CN105742224A - 衬底吸附装置 - Google Patents

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郑进福
柯永来
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Abstract

本发明涉及衬底吸附装置。一种衬底吸附装置包含一第一支持单元以及一第二支持单元。第一支持单元沿一第一方向设置。第二支持单元连接于第一支持单元并沿一第二方向设置。其中，第一支持单元具有一第一伸缩件以及至少一第一吸附元件，且第一吸附元件连接到第一伸缩件。本发明的衬底吸附装置具有创新的结构设计，能高效率的应用于薄化衬底以减少其变形量，并因而能提升产品良率。

Description

衬底吸附装置
技术领域
本发明关于一种吸附装置，特别关于一种衬底吸附装置。
背景技术
在半导体制程或衬底加工制程中，常需要使用一衬底吸附装置来搬运衬底，以使衬底到达所需要的地点来进行所需制程。而在衬底吸附装置搬运衬底的过程中，衬底吸附装置对衬底的吸附力与吸附面积或范围相当程度地影响搬运的质量。
另外，由于现在的平面电子装置，例如显示装置、触控装置等等，都要求轻薄化，以致于电子装置内所使用的衬底也需要相当的薄形化。而传统的衬底吸附装置在吸附这些薄化的衬底时，由于吸附力与吸附范围的不足或不合适，导致薄化衬底产生相当的变形量，进而影响后续制程的进行以及产品的良率。
因此，如何提供一种衬底吸附装置，能高效率的应用于这些薄化衬底以减少其变形量，进而提升产品良率，实为当前重要课题之一。
发明内容
有鉴于上述课题，本发明的目的在于提供一种衬底吸附装置，其具有创新的结构设计，而能高效率的应用于这些薄化衬底以减少其变形量，并因而能提升产品良率。
为达上述目的，本发明的一种衬底吸附装置包含一第一支持单元以及一第二支持单元。第一支持单元沿一第一方向设置。第二支持单元连接于第一支持单元并沿一第二方向设置。其中，第一支持单元具有一第一伸缩件以及至少一第一吸附元件，且第一吸附元件设置于第一伸缩件。
在一实施例中，第一支持单元还具有一第二伸缩件以及至少一第二吸附元件，第二吸附元件设置于第二伸缩件。其中，第二伸缩件与第一伸缩件分别设置于第二支持单元的两相对侧。
在一实施例中，第一伸缩件与第二伸缩件分别朝第二支持单元的外侧方向伸缩。
在一实施例中，衬底吸附装置还包含一第三支持单元，其连接于第一支持单元与第二支持单元的至少其中之一。
在一实施例中，第三支持单元具有一第三伸缩件以及至少一第三吸附元件，第三吸附元件设置于第三伸缩件。
在一实施例中，第三支持单元还具有一第四伸缩件以及至少一第四吸附元件，第四吸附元件设置于第四伸缩件。其中，第四伸缩件与第三伸缩件分别设置于第一支持单元或第二支持单元的两相对侧。
在一实施例中，第三伸缩件与第四伸缩件分别朝第一支持单元或第二支持单元的外侧方向伸缩。
在一实施例中，第二支持单元还具有一第五伸缩件，第五伸缩件朝第二方向伸缩，且第一支持单元设置于第五伸缩件。
承上所述，在本发明的衬底吸附装置中，第一支持单元及第二支持单元沿不同方向设置，且第一支持单元具有一第一伸缩件以及至少一第一吸附元件，第一吸附元件设置于第一伸缩件。藉由第一伸缩件的伸展可使衬底吸附装置的吸附所涵盖的范围加大，而能高效率地应用于薄化衬底并减少其变形量。此外，藉由第一伸缩件的伸缩程度的不同，可使本发明的衬底吸附装置应用于不同厚度或尺寸的衬底，进而提升衬底吸附装置的应用性。
附图说明
图1为本发明一实施例的一衬底吸附装置应用于一衬底的俯视示意图。
图2为本发明一实施例的一衬底吸附装置的一示意图。
图3为本发明另一实施例的衬底吸附装置的示意图。
图4为本发明另一实施例的衬底吸附装置的示意图。
具体实施方式
以下将参照相关附图，说明依本发明较佳实施例的一种衬底吸附装置，其中相同的组件将以相同的参照符号加以说明。
图1为本发明一实施例的一衬底吸附装置1应用于一衬底S的俯视示意图，图2为衬底吸附装置1的一示意图。在本实施例中，衬底S例如为一玻璃衬底，并例如应用于半导体制程或其它衬底加工制程，于此并不限制。
如图1所示，当衬底吸附装置1应用于吸附衬底S时，可在衬底S的两侧皆设置一衬底吸附装置1，以提供对称且足够的吸附力与吸附面积而达到稳定的吸附效果。在其它实施例中，当衬底S的尺寸较小时，亦可只在衬底S的一侧设置一衬底吸附装置1。
如图1及图2所示，本实施例的衬底吸附装置1包含一第一支持单元11以及一第二支持单元12。第一支持单元11沿一第一方向D1设置。于此，第一支持单元11具有一本体111，且本体111为板状并沿第一方向D1延伸设置。第二支持单元12连接于第一支持单元11并沿一第二方向D2设置。另外，第二支持单元12还可与一枢轴单元PU连接，使得第二支持单元12连同第一支持单元11可由枢轴单元PU驱动而转动。
其中，第一支持单元11具有一第一伸缩件112以及至少一第一吸附元件113。于此以两第一吸附元件113为例，且第一吸附元件113设置于第一伸缩件112。在其它实施例中可具有更多第一吸附元件，且第一吸附元件可呈一图样来排列。第一吸附元件113例如为一吸盘，由于第一吸附元件113固定于第一伸缩件112，所以它会随着第一伸缩件112的伸缩程度的不同，而吸附衬底S的不同位置而提供不同的吸附效果。
在本实施例中，第一伸缩件112例如藉由一气压缸P而达到伸缩的功能。气压缸P例如设置于第一支持单元11的本体111上，且气压缸P的一伸缩杆与第一伸缩件112连接而驱动第一伸缩件112伸缩。于此，第一伸缩件112例如沿第一方向D1进行伸缩，换言之，第一伸缩件112朝第二支持单元12的外侧方向伸缩。
另外，在本实施例中，第一支持单元11还可具有至少一第二吸附元件114。第二吸附元件114设置于第一支持单元11的本体111上并可吸附衬底S。于此以两第二吸附元件114为例，但本发明并不限于此。第一吸附元件113与第二吸附元件114分别位于本体111的两相对侧，也位于第二支持单元12的两相对侧。
此外，衬底吸附装置1还可包含一第三支持单元13，其连接于第一支持单元与第二支持单元的至少其中之一，于此以连接于第二支持单元12为例作说明。在本实施例中，第三支持单元13沿第一方向D1设置。第三支持单元13具有一第三伸缩件131以及至少一第三吸附元件132，于此以两第三吸附元件132为例，且第三吸附元件132设置于第三伸缩件131。第三吸附元件132可吸附衬底S，并随着第三伸缩件131的伸缩程度的不同而吸附衬底S的不同位置，进而提供不同的吸附效果。第三伸缩件131可例如藉由一气压缸及伸缩杆而达到伸缩效果，由于此部分的技术特征类同于第一伸缩件112，故于此不再赘述。第三伸缩件131可朝第一支持单元11或第二支持单元12的外侧方向伸缩，于此以朝第二支持单元12的外侧方向伸缩为例作说明。在本实施例中，第三伸缩件131沿第一方向D1进行伸缩。
另外，第三支持单元13还可具有一第四伸缩件133以及至少一第四吸附元件134，于此以两第四吸附元件134为例，且第四吸附元件134设置于第四伸缩件133。其中，第四伸缩件133与第三伸缩件131分别设置于第一支持单元11或第二支持单元12的两相对侧，于此以分别设置于第二支持单元12的两相对侧为例。第四吸附元件134可吸附衬底S，并随着第四伸缩件133的伸缩程度的不同而吸附衬底S的不同位置，进而提供不同的吸附效果。第四伸缩件133可例如藉由一气压缸及伸缩杆而达到伸缩效果，由于此部分的技术特征类同于第一伸缩件112，故于此不再赘述。第四伸缩件133可朝第一支持单元11或第二支持单元12的外侧方向伸缩，于此以朝第二支持单元12的外侧方向伸缩为例作说明。在本实施例中，第四伸缩件133沿第一方向D1进行伸缩。
本实施例的衬底吸附装置1可具有多种变化态样，以下举例说明之。
图3为本发明另一实施例的衬底吸附装置1a的示意图。与衬底吸附装置1主要不同在于，衬底吸附装置1a的第一支持单元11还可具有一第二伸缩件115以及至少一第二吸附元件114，于此以两第二吸附元件114为例，且第二吸附元件114设置于第二伸缩件115。其中，第二伸缩件115与第一伸缩件112分别设置于第二支持单元12的两相对侧，且亦设置于第一支持单元11的两相对侧，平行于第一方向D1。
第二吸附元件114可吸附衬底S，并随着第二伸缩件115的伸缩程度的不同而吸附衬底S的不同位置，进而提供不同的吸附效果。第二伸缩件115可例如藉由一气压缸及伸缩杆而达到伸缩效果，由于此部分的技术特征类同于第一伸缩件112，故于此不再赘述。第二伸缩件115可朝第二支持单元12的外侧方向伸缩。在本实施例中，第二伸缩件115沿第一方向D1进行伸缩。
图4为本发明另一实施例的衬底吸附装置1b的示意图。与衬底吸附装置1a主要不同在于，衬底吸附装置1b的第二支持单元12可具有一第五伸缩件121，其朝第二方向D2伸缩，且第一支持单元11设置于第五伸缩件121。当第五伸缩件121伸长时，衬底吸附装置1b的第一支持单元11可更深入衬底S的内部而吸附衬底S，换言之，随着第五伸缩件121的伸缩程度的不同，衬底吸附装置1b可提供不同的吸附效果。
综上所述，在本发明的衬底吸附装置中，第一支持单元及第二支持单元沿不同方向设置，且第一支持单元具有一第一伸缩件以及至少一第一吸附元件，第一吸附元件设置于第一伸缩件。藉由第一伸缩件的伸展可使衬底吸附装置的吸附所涵盖的范围加大，而能高效率地应用于薄化衬底并减少其变形量。此外，藉由第一伸缩件的伸缩程度的不同，可使本发明的衬底吸附装置应用于不同厚度或尺寸的衬底，进而提升衬底吸附装置的应用性。
以上所述仅为举例性，而非为限制性。任何未脱离本发明的精神与范围，而对其进行的等效修改或变更，均应包含于权利要求中。

Claims (8)

1.一种衬底吸附装置，包含：
一第一支持单元，沿一第一方向设置；以及
一第二支持单元，连接于所述第一支持单元并沿一第二方向设置；
其中，所述第一支持单元具有一第一伸缩件以及至少一第一吸附元件，所述第一吸附元件设置于所述第一伸缩件。
2.如权利要求1所述的衬底吸附装置，其中，所述第一支持单元还具有一第二伸缩件以及至少一第二吸附元件，所述第二吸附元件设置于所述第二伸缩件，其中，所述第二伸缩件与第一伸缩件分别设置于第二支持单元的两相对侧。
3.如权利要求2所述的衬底吸附装置，其中，所述第一伸缩件与第二伸缩件分别朝第二支持单元的外侧方向伸缩。
4.如权利要求1所述的衬底吸附装置，其中，还包含一第三支持单元，其连接于所述第一支持单元与所述第二支持单元的至少其中之一。
5.如权利要求4所述的衬底吸附装置，其中，所述第三支持单元具有一第三伸缩件以及至少一第三吸附元件，所述第三吸附元件设置于所述第三伸缩件。
6.如权利要求5所述的衬底吸附装置，其中，所述第三支持单元还具有一第四伸缩件以及至少一第四吸附元件，所述第四吸附元件设置于所述第四伸缩件，其中，所述第四伸缩件与第三伸缩件分别设置于所述第一支持单元或所述第二支持单元的两相对侧。
7.如权利要求6所述的衬底吸附装置，其中，所述第三伸缩件与第四伸缩件分别朝第一支持单元或所述第二支持单元的外侧方向伸缩。
8.如权利要求1所述的衬底吸附装置，其中，所述第二支持单元具有一第五伸缩件，所述第五伸缩件朝所述第二方向伸缩，且所述第一支持单元设置于所述第五伸缩件。
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