KR100971959B1 - 멀티글라스 지지유닛 - Google Patents

멀티글라스 지지유닛 Download PDF

Info

Publication number
KR100971959B1
KR100971959B1 KR1020030100326A KR20030100326A KR100971959B1 KR 100971959 B1 KR100971959 B1 KR 100971959B1 KR 1020030100326 A KR1020030100326 A KR 1020030100326A KR 20030100326 A KR20030100326 A KR 20030100326A KR 100971959 B1 KR100971959 B1 KR 100971959B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
bar
bars
glass
vertical
model glass
Prior art date
Application number
KR1020030100326A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20050068653A (ko
Inventor
박상호
오장훈
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020030100326A priority Critical patent/KR100971959B1/ko
Priority to US11/022,946 priority patent/US7440072B2/en
Priority to CN2004100115092A priority patent/CN1637411B/zh
Publication of KR20050068653A publication Critical patent/KR20050068653A/ko
Priority to US12/232,317 priority patent/US7573558B2/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100971959B1 publication Critical patent/KR100971959B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306Details
    • G02F1/1309Repairing; Testing
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133308Support structures for LCD panels, e.g. frames or bezels

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

본 발명은 액정표시장치의 제작공정 중 액정셀을 검사하는 과정에서 사용되는 글라스 지지유닛에 관한 것으로, 본 발명에 따른 멀티모델 글라스 지지유닛은, 소정 간격을 두고 평행 배치된 한쌍의 가로채널바(10)와, 상기 가로채널바(10)에 연결되어 좌우 이동되는 다수개의 세로지지바(12)와, 상기 세로지지바(12)에 상하 이동가능하게 장착되는 상하 위치이동 가이드바(16)와, 상기 가이드바(16)에 세로방향으로 연결되며 좌우 위치 이동되는 다수개의 보조지지바(18)와, 상기 각 지지바(12)(18)의 상면에 길이방향으로 장착되어 원판 글라스(20)를 접촉지지하는 칼럼스페이서(14)를 포함하여 이루어진다. 그리고, 상기 칼럼스페이서(14)는 각 지지바(12)(18)와 분리 가능한 구조로 이루어진다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따른 멀티모델 글라스 지지유닛에 의하면, 각기 다른 사이즈의 액티브 영역이 형성된 멀티모델 글라스를 지지하는 경우에도 지지바와 액티브 영역이 접하여 검사광이 차단되는 현상을 최소화 할 수 있기 때문에 결과적으로 액정셀의 품질 향상에 도움이 된다는 이점이 있다.

Description

멀티글라스 지지유닛{multi-model glass supporting unit for detecting LCD cell}
도 1은 종래기술에 따른 글라스 지지유닛의 구조를 나타낸 사시도이다.
도 2는 종래 글라스 지지유닛에 의한 글라스 지지상태를 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 멀티모델 글라스 지지유닛의 구조를 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 멀티모델 글라스 지지유닛에 의한 글라스 지지상태를 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 멀티모델 글라스 지지유닛에 의한 글라스 지지상태를 나타낸 측면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10: 가로채널바 12: 세로지지바
14: 칼럼스페이서 16: 가이드바
18: 보조지지바 20: 원판 글라스
22: 대형모델의 액티브 영역 24:소형모델의 액티브영역
202: 더미영역
본 발명은 액정표시장치의 제작공정 중 액정셀을 검사하는 과정에서 사용되는 글라스 지지유닛에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다양한 액티브 영역이 형성된 글라스를 효과적으로 지지할 수 있는 멀티모델 글라스 지지유닛에 관한 것이다.
일반적으로 박막트랜지스터를 채택하는 액정모듈의 제조공정은 박막트랜지스터(TFT) 공정, 셀(Cell) 공정, 모듈(Module) 공정으로 나뉘어 진다.
TFT 공정은 반복하여 유리 기판 위에 박막트랜지스터를 배열하여 제작하는 공정으로서, 진공실 내부에 증착에 필요한 가스를 주입하여 압력과 기판 온도가 설정되면 RF(Radio Frequency)전력을 이용하여 주입된 가스를 플라즈마 상태로 분해하여 기판위에 증착하는 화학기상증착법(PECVD:Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 과정, RF 전력이나 DC 전력에 의해 형성된 플라즈마 내에서 높은 에너지를 갖고 있는 기체이온이 타겟표면과 충돌하여 증착하고자 하는 타겟입자들이 튀어나와 기판에 증착되는 스퍼터링(Sputtering) 과정, 감광성 화학약품(PR: Photo resist)이 빛을 받으면 화학반응을 일으켜서 성질이 변화하는 원리를 이용하여 얻고자 하는 패턴의 마스크를 사용하여 빛을 선택적으로 PR에 조사함으로써 마스크의 패턴과 동일한 패턴을 형성시키는 현상(Photolithography) 과정, 기체 플라즈마 로부터 만들어진 원자나 자유기(radical)와 같은 반응성 물질과 기판에 증착된 물질이 반응하여 휘발성 물질로 변하는 현상을 이용한 식각(Etch)과정으로 이루어진다.
그리고, 셀(Cell) 공정은 TFT 하판과 컬러필터가 형성된 상판에 배향막을 형성하는 배향막 도포과정, 배향막에 액정이 잘 정렬할 수 있도록 하는 러빙(rubbing) 과정, 스페이서(spacer)를 산포하는 스페이서 과정, 상판과 하판을 합착한 후에 모세관 현상을 이용하여 액정을 내부에 주입한 후, 주입구를 봉지하는 액정주입과정으로 이루어진다.
모듈(Module) 공정은 최종적으로 사용자에게 전해지는 제품 품질을 결정하는 단계로서, 완성된 패널에 편광판을 부착하고 드라이버IC를 실장한 후 PCB(Printed Circuit Board)를 조립하여 최종적으로 백라이트 유닛(Backlight unit)과 기구물을 조립하게 된다.
여기서, 상기 셀(Cell) 공정에서는 하부기판인 어레이기판과 상부기판인 컬러필터기판이 합착한 후, 액정을 주입한 상태에서 모듈공정으로 넘어가기전에 셀의 상태를 검사하게 되는데 이때 초기외관검사를 행하고, 스페이서불량 등으로 인한, 얼룩이나 이물질을 발견할 경우 이를 제거하기 위한 작업을 거치게 된다.
상기 초기외관검사의 한 방법으로서 목시(目視)검사 방식이 있는데, 목시검사방식은 후술될 글라스 서포트 유닛에 검사대상 액정셀을 올려놓고, 글라스의 저면에 배치된 백라이트를 이용하여 글라스 측으로 검사광을 주사함으로써 글라스를 투과하는 검사광의 균일도를 파악하는 방식으로 이루어진다. 이때 백라이트와 셀 사이에는 편광판이 배치된다.
이러한, 목시검사 방식에 사용되는 글라스 서포트유닛은 도 1에 나타난 것과 같이 소정 간격을 두고 평행 배치된 한 쌍의 가로채널바(10)(10')와, 상기 양 가로채널바(10)(10')에 상하단이 지지되어 좌우 이동되는 다수개의 세로지지바(12), 세로지지바(12)의 상면에 길이 방향으로 고정 장착되어 글라스(20)를 접촉지지하는 칼럼스페이서(14)로 이루어져 있다.
도 2는 이러한 서포트유닛에 대형기판이 장착된 상태를 도시하고 있는 것으로, 도시한 바와 같이, 최근 대형원판(20)에 사이즈가 다른 모델들을 동시에 셀작업을 진행하고 있다. 동일한 사이즈의 액티브영역(22)작업을 하면 나머지부분은 버려지게 되므로 이러한 낭비를 줄이기 위해 보다 작은 사이즈의 액티브영역(24)작업도 동시에 진행하게 된다. 이를 멀티모델글라스라고 칭하기도 한다.
따라서, 원판 글라스(20)에는 패턴이 형성된 다수개의 액티브 영역(active area)(22)(24)과, 각 액티브 영역(22)(24)을 구분짖도록 패턴이 형성되지 않은 더미 영역(dummy area)(202)이 존재하게 되며, 서포트 유닛을 통해 원판 글라스(20)를 지지할 때는 세로 지지바(12)가 더미 영역(202)에 접하도록 배치하여 검사를 행하게 된다.
이는 세로 지지바(12)가 액티브 영역(22)(24)에 겹쳐서 배치될 경우, 세로지지바(12) 및 칼럼스페이서(14)로 인해 검사광이 차단됨으로써 얼룩 등과 구분되기 힘들어 검사의 정확성이 떨어지기 때문이다.
그러나, 이러한 종래의 글래스 서포트 유닛에 의하면 세로 지지바(12)가 좌 우로 평행 이동 가능한 단순한 직선형태로 이루어져 있기 때문에, 아래 위로 각기 다른 사이즈의 모델의 액티브영역(22)(24)이 위치하여 세로 방향의 더미영역(202)이 일직선을 이루지 않는 이른바 멀티모델 타입의 글라스 원판(20)을 지지할 경우에는 세로 지지바(12)의 일부분이 특정 모델의 액티브 영역(24)과 겹치는 현상을 피할 수 없게 된다.
이에 따라, 세로 지지바(12)와 겹치는 부분에서는 검사광이 차단되어 일부 모델(24)의 액티브 영역에 대한 목시검사를 정확하게 할 수 없게되는 문제점이 발생한다.
본 발명은 상기한 종래 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 멀티모델 글라스 원판을 액티브 영역과 겹치지 않도록 지지할 수 있는 멀티모델 글라스 지지유닛의 제공을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 제공되는 멀티모델 글라스 지지유닛은, 소정 간격을 두고 평행 배치된 한쌍의 가로채널바와, 상기 가로채널바에 연결되어 좌우 이동되는 다수개의 세로지지바와, 상기 세로지지바에 상하 이동가능하게 장착되는 상하 위치이동 가이드바와, 상기 가이드바에 세로방향으로 연결되며 좌우 위치 이동되는 다수개의 보조지지바와, 상기 각 지지바의 상면에 길이방향으로 장착되어 글라스를 접촉지지하는 칼럼스페이서를 포함하여 이루어진다. 그리고, 상기 칼럼스페이서는 각 지지바와 분리 가능한 구조로 이루어진다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도 3부터 도 5까지 참조로 하여 상세하게 설명한다.
본 발명의 실시예에 따른 멀티모델 글라스 지지유닛은, 도 3에 나타난 것과 같이 소정 간격을 두고 평행 배치된 한 쌍의 가로채널바(10)(10')와, 상기 양 가로채널바(10)(10')에 연결되어 좌우(가로방향) 이동되는 다수개의 세로지지바(12)와, 상기 세로지지바(12)에 상하(세로방향) 이동가능하게 장착되는 상하 위치이동 가이드바(16)와, 상기 가이드바(16)에 세로방향으로 연결되며 좌우 위치 이동되는 다수개의 보조지지바(18)와, 상기 각 지지바(12)(18)의 상면에 길이방향으로 장착되어 글라스(20)를 접촉지지하는 칼럼스페이서(14)를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 세로지지바(12)와 상하 위치이동 가이드바(16)의 연결구조는, 세로지지바(12)의 길이방향으로 중간에 형성된 슬라이드홈(12a)에 가이드바(16)가 직교하는 형태로 관통 연결됨으로써 슬라이드홈(12a)을 따라 상하 이동 가능한 방식으로 이루어진다.
상기 보조지지바(18)는 상기 가이드바(16)와 일측 가로채널바(10')의 간격변화에 대응할 수 있도록 다양한 길이로 구성되며, 일단이 상하 위치이동 가이드바(16)와 슬라이드 이동 및 분리 가능하게 연결되고, 타단 역시 일측 가로채널바(10')에 슬라이드 이동 및 분리 가능하게 결합된다.
그리고, 가이드바(16)와 보조지지바(18)의 연결구조는, 가이드바(16)의 일측 면에 길이방향으로 요(凹)형 라인홈이 형성되고, 보조지지바(18)의 일측면은 이에 형합되는 철(凸)형 이루어짐으로써, 서로 간단히 분리 결합되는 방식으로 이루어지는 것이 바람직하다.
더불어, 본 실시예에 의하면 칼럼스페이서(14)가 탈착 가능한 구조로 장착되는데, 이와 같은 칼럼스페이서(14)의 탈착구조는 칼럼스페이서(14)의 일측에 형성된 끼움다리(141)가 지지바(12)(18)의 상면에 형성된 삽입홀에 이탈 가능하게 끼움장착되는 방식으로 이루어진다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 멀티모델 글라스 지지유닛의 작동은 다음과 같다.
도 4에 나타난 것과 같이 위로부터 첫째 및 둘째 열에 동일사이즈의 대형 액티브 영역(22)이 형성되고, 셋째열에 소형 액티브 영역(24)이 다수개 형성된 멀티모델 타입의 원판 글라스(20)를 지지할 경우에, 우선 세로지지바(12)를 좌우로 움직여 대형 액티브 영역(22) 사이의 세로 더미 영역(202)에 배치하게 된다.
그리고, 가이드바(16)를 아래위로 움직여 대형 모델의 액티브 영역(22)과 소형 액티브 영역(24) 사이의 가로방향 더미 영역(202a)에 배치한 다음, 보조지지바(18)를 움직여 각 소형 액티브 영역(24) 사이의 세로방향 더미 영역(202b)에 적절히 배치하게 된다.
이때, 가이드바(16)의 위치변동에 의해 가이드바(16)와 일측 가로채널바(간의 간격이 달라질 경우에는 보조지지바(18)를 달라진 간격에 맞는 길이의 것으로 교체 사용하게 된다.
따라서, 이와 같은 세로지지바(12) 및 보조지지바(18)의 배치구조에 의하면 상기 각 세로지지바(12) 및 보조지지바(18)에 부착된 컬럼스페이서(14)가 패턴이 형성되지 않은 더미 영역(202)을 통해 원판 글라스(20)를 지지하게 됨으로써 상기 세로지지바(12) 및 보조지지바(18)에 의한 검사광 차단 현상이 최소화 된다.
더불어, 각 액티브 영역(22, 24)의 배치구조상 일부 소형 액티브 영역(24)에 대해 불가피하게 보조지지바(18) 등이 겹치는 경우에는, 도 5에 나타난 것과 같이 액티브 영역(24)과 겹치는 보조지지바(18)의 칼럼스페이서(14)를 분리하게 된다.
이와 같이 하면 글라스(20)와 보조지지바(18) 사이에 간극이 형성되어 보조지지바(18)와 겹치는 부위로도 검사광이 분산 유입되기 때문에 검사광이 부분적으로 완전차단되는 현상을 방지하여 검사의 정확도를 높일 수 있게 된다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따른 멀티모델 글라스 지지유닛에 의하면, 각기 다른 사이즈의 액티브 영역이 형성된 멀티모델 글라스를 지지하는 경우에도 지지바와 액티브 영역이 접하여 검사광이 차단되는 현상을 최소화 할 수 있기 때문에 결과적으로 액정셀의 품질 향상에 도움이 된다는 이점이 있다.

Claims (4)

  1. 소정 간격을 두고 평행 배치된 한쌍의 가로채널바와,
    상기 가로채널바에 연결되어 좌우 이동되는 다수개의 세로지지바와,
    상기 세로지지바에 상하 이동가능하게 장착되는 상하 위치이동 가이드바와,
    상기 가이드바에 세로방향으로 연결되며 좌우 위치 이동되는 한 쌍의 보조지지바와,
    상기 각 세로지지바 및 보조지지바의 상면에 길이방향으로 장착되어 글라스를 접촉지지하는 칼럼스페이서
    를 포함하여 이루어진 멀티모델 글라스 지지유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 보조지지바는
    일단이 상하 위치이동 가이드바와 연결되고,
    타단이 일측 가로채널바에 분리 가능하게 결합되며,
    상기 상하 위치이동 가이드바와 일측 가로채널바의 간격변화에 대응할 수 있도록 다양한 길이로 구성되는 것을 특징으로 하는 멀티모델 글라스 지지유닛.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 칼럼스페이서는 각 세로지지바 및 보조지지바와 분리 가능한 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 멀티모델 글라스 지지유닛.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 칼럼스페이서와 각 세로지지바 및 보조지지바의 연결구조는 요철구조인 것을 특징으로 하는 멀티모델 글라스 지지유닛.
KR1020030100326A 2003-12-30 2003-12-30 멀티글라스 지지유닛 KR100971959B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030100326A KR100971959B1 (ko) 2003-12-30 2003-12-30 멀티글라스 지지유닛
US11/022,946 US7440072B2 (en) 2003-12-30 2004-12-28 Support unit utilized in visual inspection of display substrate
CN2004100115092A CN1637411B (zh) 2003-12-30 2004-12-30 目测检验显示基板的支承单元、检验方法和准备基板的方法
US12/232,317 US7573558B2 (en) 2003-12-30 2008-09-15 Support unit utilized in visual inspection of display substrate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030100326A KR100971959B1 (ko) 2003-12-30 2003-12-30 멀티글라스 지지유닛

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050068653A KR20050068653A (ko) 2005-07-05
KR100971959B1 true KR100971959B1 (ko) 2010-07-23

Family

ID=34747746

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030100326A KR100971959B1 (ko) 2003-12-30 2003-12-30 멀티글라스 지지유닛

Country Status (3)

Country Link
US (2) US7440072B2 (ko)
KR (1) KR100971959B1 (ko)
CN (1) CN1637411B (ko)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100960465B1 (ko) * 2005-12-29 2010-05-28 엘지디스플레이 주식회사 액정패널 검사장치
US8400177B2 (en) * 2008-09-01 2013-03-19 Chimei Innolux Corporation Device and method for testing display panel
CN103399425A (zh) * 2013-08-12 2013-11-20 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板支撑装置以及液晶面板加工工艺
KR102296073B1 (ko) 2015-01-06 2021-08-31 삼성디스플레이 주식회사 액정 표시 장치
CN108982362A (zh) * 2018-06-27 2018-12-11 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 一种基板检测支撑装置及其检测方法
CN110333611B (zh) * 2019-06-29 2022-04-12 苏州精濑光电有限公司 一种支撑机构及显示面板的检测方法
CN111766724B (zh) * 2020-07-17 2023-05-09 Tcl华星光电技术有限公司 配向检查装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000124127A (ja) 1998-08-11 2000-04-28 Tokyo Electron Ltd レジスト塗布・現像装置、ならびにそれに用いる基板加熱処理装置および基板搬送装置
KR200200518Y1 (ko) 2000-05-25 2000-10-16 주식회사케이엠티 회로기판용 지그
KR20020000518A (ko) * 2000-06-23 2002-01-05 미다라이 후지오 잉크, 잉크젯 기록 방법, 잉크 카트리지, 기록 유니트,잉크 세트, 고착 완화 방법 및 화상 기록 장치
JP2002091336A (ja) 2000-09-12 2002-03-27 Soushiyou Tec:Kk ディスプレイパネル又はプローブブロックの支持枠体

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3277581B2 (ja) * 1993-02-01 2002-04-22 株式会社ニコン ステージ装置および露光装置
TW401008U (en) * 1993-04-21 2000-08-01 Omron Tateisi Electronics Co Visual inspection support device and substrate inspection device
US6196896B1 (en) * 1997-10-31 2001-03-06 Obsidian, Inc. Chemical mechanical polisher
JP3384446B2 (ja) * 1999-01-08 2003-03-10 日本電気株式会社 表示パネル製造方法及び表示パネル移載方法
JP3191789B2 (ja) * 1999-01-08 2001-07-23 日本電気株式会社 表示パネル製造ライン
JP4372260B2 (ja) * 1999-03-17 2009-11-25 シャープ株式会社 液晶パネルの製造方法
JP3491156B2 (ja) * 2001-01-22 2004-01-26 セイコーエプソン株式会社 液晶装置及びその製造方法並びに電子機器
KR100720416B1 (ko) * 2002-03-16 2007-05-22 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자용 합착 장치
KR100930917B1 (ko) * 2003-06-30 2009-12-10 엘지디스플레이 주식회사 액정 패널 배치 구조 및 액정 패널 노광 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000124127A (ja) 1998-08-11 2000-04-28 Tokyo Electron Ltd レジスト塗布・現像装置、ならびにそれに用いる基板加熱処理装置および基板搬送装置
KR200200518Y1 (ko) 2000-05-25 2000-10-16 주식회사케이엠티 회로기판용 지그
KR20020000518A (ko) * 2000-06-23 2002-01-05 미다라이 후지오 잉크, 잉크젯 기록 방법, 잉크 카트리지, 기록 유니트,잉크 세트, 고착 완화 방법 및 화상 기록 장치
JP2002091336A (ja) 2000-09-12 2002-03-27 Soushiyou Tec:Kk ディスプレイパネル又はプローブブロックの支持枠体

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050068653A (ko) 2005-07-05
US20090015827A1 (en) 2009-01-15
US20050157470A1 (en) 2005-07-21
US7573558B2 (en) 2009-08-11
US7440072B2 (en) 2008-10-21
CN1637411A (zh) 2005-07-13
CN1637411B (zh) 2010-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7738067B2 (en) Method of manufacturing spacers on a color filter substrate
KR100971959B1 (ko) 멀티글라스 지지유닛
US6639646B2 (en) Manufacturing process of liquid crystal cells for small sized liquid crystal display devices
KR100819369B1 (ko) 노광용 척
KR20050033198A (ko) 액정표시패널의 제조장치 및 제조방법
KR101268955B1 (ko) 액정 표시패널용 검사 장치
KR101303737B1 (ko) 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치
KR100370112B1 (ko) Tft-어레이 제조공정용 플로우팅 척
KR100691318B1 (ko) 세정용 척의 고정부 조정용 지그 및 이를 이용한 고정부 조정 방법
KR100641641B1 (ko) 액정 표시 장치 및 그의 제조 방법
KR100815906B1 (ko) 액정표시소자 제조장치
KR101009670B1 (ko) 검사 장비
KR20080074777A (ko) 액정 표시 소자 및 그 제조 방법
JP3637150B2 (ja) 表示パネル基板の検査方法および装置
KR100583253B1 (ko) 티씨피 가압착툴의 가압착 헤드
KR100498545B1 (ko) 횡전계 방식의 액정표시장치 어레이 기판 제조방법
KR101031760B1 (ko) 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 방법
KR100502802B1 (ko) 액정표시장치
KR101258266B1 (ko) 액정 표시패널용 검사 장치
WO2005031449A1 (ja) 液晶パネルの製造方法及び液晶パネル
KR20060067280A (ko) 마스크 정렬 장치 및 방법
KR100914195B1 (ko) 액정표시패널 수납장치 및 이를 이용한 액정주입장치
KR20050069538A (ko) 글라스 세정 시스템
KR20050073663A (ko) 어레이 기판 테스트 장비
KR100603830B1 (ko) 포토레지스트 코팅장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130619

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140630

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150629

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160630

Year of fee payment: 7