KR20050073663A - 어레이 기판 테스트 장비 - Google Patents

Abstract

본 발명은 스캔 모듈레이터가 프로브 프레임을 점핑(jumping)해야 하는 것에 기인하는 전체 테스트 시간(tact time)의 증가가 방지되도록 한 어레이 기판 테스트 장비를 개시한다. 개시된 본 발명의 어레이 기판 테스트 장비는, 어레이 공정이 완료된 다수개의 어레이 기판을 포함하는 원판 글래스를 스테이지 상에 배치시킨 상태로, 일렬로 배열된 어레이 기판들의 상부에 구비되는 각 프로브 프레임(probe frame)의 크로스 바로부터 상기 어레이 기판들 각각에 프로브 핀들을 콘택시킨 후, 상기 어레이 기판들 상에서 스캔 모듈레이터(scan modulator)를 일방향으로 이동시키면서 순차적으로 각 어레이 기판의 결함을 검출하는 어레이 기판 테스트 장비로서, 상기 각 프로브 프레임의 크로스 바는 스캔 모듈레이터가 임의의 행 또는 열에 배치된 크로스 바를 따라 수평 또는 수직 이동한 후, 다음 행 또는 열의 프로브 프레임의 크로스 바로 수직 또는 수평 이동하여 반대의 수평 또는 수직 방향을 따라 이동할 수 있는 형태로 구비된 것을 특징으로 한다.

Description

어레이 기판 테스트 장비{Test equipment of array substrate}

본 발명은 어레이 기판 테스트 장비에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 스캔 모듈레이터가 프로브 프레임을 점핑해야 하는 것에 기인하는 테스트 시간의 증가가 방지되도록 한 어레이 기판 테스트 장비에 관한 것이다.

일반적으로 액정표시장치는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 데이터 신호를 개별적으로 공급하여 그 액정 셀들의 광투과율을 조절함으로써 데이터 신호에 해당하는 화상을 표시하는 표시장치이다.

따라서, 액정표시장치는 화소단위를 이루는 액정 셀들이 액티브 매트릭스 형태로 배열되는 액정패널과 상기 액정 셀들을 구동하기 위한 구동 회로로 구성된다.

여기서, 상기 액정패널은 전형적으로 마주보는 내측면 각각에 액정 구동전극, 즉, 화소전극과 상대전극이 형성된 어레이 기판과 컬러필터 기판이 액정층의 개재하에 합착된 구조로서, 상기 화소전극과 상대전극에 전계가 인가되어 상기 액정층을 구동시키게 된다.

이와 같은 화소전극은 어레이 기판 상에 액정 셀 별로 형성되는 반면, 상기 상대전극은 컬러필터 기판의 전면에 일체형으로 형성된다.

한편, 상기 액정패널의 어레이 기판에는 게이트 드라이버 집적회로로부터 공급되는 주사 신호를 액정 셀들에 전송하기 위한 다수의 게이트 라인들과 데이터 드라이버 집적회로로부터 공급되는 데이터 신호를 액정 셀들에 전송하기 위한 다수의 데이터 라인들이 서로 직교하는 방향으로 형성되고, 상기 게이트 라인들과 데이터 라인들의 일단부에는 상기 게이트 드라이버 집적회로 및 데이터 드라이버 집적회로로부터 공급되는 주사 신호 및 데이터 신호가 각각 인가되는 입력패드가 구비된다.

이때, 상기 게이트 드라이버 집적회로는 다수의 게이트 라인에 순차적으로 주사 신호를 공급함으로써 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들이 1개 라인씩 순차적으로 선택되도록 하고, 그 선택된 1개 라인의 액정 셀들에는 데이터 드라이버 집적회로로부터 데이터 신호가 공급된다.

또한, 각각의 액정 셀에는 스위칭 소자로 사용되는 박막트랜지스터가 형성되며, 상기의 게이트 라인을 통하여 박막트랜지스터의 게이트 전극에 주사 신호가 공급된 액정 셀들에서는 그 박막트랜지스터의 소오스/드레인 전극 사이에 채널이 형성되는데, 이때, 상기 데이터 라인을 통해 박막트랜지스터의 소오스 전극에 공급된 데이터 신호가 박막트랜지스터의 드레인 전극을 경유하여 화소전극에 공급됨에 따라 해당 액정 셀의 광투과율이 조절된다.

여기서, 상기 액정패널을 구성하는 어레이 기판 및 컬러필터 기판 각각은 대형의 원판 글래스에 동시에 다수개, 통상, 4개 또는 6개가 동시에 형성되며, 그런다음, 단위 패널로 절단하여 수율 향상을 도모하고 있다.

한편, 상기 액정패널을 제작함에 있어서, 다수개의 어레이 기판 제작이 완료되면, 컬러필터 기판과 합착하기 전에 각 어레이 기판들에 대한 결함을 검출하기 위한 테스트 과정을 수행하게 된다.

도 1은 종래 어레이 기판 테스트 장비의 사시도로서, 도시된 바와 같이, 테스트 장비의 스테이지(4) 상에는 테스트 대상인 다수개의 어레이 기판(2)을 포함하는 원판 글래스(1)가 놓이게 된다. 상기 어레이 기판들(2)의 상부에는 프로브 프레임(probe frame : 8)이 배치된다. 상기 프로브 프레임(8)은 행 또는 열 방향의 어레이 기판들(2)을 따라 배치되는 크로스 바(cross Bar : 5)와 상기 스테이지(4) 상에 배치되어 상기 크로스 바(5)의 양측단을 지지하는 지지대(7)를 포함하며, 상기 크로스 바(5)의 저부로부터 프로브 핀(6)이 인출되어 각 어레이 기판(2)에 콘택된다. 그리고, 스캔 모듈레이터(Scan modulator : 9)는 화살표 방향으로 어레이 기판들(2)을 스캔하면서 각 어레이 기판(2)의 결함을 검출한다.

이와 같이 구성된 종래의 어레이 기판 테스트 장비에 따르면, 아래 부분에 위치한 세 개의 어레이 기판들에 대한 테스트를 마친 후, 프로브 프레임을 점핑하여 다시 윗 부분에 위한 어레이 기판들의 첫 기판 부분에 배치된 상태로 윗 부분 세 개의 어레이 기판들에 대한 테스트를 수행하게 된다.

그러나, 전술한 바와 같이, 윗 부분 세 개의 어레이 기판 테스트를 할 때, 프로브 프레임을 점핑해야 하는 바, 이러한 스캔 모듈레이터의 점핑으로 인해 전체 테스트 시간(tack time)이 증가되는 현상이 유발된다.

특히, 수율 향상을 위해 원판 글래스에 더 많은 행 또는 열의 어레이 기판을 형성하게 되는 추세에서, 어레이 기판을 테스트하기 위해서는 프로브 프레임의 수도 증가시켜야 하는 바, 상기 프로브 프레임의 점핑으로 인한 전체 테스트 시간의 증가는 더욱 커지게 된다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 스캔 모듈레이터가 프로브 프레임을 점핑해야 하는 것에 기인하는 테스트 시간의 증가가 방지되도록 한 어레이 기판 테스트 장비를 제공함에 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 어레이 공정이 완료된 다수개의 어레이 기판을 포함하는 원판 글래스를 스테이지 상에 배치시킨 상태로, 일렬로 배열된 어레이 기판들의 상부에 구비되는 각 프로브 프레임의 크로스 바로부터 상기 어레이 기판들 각각에 프로브 핀들을 콘택시킨 후, 상기 어레이 기판들 상에서 스캔 모듈레이터를 일방향으로 이동시키면서 순차적으로 각 어레이 기판의 결함을 검출하는 어레이 기판 테스트 장비로서, 상기 각 프로브 프레임의 크로스 바는 스캔 모듈레이터가 임의의 행 또는 열에 배치된 크로스 바를 따라 수평 또는 수직 이동한 후, 다음 행 또는 열의 프로브 프레임의 크로스 바로 수직 또는 수평 이동하여 반대의 수평 또는 수직 방향을 따라 이동할 수 있는 형태로 구비된 것을 특징으로 하는 어레이 기판 테스트 장비를 제공한다.

여기서, 상기 프로브 프레임의 크로스 바는 어느 한쪽 단부만 지지대로 지지되면서 이웃하는 것들끼리 서로 반대의 단부들이 지지된다.

또한, 마지막 행 또는 열에 구비되는 프로브 프레임의 크로스 바는 양측단 모두가 지지대로 지지된다.

(실시예)

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하도록 한다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 어레이 기판 테스트 장비의 사시도이다. 여기서, 도 1과 동일한 부분은 동일한 도면부호로 나타낸다.

도시된 바와 같이, 스테이지(6) 상에는 어레이 공정이 완료된 다수개의 어레이 기판(2)을 포함하는 원판 글래스(1)가 놓여진다. 여기서, 상기 원판 글래스(1)는, 예컨데, 2×3의 어레이 기판들(2)이 구비된다.

프로브 프레임(8)의 크로스 바(5)가 행 또는 열 방향, 예컨데, 행 방향을 따라 동일행의 세 개의 어레이 기판들(2) 상부에 이격 배치되며, 상기 크로스 바(2)의 저부로부터 프로브 핀들(6)이 인출되어 각 어레이 기판(2)에 콘택된다. 그리고, 상기 크로스 바(5)는 스테이지(4) 상에 배치되는 지지대(7)로 지지되는데, 이때, 일측단만이 지지대(7)로 지지되고, 타측단은 종래의 그것 보다 짧은 길이를 갖도록 구비된다. 이것은, 이후에 설명하겠지만, 스캔 모듈레이터(9)가 임의의 프로브 프레임(8)의 크로스 바(5)를 따라 이동된 뒤, 다음 크로스 바로 수직 이동하고, 그런다음, 상기 다음 크로스 바를 따라 이전과 반대의 수평 방향으로 이동되도록 하기 위함이다.

계속해서, 원판 글래스(1) 상에는 스캔 모듈레이터(9)가 배치되며, 이러한 스캔 모듈레이터(9)는 도 2에서 화살표 방향을 따라 이동하면서 해당 어레이 기판들(2)의 결함을 차례로 검출한다.

여기서, 상기 스캔 모듈레이터(9)는 프로프 프레임(8)의 크로스 바(5)를 따라 행 또는 열 방향으로 이동하여 해당 어레이 기판들(2)에 대한 결함을 검출한 후, 다음 크로스 바(5)로 점핑함이 없이 바로 수직 또는 수평 이동하며, 이어서, 해당 크로스 바를 따라 이동한 행 또는 열 방향의 반대 방향으로 수평 또는 수직 이동한다.

한편, 상기와 같이 스캔 모듈레이터(9)가 이동하도록 하기 위해, 종래에는 도 3a에 도시된 바와 같이 프로브 핀 콘택부(3)가 해당 어레이 기판(2)의 양쪽편에 각각 대면하게 설치되는 반면, 본 발명에서는 도 3b에 도시된 바와 같이 프로브 핀 콘택부(3)가 한쪽편에 치우쳐 설치된다.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 어레이 기판 테스트 장비에 따르면, 스캔 모듈레이터(9)가 아래쪽 세 개의 어레이 기판들(3)을 스캔한 후, 다음 프로브 프레임으로 점핑함이 없이 직접 이동할 수 있으므로, 테스트에 소요되는 전체 테스트 시간(tack time)은 종래의 그것 보다 감소시킬 수 있다.

한편, 전술한 바와 같이 프로브 프레임(8)을 구성할 경우, 크로스 바(5)의 일단이 지지대(7) 없이 공중에 뜬 상태가 되지만, 스캔 모듈레이터(1)가 이동하는 것이지 프로브 프레임(8) 자체가 이동하는 것은 아니므로, 프로브 프레임(8)의 어셈블리 마진을 고려할 때 비접촉(mis-contact)은 발생하지 않는다.

또한, 전술한 본 발명의 실시예서는 2×3 어레이 기판에 적용 가능한 테스트 장비를 도시하고 설명하였지만, 도 4에 도시된 바와 같이, 3×3 어레이 기판에 대해서도 적용 가능하며, 이때의 포토 마스크 형태는 도 5와 같다.

이상에서와 같이, 본 발명에 따른 어레이 기판 테스트 장비는 스캔 모듈레이터가 점핑해야 하는 부분에서의 프로브 프레임의 크로스 바 길이를 짧게 해 줌으로써 상기 스캔 모듈레이터가 점핑해야 함에 기인하는 전체 테스트 시간(tack time)을 줄일 수 있으며, 이에 따라, 테스트 능률을 향상시킬 수 있다.

한편, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.

도 1은 종래의 어레이 기판 테스트 장비의 사시도.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 어레이 기판 테스트 장비의 사시도.

도 3a 및 도 3b는 종래 및 본 발명에 따른 프로브 핀 콘택부를 설명하기 위한 도면.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 3×3 패널에 적용되는 어레이 기판 테스트 장비의 사시도.

도 5는 도 4의 테스트 장비에 적용되는 포토마스크 형태를 나타낸 도면.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 원판 글래스 2 : 어레이 기판

3 : 프로브 핀 콘택부 4 : 스테이지

5 : 크로스 바 6 : 프로브 핀

7 : 지지대 8 : 프로브 프레임

9 : 스캔 모듈레이터 10 : 프로브 핀 콘택부

Claims (3)

1. 어레이 공정이 완료된 다수개의 어레이 기판을 포함하는 원판 글래스를 스테이지(stage) 상에 배치시킨 상태로, 일렬로 배열된 어레이 기판들의 상부에 구비되는 각 프로브 프레임(probe frame)의 크로스 바(cross Bar)로부터 상기 어레이 기판들 각각에 프로브 핀들을 콘택시킨 후, 상기 어레이 기판들 상에서 스캔 모듈레이터(scan modulator)를 일방향으로 이동시키면서 순차적으로 각 어레이 기판의 결함(defect)을 검출(detect)하는 어레이 기판 테스트 장비로서,

   상기 각 프로브 프레임의 크로스 바는 스캔 모듈레이터가 임의의 행 또는 열에 배치된 크로스 바를 따라 수평 또는 수직 이동한 후, 다음 행 또는 열의 프로브 프레임의 크로스 바로 수직 또는 수평 이동하여 반대의 수평 또는 수직 방향을 따라 이동할 수 있는 형태로 구비된 것을 특징으로 하는 어레이 기판 테스트 장비.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 프로브 프레임의 크로스 바는 어느 한쪽 단부만 지지대로 지지되면서 이웃하는 것들끼리 서로 반대의 단부들이 지지되는 것을 특징으로 하는 어레이 기판 테스트 장비.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 프로브 프레임의 크로스 바는 마지막 행 또는 열에 구비되는 것은 양측단 모두가 지지대로 지지되는 것을 특징으로 하는 어레이 기판 테스트 장비.