KR100358707B1 - 액정디스플레이패널 검사장치의 패널수직반송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정디스플레이패널 검사장치의 패널수직반송장치에 관한 것이다.

피검사물체공급부와, 상기 피검사물체공급부에 수직방향으로 마련된 검사부와, 상기 피검사물체공급부로부터 피검사물체를 수수하여 상기 검사부로 로딩·언로딩시킴을 수직방향으로 행하는 반송장치로 이루어지며, 상기 반송장치는 상기 피검사물체공급부 및 검사부의 전장에 걸쳐 다단으로 배치되는 2쌍의 가이드레일과, 상기 각 가이드레일을 따라 서로 이격되게 상·하 이동되도록 설치되는 제1, 2이송아암과, 상기 각 제1,2 이송아암의 양측에 배치되어 상기 제 1,2이송아암을 수직방향으로 이격되게 이송시키는 이송체와, 상기 이송체를 이동가능케 구동시키는 구동수단으로 구성된 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이 구성함으로써, 텍트 타임(Tact Time : 패널측정종료부터 다음패널 접촉시 까지의 시간)을 줄일 수 있게 되어 정해진 시간 내에 보다 많은 패널을 검사할 수 있는 하이 스루풋(High Through)을 실현할 수 있다.

뿐만 아니라, 패널이 수직타입으로 이송되도록 구현함에 따라 수평방향으로 이송시키는 수평타입에서 있을 수 있는 패널이 이탈될 위험성을 해소시켜 패널반송동작을 보다 안정적으로 행할 수 있는 이점이 있다.

Description

액정디스플레이패널 검사장치의 패널수직반송장치{Panel Sending Apparatus of Liquid Crystal Display Inspection System}

본 발명은 액정패널을 프로빙(probing)방식에 의해 목시 점등 검사를 하기 위한 액정패널 검사장치에 관한 것으로서, 특히, 액정패널의 반송장치의 구조를 2중 구조로 개선하여 액정패널의 로딩 및 언로딩작업을 동시에 행하도록 하는 액정패널검사장치의 패널반송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 액정패널의 라인의 단선검사와, 색상검사를 위해 프로브유니트를 이용하여 점등검사를 행하게 되고, 그 외 현미경을 이용하여 육안검사를 행하게 된다.

이와 같은 목적으로 행해지는 액정패널검사장치는 액정패널을 공급하는 액정패널공급부를 마련하고, 실제 검사가 이루어지는 검사부를 마련하며, 상기 액정패널공급부로부터 액정패널을 공급하고 그 공급되는 액정패널을 검사부로 로딩 언로딩시키기 위해 반송장치가 마련된다.

본 발명의 목적은 패널반송장치를 상하 2조의 이송아암을 채용하여 패널의 로딩(loading)과 언로딩(unloading)을 동시에 행하도록 하여 하이 스루풋(High Throughput)을 실현하도록 하는 액정패널검사장치의 패널반송장치를 제공하는 데 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 그 이송방향을 수직으로 구현함에 따라 패널을 보다 안정적으로 반송시키도록 하는 액정디플레이이패널검사장치의 패널반송장치를 제공하는 데 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 피검사물체공급부, 상기 피검사물체공급부에 수직방향으로 마련된 검사부, 상기 피검사물체공급부로부터 피검사물체를 수수하여 상기 검사부로 로딩·언로딩시킴을 수직방향으로 행하는 반송장치로 이루어지며, 상기 반송장치는 상기 피검사물체공급부 및 검사부의 전장에 걸쳐 다단으로 배치되는 2쌍의 가이드레일과, 상기 각 가이드레일을 따라 서로 이격되게 상·하 이동되도록 설치되는 제1,2이송아암과, 상기 각 제1,2 이송아암의 양측에 배치되어 상기 제 1,2이송아암을 수직방향으로 이격되게 이송시키는 이송체와, 상기 이송체를 이동가능케 구동시키는 구동수단으로 구성된 것을 특징으로 한다.

도 1은 액정패널검사장치의 일 예를 도시한 전체사시도,

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 의한 패널반송장치의 구성을 도시한 평면도,

도 3은 상기 도 2의 패널반송장치의 구성을 측면에서 도시한 측면도,

도 4는 상기 도 2의 반송장치의 구동수단의 구성을 도시한 분리사시도,

도 5는 상기 도 1의 서브테이블의 구조를 도시한 분리 사시도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100 : 피검사물체(액정패널)검사장치 101 : 본체

200 : 액정패널공급부 310 : 검사테이블

400 : 현미경유닛이송수단 410 : 현미경유닛

500 : 서브테이블 510 : 베이스플레이트

520 : 제1승강테이블 530 : 제2승강테이블

540 : 승강수단 541 : 제1에어실린더]

543 : 제2에어실린더 550 : 패널브라켓지지플레이트

560 : 패널브라켓 590 : 흡착기

600 : 반송장치 612 : 제1이송아암

611 : 제2이송아암 601, 603 : 가이드레일

604,605 : 이동체 606,607 : 연결브라켓

620 : 구동수단 621 : 에어실린더

623 : 볼스크루 623a : 볼스크루축

623b : 볼스크루너트

이하, 첨부도면 도 1내지 도 6을 참조로 하여 본 발명의 구성 및 작용에 대해서 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 의한 패널반송장치가 적용된 액정디스플레이 패널검사장치의 구성을 개략적으로 도시한 정면도다.

상기 도면에 도시된 바와 같이 액정패널 검사장치(100)는 그 전면측이 소정의 각도 예컨대 60°로 기울어지게 형성된 본체(101)가 마련되며, 그 본체(101)의 내부에는 피검사물체(이하, 액정패널이라 칭함)가 공급되는 피검사물체공급부(이하 액정패널공급부(200)라 칭함)와, 상기 액정패널공급부(200)에 공급되는 액정패널을 로딩시켜 저면에 마련된 광원)(미도시)을 조명함으로써 제조공정 상 발생하는 액정패널의 얼룩이나, 액정패널의 데이터라인과 게이트라인의 단선상태와 색상 등을 검사하는 검사부(300)가 수직으로 배치된다.

상기 검사부(300)에는 그 내부에 광원(미도시)을 조명함으로써, 그 상면에 로딩되는 액정패널의 목시 검사를 가능토록 하는 검사테이블(310)이 마련되며, 그 검사테이블(310)의 둘레에는 상기 검사테이블(310)에 로딩된 액정패널의 이상부분을 미세하게 체크하거나, 가동 초기 시 프로브유니트(미도시)의 프로브블록과 액정패널의 패드 얼라인먼트를 위한 현미경유닛(410)이 현미경이송수단(400)에 의해 수직 또는 수직 이동가능케 설치된다.

상기 액정패널공급부(200)에는 공급되는 액정패널을 2단 형태에 맞게 선택적으로 대기시키는 서브테이블(500)이 마련되며, 상기 서브테이블(500)에 대기중인 액정패널은 반송장치(600)에 의해 상기 검사테이블(310)로 로딩되며, 그 반송장치(600)에 의해 다시 상기 검사테이블(310)로부터 언로딩되어 액정패널공급부(200)로 원 위치하도록 구성된다.

한편, 상기 본체(101)의 일측에는 액정디스플레이검사장치(100)의 운전을 온·오프시키는 스위치역할을 수행하고, 또는 상기 검사테이블(310)에 로딩 된 액정패널의 얼라인먼트 상황을 표시해주는 컴퓨터(105)가 마련된다.

상기 검사테이블(310)의 주변에는 상기 검사테이블(310)에 로딩되는 액정패널을 진공 흡착시킬 수 있도록 진공홀(미도시)이 구성되며, 상기 검사테이블(310)은 도시되지 않은 이송수단에 의해 X,Y,Z축 방향의 직선이동은 물론 소정의 각도(θ°)로 회전시킬 수 있게 구성되어 액정패널을 최적의 검사 위치로 얼라인먼트(Alignment)할 수 있게 구성된다.

다음 상기 반송장치(600)는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 검사부(300) 및 액정패널공급부(200) 전장에 걸쳐 배치되는 다단으로 배치되는 가이드레일(601,603)과, 상기 각 가이드레일(601,603)을 따라 서로 이격되게 상·하 이동되도록 설치되는 제1,2이송아암(611,612);과, 상기 각 제1,2 이송아암(611,612)의 양측에 배치되어 상기 제 1,2이송아암(611,612)을 수직방향으로 이격되게 이송시키는 이송체(604,605)와, 상기 이송체(604,605)를 이동가능케 구동시키는 구동수단(620)으로 구성된다.

상기 구동수단(620)은 제 1,2이송아암(611,612)의 양측에 한 쌍을 이루도록 배치되면 연결브라켓(606,607)을 매개로 상기 이송체(604,605)와 연결되는 에어실린더(621) 및 볼스크루(623)로 이루어진다.

상기 볼스크루(623)는 볼스크루축(623a) 및 상기 볼스크루축(623a)에 외감된 볼스크루너트(623b)로 이루어지며, 상기 볼스크루축(623a)의 일단이 모터(625)에 연결되며, 그 타단은 고정브라켓(626)에 의해 회전가능케 고정된다.

미설명부호(631~633)는 각 가이드레일(601,603)을 2단으로 고정시키기 위한브라켓을 나타내고, 부호(621a)는 실린더이동체를 나타낸다.

다음 상기 제1,2이송아암(611,612)은 좌우 대칭되게 2쌍의 가이드(611a′, 612a′)가 마련되는 틀부재(611a,612a)와, 상기 가이드(611a′)를 따라 상·하 대칭된 형태로 이동가능케 설치되는 이동블럭(611b, 612b)과, 상기 이동블럭(611b,612b)의 내단에 설치되어 액정패널을 잡는 그리퍼(613 )로 구성된다.

다음 상기 서브테이블(500)은 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 소정의 위치에서 고정되는 베이스플레트(510)와, 상기 베이스플레이트(510)의 상측으로 소정의 간격을 두고 마련되는 제1승강테이블(520) 및 제2승강테이블(530)이 마련되며, 상기 1,제2승강테이블(520,530)은 승강수단(540)에 의해 소정의 높이로 승·하강되게 구성된다.

상기 승강수단(540)은 제1승강테이블(520)에 연결되어 상기 제1승강테이블(520)을 소정의 높이로 승·하강시키는 복수개의 제1에어실린더(541)와, 상기 제2승강테이블(530)에 연결되어 상기 제1승강테이블(510) 및 제2승강테이블(530)을 소정의 높이로 승·하강시키는 제2에어실린더(543)로 구성된다.

상기 제1승강테이블(520) 및 제2승강테이블(530)에의 후면에는 그 승·하강동작 시 충격을 완화시켜주는 쇼크 압소버(Shock Absorber)(545)가 마련되고, 또한, 그 승·하강동작을 보조 가이드하는 LM(Linear Motion)부시(548)가 마련된다.

상기 제1승강테이블(510)의 상면에는 패널브라켓지지플레이트(550)를 매개로 복수개의 패널브라켓(560)이 마련되며, 상기 패널브라켓(560)은 직선이동수단(570)에 의해 직선 이동가능케 설치된다.,

한편, 상기 복수개의 패널브라켓(560)이 설치된 그 대략 중앙부에는 액정패널을 진공흡착시키는 흡착기(590)가 마련된다.

다음 상기 현미경유닛이송수단(400)은 도 9 내지 도 13에 도시된 바와 같이 핸들(411)이 마련된 현미경유닛(410)을 이송시키도록 검사테이블(310)이 마련된 본체(101)의 양측에 설치되는 한 쌍의 수직이송수단(420)과, 상기 수직이송수단(420)의 중앙에 상기 수직이송수단(420)의 수직이동체(후술함)에 연결브라켓(412)를 매개로 연결되는 수직이송수단(450)으로 구성된다.

다음은 이와 같이 구성된 본 발명의 일 실시 예에 의한 액정디스플레이 패널 검사장치의 동작원리에 대해서 설명한다.

먼저, 작업자 또는 로봇에 의해 검사할 액정패널을 서브테이블(500)의 상면에 올려놓으면 흡착기(590)가 동작되어 액정패널을 진공 흡착한다. 이때, 상기 서브테이블(500)은 가동초기의 경우에는 원점위치에 있게 된다.

이와 같이 액정패널을 서브테이블(500)의 상면에 올려놓은 다음 컴퓨터 모니터(105)상 등에 마련되는 공급스위치(미도시)를 누른다. 이때, 도시되지 않은 센서에 의해 액정패널의 대기상태를 확인할 수 있게 된다. 그러면, 제1에어실린더(541)가 동작되어 제1승강테이블(520)을 소정의 위치로 상승하여 액정패널을 제1이송아암(612)에 공급시키는 위치로 대기하게 된다.

상기와 같이 제1승강테이블(520)에 의해 액정패널이 대기상태를 이루게 되면, 제1이송아암(612)의 그리퍼(613)가 도시되지 않은 에어실린더에 의해 상하 대칭된 형태로 전진하여 액정패널의 상·하단측을 끼움방식에 의해 잡게 된다.

그 후, 상기 그리퍼(613)의 일측에 마련된 센서(미도시)에 의해 액정패널의 그립상태가 확인되면, 다시 제1에어실린더(541)의 동작에 의해 제1승강테이블(520)은 후진하여 초기상태로 대기하고, 검사부(300)의 검사테이블(310)또한 후진하여 원 초기상태에 대기하게 된다.

이때, 상기 검사테이블(310)의 흡착력이 해제됨과 동시에 제2이송아암(611)의 그리퍼(613)가 다시 동작되어 검사한 액정패널을 잡는 상태를 이루고 있을 것이다.

다음, 상기와 같이 제1승강테이블(520) 및 검사테이블(310)이 후진되어 초기상태를 완료하게 되면, 제1이송아암(612)은 반송장치(600)에 의해 검사부(300)로 이송되고, 상기 검사부(300)측에 있던 제2이송아암(611)은 다시 액정패널공급부(200)측으로 이동되어 도 2의 상태를 이루게 된다.

상기 도 2와 같은 상태로 위치 완료가 되면, 다시 검사테이블(310)이 상승하여 제1이송아암(612)이 잡고 있는 액정패널을 공급받게 되고, 제 2에어실린더(543)의 동작에 의해 제2승강테이블(530)이 상승함에 따라 상기 제2승강테이블(530)에 연결된 제1승강테이블(520)이 상승하게 되어 제2이송아암(612)이 액정패널을 공급받을 위치로 대기하게 된다.

이때, 상승된 높이는 상기 제 1승강테이블(520)이 단독으로 상승된 높이보다 더 높게 상승하여 제1이송아암(612)의 상단에 배치되는 제2이송아암(611)의 위치에 대응하도록 되는 것은 물론이다.

한편, 상기 검사부(300)측에 마련된 검사테이블(310)은 다시 도시되지 않은 구동수단에 의해 상승되어 제1이송아암(611)으로부터 액정패널을 전달받기 위한 상태로 대기하게 된다.

상기와 같이 검사테이블(310)의 상면에 액정패널을 안착시킬 수 있는 실 작업위치를 이루게 되면, 상기 검사테이블(310)의 주변에 마련된 진공홀을 통하여 진공압이 가해져 액정패널을 고정시킴과 동시에 제1이송아암(611)의 그리퍼(613)의 파악력이 해제된다.

상기와 같이 검사테이블(310)의 상면에 액정패널이 진공 흡착되어 고정되면 도시되지 않은 얼라인 카메라에 의해 액정패널의 위치를 판독한 후 도시되지 않은 구동수단에 의해 검사테이블(310)을 X축, Y축, Z축 이동은 물론 θ회전시킨다.

상술한 내용에 있어, 상기 제 1,2이송아암(611,612)이송 동작은 모터(625)에 의해 회전하는 볼스크루(623) 및 에어실린더(621)에 의해 행해지게 된다.

그에 대해 좀더 자세히 설명하면, 먼저, 모터(625)의 구동력에 의해 볼스크루(623a)축이 회전하면, 상기 볼스크루(623a)에 외감된 볼스크루너트(623b)가 회전직선이동하고, 상기 볼스크루너트(623b)에 연결브라켓(606)을 매개로 이송체(605) 및 제2이송아암(611)의 일측이 연결되어 있게 되어 제2이송아암(611)을 수직방향으로 이동시키게 된다.

한편, 상기 볼스크루(623)가 설치된 반대편 쪽에 마련된 에어실린더(621)의 실린더이동체(621)에 연결브라켓(607)을 매개로 이송체(604) 및 제2이송아암(611)의 일측이 연결되어 있어 2이송아암(611)이 수직 이동되는 것을 더욱더 쉽게 이루어지도록 한다.

상기와 같이 에어실린더(621)를 추가로 사용하는 이유는 모터(625)의 구동력을 덜어 주기 위한 한 방법으로 사용하게 된 것이다.

제 1이송아암(612) 역시 상술한 제2이송암(611)이 이송원리와 동일한 원리에 의해 이루어진다.

상술한 바와 같이 구성된 본 발명에 의한 액정디스플레이패널검사장치의 패널수직반송장치에 의하면, 이송아암을 복수개 마련하고, 그 복수개이 이송아암이 수직방향으로 서로 이격되게 이동될 수 있도록 구현함에 따라 액정패널의 로딩 및 언로딩작업을 동시에 이루어지도록 함으로써, 텍트 타임(Tact Time : 패널측정종료부터 다음패널 접촉 시 까지의 시간)을 줄일 수 있는 효과를 갖는다.

따라서, 정해진 시간 내에 보다 많은 패널을 검사할 수 있는 하이 스루풋(High Through)을 실현할 수 있다.

뿐만 아니라, 패널이 수직타입으로 이송되도록 구현함에 따라 수평방향으로 이송시키는 수평타입에서 있을 수 있는 패널이 이탈될 위험성을 해소시켜 패널반송동작을 보다 안정적으로 행할 수 있는 이점이 있다.

Claims (2)

1. 피검사물체공급부;

   상기 피검사물체공급부에 수직방향으로 마련된 검사부;

   상기 피검사물체공급부로부터 피검사물체를 수수하여 상기 검사부로 로딩·언로딩시킴을 수직방향으로 행하는 반송장치로 이루어지며,

   상기 반송장치는 상기 피검사물체공급부 및 검사부의 전장에 걸쳐 다단으로 배치되는 2쌍의 가이드레일;

   상기 각 가이드레일을 따라 서로 이격되게 상·하 이동되도록 설치되는 제1, 2이송아암;

   상기 각 제1,2 이송아암의 양측에 배치되어 상기 제 1,2이송아암을 수직방향으로 이격되게 이송시키는 이송체;

   상기 이송체를 이동가능케 구동시키는 구동수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 액정디스플레이패널 검사장치의 패널수직반송장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 구동수단은 제 1, 2이송아암의 양측에 한 쌍을 이루도록 배치되는 에어실린더 및 볼스크루로 구성되며, 그 볼스크루는 모터에 의해 회전 구동되는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이패널검사장치의 패널수직반송장치.