CN203738808U - 一种机械手吸附装置 - Google Patents
一种机械手吸附装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203738808U CN203738808U CN201420131850.0U CN201420131850U CN203738808U CN 203738808 U CN203738808 U CN 203738808U CN 201420131850 U CN201420131850 U CN 201420131850U CN 203738808 U CN203738808 U CN 203738808U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- manipulator
- vacuum suction
- adsorbent equipment
- substrate
- inclined plane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 title abstract description 12
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 50
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000000274 adsorptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型涉及显示技术领域，具体涉及一种机械手吸附装置，包括设置在机械手手臂上的吸附垫，所述吸附垫包括倾斜面结构及与该倾斜面结构相连的底平面结构；所述底平面结构上设有真空吸附孔。本实用新型提供的机械手吸附装置在吸附垫上设置倾斜面结构与底平面结构，倾斜面结构能够起到基板接触平面的滑动整列功能，并且通过在机械手手臂的吸附垫完成基板在机械手上位置的固定，提高了基板的稳固性。
Description
技术领域
本实用新型涉及显示技术领域，具体涉及一种机械手吸附装置。
背景技术
在薄膜晶体管-液晶显示器制造工艺中，经常采用滚轴传动或者机械手运动完成基板的传递过程，机械手可以用来完成不同平面、不同单元的传递，因此在薄膜晶体管-液晶显示器液晶面板制造过程中机械手的使用十分普遍。
曝光显影工序需要对涂布完感光材料的基板进行加热，目的为对基板上的感光材料进行去溶剂和固化作用，保证显影成型。经待加热后的基板处理完成后，需要通过机械手真空吸附基板传递至下一单元继续处理。机械手一般设有多个吸附垫，与真空吸管相连，通过真空吸附对基板进行固定来完成传递过程。在现有技术上，基本采用平面型吸附垫，一般设置在机械手臂边缘或者中间，为了保证基板在机械手臂上位置固定，大部分采用追加多个吸附垫，或者在每个吸附垫上设置多个真空吸附孔保证玻璃在机械手位置稳定。
然而，在实际生产中，由于吸附带有光刻胶涂层的基板时，为了避免吸附垫对掩模板产生干涉，采用边缘吸附方式。因而，基板容易产生微小偏离，发生真空吸附异常，导致机械手搬运过程中真空吸附装置报警，影响了加工工艺的正常进行和生产效率。
为了解决以上问题，本实用新型做了有益改进。
实用新型内容
（一）要解决的技术问题
本实用新型的目的是提供一种提高基板在机械手吸附垫上稳定性的机械手吸附装置。
（二）技术方案
本实用新型是通过以下技术方案实现的：
一种机械手吸附装置，包括设置在机械手手臂上的吸附垫，所述吸附垫包括倾斜面结构及与该倾斜面结构相连的底平面结构；所述底平面结构上设有真空吸附孔。
优选地，所述吸附垫以嵌入方式设置在所述机械手手臂上表面。
其中，所述倾斜面结构与所述底平面结构之间形成的角度θ的范围：90度＜θ＜180度。
优选地，所述倾斜面结构与所述底平面结构之间形成的角度为150度。
进一步，所述底平面结构上设有横条衬垫；所述真空吸附孔设置在所述横条衬垫上。
再进一步，所述横条衬垫在所述真空吸附孔上部设有与该真空吸附孔连通的吸附凹槽。
其中，所述真空吸附孔数量为多个，且分别与所述吸附凹槽连通。
具体地，所述吸附凹槽采用长方体结构。
进一步，所述横条衬垫内在所述真空吸附孔周围设有真空吸附线。
其中，所述横条衬垫的形状为M型。
（三）有益效果
与现有技术和产品相比，本实用新型有如下优点：
1、本实用新型提供的机械手吸附装置在吸附垫上设置倾斜面结构与底平面结构，倾斜面结构能够起到基板接触平面的滑动整列功能，并且通过在机械手手臂的吸附垫完成基板位置的固定，提高了基板的稳固性；
2、本实用新型通过吸附垫上的横条衬垫、真空吸附孔的改进，提高对基板吸附的稳定性。
附图说明
图1是本实用新型的机械手吸附装置的应用示意图；
图2是本实用新型提供的吸附垫的俯视结构图；
图3是本实用新型提供的吸附垫的侧视结构图；
图4是本实用新型提供的一种横条衬垫的剖视结构图；
图5是本实用新型提供的另一种横条衬垫剖视结构图；
图6是本实用新型提供的一种吸附垫结构图。
1-机械手驱动单元；2-吸附垫；3-机械手手臂；4-倾斜面结构；5-真空吸附孔；51-吸附凹槽；6-底平面结构；7-横条衬垫；8-真空吸附线；9-基板。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做一个详细的说明。
如图1、图2和图3所示，本实施例提供一种机械手吸附装置，包括设置在机械手手臂3上的吸附垫2，所述吸附垫2包括倾斜面结构4、及与该倾斜面结构4相连的底平面结构6；所述底平面结构6上设有真空吸附孔5。真空吸附孔5与真空机（图中未显示）相连，所述真空吸附孔的数量和位置可以根据实际需要进行设置，真空吸附孔的形状和大小不受限制，可以为方孔，圆孔，或其它均可。图1中机械手驱动单元1对机械手提供驱动，在机械手手臂3中，前后端共安装4个吸附垫2，同一机械手手臂3的吸附垫2之间间距为放置的基板9宽度。当基板9经加热处理后，需要对基板进行传递。在基板的传递过程中，首先机械手手臂3伸出到达指定位置，上提机械手整体位置，基板9位于所述机械手的上侧，并与机械手手臂3上的吸附垫2进行接触，然后通过机械手吸附装置将基板9传递至下一单元继续处理。当基板9位置发生偏离时，基板9将会接触到倾斜面结构4，由于自身重力的作用将自动下滑至底平面结构6，自动整列至稳定位置（如图1所示的基板9位置）。此外，吸附垫2通过真空吸附孔5对基板9进行吸附。当真空吸附孔5的吸附值达到设定值时，确保能够对基板的稳定吸附后，再进行传递操作。
如图2和图3所示，倾斜面结构4与底平面结构6之间形成的角度θ的范围为：90度＜θ＜180度。为了使吸附装置能够具有更为广泛的通用性，优选采用150度。倾斜面结构4与底平面结构6之间形成的角度为150度时，即使变形的基板9放置在吸附垫2上，也能够对其位置进行纠正，使其更好地滑落在稳定位置。
其中，所述吸附垫2可采用嵌入方式安装在所述机械手手臂上表面，便于吸附盘的固定安装。为了更好的固定于机械手手臂上，可采用螺钉将所述底平面结构的周边固定
本实施例中，为了提高吸附的稳定性，吸附垫2的底平面结构6上设有横条衬垫7；所述真空吸附孔5设置在所述横条衬垫7上。横条衬垫7的长度和宽度可根据实际进行确定，不受限制。如图4所示的横条衬底的示意图，在所述真空吸附孔5上部设有与该真空吸附孔5连通的吸附凹槽51。该吸附凹槽51可采用条形或其他规则形状。吸附凹槽51可增大吸附垫的吸附力，避免基板9在机械手高速运动中产生震动。
进一步，如图5所示，在吸附垫2的吸附凹槽51下部可设置多个真空吸附孔5，真空吸附孔5分别与所述吸附凹槽51连通，这样可进一步提高吸附垫的吸附力。
如图6所示，为了增加吸附面积，可在横条衬垫7内所述真空吸附孔5周围设置真空吸附线8，增加真空吸附的面积，提高吸附垫2的吸附能力。
进一步，所述横条衬垫7的形状为M型，增加横条衬垫7与基板9的接触面积，提高吸附的稳定性。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种机械手吸附装置，其特征在于，包括设置在机械手手臂上的吸附垫，所述吸附垫包括倾斜面结构及与该倾斜面结构相连的底平面结构；所述底平面结构上设有真空吸附孔。
2.根据权利要求1所述的机械手吸附装置，其特征在于，所述吸附垫以嵌入方式设置在所述机械手手臂上表面。
3.根据权利要求1所述的机械手吸附装置，其特征在于，所述倾斜面结构与所述底平面结构之间形成的角度θ的范围：90度＜θ＜180度。
4.根据权利要求3所述的机械手吸附装置，其特征在于，所述倾斜面结构与所述底平面结构之间形成的角度为150度。
5.根据权利要求1所述的机械手吸附装置，其特征在于，所述底平面结构上设有横条衬垫；所述真空吸附孔设置在所述横条衬垫上。
6.根据权利要求5所述的机械手吸附装置，其特征在于，所述横条衬垫在所述真空吸附孔上部设有与该真空吸附孔连通的吸附凹槽。
7.根据权利要求6所述的机械手吸附装置，其特征在于，所述真空吸附孔数量为多个，且分别与所述吸附凹槽连通。
8.根据权利要求6所述的机械手吸附装置，其特征在于，所述吸附凹槽采用长方体结构。
9.根据权利要求5所述的机械手吸附装置，其特征在于，所述横条衬垫内在所述真空吸附孔周围设有真空吸附线。
10.根据权利要求5～9任一项所述的机械手吸附装置，其特征在于，所述横条衬垫的形状为M型。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420131850.0U CN203738808U (zh) | 2014-03-21 | 2014-03-21 | 一种机械手吸附装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420131850.0U CN203738808U (zh) | 2014-03-21 | 2014-03-21 | 一种机械手吸附装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203738808U true CN203738808U (zh) | 2014-07-30 |
Family
ID=51338670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420131850.0U Expired - Fee Related CN203738808U (zh) | 2014-03-21 | 2014-03-21 | 一种机械手吸附装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203738808U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106865230A (zh) * | 2017-03-24 | 2017-06-20 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板吸附机构和基板传输设备 |
-
2014
- 2014-03-21 CN CN201420131850.0U patent/CN203738808U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106865230A (zh) * | 2017-03-24 | 2017-06-20 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板吸附机构和基板传输设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106313879B (zh) | 转印设备和转印方法 | |
| CN205364764U (zh) | 贴膜装置 | |
| CN103695846A (zh) | 一种真空镀膜装置及方法 | |
| KR102222005B1 (ko) | 노광 장치 및 이를 이용한 노광 방법 | |
| CN104583850A (zh) | 面板附着装置 | |
| CN103969856A (zh) | 一种基板、显示面板、显示装置及基板的制备方法 | |
| KR101462159B1 (ko) | 기판 얼라이너 구조 | |
| US20210229372A1 (en) | Film coating apparatus and film coating method | |
| CN103353681A (zh) | 一种液晶面板的切割装置及切割方法 | |
| CN203738808U (zh) | 一种机械手吸附装置 | |
| CN203825337U (zh) | 一种彩膜基板、显示面板及显示装置 | |
| CN104369519A (zh) | 大尺寸基底粘合装置 | |
| KR101826592B1 (ko) | 수직형 기판 이송장치 | |
| KR20150124375A (ko) | 취성 재료 기판의 반전 장치 | |
| CN204129374U (zh) | 新型全自动长边起贴四工位偏光片贴附机 | |
| CN103811384B (zh) | 片盒倾斜及归位装置 | |
| CN104730743B (zh) | 真空贴合设备 | |
| CN207216271U (zh) | 一种定位治具 | |
| CN204086765U (zh) | 一种液晶显示母板 | |
| CN203367368U (zh) | 封装基板、oled显示面板和显示装置 | |
| KR101400089B1 (ko) | 기판 고정용 진공 흡착판 | |
| CN206106389U (zh) | 一种3d打印机的材料盘 | |
| CN105676492B (zh) | 真空吸着平台及玻璃基板搬送方法 | |
| CN203855517U (zh) | 玻璃板叠合设备 | |
| CN206076205U (zh) | 晶片寻边器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140730 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |