CN106865230A - 一种基板吸附机构和基板传输设备 - Google Patents

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高亚东
于闪闪
李晶晶
李健
徐文结
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Hefei BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
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    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
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Abstract

本发明提供一种基板吸附机构和基板传输设备。其中,基板吸附机构包括:基板吸附部、旋转轴、支撑部;旋转轴固定在支撑部上;基板吸附部具有相反朝向的第一表面和第二表面,第一表面用于吸附基板,基板吸附部固定在旋转轴上,并通过第二表面与支撑部接触,从而能够以支撑部为支点,基于旋转轴进行以该旋转轴的轴线为转动中心的旋转。在本发明的方案中,基板吸附部能够以支撑部为支点,基于旋转轴进行以旋转轴的轴线为转动中心的旋转,从而实现了一个翘板结构,即基板一端先与基板吸附部接触时,可以使基板吸附部未接触基板的一侧朝向基板翘起,从而与基板实现接触,保证基板吸附部的吸附面能够充分吸附基板表面,实现更稳固的抓取效果。

Description

一种基板吸附机构和基板传输设备
技术领域
本发明涉及显示器的制作领域,特别是指一种基板吸附机构和基板传输设备。
背景技术
在显示装置的制作工艺中,需要在基板上形成各种功能图形,因此基板需要在生产线的不同制作节点之间进行运输。
现有的基板运输装置设置有真空吸盘,从而以真空吸附的方式对基板进行抓取,之后进行运输。而真空吸盘是固定在基板运输装置上的,无法进行调整,因此当基板相对真空吸盘的吸附面产生一定翘起时,会使真空吸盘的吸附面与基板表面无法充分接触,导致基板抓取失败,甚至还会导致基板只有一侧被真空吸盘抓取后又发生坠落,造成基板上的功能图形产生结构性的损坏,使显示产品的良品率受到影响。
有鉴于此,当前亟需一种能够保证真空吸盘能够稳定吸附基板的技术方案。
发明内容
本发明的目的是解决现有基板吸附装置无法以真空方式稳定抓取基板的问题。
为实现上述目的,一方面,本发明的实施例提供一种基板吸附机构,包括:
基板吸附部、旋转轴、支撑部;
所述旋转轴固定在所述支撑部上;
所述基板吸附部具有相反朝向的第一表面和第二表面,所述第一表面用于吸附基板,所述基板吸附部固定在所述旋转轴上,并通过所述第二表面与所述支撑部接触,从而能够以所述支撑部为支点,基于所述旋转轴进行以该旋转轴的轴线为转动中心的旋转。
其中,所述支撑部具有一弧面支撑面,所述基板吸附部能够通过其第二表面,以所述弧面支撑面的为支点,基于所述旋转轴进行以该旋转轴为转动中心的旋转。
其中,
所述支撑部的弧面支撑面相对所述旋转轴的轴线对称,所述基板吸附部能够通过其第二表面,以所述弧面支撑面的顶点为支点,基于所述旋转轴进行以该旋转轴的轴线为转动中心的旋转。
其中,所述基板吸附机构还包括:
两个固定部,分别固定在所述旋转轴的两端,每一固定部均具有一与所述旋转轴相匹配的过孔,并通过其过孔装配在所述旋转轴上;
所述基板吸附部的两侧通过所述两个固定部固定在所述旋转轴上,从而能够通过该两个固定部与所述旋转轴的轴孔配合,基于所述旋转轴进行以该旋转轴的轴线为转动中心的旋转。
其中,所述基板吸附部呈平板结构;
两个固定部固定在所述平板结构的中心两侧。
其中,所述支撑部设置有与所述旋转轴相匹配的过孔,所述旋转轴装配在所述支撑部的过孔内。
其中,所述第一表面均匀设置有至少一个用于吸附基板的吸盘。
其中,所述吸盘为多个,且相对所述旋转轴的轴线对称。
其中,所述吸盘由弹性材料制成。
另一方面,本发明的实施例还提供一种基板传输设备,包括本发明上述提供的基板吸附机构。
本发明的上述方案具有如下有益效果:
在本发明的方案中,基板吸附部能够以支撑部为支点,基于旋转轴进行以旋转轴的轴线为转动中心的旋转,从而实现了一个翘板结构,即基板一端先与基板吸附部接触时,可以使基板吸附部未接触基板的一侧朝向基板翘起,从而与基板实现接触,保证基板吸附部的吸附面能够充分吸附基板表面,实现更稳固的抓取效果。
附图说明
图1为本发明的基板吸附机构的结构示意图;
图2和图3为本发明的基板吸附机构抓取基板的示意图。
具体实施方式
为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
本发明针对现有的基板吸附装置无法保证稳定地以真空吸附方式抓取基板的问题,提供一种解决方案。
一方面,本发明的实施例提供一种基板吸附机构,如图1所示,包括:
基板吸附部1、旋转轴2和支撑部3;
其中,旋转轴2固定在支撑部上3;
基板吸附部1具有相反朝向的第一表面11和第二表面12。在本实施例中,第一表面11作为吸附面,用于吸附基板。基板吸附部1固定在旋转轴上2上,并通过第二表面12与支撑部3接触,从而能够以支撑部3为支点,基于旋转轴2,进行以旋转轴2的轴线为转动中心的旋转。
基于图1所示结构,进一步参考图2,假设图2中的基板4右侧相对于其左侧朝向第一表面11翘起,使得吸附过程中基板4的右侧先于左侧与第一表面11接触。
参考图3,当基板4右侧与第一表面11接触后,会给基板吸附部1的右侧施加外力,使得基板吸附部1通过其第二表面12以支撑部3为支点,在旋转轴2上进行逆时针方向的旋转,该旋转中心即旋转轴2的轴线。显然,在旋转过程中,基板吸附部1的左侧会被抬起,进而使第一表面11的左侧能够主动去贴合基板4的左侧并进行吸附,从而保证第一表面11能够充分与基板4接触,实现更加可靠的吸附效果,保证了基板抓取的稳定性。
可见,相比于现有技术,本实施例的设计方案可以使基板吸附部1能够自适应调整其吸附面(即第一表面11)与基板4表面的接触角度,当基板4发生较大形变或者翘起时,通过基板吸附部1的自动调整可以正常完成进行吸附动作。对于厂商来讲,抓取成功率的提高可以有效提高产线的生产效率,并降低了基板被抓取后发生掉落的概率。
具体地,在上述基础之上,作为优选方案,本实施例的支撑部3具有一弧面支撑面31,基板吸附部1能够通过其第二表面12,以弧面支撑面31的为支点,进行以旋转轴2为转动中心的旋转。
显然,基于上述结构设计,可以让基板吸附部1在旋转过程中,能够平滑地倚在支撑部3的弧面支撑面31上,从而降低基板4与基板吸附部1接触时所产生的冲击力,以及旋转过程中支撑部3给基板吸附部1的冲击力。
进一步地,本实施例中,支撑部3的弧面支撑面31相对旋转轴2的轴线对称,基板吸附部1能够通过其第二表面12,以弧面支撑面31的顶点为支点,进行以旋转轴2的轴线为转动中心的旋转。显然,对称设计可以让基板吸附部1能够在逆时针方向和顺时针方向上实现相等的旋转,更有助于保证基板吸附部1保持平衡。
此外,在实际应用中,本实施例的基板吸附部1、旋转轴2以及支撑部3的固定方式可以如图1所示,即本实施例的基板吸附机构还可以包括:
两个固定部5,分别固定在旋转轴2的两端,每一固定部5均具有一与旋转轴2相匹配的过孔,并通过其过孔装配在旋转轴2上;
基板吸附部1的两侧通过两个固定部5固定在旋转轴2上,从而能够通过该两个固定部5与旋转轴2的轴孔配合,进行以该旋转轴2的轴线为转动中心的旋转。
进一步地,本实施例的基板吸附部1呈平板结构,两个固定部5固定在平板结构的中心两侧,从而能够让基板吸附部1在支撑部3上保持平衡。
具体地,本实施例的支撑部3设置有与旋转轴2相匹配的过孔,旋转轴2装配在支撑部3的过孔内,从而与支撑部3相互固定。
此外,为了进一步使基板吸附部1能够平稳吸附基板4,本实施例的第一表面11均匀设置有至少一个用于吸附基板4的吸盘。
其中,作为优选方案,该吸盘为多个,且相对旋转轴2的轴线对称,即旋转轴2的轴线两侧的吸附效果一致,保证基板吸附部1在支点两侧能够均匀吸附基板4。
此外,在上述基础之上,为了减小基板4与基板吸附部1接触后所产生的冲击,本实施例的吸盘可以采用弹性材料制成,能够给基板4提供缓冲,保护基板4的结构不发生损害。
以上是对本实施例的基板吸附机构的介绍,需要给予说明的是,上述实现方式仅用于示例,并不能限制本发明的保护范围,例如本实施例并不限定基板吸附部、旋转轴以及支撑部之间的固定方式,但凡是基板吸附部以支撑部为支点,通过旋转轴进行旋转的技术方案都应属于本发明的保护范围之内。
另一方面,本发明的实施例还提供一种基板传输设备,包括有本发明提供的基板吸附机构。
基于该基板吸附机构,本实施例的基板传输设备能够平稳且效率地抓取基板进行运输,从而保证了产品的生产效率以及产品的良品率,对应生产商来讲,具有很高的实用性。
在实际应用中,本实施例的基板传输设备并不限于只是运输基板的设备,也可以是指基板或显示器的生产线。
以上所述是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明所述原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种基板吸附机构,其特征在于,包括:
基板吸附部、旋转轴、支撑部;
所述旋转轴固定在所述支撑部上;
所述基板吸附部具有相反朝向的第一表面和第二表面,所述第一表面用于吸附基板,所述基板吸附部固定在所述旋转轴上,并通过所述第二表面与所述支撑部接触,从而能够以所述支撑部为支点,基于所述旋转轴进行以该旋转轴的轴线为转动中心的旋转。
2.根据权利要求1所述的基板吸附机构,其特征在于,
所述支撑部具有一弧面支撑面,所述基板吸附部能够通过其第二表面,以所述弧面支撑面的为支点,基于所述旋转轴进行以该旋转轴为转动中心的旋转。
3.根据权利要求2所述的基板吸附机构,其特征在于,
所述支撑部的弧面支撑面相对所述旋转轴的轴线对称,所述基板吸附部能够通过其第二表面,以所述弧面支撑面的顶点为支点,基于所述旋转轴进行以该旋转轴的轴线为转动中心的旋转。
4.根据权利要求1所述的基板吸附机构,其特征在于,还包括:
两个固定部,分别固定在所述旋转轴的两端,每一固定部均具有一与所述旋转轴相匹配的过孔,并通过其过孔装配在所述旋转轴上;
所述基板吸附部的两侧通过所述两个固定部固定在所述旋转轴上,从而能够通过该两个固定部与所述旋转轴的轴孔配合,基于所述旋转轴进行以该旋转轴的轴线为转动中心的旋转。
5.根据权利要求3所述的基板吸附机构,其特征在于,
所述基板吸附部呈平板结构;
两个固定部固定在所述平板结构的中心两侧。
6.根据权利要求1所述的基板吸附机构,其特征在于,
所述支撑部设置有与所述旋转轴相匹配的过孔,所述旋转轴装配在所述支撑部的过孔内。
7.根据权利要求1所述的基板吸附机构,其特征在于,
所述第一表面均匀设置有至少一个用于吸附基板的吸盘。
8.根据权利要求7所述的基板吸附机构,其特征在于,
所述吸盘为多个,且相对所述旋转轴的轴线对称。
9.根据权利要求7所述的基板吸附机构,其特征在于,
所述吸盘由弹性材料制成。
10.一种基板传输设备,其特征在于,包括有如权利要求1-9任一项所述的基板吸附机构。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN203738808U (zh) * 2014-03-21 2014-07-30 北京京东方光电科技有限公司 一种机械手吸附装置
JP2015221464A (ja) * 2014-05-22 2015-12-10 株式会社オーエム製作所 吸着具
CN105383730A (zh) * 2015-10-16 2016-03-09 东旭科技集团有限公司 一种超薄轻质玻璃基板适用的贴膜机
CN105676492A (zh) * 2016-04-06 2016-06-15 深圳市华星光电技术有限公司 真空吸着平台及玻璃基板搬送方法
CN106044224A (zh) * 2016-06-27 2016-10-26 浙江飞越洁具制造有限公司 一种玻璃吸盘滑动装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN203738808U (zh) * 2014-03-21 2014-07-30 北京京东方光电科技有限公司 一种机械手吸附装置
JP2015221464A (ja) * 2014-05-22 2015-12-10 株式会社オーエム製作所 吸着具
CN105383730A (zh) * 2015-10-16 2016-03-09 东旭科技集团有限公司 一种超薄轻质玻璃基板适用的贴膜机
CN105676492A (zh) * 2016-04-06 2016-06-15 深圳市华星光电技术有限公司 真空吸着平台及玻璃基板搬送方法
CN106044224A (zh) * 2016-06-27 2016-10-26 浙江飞越洁具制造有限公司 一种玻璃吸盘滑动装置

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