CN205355028U - 双面吸附型末端执行器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型双面吸附型末端执行器涉及一种用于传输晶圆片体类产品机械手末端执行设备。其目的是为了提供一种安装方便、安全性和工作效率高的双面吸附型末端执行器。本实用新型双面吸附型末端执行器包括板体，板体上具有连接端，板体上还并列加工有第一气孔和第二气孔，板体的正反两面的相同位置上各安装有一个吸附面，板体内部加工有两条气道，第一气孔和第二气孔各通过一条气道与其中一个吸附面相连通。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种机械手末端执行设备，特别是涉及一种用于传输晶圆片体类产品的双面吸附型末端执行器。
背景技术
现今在半导体行业内，利用洁净机器手传输晶圆片体类产品的做法非常广泛，作为机器手执行机构的吸附型末端执行器则用量更为庞大。在现行使用的吸附型末端执行器中都有着一个共同的特性：执行器单面吸附。单面吸附末端执行器结构固然简单，但是有一定的缺陷：只能针对一种吸附方式，要么吸附产品上表面，要么吸附产品下表面。如中国发明专利CN103302676B中公开的一种环槽型真空吸盘末端执行器，包括开有抽气孔的安装板，在安装板的下面固接有吸盘，吸盘上形成有与抽气孔相通的橡胶环形槽，橡胶环形槽与被吸附物件的上端边沿吻合，使被吸附物件的上端边沿能够压入所述橡胶环形槽内。这种末端执行器采用吸附原理进行传输简单实用，但是如果想更改吸附方向则需要将机台打开，更改末端执行器的安装方向。如果用户变更生产工艺，单面末端执行器都不能立即适应用户使用需求。而且如果客户无意将执行器装反，还有可能在传片过程中引发产品掉落造成经济损失，而半导体晶圆片体类产品每片的成本可能相当甚至高于末端执行器成本。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种安装方便、安全性和工作效率高的双面吸附型末端执行器。
本实用新型双面吸附型末端执行器，包括板体，板体上具有连接端，板体上还并列加工有第一气孔和第二气孔，板体的正反两面的相同位置上各安装有一个吸附面，板体内部加工有两条气道，第一气孔和第二气孔各通过一条气道与其中一个吸附面相连通。
本实用新型双面吸附型末端执行器，其中所述板体正反两面各设置有一对支持面。
本实用新型双面吸附型末端执行器，其中所述第一气孔和第二气孔贯穿板体表面。
本实用新型双面吸附型末端执行器与现有技术不同之处在于本实用新型双面吸附型末端执行器采用双面吸附的方式，在板体正反两面均设置有吸附面，并且使第一气孔和第二气孔通过各自的气道分别与两个吸附面相连通，这样两个吸附面随时可以进入工作状态，当工件需要更换吸附面时，直接用另一个工作面吸附工件即可，而且板体正反两面对称设置，安装时不需要任何额外的调整，简单方便，提高了设备效率。末端执行器的双面设计也可以有效避免因工作失误将板体装反而导致的严重后果，使用时更加安全。
下面结合附图对本实用新型的双面吸附型末端执行器作进一步说明。
附图说明
图1为本实用新型双面吸附型末端执行器的结构示意图；
图2为图1中B-B向的剖视图；
图3为图2中A处的局部放大图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型双面吸附型末端执行器包括板体1，板体1具有正反两个工作面。板体1上并列加工有第一气孔4和第二气孔5，第一气孔4和第二气孔5与机械手上的进气通道相连通，第一气孔4和第二气孔5贯穿板体1表面，这样可以保证板体1在任意一个面工作时，第一气孔4和第二气孔5与机械手的连接方式都完全相同，便于末端执行器的安装使用。板体1的正反两面的相同位置上各安装有一个吸附面2，吸附面2用于吸附工件。如图2和图3所示，板体1内部加工有两条气道6，第一气孔4和第二气孔5各通过一条气道6与其中一个吸附面2相连通。板体1的正反两面各设置有一对支持面3，支持面3用于支撑工件。板体1上还具有与机械手连接的连接端。
本实用新型双面吸附型末端执行器的正反两面都可以用于吸附拾取工件，且两个工作面的结构、原理和安装方式均相同，当工件需要更换吸附面2时只需用另一个工作面的吸附面2吸附工件即可，无需拆解机台，简单高效。
以上所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。
Claims (3)
1.一种双面吸附型末端执行器，其特征在于：包括板体，板体上具有连接端，板体上还并列加工有第一气孔和第二气孔，板体的正反两面的相同位置上各安装有一个吸附面，板体内部加工有两条气道，第一气孔和第二气孔各通过一条气道与其中一个吸附面相连通。
2.根据权利要求1所述的双面吸附型末端执行器，其特征在于：所述板体正反两面各设置有一对支持面。
3.根据权利要求1所述的双面吸附型末端执行器，其特征在于：所述第一气孔和第二气孔贯穿板体表面。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620131955.5U CN205355028U (zh) | 2016-02-22 | 2016-02-22 | 双面吸附型末端执行器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201620131955.5U CN205355028U (zh) | 2016-02-22 | 2016-02-22 | 双面吸附型末端执行器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN205355028U true CN205355028U (zh) | 2016-06-29 |
Family
ID=56183793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201620131955.5U Active CN205355028U (zh) | 2016-02-22 | 2016-02-22 | 双面吸附型末端执行器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205355028U (zh) |
-
2016
- 2016-02-22 CN CN201620131955.5U patent/CN205355028U/zh active Active
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| GR01 | Patent grant |