KR100930917B1 - 액정 패널 배치 구조 및 액정 패널 노광 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정 패널 배치 구조 및 노광 방법에 관한 것이다.
본 발명의 목적은, 액정표시장치용 원판 내에 액정 패널이 분할 배치됨으로써 발생하는 공간 효율을 증대시켜 다양한 크기의 액정 패널은 동일한 액정표시장치용 원판 내에 위치시키고, 스크라이빙 공정에 소요되는 시간 및 휠 소모량을 감소할 수 있는 액정 패널 배치 구조를 제공함에 있다.
본 발명은, 서로 이웃하는 액정 패널은 서로 접하여 액정 패널 쌍을 이루며 액정표시장치용 원판에 위치하는 액정 패널 배치 구조를 제공한다. 그리고, 서로 접하는 액정 패널을 한 번의 스크라이빙 공정으로 절단하는 액정 패널 제조 방법을 제공한다. 또한, 이웃하는 액정 패널 쌍 사이를 중복노광하는 액정 패널 노광 방법을 제공한다.
본 발명은, 패널 저스트 구조로 이웃하는 액정 패널을 서로 접하게 배치함으로써 액정표시장치용 원판의 공간을 최적 효율로 사용할 수 있는 효과가 있다. 그리고, 스크라이빙 공정시 작업 시간과 휠 소모량을 감소할 수 있는 효과가 있다. 또한, 노광 공정시 차단 수단에 의해 가려지는 영역에 대해 중복 노광을 함으로써 원하는 패턴이 액정표시장치용 원판에 바람직하게 형성될 수 있는 효과가 있다.

Description

액정 패널 배치 구조 및 액정 패널 노광 방법{Liquid crystal panel arrangement formation and exposing method of Liquid crystal panel}
도 1은 종래의 분할 배치 구조로 배치된 액정 패널을 도시한 사시도.
도 2는 종래의 분할 배치 구조로 배치된 액정 패널 주변에 형성된 위치 정렬 마크와 스크라이빙 라인을 도시한 평면도.
도 3과 4는 본 발명의 실시예에 따라, 패널 저스트 구조로 배치된 액정 패널을 도시한 평면도.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따라, 서로 다른 크기를 가지는 액정 패널 쌍을 도시한 평면도.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따라, 액정 패널 사이에 형성된 스크라이빙 라인을 도시한 평면도.
도 7은 본 발명의 제 3 실시예에 따라, 액정 패널 노광 영역을 도시한 평면도.
도 8a와 8b는, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액정 패널 노광 방법을 도시한 평면도.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
200 : 액정표시장치용 원판 210 : 액정 패널
본 발명은 액정 패널 배치 구조 및 노광 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 패널은 대면적 유리 원판인 액정표시장치용 원판에 다수개가 위치하여, 박막 증착 공정, 세정 공정, 포토리소그라피(photo lithography) 공정, 식각 공정 등을 거치면서 박막 패턴이 형성되고, 배향막 도포, 러빙(rubbing) 공정 등을 동일하게 거치게 되며, 공정이 완료되면, 각각의 액정 패널은 스크라이빙(scribing)된다.
도 1은 액정표시장치용 원판(100)과, 그 내부에 매트릭스(matrix) 형태로 위치한 액정 패널(110)을 도시하고 있다. 액정표시장치용 원판(100)에 위치하는 액정 패널(110)이 많아지게 되면, 공정 수율이 증가하게 되어 제조 경비를 절감할 수 있게 된다.
행방향과 열방향으로 매트릭스 형태로 분할 배치된 액정 패널(110)은 동일한 크기를 가지며 일정 간격 이격되어 분할 배치되어 있다.
도 2는 액정 패널이 분할 배치된 액정표시장치용 원판(100)의 일부를 도시하고 있다.
도시한 바와 같이, 각각의 액정 패널(110) 주변에는 공정 진행에 따른 위치 정렬 등 액정 패널(110)과 공정에 사용되는 장치간의 위치 정렬을 위한 마크(120 ; mark)가 위치하고 있으며, 모든 공정이 진행된 후에 액정 패널(110)을 개별적으로 분리하기 위한 스크라이빙 라인(scribing line)(130a, 130b)이 액정 패널(110) 주변에 위치하고 있다.
위치 정렬을 위한 마크 또는 키(120)는 공정에 사용되는 장치와 액정 패널(110) 간의 정확한 위치를 정렬하기 위해 액정 패널(110) 주변에 위치하게 된다.
예를 들면, 노광 공정을 진행하는 경우에 노광 장치(미도시)와 액정 패널(110)은 위치 정렬 과정을 거치게 된다. 액정 패널(110)에 형성되는 패턴은 극미세 패턴이기 때문에 정확한 위치 정렬 과정을 거치지 않게 되면, 원하지 않는 패턴이 액정 패널(110)에 형성된다. 따라서, 노광 장치에 위치하는 마스크(미도시)와 액정 패널(110)은 위치 정렬을 하기 위해 각각에 형성되어 있는 마크(120)를 사용하게 된다.
위치 정렬 마크 또는 키(120)를 통해 마스크와 액정 패널(110)은 정확하게 위치정렬 하게 되고, 그 이후에 노광장치를 통하여 노광 공정이 진행되면 원하는 패턴이 액정 패널(110)에 바람직하게 형성된다.
더욱이, 스캔(scan) 방식으로 노광이 진행되는 경우에는 위치정렬 마크(120)는 액정 패널(110) 주변에 한 개 이상 형성되어 마스크와 액정 패널(110)의 위치를 올바르게 정렬시키게 된다.
액정 패널(110) 주변에 위치하는 스크라이빙 라인(130a, 130b)은 공정이 완료된 후, 각각의 액정 패널(110)을 개별적으로 분리시키기 위해 형성되어 있다. 액정 패널(110)에 대해 공정이 완료되면, 스크라이빙 장치(미도시)를 사용하여 각각의 액정 패널(110)은 스크라이빙 라인(130a, 130b)을 따라 잘려지게 되고, 액정 패널(110)은 개별적으로 분리되어 후속 공정이 진행된다.
이웃하는 두 액정 패널(110)을 개별적으로 분리하기 위해서는 두 번의 스크라이빙 공정이 진행된다. 예를 들면, 제 1 스크라이빙 라인(130a)을 따라 스크라이빙 공정을 진행하게 되고, 그 후에 제 2 스크라이빙 라인(130b)을 따라 스크라이빙 공정을 진행하게 된다. 두 번의 스크라이빙 공정을 진행하게 되면, 이웃하는 액정 패널(110)은 개별적으로 분리되어 각각은 개별적으로 후속 공정이 진행되게 된다.
전술한 바와 같이, 액정표시장치용 원판(100) 내에는 액정 패널(110)은 동일한 크기와 동일한 간격으로 분할 배치되어 있다.
그런데, 액정표시장치용 원판(100)에 다양한 크기의 액정 패널(110)을 배치하게 되면 액정표시장치용 원판(100)의 공간 효율이 증대하게 된다. 그러나, 종래의 액정 패널(110) 분할 배치와 같이, 액정 패널(110)이 서로 일정 간격 이격되어 배치되면, 액정 패널(110) 사이의 공간은 항상 고정되어 그 공간을 사용할 수 없게 되므로, 다양한 사이즈의 액정 패널(110)을 액정표시장치용 원판(100) 내에 효율적으로 배치할 수 없게 된다.
액정 패널(110)을 액정표시장치용 원판(100) 내에서 분할 배치하게 되면, 다양한 크기의 액정 패널(110)을 액정표시장치용 원판(100) 내에 효율적으로 배치할 수 없게 되어, 액정표시장치용 원판(100)의 공간 효율은 감소하게 된다.
그리고, 액정 패널(110)들을 서로 이격하여 분할 배치함으로써, 각 액정 패널(110)마다 마크(120)나 스크라이빙 라인 등을 개별적으로 형성하여야 하기 때문에, 그에 따른 추가 공정이 발생한다.
또한, 전술한 스크라이빙 공정에서 이웃하는 액정 패널(110)을 개별적으로 분리하기 위해서는 두 번의 공정을 거쳐야 한다. 두 번의 공정 과정을 거침에 따라 스크라이빙 공정 시간은 증대되며, 그에 따라 스크라이빙 장치의 휠(wheel) 소모량도 증가한다. 뿐만 아니라, 액정표시장치용 원판(100)이 증가하게 되면, 액정 패널(110)의 개수도 증가하게 되어, 스크라이빙 공정에 소모되는 공정 시간 및 휠 소모량도 더욱 증가하게 된다.
전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 액정표시장치용 원판 내에 공간 효율을 증대시킬 수 있도록 액정 패널을 배치하고, 스크라이빙 공정에 소요되는 시간 및 휠 소모량을 감소할 수 있는 액정 패널 배치 구조를 제공함에 있다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 기판 상에 제 1 액정 패널과 제 2 액정 패널이 형성되고, 서로 이웃하는 제 1 액정 패널과 제 2 액정 패널은 서로 접하여 액정 패널 쌍을 이루며, 상기 제 1 액정 패널과 상기 제 2 액정 패널은 위치 정렬을 하기 위해 형성되는 정렬 마크를 공유하는 액정 패널 배치 구조를 제공한다.
여기서, 상기 제 1 액정 패널과 제 2 액정 패널은 행 방향으로 접하거나, 열 방향으로 접할 수 있다. 그리고, 상기 액정 패널 쌍은 서로 다른 크기를 가지며 기판 상에 위치할 수 있다. 또한, 상기 제 1 액정 패널과 상기 제 2 액정 패널을 분리하기 위해, 상기 제 1 액정 패널과 상기 제 2 액정 패널 사이에 형성되는 스크라이빙 라인을 더욱 포함할 수 있다.
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또다른 측면에서, 본 발명은, 액정 패널이 서로 접하여 이루어진 제 1 액정 패널 쌍과, 상기 제 1 액정 패널 주변을 포함하는 제 1 영역을 노광하는 단계와; 상기 제 1 액정 패널 쌍과 이웃하고 상기 액정 패널이 서로 접하여 이루어진 제 2 액정 패널 쌍과, 상기 제 2 액정 패널 쌍 주변을 포함하는 제 2 영역을 노광하고, 상기 제 1 영역 일부를 노광하는 단계를 포함하는 액정 패널 노광 방법을 제공한다.
여기서, 상기 제 1 영역은 패턴이 형성된 마스크를 이용하여 노광하고, 제 1 영역 주변은 노광을 차단하는 차단수단을 사용하여 노광하지 않을 수 있고, 상기 차단수단의 주변은 상기 제 2 영역과 상기 제 1 영역 일부를 노광하는 단계에서 노광될 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.
< 제 1 실시예 >
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따라, 액정 패널(210)이 패널 저스트(panel just) 구조로 배치된 액정표시장치용 원판(200)을 도시하고 있다.
액정 패널(210)의 패널 저스트 구조는 이웃하는 제 1, 제 2 액정 패널(210a, 210b)이 접하면서 배치되는 구조로서, 이웃하는 액정 패널(210a, 210b)을 액정표시장치용 원판(200) 내에 패널 저스트 구조로 배치하게 되면 액정표시장치용 원판(200)의 공간을 효율적으로 사용할 수 있게 된다. 액정 패널 쌍(210a, 210b)을 이루는 제 1, 제 2 액정 패널(210a, 210b)은 공정이 완료된 후 스크라이빙 공정을 위한 여분의 공간 만큼은 이격되어 접하고 있다.
도시한 바와 같이, 행방향으로 이웃하는 제 1, 제 2 액정 패널(210a, 210b)은 서로 접하여 액정 패널 쌍(210a, 210b)을 이루며 액정표시장치용 원판(200) 내에 배치되어 있다. 액정 패널 쌍(210a, 210b)들은 행 방향과 열 방향으로 서로 일정 간격 이격되어 위치하고 있다.
도 3에서는 행방향으로 5개의 액정 패널(210)이 위치하고, 열방향으로 3개의 액정 패널(210)이 위치하고 있다. 액정 패널 쌍(210a, 210b)은 행방향으로 이웃하는 액정 패널(210)이 한 쌍을 이루며 패널 저스트 구조로 배치되기 때문에, 좌측에서 1열에 위치하는 액정 패널(210)은 쌍을 이루지 못하고 독릭접으로 배치된다.
도시한 바와 다르게, 좌측에서 5열에 위치하는 액정 패널(210)이 독립적으로 배치되고, 1열과 2열, 3열과 4열에 위치하는 액정 패널(210)들이 패널 저스트 구조로 액정 패널 쌍(210a, 210b)을 이루어 배치될 수 있다.
한편, 액정 패널(210)이 위치하는 열의 개수가 짝수개, 예를 들면 2열, 4열, 6열 등이 되면, 액정표시장치용 원판(200) 내의 액정 패널(210)은 이웃하는 열의 액정 패널(210)이 액정 패널 쌍(210a, 210b)을 이루어 패널 저스트 구조로 배치된다.
도 4는 열방향으로 이웃하는 액정 패널(210)이 패널 저스트 구조로 액정 패널 쌍(210a, 210b)을 이루며 배치되고 있는 모습을 도시하고 있다.
도시한 바와 같이, 열방향으로 이웃하는 액정 패널(210a, 210b)은 서로 접하며 액정 패널 쌍(210a, 210b)을 이루며 액정표시장치용 원판(200) 내에 배치된다. 액정 패널 쌍(210a, 210b)들은 열방향과 행방향으로 일정 간격 이격되어 위치하고 있다.
도 4에 도시한 바와 같이, 위에서 2행과 3행에 위치하는 액정 패널(210a, 210b)들은 패널 저스트 구조로 액정 패널 쌍(210a, 210b)을 이루며 배치되고, 1행에 위치하는 액정 패널(210c)들은 독립적으로 배치되어 있다.
도시하지는 않았지만, 위에서 1행과 2행에 위치하는 액정 패널(210)들이 패 널 저스트 구조로 액정 패널 쌍(210a, 210b)을 이루며 배치되고, 3행에 위치하는 액정 패널(210)들이 독립적으로 배치될 수 있다.
한편, 액정 패널(210)이 위치하는 행의 개수가 짝수개, 예를 들면 2행, 4행, 6행 등이 되면, 액정표시장치용 원판(200) 내의 액정 패널(210)은 이웃하는 행의 액정 패널(210a, 210b)들이 액정 패널 쌍(210a, 210b)을 이루어 패널 저스트 구조로 배치된다.
위와 같이 액정 패널 쌍(210a, 210b)이 패널 저스트 구조로 서로 접하게 배치되면, 각 공정마다 위치정렬 등을 위해 필요한 마크(220)를 액정 패널 쌍(210a, 210b)이 공유할 수 있게 된다. 종래의 분산 배치된 액정 패널(210)은 각 액정 패널(210) 주위로 마크(220)가 형성됨에 비해, 패널 저스트 구조로 배치된 액정 패널 쌍(210a, 210b)은 마크(220)를 공유할 수 있게 되어 작업 효율 및 공정 수율이 증가된다.
또한, 이웃하는 액정 패널(210a, 210b)이 패널 저스트 구조로 액정 패널 쌍(210a, 210b)을 이루면서 배치되면 액정표시장치용 원판(200) 내의 공간을 효율적으로 사용할 수 있게 된다.
도 5는 다양한 크기를 가지는 액정 패널(211, 212, 213)이 패널 저스트 구조로 액정표시장치용 원판(200) 내에 배치되어 있는 모습을 도시하고 있다.
좌측에서 1열 액정 패널(211)은 독립적으로 배치되어 있고, 2열과 3열 액정 패널(212a, 212b)은 패널 저스트 구조로 배치되어 있고, 4열과 5열 액정 패널(213a, 213b)은 패널 저스트 구조로 배치되어 있다. 1열, 2열과 3열, 4열과 5 열에 배치된 액정 패널(211, 212, 213)은 크기가 서로 상이한 액정 패널(211, 212, 213)들로 동일한 액정표시장치용 원판(200) 내에 함께 배치되어 있다.
패널 저스트 구조로 배치되면, 종래의 분할 배치에 비해 액정표시장치용 원판(200)의 여유 공간은 증가하게 되어 다양한 크기의 액정 패널(211, 212, 213)들은 액정표시장치용 원판(200) 내에 배치될 수 있고, 다양한 크기의 액정 패널(211, 212, 213)을 배치하게 되면 액정표시장치용 원판(200)의 공간을 더욱 효율적으로 사용할 수 있게 된다. 패널 저스트 구조를 가지는 액정 패널 쌍(212, 213)들은 마크(220) 등을 공유할 수 있게 되어 효율이 증가하게 된다.
< 제 2 실시예 >
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따라, 패널 저스트 구조를 가지는 액정 패널 쌍(210a, 210b)을 스크라이빙(scribing)하는 공정을 도시하고 있다.
서로 인접하는 액정 패널 쌍(210a, 210b)은 한 번의 스크라이빙 공정으로 분리가 가능하게 된다.
도시한 바와 같이, 서로 인접하는 제 1 액정 패널(210a)과 제 2 액정 패널(210b)은 서로 접하면서 액정 패널 쌍(210a, 210b)을 이루게 된다.
패널 저스트 구조를 가지는 다수개의 액정 패널 쌍(210a, 210b)이 위치하는 액정표시장치용 원판(200)은 박막 증착 공정, 세정 공정, 포토리소그라피 공정, 식각 공정 등을 거치면서 박막 패턴이 형성되고, 배향막 도포, 러빙 공정 등을 동일하게 거치게 되며, 공정이 완료되면, 각각의 액정 패널(210)은 스크라이빙된다.
액정 패널 쌍(210a, 210b)을 스크라이빙 하기 위해 액정표시장치용 원판(200)에는 스크라이빙 키(240 ; scribing key)와 스크라이빙 라인(230 ; scribing line)이 배치되어 있다.
휠을 가지는 스크라이빙 장치(미도시)를 이용해 액정 패널 쌍(210a, 210b)이 접하는 부분을 따라 스크라이빙 하게 되면, 액정 패널 쌍(210a, 210b)은 제 1 액정 패널(210a)과 제 2 액정 패널(210b)로 독립적으로 분리된다.
액정 패널(210)이 패널 저스트 구조로 배치되면, 액정 패널 쌍(210a, 210b)은 한번의 스크라이빙 공정으로 분리가 가능하게 된다. 따라서, 종래의 분할 배치된 액정 패널(210)에 대한 스크라이빙 공정에 비해 스크라이빙 공정시간이 최대 1/2 만큼 단축된다.
또한 스크라이빙 공정을 진행하기 위한 스크라이빙 장치는 휠을 이용하여 스크라이빙 공정을 진행하게 되는데, 한번의 공정으로 액정 패널 쌍(210a, 210b)이 분리되기 때문에, 휠의 소모량 역시 종래의 분할 배치된 액정 패널(210)에 비해 최대 1/2 만큼 감소한다.
전술한 바와 같이, 액정표시장치용 원판(200) 내에 패널 저스트 구조로 배치된 액정 패널(210a, 210b)은 스크라이빙 공정시 한번의 스크라이빙 공정으로 분리가 가능함으로써 종래의 분할 배치된 액정 패널(210)에 비해 스크라이빙 공정 시간을 단축할 수 있고, 스크라이빙 장치의 휠 소모량을 감소할 수 있어 공정 수율이 증대된다.
< 제 3 실시예 >
도 7은 본 발명의 제 3 실시예에 따라, 패널 저스트 구조를 가지는 액정 패널(210)을 노광하는 방법을 도시하고 있다.
액정표시장치용 원판(200) 내에는 다수의 액정 패널(210)이 위치하고 있기 때문에, 전체 액정 패널(210)을 한번에 노광하기에는 어려움이 따르게 된다. 전체를 한번에 노광하기 위해서는 액정표시장치용 원판(200)에 대응하는 크기의 마스크(mask)(미도시)를 필요로 하게 되는데, 그와 같은 마스크는 제어가 용이하지 않고 제작에 어려움이 따르게 된다. 따라서, 수 개의 액정 패널(210)을 노광할 수 있을 만큼의 크기를 가지는 마스크를 이용하여 일정한 순서에 따라서 부분적으로 노광이 진행되어 액정표시장치용 원판(200) 내에 위치하는 액정 패널(210) 전체를 노광하게 된다.
도 7에 도시한 바와 같이, 액정표시장치용 원판(200)은 S1->S2->S3->S4->S5->S6 순서로 노광 영역(S1, S2, S3, S4, S5, S6)이 노광되어 액정표시장치용 원판(200) 내의 액정 패널(210) 전체가 노광된다. 또한, 역의 순서(S6->S5->S4->S3->S2->S1)로 노광 공정이 진행될 수 있으며, 노광장치가 허용되는 범위 내에서 전술한 순서와는 다르게 노광 공정이 진행될 수 있다. 노광 영역(S1, S2, S3, S4, S5, S6)은 액정 패널(210)과 액정 패널(210) 주변을 포함한 만큼의 영역이다.
액정표시장치용 원판(200)에 대해 노광 공정을 진행하는 경우에, 동일한 마스크를 사용하여 노광 공정을 진행하게 되는데, S1 내지 S3 노광 영역과, S4 내지 S6 노광 영역은 면적이 다르기 때문에 동일한 마스크를 사용하는 경우에 면적이 큰 S4 내지 S6 노광 영역에 대응하는 크기의 마스크를 사용하는 것이 효과적이다.
그런데, S4 내지 S6 노광 영역에 대응하는 크기의 마스크를 사용하게 되면, S1 내지 S3 노광 영역을 노광하는 경우에 마스크의 일부를 가리면서 노광을 진행하여야 한다. 그렇지 않게 되면, S1 내지 S3 노광 영역을 노광하게 되면서 S4 내지 S6 노광 영역을 노광하게 되어 원하지 않는 패턴이 S4 내지 S6 노광 영역에 만들어지게 된다.
도 8a와 8b는 각 노광 영역을 노광하는 방법을 도시하고 있다.
도 8a에 도시한 바와 같이, S1 내지 S3 노광 영역을 노광하는 과정에서 블레이드(미도시)를 사용하여 S1 내지 S3 노광 영역을 노광하는데 필요하지 않은 마스크 부분을 가리게 된다. 블레이드는 노광장치(미도시)에 위치하여 원하는 만큼만 노광되도록 하기 위해, 마스크를 일부 가리는 차단수단이다. 따라서, 블레이드에 의해 노광되지 않는 블레이드 영역(B)에 위치하는 액정표시장치용 원판(200) 부분은 마스크에 의해 노광되지 않게 되어 원하지 않는 패턴이 형성되지 않게 된다. 그리고, S1 내지 S3 노광 영역은 블레이드에 의해 가려지지 않는 마스크 영역(M1)에 위치하게 되어 원하는 패턴이 형성된다.
S1 내지 S3 노광 영역을 블레이드를 사용하여 노광한 후에, 도 8b에 도시한 바와 같이, S4 내지 S6 노광 영역을 노광하게 되면 액정표시장치용 원판(200)은 전체가 노광된다. S4 내지 S6 노광 영역은 블레이드를 사용하지 않게 되며, 마스크 영역(M2)에 위치하게 되어 원하는 패턴이 형성된다.
그런데, 블레이드는 마이크로 단위로 위치를 제어하는 것이 쉽지 않기 때문 에, 블레이드 영역과 M1 영역의 경계부(F)에서는 마스크의 패턴이 유실될 수 있다. 블레이드와 액정표시장치용 원판(200)의 이동(shift)로 인해 블레이드 영역의 경계부(F)에서 마스크 패턴이 가려지게 되어 원하는 패턴이 형성되지 않게 된다.
따라서, 블레이드 영역 경계부(F)에 대해서는 중복 노광을 진행하여 마스크 패턴이 유실되지 않도록 한다.
중복 노광을 진행하기 위해서는, S1 내지 S3 노광 영역에 대해서 노광을 진행하는 과정에서 블레이드 영역 경계부(F)에 대응하는 마스크의 패턴은, S4 내지 S6 노광 영역에 대해서 노광을 진행하는 과정에서 블레이드 영역 경계부(F)에 대응하는 마스크의 패턴과 동일하게 마스크에 중복 형성되어 있다.
따라서, S1 내지 S3 노광 영역을 블레이드를 사용하여 마스크로 노광한 후에, S4 내지 S6 노광 영역을 노광하면서 블레이드 영역 경계부(F)에 대해서 중복하여 노광하게 되면 블레이드 영역 경계부(F)에서는 원하는 패턴이 형성되게 되어, 액정표시장치용 원판(200) 전체는 원하는 패턴이 바람직하게 패터닝(patterning)되게 된다. 즉, 블레이드 영역 경계부(F)에 대해서는 S1 내지 S3 노광 영역을 노광하는 과정과, S4 내지 S6 노광 영역을 노광하는 과정에서 중복하여 노광하게 되고, 따라서 패턴은 유실되지 않고 올바르게 형성된다.
전술한 바와 같이, 액정 패널(210)을 패널 저스트 구조로 서로 접하게 배치하게 되면 액정표시장치용 원판(200)은 여분의 공간을 효율적으로 사용할 수 있게 되어 다양한 크기의 액정 패널(210)을 액정표시장치용 원판(200) 내에 효율적으로 배치할 수 있게 된다. 그리고, 패널 저스트 구조를 가지며 서로 접하는 액정 패널(210)은 한번의 스크라이빙 공정으로 액정 패널 쌍(210a, 210b)이 분리가능하게 되어 스크라이빙 공정 시간 및 스크라이빙 공정시 사용되는 장치의 휠 소모량을 감소할 수 있다. 또한, 노광 공정에서 블레이드에 의해 패턴이 유실 될 수 있는 영역을 중복하여 노광함으로써, 액정표시장치용 원판(200)에 원하는 패턴이 바람직하게 형성될 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명은, 패널 저스트 구조로 이웃하는 액정 패널을 서로 접하게 배치함으로써 액정표시장치용 원판의 공간 효율을 상승시켜 다양한 크기의 액정 패널을 동일한 액정표시장치용 원판 내에 위치시키게 됨으로써 최적의 공간 효율을 얻을 수 있는 효과가 있다. 그리고, 스크라이빙 공정시 한번의 공정으로 액정 패널 쌍을 분리할 수 있게 되어, 작업 시간과 휠 소모량을 감소할 수 있는 효과가 있다. 또한, 블레이드에 의해 가려지는 영역에 대해 중복 노광을 함으로써 원하는 패턴이 액정표시장치용 원판에 바람직하게 형성될 수 있는 효과가 있다.

Claims (13)

  1. 기판 상에 제 1 액정 패널과 제 2 액정 패널이 형성되고,
    서로 이웃하는 제 1 액정 패널과 제 2 액정 패널은 서로 접하여 액정 패널 쌍을 이루며, 상기 제 1 액정 패널과 상기 제 2 액정 패널은 위치 정렬을 하기 위해 형성되는 정렬 마크를 공유하는 액정 패널 배치 구조.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 액정 패널과 제 2 액정 패널은 행 방향으로 접하는 액정 패널 배치 구조.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 액정 패널과 제 2 액정 패널은 열 방향으로 접하는 액정 패널 배치 구조.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 액정 패널 쌍은 서로 다른 크기를 가지며 기판 상에 위치하는 액정 패널 배치 구조.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 액정 패널과 상기 제 2 액정 패널을 분리하기 위해, 상기 제 1 액정 패널과 상기 제 2 액정 패널 사이에 형성되는 스크라이빙 라인을 더욱 포함하는액정 패널 배치 구조.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 액정 패널이 서로 접하여 이루어진 제 1 액정 패널 쌍과, 상기 제 1 액정 패널 주변을 포함하는 제 1 영역을 노광하는 단계와;
    상기 제 1 액정 패널 쌍과 이웃하고, 상기 액정 패널이 서로 접하여 이루어진 제 2 액정 패널 쌍과, 상기 제 2 액정 패널 쌍 주변을 포함하는 제 2 영역을 노광하고, 상기 제 1 영역 일부를 노광하는 단계
    를 포함하는 액정 패널 노광 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 영역은 패턴이 형성된 마스크를 이용하여 노광하고, 제 1 영역 주변은 노광을 차단하는 차단수단을 사용하여 노광을 차단하는 액정 패널 노광 방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 차단수단의 주변은 상기 제 2 영역과 상기 제 1 영역 일부를 노광하는 단계에서 노광되는 액정 패널 노광 방법.
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100971959B1 (ko) * 2003-12-30 2010-07-23 엘지디스플레이 주식회사 멀티글라스 지지유닛
TWI311211B (en) * 2004-04-13 2009-06-21 Au Optronics Corp Liquid crystal display panel with marks for checking breaking accuracy by visual inspection
KR20080061569A (ko) * 2006-12-28 2008-07-03 삼성전자주식회사 표시 패널 제조용 모(母) 표시 패널
JP2008224754A (ja) * 2007-03-08 2008-09-25 Nsk Ltd 分割逐次近接露光方法及び分割逐次近接露光装置
JP4616410B1 (ja) * 2010-03-23 2011-01-19 株式会社コムラテック 大形樹脂凸版の製法およびそれによって得られた大形樹脂凸版
KR102163358B1 (ko) * 2014-07-21 2020-10-12 엘지디스플레이 주식회사 디스플레이 장치
US10401665B2 (en) * 2015-05-27 2019-09-03 Sharp Kabushiki Kaisha Method of producing display panels
CN105150271B (zh) * 2015-07-03 2017-03-15 武汉华星光电技术有限公司 基板切割标记及具有该基板切割标记的基板
CN105044956B (zh) * 2015-09-08 2018-01-26 京东方科技集团股份有限公司 显示面板的制备方法、绑定切割装置
CN105652484A (zh) * 2016-03-29 2016-06-08 深圳市华星光电技术有限公司 液晶面板的切割方法
CN107357060A (zh) * 2017-08-29 2017-11-17 惠科股份有限公司 一种显示面板的制造方法及制造设备

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10107289A (ja) * 1996-09-26 1998-04-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置用アレイチップの製造方法
KR100543367B1 (ko) * 1999-01-15 2006-01-20 삼성전자주식회사 액정표시기 패널의 절단방법

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4094058A (en) 1976-07-23 1978-06-13 Omron Tateisi Electronics Co. Method of manufacture of liquid crystal displays
JPS5515173A (en) 1978-07-20 1980-02-02 Casio Comput Co Ltd Production of optical display cell
JPS603609A (ja) 1983-06-21 1985-01-10 Sharp Corp 液晶表示素子の製造方法
US4906071A (en) * 1987-03-31 1990-03-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Liquid crystal display device and video projector incorporating same with particular driving circuit connection scheme
US5668650A (en) * 1993-09-06 1997-09-16 Casio Computer Co., Ltd. Thin film transistor panel having an extended source electrode
JPH09265062A (ja) 1996-03-28 1997-10-07 Toshiba Corp 液晶表示素子製造方法、及びそのための多面取り基板
JP3389461B2 (ja) 1997-07-28 2003-03-24 シャープ株式会社 液晶表示装置の製造方法
JP3725671B2 (ja) 1997-08-08 2005-12-14 日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社 プロキシミティ露光装置及び方法並びに液晶ディスプレイの製造方法
JP4372260B2 (ja) * 1999-03-17 2009-11-25 シャープ株式会社 液晶パネルの製造方法
US6204906B1 (en) * 1999-03-22 2001-03-20 Lawrence E. Tannas, Jr. Methods of customizing the physical size and shape of commercial off-the-shelf (COTS) electronic displays

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10107289A (ja) * 1996-09-26 1998-04-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置用アレイチップの製造方法
KR100543367B1 (ko) * 1999-01-15 2006-01-20 삼성전자주식회사 액정표시기 패널의 절단방법

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