상기 제 1축 패널정렬수단은 상기 제 1축 방향을 따라 배치되는 정렬볼스크류, 내부에 상기 정렬볼스크류와 나사결합되는 너트결합체가 형성되고 상기 정렬볼스크류의 회전에 의해 상기 제 1축 방향을 따라 전진 및 후진되는 이송체, 그리고 상기 이송체 각각에 고정결합되며 상기 이송체의 이동에 의해 상기 패널의 측면을 밀어주는 정렬바를 가지고, 정렬시 상기 이송체와 상기 정렬볼스크류의 결합된 전체길이가 가변되도록 상기 이송체가 이동됨에 따라 상기 정렬볼스크류가 상기 이송체에 삽입되는 길이는 점진적으로 변화된다.
일 예에 의하면, 상기 정렬볼스크류는 제 1정렬볼스크류와 제 2정렬볼스크류를 가지며, 상기 이송체는 상기 제 1정렬볼스크류에 결합되는 제 1이송체와 상기 제 2정렬볼스크류에 결합되는 제 2이송체를 가지며, 상기 정렬바는 상기 제 1이송체에 고정결합되는 제 1정렬바와 상기 제 2이송체에 고정결합되는 제 2정렬바를 가진다. 상기 제 1이송체와 상기 제 2이송체는 서로 반대방향으로 이동되도록 상기 제 1정렬볼스크류 및 상기 제 2정렬볼스크류에 결합되어 상기 제 1정렬바와 상기 제 2정렬바가 각각 패널의 서로 대향되는 측면을 밀어준다.
일 예에 의하면, 상기 제 1볼스크류와 상기 제 2볼스크류는 상기 제 1축 방향으로 나란하게 배치되되, 서로 이격되어 설치된다.
일 예에 의하면, 상기 패널 정렬수단은 상기 패널지지수단에 의해 지지된 패널을 상기 제 1축방향과 수직한 제 2축 방향으로 정렬하는 제 2축 패널정렬수단을 더 포함한다.
일 예에 의하면, 상기 제 2축 패널정렬수단은 상기 제 2축 방향을 따라 배치되는 정렬볼스크류, 내부에 상기 제 2축 패널정렬수단의 정렬볼스크류와 나사결합되는 너트결합체가 형성되고 상기 제 2축 패널정렬수단의 정렬볼스크류의 회전에 의해 상기 제 2축 방향을 따라 전진 및 후진되는 이송체, 그리고 상기 제 2축 패널정렬수단의 이송체 각각에 고정결합되며 상기 제 2축 패널정렬수단의 이송체의 이동에 의해 상기 패널의 측면을 밀어주는 정렬바를 구비한다. 상기 제 2축 패널정렬수단의 이송체와 상기 정렬볼스크류의 결합된 전체길이가 가변되도록 상기 제 2축 패널정렬수단의 이송체가 이동됨에 따라 상기 제 2축 패널정렬수단의 정렬볼스크류가 상기 제 2축 패널정렬수단의 이송체에 삽입되는 길이는 점진적으로 변화된다. 또한, 상기 제 2축 패널정렬수단의 정렬볼스크류는 제 3정렬볼스크류와 제 4정렬볼스크류를 구비하며, 상기 제 2축 패널정렬수단의 이송체는 상기 제 3정렬볼스크류에 결합되는 제 3이송체와 상기 제 4정렬볼스크류에 결합되는 제 4이송체를 가지며, 상기 제 2축 패널정렬수단의 정렬바는 상기 제 3이송체에 고정결합되는 제 3정렬바와 상기 제 4이송체에 고정결합되는 제 4정렬바를 포함하며, 상기 제 3이송체와 상기 제 4이송체는 서로 반대방향으로 이동되도록 상기 제 3정렬볼스크류 및 상기 제 4정렬볼스크류에 결합되어 상기 제 3정렬바와 상기 제 4정렬바가 각각 패널의 서로 대향되는 측면을 밀어준다.
일 예에 의하면, 상기 제 1이송체 내지 상기 제 4이송체는 로드 형상을 가지고, 상기 베이스 플레이트는 상기 제 1축 방향을 따라 제공되며 상기 제 1이송체의 이동을 안내하는 레일이 형성된 제 1암, 상기 제 1축 방향을 따라 상기 제 1암과 반대방향으로 제공되며 상기 제 2이송체의 이동을 안내하는 레일이 형성된 제 2암, 상기 제 2축 방향을 따라 제공된 상기 제 3이송체의 이동을 안내하는 레일이 형성된 제 3암, 상기 제 2축 방향을 따라 상기 제 3암과 반대방향으로 제공되며, 상기 제 4이송체의 이동을 안내하는 레일이 형성된 된 제 4암을 포함한다.
일 예에 의하면, 상기 제 1암과 상기 제 2암에 제공된 상기 레일들은 상기 제 1암과 상기 제 2암의 상부면에 제공되고, 상기 제 3암과 상기 제 4암에 제공된 상기 레일들은 상기 제 3암과 상기 제 4암의 하부면에 제공된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 구성수단으로 이루어져 있는 본 발명인 평판디스플레이 패널 검사장치 패널 공급장치에 관한 작용 및 바람직한 실 시예를 상세하게 설명한다.

도 4는 본 발명인 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치(300)를 보여주는 구성도이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명인 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치(300)는 상기 평판디스플레이 검사장치 내부 소정부분에 고정되어 설치되는 고정플레이트(310)와, 고정플레이트(310)와 힌지결합되는 틸팅플레이트(320)와, 상기 틸팅플레이트(320)를 틸팅시키는 틸팅수단(330)과, 상기 틸팅플레이트(320) 상부측에 상하 이동가능하게 마련되는 업다운플레이트(340)와, 상기 업다운플레이트(340)를 업다운시키는 업다운수단과, 상기 업다운플레이트(340) 상부측에 회전가능하게 마련되어 공급할 평판디스플레이 패널을 지지/정렬하는 서브테이블(400)과, 상기 서브테이블(400)을 회전시키는 회전수단을 포함하여 이루어져 있다.

상기 고정플레이트(310)는 상기 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치(300)가 마련되는 소정부분에 고정되어 설치되어 있고, 상기 고정플레이트(310) 상부측에는 틸팅플레이트(320)가 위치한다.

상기 고정플레이트(310)와 틸팅플레이트(320)는 상기 고정플레이트(310)의 양측 상부에 마련되는 힌지결합체(311)에 의하여 힌지결합되어 있다. 따라서, 상기 틸팅플레이트(320)는 상기 평판디스플레이 패널 검사장치 내부 소정부분에 고정설치되는 고정플레이트(310) 상에서 소정 각도로 회동할 수 있다.

상기 틸팅플레이트(320)의 회동은 상기 고정플레이트(310)와 상기 틸팅플레이트(320) 소정부분에 마련되는 틸팅수단(330)에 의하여 가능하다.

상기 고정플레이트(310) 상에서 상기 틸팅플레이트(320)가 소정 각도로 회동할 수 있도록 하는 틸팅수단(330)은 상기 틸팅플레이트(320) 일측 단부에 힌지결합되는 제1 이동체(331)와, 상기 제1 이동체(331)에 결합지지되어 회전하기 위하여 수직방향으로 마련되는 틸팅볼스크류(332)와, 상기 틸팅볼스크류(332)와 맞물려 연동하기 위하여 상기 고정플레이트(310) 일측 단부에 힌지결합되는 제2 이동체(333)와, 상기 틸팅볼스크류(332)에 회전동력을 전달하기 위하여 상기 고정플레이트(310) 하측에 마련되는 틸팅모터(334)를 포함하여 이루어진다.

도 5의 (a)에 도시된 상태에서, 상기 틸팅모터(334)가 동력을 발생하여 모터풀리(335)에 전달하면, 상기 모터풀리(335)와 벨트(336)에 의하여 결합되어 연동되는 볼스크류풀리(337)가 회전하고, 상기 볼스크류풀리(337)와 결합되는 틸팅볼스크류(332)도 회전하게 된다. 그러면, 상기 제1 이동체(331)와 힌지결합되어 있는 상기 틸팅플레이트(320)의 일측이 상승하면서 상기 틸팅플레이트(320)는 틸팅되어 도 5의 (b)에 도시된 상태로 된다.

상기 틸팅플레이트(320) 상부측에는 업다운수단에 의하여 상하 이동하는 업다운플레이트(340)가 마련된다. 상기 업다운수단은 상기 틸팅플레이트(320)와 업다운플레이트(340) 사이 소정부분에 마련되어 상기 업다운플레이트(340)가 상기 틸팅플레이트(320)에 평행한 상태로 수직이동되도록 한다.

상기 업다운플레이트(340)가 상기 틸팅플레이트(320) 상에서 안정된 상태로 수직이동될 수 있도록 상기 틸팅플레이트(320) 외곽에는 네개의 홀 형상의 가이드(321)가 마련되고, 상기 업다운플레이트(340) 하부에는 상기 홀 형상의 가이드 (321)에 삽입되어 이동할 수 있는 업다운축(323)이 부착고정된다. 따라서, 상기 업다운수단(미도시)의 구동에 따라 상기 업다운플레이트(340)는 상기 틸팅플레이트(320) 상에서 가이드(321)를 따라 안정된 상태로 수직이동할 수 있다.

상기 업다운플레이트(340) 상측에는 회전수단(미도시)에 의하여 회전될 수 있게 설치되는 서브테이블(400)이 마련된다. 상기 회전수단(미도시)은 상기 서브테이블(400)을 회전시키기 위하여 상기 업다운플레이트(340) 하부 소정부분에 설치된다.

상기 서브테이블(400)은 공급할 평판디스플레이 패널을 지지하고, 지지된 평판디스플레이 패널을 정렬하여 고정하는 동작을 수행한다.

도 6은 상기 서브테이블(400)을 보여주는 전체적인 구성도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 상기 서브테이블(400)은, 네개의 암(410a, 410b, 410c, 410d)으로 이루어진 베이스플레이트(410)와, 상기 각각의 암(410a, 410b, 410c, 410d)과 베이스플레이트(410) 중앙에 결합설치되는 패널지지수단(420a, 420b, 420c, 420d, 420e)과, 상기 패널지지수단(420a, 420b, 420c, 420d, 420e)에 의해 지지된 패널을 정렬하되 전체 길이가 가변되는 패널정렬수단(430a, 430b, (430a, 430b)을 포함한다.
패널정렬수단은 제 1축 방향을 따라 패널을 정렬하는 제 1축 패널정렬수단과 제 2축 방향을 따라 패널을 정렬하는 제 2축 패널정렬수단을 가진다. 패널이 직사각 형상을 가진 경우, 제 1축 방향과 제 2축 방향은 수직한 방향이다. 이하, 제 1축을 X축 방향이라 칭하고 제 2축을 Y축이라 칭한다.

따라서 패널정렬수단은 상기 베이스플레이트(410) 상부에 마련되어 X축 방향의 암(410a, 410c)을 따라 평행하게 설치되는 두개의 X축 패널정렬수단(430a, 430b)과, 상기 베이스플레이트(410)의 하부에 마련되어 Y축 방향의 암(410b, 410d)을 따라 평행하게 설치되는 두개의 Y축 패널정렬수단(430a, 430b)을 포함한다.

상기 베이스플레이트(410)는 최소한의 크기와 무게를 가질 수 있도록 짧은 네개의 암(410a, 410b, 410c, 410d)으로 구성된다. 그리고, 상기 각각의 암(410a, 410b, 410c, 410d)과 상기 암(410a, 410b, 410c, 410d)들이 교차하는 베이스플레이트(410) 중앙부분에는 동일한 높이를 가지는 패널지지수단(420a, 420b, 420c, 420d, 420e)이 설치된다.

상기 각각의 암(410a, 410b, 410c, 410d)에 설치되는 패널지지수단(420a, 420b, 420c, 420d, 420e)은 상기 각각의 암(410a, 410b, 410c, 410d)의 측단부에 설치되어 공급될 패널을 지지하되, 공간적인 활용을 높이고 용이한 설치를 위하여 서로 이웃하지 않게 설치되는 것이 바람직하다.

상기 두개의 X축 패널정렬수단(430a, 430b)과 두개의 Y축 패널정렬수단(440a, 440b)은 동일한 구성으로 이루어져 있다. 다만, 크기와 무게가 작게 제작된 상기 베이스플레이트(410)에 설치되어 공간적인 활용을 높이기 위하여, 상기 두개의 X축 패널정렬수단(430a, 430b)은 베이스플레이트(410) 상부에 서로 대칭적으로 마련되고, 상기 두개의 Y축 패널정렬수단(440a, 440b)은 베이스플레이트(410) 하부에 서로 대칭적으로 마련된다.

따라서, 이하에서는 상기 X축 패널정렬수단(430a, 430b)의 구조와 동작에 대해서만 설명하고, Y축 패널정렬수단(440a, 440b)의 구조와 동작은 상기 X축 패널정렬수단(430a, 430b)의 구조와 동작에 따르기로 한다.

도 7은 상기 X축 패널정렬수단(430)을 보여주는 분리사시도이다.

도 7에 도시된 바와 같이, 상기 X축 방향의 각 암(410a, 410c)에는 서로 마주보는 레일(411)이 마련된다. 상기 레일(411)은 상기 베이스플레이트(410)를 구성하는 각 암(410a, 410c)의 길이가 짧기 때문에 길게 형성되는 것이 아니라, 후술할 X축 이송체(432)가 슬라이딩되어 이동될 수 있을 정도의 길이로만 형성된다.

상기 서로 대칭적으로 마련되는 두개의 X축 패널정렬수단(430a, 430b)은 두개의 암(410a, 410c) 중에 한쪽 암(410a 또는 410c)의 측단부에 고정설치되는 정렬동력수단(439)과, 상기 정렬동력수단(439)에 의하여 회전하는 정렬볼스크류(431)와, 상기 정렬볼스크류(431)와 나사결합되어 상기 레일(411)을 따라 암(410a, 410c)의 길이 방향으로 이동하는 긴 직육면체 형상의 X축 이송체(432)와, 상기 X축 이송체(432) 끝단 상부에 고정설치되어 평판디스플레이 패널 단부를 고정함과 동시에 정렬하는 정렬바(433)를 포함하여 이루어진다. 두 개의 X축 이송체(432)들은 서로 반대 방향으로 이동되도록 각각의 정렬볼스크류(431)에 결합되며, X축 이송체(432)들이 가까워짐에 따라 두 개의 정렬바(433)들은 패널의 서로 대향되는 측면을 밀어준다. 두 개의 X축 패널정렬수단(430a 430b)는 공간 활용도를 높이기 위해 Y축 방향으로 서로 이격되어 설치된다.

상기 정렬동력수단(439)은 에어실린더(미도시)와 샤프트(미도시)에 의하여 구성할 수 있지만, 본 발명에서는 정교하고 신속한 정렬을 위하여 모터구동으로 구성하다. 즉, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 정렬볼스크류(431)와 연결되는 제1 풀리(437)와, 상기 제1 풀리(437)와 벨트(438)에 의하여 연동되는 제2 풀리(436)와, 상기 제2 풀리(436)와 연결되어 동력을 발생시키는 정렬모터(435)를 포함하여 구성하다.

상기 정렬볼스크류(431)와 나사결합되어 상기 암(410a, 410c) 상에 설치되는 레일(411)을 따라 슬라이딩되는 X축 이송체(432)는, 그 내부의 길이방향을 따라 길게 나사산이 형성되는 것이 아니라, 상기 정렬볼스크류(431)와 결합되는 일단에만 상기 정렬볼스크류(431)와 결합하여 연동할 수 있는 너트결합체(434)가 마련된다. 그리고, 상기 X축 이송체(432)는 상기 정렬볼스크류(431)를 수용할 수 있을뿐만 아니라, 무게를 감소시키기 위하여 중공형으로 제작되는 것이 바람직하다. 상술한 구조로 인해, X축 이송체(432)가 이동될 때 정렬볼스크류(431)가 X축 이송체(432)에 삽입되는 길이는 점진적으로 변화되어, X축 이송체(432)와 정렬볼스크류(431)가 결합된 전체 길이는 가변된다.

상기와 같은 구조에서, 정렬모터(435)를 구동시키면 제2 풀리(436)와 벨트(438)로 연결되는 제1 풀리(437)가 회전하여 상기 정렬볼스크류(431)도 회전한다. 그러면, 상기 정렬볼스크류(431)와 나사결합하는 너트결합체(434)를 일단에 포함하고 있는 상기 X축 이송체(432)는 상기 암(410a, 410c) 상에 설치되는 레일(411)을 따라 슬라이딩되어 이동된다. 결과적으로 상기 X축 이송체(432) 상부에 고정설치되는 정렬바(433)는 패널지지수단(420a, 420b, 420c, 420d, 420e) 상에 놓여져 있는 평판디스플레이 패널의 측단부로 이동하여 정렬을 수행한다.

이상에서 설명한 패널공급장치(300)의 전체적인 동작을 정리하면 다음과 같다.

먼저, 검사부에 공급할 다양한 크기의 평판디스플레이 패널이 로봇과 같은 패널로딩장치로부터 전달되어 상기 서브테이블(400)의 패널지지수단(420a, 420b, 420c, 420d, 420e)에 올려놓여진다.

그러면, 상기 서브테이블(400)의 베이스플레이트(410)를 구성하는 각 암(410a, 410b, 410c, 410d)의 측단부에 설치되는 정렬동력수단(439)에 의하여 네개의 정렬바(433)를 이동시켜 상기 패널지지수단(420a, 420b, 420c, 420d, 420e) 상에 놓여져 있는 평판디스플레이 패널을 정렬함과 동시에 고정한다.

상기 상태에서 상기 서브테이블(400)에 의하여 지지고정된 상기 평판디스플레이 패널을 패널이송장치에 공급하기 위하여 상기 서브테이블(400)은 회전수단에 의하여 일정 각도로 회전한다. 그런 후, 틸팅수단(330)에 의하여 상기 평판디스플레이 패널을 소정 각도로 틸팅시킨다.

그런 다음, 상기 패널공급장치(300)의 업다운수단에 의하여 상기 평판디스플레이 패널이 패널이송장치 의하여 클램핑될 수 있도록 소정위치만큼 상승한다. 그러면, 상기 패널이송장치는 상기 평판디스플레이 패널을 전달받아 검사부로 이송시킨다.
상술한 실시예에서는 패널정렬수단은 이송체를 직선이동시키기 위해 정렬볼스크류를 구비한 것으로 설명하였다. 그러나 이는 일 예에 불과하며, 이송체를 직선이송시키기 위해 이송체를 밀어주는 로드를 구비한 유공압 실린더, 또는 이송체를 직선이송시키는 링크 메커니즘을 구비할 수 있다.

상기와 같은 구성 및 작용 그리고 바람직한 실시예를 가지는 본 발명인 평판디스플레이 검사장치의 패널 공급장치에 의하면, 가이드판이 존재하지 않고 최적의 부품만을 사용하기 때문에 장비의 전체 크기와 무게가 감소하는 효과가 있다.

또한, 평판디스플레이 패널의 크기가 작아짐에 따라 이에 대응하여 서브테이블의 공간 점유율이 작아지기 때문에 공간사용 효율을 증대시킬 수 있고, 주위에 존재하는 구조물과 간섭되지 않아 장비의 파손을 방지할 수 있는 효과가 있다.

또한, 틸팅수단이 틸팅플레이트의 측단부에 힘을 가하여 장비를 틸팅시키기 때문에 작은 동력이 소요되며, 틸팅모터와 틸팅볼스크류를 이용하여 틸팅시키기 때문에 원하는 각도로 틸팅시킬 수 있고 안정적이고 정교한 틸팅을 할 수 있는 효과가 있다.

또한, 네개의 패널정렬수단이 개별 동작할 수 있으므로 평판디스플레이 패널의 미세한 변화에 대해서 신속하게 대응할 수 있는 장점이 있다.

Claims (21)

1. 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치에 있어서,

   상기 검사장치 내부 소정부분에 고정되는 고정플레이트와;

   상기 고정플레이트 양측 상부와 힌지결합되어 상기 고정플레이트 상부측에 설치되는 틸팅플레이트와;

   상기 고정플레이트와 틸팅플레이트 소정부분에 마련되어 상기 틸팅플레이트를 소정 각도로 틸팅(tilting)시키는 틸팅수단과;

   상기 틸팅플레이트 외곽에 마련된 홀 형상의 가이드를 따라 상기 틸팅플레이트 상부측에서 상하 이동하되, 상기 가이드에 삽입되어 이동하는 업다운축을 하부에 부착고정하고 있는 업다운플레이트와;

   상기 틸팅플레이트와 업다운플레이트 사이에 마련되어 상기 업다운플레이트를 업다운시키는 업다운수단과;

   상기 업다운플레이트 상측에서 회전가능하게 마련되어 공급할 평판디스플레이 패널을 지지하고 정렬하되, 정렬시 전체 길이가 가변되는 패널 정렬 수단이 구비된 서브테이블과;

   상기 서브테이블을 회전시키기 위하여 상기 업다운플레이트 하부에 설치되는 회전수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치.
2. 청구항 1에 있어서, 상기 틸팅수단은,

   상기 틸팅플레이트 일단에 힌지결합되는 제1 이동체와, 상기 제1 이동체에 지지되어 회전하되 수직방향으로 마련되는 틸팅볼스크류와, 상기 틸팅볼스크류와 맞물려 연동하며 상기 고정플레이트 일단에 힌지결합되는 제2 이동체와, 상기 틸팅볼스크류에 회전동력을 전달하기 위하여 상기 고정플레이트 하측에 설치되는 틸팅동력수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치.
3. 청구항 1에 있어서, 상기 서브테이블은,

   네개의 소정형상 암(arm)으로 이루어진 베이스플레이트와, 상기 각각의 암과 상기 베이스플레이트 중앙부분에 결합되어 설치되는 패널지지수단과, 상기 베이스플레이트의 상부에 마련되어 X축 방향의 암을 따라 평행하게 설치되는 두개의 X축 패널정렬수단과, 상기 베이스플레이트의 하부에 마련되어 Y축 방향의 암을 따라 평행하게 설치되는 두개의 Y축 패널정렬수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치.
4. 삭제
5. 청구항 3에 있어서,

   상기 X축 방향의 각 암 상에는 서로 마주보는 레일이 마련되고,

   상기 두개의 X축 패널정렬수단은,

   두개의 암 중에 한쪽 암의 측단부에 고정설치되는 정렬동력수단과, 상기 정렬동력수단에 의하여 회전하는 정렬볼스크류와, 상기 정렬볼스크류와 나사결합되어 상기 레일을 따라 암의 길이방향으로 이동하는 긴 직육면체 형상의 X축 이송체와, 상기 X축 이송체 끝단 상부에 고정설치되는 정렬바를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치.
6. 청구항 5에 있어서,

   상기 두개의 X축 패널정렬수단은 서로 대칭적으로 설치되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치.
7. 청구항 5에 있어서,

   상기 X축 이송체는 상기 정렬볼스크류와 나사결합되어 연동되기 위하여 일단에 너트결합체가 마련되고, 상기 정렬볼스크류를 수용할 수 있도록 중공형인 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치.
8. 청구항 3에 있어서,

   상기 Y축 방향의 각 암의 하부에는 서로 마주보는 레일이 마련되고,

   상기 두개의 Y축 패널정렬수단은,

   두개의 암 중에 한쪽 암의 측단부에 고정설치되는 정렬동력수단과, 상기 정렬동력수단에 의하여 회전하는 정렬볼스크류와, 상기 정렬볼스크류와 나사결합되어 상기 레일을 따라 암의 길이방향으로 이동하는 긴 직육면체 형상의 Y축 이송체와, 상기 Y축 이송체 끝단에 고정설치되어 암의 상부측을 향하게 마련되는 정렬바를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치.
9. 청구항 8에 있어서,

   상기 두개의 Y축 패널정렬수단은 서로 대칭적으로 설치되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치.
10. 청구항 8에 있어서,

    상기 Y축 이송체는 상기 정렬볼스크류와 나사결합되어 연동되기 위하여 일단에 너트결합체가 마련되고, 상기 정렬볼스크류를 수용할 수 있도록 중공형인 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치.
11. 청구항 5 또는 청구항 8에 있어서, 상기 정렬동력수단은,

    상기 정렬볼스크류와 연결되는 제1 풀리와, 상기 제1 풀리와 벨트에 의하여 연동되는 제2 풀리와, 상기 제2 풀리와 연결되어 동력을 발생시키는 정렬모터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치.
12. 제 1항에 있어서,

    상기 패널정렬수단은,

    상기 베이스플레이트에 설치되는 정렬볼스크류와;

    상기 정렬볼스크류의 회전에 의해 상기 정렬볼스크류를 따라 이동되도록 상기 정렬볼스크류와 나사결합되는 이송체와; 그리고

    상기 이송체에 고정결합되며, 상기 이송체의 이동에 의해 상기 패널의 측면을 밀어주는 정렬바를 구비하되,

    상기 이송체가 이동될 때, 상기 이송체와 상기 정렬볼스큐가 결합된 전체 길이는 가변되는 것을 특징으로 하는 서브 테이블.
13. 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치에 사용되며, 기판을 지지하고 정렬하는 서브 테이블에 있어서,

    베이스 플레이트와;

    상기 베이스 플레이트에 결합되어 설치되며, 패널을 지지하는 패널지지수단과;

    상기 패널지지수단에 의해 지지된 패널을 정렬하되, 전체 길이가 가변되는 패널정렬수단을 포함하고,

    상기 패널정렬수단은,

    상기 베이스플레이트에 설치되는 정렬볼스크류와;

    상기 정렬볼스크류의 회전에 의해 상기 정렬볼스크류를 따라 이동되도록 상기 정렬볼스크류와 나사결합되는 이송체와; 그리고

    상기 이송체에 고정결합되며, 상기 이송체의 이동에 의해 상기 패널의 측면을 밀어주는 정렬바를 구비하되,

    상기 이송체가 이동될 때, 상기 이송체와 상기 정렬볼스큐류가 결합되어 전체 길이가 가변되는 것을 특징으로 하는 서브 테이블.
14. 삭제
15. 청구항 13에 있어서,

    상기 패널정렬수단은, 상기 패널지지수단에 의해 지지된 패널을 제 1축 방향으로 정렬하는 제 1축 패널정렬수단을 포함하되,

    상기 제 1축 패널정렬수단은,

    상기 제 1축 방향을 따라 배치되는 정렬볼스크류와;

    내부에 상기 정렬볼스크류와 나사결합되는 너트결합체가 형성되고, 상기 정렬볼스크류의 회전에 의해 상기 제 1축 방향을 따라 전진 및 후진되는 이송체와; 그리고,

    상기 이송체에 고정결합되며, 상기 이송체의 이동에 의해 상기 패널의 측면을 밀어주는 정렬바를 구비하며,

    상기 이송체와 상기 정렬볼스크류의 결합된 전체길이가 가변되도록 상기 이송체가 이동됨에 따라 상기 정렬볼스크류가 상기 이송체에 삽입되는 길이는 점진적으로 변화되는 것을 특징으로 하는 서브 테이블.
16. 청구항 15에 있어서,

    상기 정렬볼스크류는 제 1정렬볼스크류와 제 2정렬볼스크류를 가지며,

    상기 이송체는 상기 제 1정렬볼스크류에 결합되는 제 1이송체와 상기 제 2정렬볼스크류에 결합되는 제 2이송체를 가지며,

    상기 정렬바는 상기 제 1이송체에 고정결합되는 제 1정렬바와 상기 제 2이송체에 고정결합되는 제 2정렬바를 가지며,

    상기 제 1이송체와 상기 제 2이송체는 서로 반대방향으로 이동되도록 상기 제 1정렬볼스크류 및 상기 제 2정렬볼스크류에 결합되어 상기 제 1정렬바와 상기 제 2정렬바가 각각 패널의 서로 대향되는 측면을 밀어주는 것을 특징으로 하는 서브 테이블.
17. 청구항 16에 있어서,

    상기 제 1정렬볼스크류와 상기 제 2정렬볼스크류는 상기 제 1축 방향으로 나란하게 배치되되, 서로 이격되어 설치되는 것을 특징으로 하는 서브 테이블.
18. 청구항 15에 있어서,

    상기 패널 정렬수단은 상기 패널지지수단에 의해 지지된 패널을 상기 제 1축방향과 수직한 제 2축 방향으로 정렬하는 제 2축 패널정렬수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 서브 테이블.
19. 청구항 18에 있어서,

    상기 제 2축 패널정렬수단은,

    상기 제 2축 방향을 따라 배치되는 정렬볼스크류와;

    내부에 상기 제 2축 패널정렬수단의 정렬볼스크류와 나사결합되는 너트결합체가 형성되고, 상기 제 2축 패널정렬수단의 정렬볼스크류의 회전에 의해 상기 제 2축 방향을 따라 전진 및 후진되는 이송체와; 그리고

    상기 제 2축 패널정렬수단의 이송체 각각에 고정결합되며, 상기 제 2축 패널정렬수단의 이송체의 이동에 의해 상기 패널의 측면을 밀어주는 정렬바를 구비하며,

    상기 제 2축 패널정렬수단의 이송체와 상기 정렬볼스크류의 결합된 전체길이가 가변되도록 상기 제 2축 패널정렬수단의 이송체가 이동됨에 따라 상기 제 2축 패널정렬수단의 정렬볼스크류가 상기 제 2축 패널정렬수단의 이송체에 삽입되는 길이는 점진적으로 변화되고,

    상기 제 2축 패널정렬수단의 정렬볼스크류는 제 3정렬볼스크류와 제 4정렬볼스크류를 구비하며,

    상기 제 2축 패널정렬수단의 이송체는 상기 제 3정렬볼스크류에 결합되는 제 3이송체와 상기 제 4정렬볼스크류에 결합되는 제 4이송체를 가지며,

    상기 제 2축 패널정렬수단의 정렬바는 상기 제 3이송체에 고정결합되는 제 3정렬바와 상기 제 4이송체에 고정결합되는 제 4정렬바를 포함하며,

    상기 제 3이송체와 상기 제 4이송체는 서로 반대방향으로 이동되도록 상기 제 3정렬볼스크류 및 상기 제 4정렬볼스크류에 결합되어 상기 제 3정렬바와 상기 제 4정렬바가 각각 패널의 서로 대향되는 측면을 밀어주는 것을 특징으로 하는 서브 테이블.
20. 청구항 18에 있어서,

    상기 제 1이송체 내지 상기 제 4이송체는 로드 형상을 가지고,

    상기 베이스 플레이트는,

    상기 제 1축 방향을 따라 제공되며, 상기 제 1이송체의 이동을 안내하는 레일이 형성된 제 1암과;

    상기 제 1축 방향을 따라 상기 제 1암과 반대방향으로 제공되며, 상기 제 2이송체의 이동을 안내하는 레일이 형성된 제 2암과;

    상기 제 2축 방향을 따라 제공된 상기 제 3이송체의 이동을 안내하는 레일이 형성된 제 3암과;

    상기 제 2축 방향을 따라 상기 제 3암과 반대방향으로 제공되며, 상기 제 4이송체의 이동을 안내하는 레일이 형성된 된 제 4암을 포함하는 것을 특징으로 하는 서브 테이블.
21. 청구항 20에 있어서,

    상기 제 1암과 상기 제 2암에 제공된 상기 레일들은 상기 제 1암과 상기 제 2암의 상부면에 제공되고,

    상기 제 3암과 상기 제 4암에 제공된 상기 레일들은 상기 제 3암과 상기 제 4암의 하부면에 제공되는 것을 특징으로 하는 서브 테이블.

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