CN100378513C - 液晶显示板及其曝光方法 - Google Patents

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Abstract

液晶显示板及其曝光方法。一种底基板，其包括在该底基板上的第一液晶显示板和第二液晶显示板，其中该第二液晶显示板接触该第一液晶显示板。

Description

液晶显示板及其曝光方法
技术领域
本发明总体上涉及液晶显示(LCD)装置。更具体地说，本发明涉及在一底基板(base substrate)上的多个LCD板的有效设置以及曝光这些LCD板的方法。
背景技术
通常，使用LCD板形成LCD装置。可以通过执行薄膜构图工艺(例如，曝光、显影、清洗、光刻和蚀刻工艺)以及配向膜工艺(例如，涂覆和研磨工艺)在一底基板上制造多个LCD板。在制造后，可以通过划片(scribing)工艺从底基板分离各个LCD板。
图1表示设置在一底基板上的多个LCD板。
参照图1，在底基板100上规则地设置有具有相同尺寸的多个LCD板110，这些LCD板彼此间隔开相同的距离。
图2表示设置在图1所示的底基板的一部分上的两个LCD板。
参照图2，在每一个LCD板110的周边设置多个对准标记120，并且使用这些对准标记120来将LCD板110与能够执行前面提到的薄膜构图工艺的装置对准。例如，在执行上述曝光工艺时，各个LCD板110必须与扫描型曝光装置(未示出)的掩模对准。在曝光工艺过程中的正确对准是很关键的，因为在LCD板110上形成的薄膜图案非常精细，LCD板110和曝光装置之间的任何未对准都将阻碍形成所需的图案。因此，对准标记120确保了曝光装置的掩模和LCD板110之间的正确对准。
仍然参照图2，第一和第二划片线(scribe line)130a和130b分别与第一和第二LCD板110a和110b的相对边缘相邻地设置。虽然未示出，还形成有分别围绕第一和第二LCD板110a和110b的划片线。因此，第一和第二划片线130a和130b使得将LCD板110从底基板100分离变得容易。应当注意到第一和第二划片线130a和130b之间的部分底基板100不是任何一个LCD板110的一部分；第一和第二划片线130a和130b限定了构成各个LCD板110的最外边缘的底基板100的多个部分。这样，底基板100上将相邻LCD板110彼此间隔开的距离由第一和第二划片线130a和130b之间的距离确定。为了从底基板分离LCD板110，随后将划片装置(未示出)应用于第一和第二划片线130a和130b(除围绕LCD板的其它划片线以外)。在将多个LCD板110从底基板100分离后，可以对这些LCD板110进行进一步的处理，以完成各个LCD装置的制造。
因为图1所示的设置在底基板100上的多个LCD板110全部具有相同的尺寸，所以使得底基板100的利用率很低。也就是说，由于第一和第二划片线130a和130b之间的间隔而使得LCD板110实际占据的底基板100的百分比很小。虽然可以通过设置不同尺寸的LCD板110来提高底基板100的利用率，但是由于LCD板110必须在相邻的划片线之间彼此间隔开相同的距离，所以该方法很难实现。因为LCD板110必须具有相同的尺寸，并且相邻的划片线130a和130b之间的间隔必须相同，所以不能在底基板100上不规则地设置多个LCD板110。因此，现有技术的LCD板的设置使得底基板100的利用率很低。
另外，因为各个LCD板110在底基板100上彼此间隔开，所以必须为每一个LCD板110提供多个对准标记120和多个划片线。因此，必须对每一个LCD板110执行对准和划片工艺，由此增加了制造多个LCD装置所需的工艺时间。随着在底基板100上形成的LCD板110的数量增加，划片工艺的次数与构成划片装置的部件(例如划片轮)的老化速率增加。
发明内容
因此，本发明致力于一种在一底基板上的多个LCD板的有效设置以及曝光这些LCD板的方法，其基本上消除了由于现有技术的限制和缺点所引起的一个或者更多个问题。
本发明的一个优点提供了一种在一底基板上的多个LCD板的高效设置。
本发明的另一个优点提供了一种制造LCD板的方法，该方法减少了划片工艺时间并且减少了划片轮的老化。
本发明的另一个优点提供了一种曝光底基板上的多个LCD板的方法。
本发明的其他特征和优点将在以下说明中进行阐述，并根据该说明而变得明了，或者可以通过本发明的实施认识到。通过所写说明及其权利要求以及附图中具体指出的结构将了解和获知本发明的目的和其他优点。
为了实现这些和其它优点并且根据本发明的目的，如具体实施并广泛描述的，一种底基板例如可以包括第一平板和第二平板，其中该第二平板接触该第一平板。
根据本发明的原理，一种制造平板的方法例如可以包括：形成第一平板和第二平板，以使它们彼此接触；以及在单次分离工艺中分离该第一LCD板和第二LCD板。
根据本发明的原理，一种曝光液晶平板的方法例如可以包括：曝光具有多个平板的第一平板组以及设置在该第一平板组的周边的第一周边区域；以及曝光具有多个平板的第二平板组以及设置在该第二平板组的周边的第二周边区域，其中该第一平板组与该第二平板组相邻，其中各组的平板彼此接触，并且其中该第一周边区域与该第二周边区域交迭。
在本发明的一个方面，该第一平板例如可以包括LCD板。
在本发明的另一方面，该第二平板例如可以包括LCD板。
在本发明的另一方面，该第一平板组例如可以包括多个LCD板。
在本发明的另一方面，该第二平板组例如可以包括多个LCD板。
在本发明的另一方面，该分离工艺例如可以包括划片工艺。
应该理解，前面的总体描述和下面的详细描述都是示例性的和解释性的，旨在对所要求保护的本发明提供进一步的解释。
附图说明
包含附图以提供对本发明的进一步的理解，并且包含附图构成本说明的一部分，附图显示了本发明的实施例，并与说明书一起解释本发明的原理。
在附图中：
图1表示设置在底基板上的多个LCD板的透视图；
图2表示对应于图1所示的多个LCD板设置的多个对准标记和划片线；
图3和4表示根据本发明的原理的LCD板的示例性设置；
图5表示根据本发明的原理的具有不同尺寸的LCD板的示例性设置；
图6表示根据本发明的原理的对准标记和划片线的示例性设置；
图7表示根据本发明的原理的底基板的多个曝光区域；以及
图8A和8B表示曝光图7所示的多个LCD板的方法。
具体实施方式
现将详细描述本发明的实施例，附图中示出了其示例。只要可能，在全部附图中使用相同的标号表示相同或者相似的部分。
图3和4图表示根据本发明的原理的LCD板的示例性设置。
根据本发明的原理，同时参照图3和4，可以在同一底基板200上设置多个LCD板，以使多对第一和第二LCD板210a和210b(下文中称为LCD板对210)分别共用一公共划片线(未示出)。虽然没有示出，但是也可以分别围绕这些LCD板对210形成多个划片线。与图1所示的第一和第二划片线130a和130b相似，第一和第二LCD板210a和210b之间的划片线(未示出)限定了构成每一个LCD板210a和210b的最外边缘的底基板200的多个部分。这样，第一和第二LCD板210a和210b实质上在底基板200上彼此接触。为了分离LCD板210a和210b，可以在单次划片工艺中对划片线应用划片装置(未示出)。通过提供多个LCD板对210，与诸如图1所示的那些底基板相比，可以更有效地利用底基板200。此外，与从图1所示的底基板100分离LCD板所需步骤的数量相比，可以以更少的步骤从图2所示的底基板200分离相同数量的LCD板。
在图3所示的本发明的一个方面中，在第一和第二LCD板210a和210b相应的LCD板对210内，第一和第二LCD板210a和210b可以相对于底基板200的取向彼此横向相邻。因此，可以在底基板200上纵向地设置分割第一和第二LCD板210a和210b的划片线。在图4所示的本发明的另一方面中，在第一和第二LCD板210a和210b相应的LCD板对210内，第一和第二LCD板210a和210b可以相对于底基板200的取向彼此纵向相邻。因此，可以在底基板200上横向地设置分割第一和第二LCD板210a和210b的划片线。
根据本发明的原理，底基板200例如可以包括以多行和多列的方式设置的多个LCD板。在本发明的一个方面中，底基板200上的预定的多对横向或者纵向相邻的第一和第二LCD板210a和210b可以形成多个LCD板对210。在本发明的另一方面中，可以在底基板200上设置多个第三LCD板210c，而不形成任何LCD板对210的一部分。应该注意到图3和4仅仅表示底基板200上的第一到第三LCD板210a-210c的示例性设置；应该理解第一到第三LCD板210a-210c实质上可以以任何所需的方式设置。
如以上关于图3和4所示，与诸如图1所示的那些LCD板的设置相比，如图3和4所示将相邻的多个第一和第二LCD板210a和210b设置成多个LCD板对210，有利地减少了制造和分离这些LCD板所需的划片线和对准标记220的总数。因此，可以提高底基板200的利用率和由底基板200制造的总的LCD板的产量。
图5表示根据本发明的原理的具有不同尺寸的LCD板的示例性设置。
参照图5，底基板200可以用于形成具有不同尺寸的多个LCD板。在本发明的一个方面中，底基板200可以用于形成具有第一尺寸的LCD板211、具有第二尺寸的LCD板212a和212b、以及具有第三尺寸的LCD板213a和213b，其中该第一、第二和第三尺寸彼此不同。在本发明的另一方面中，可以将具有第二尺寸的至少一对相邻LCD板212a和212b设置成至少一个第一LCD板对212。在本发明的另一方面中，可以将具有第三尺寸的至少一对相邻LCD板213a和213b设置成至少一个第二LCD板对213。
与图3和4所示的LCD板的设置相似，图5中的LCD板的设置提高了底基板200的利用率，并且提高了由相同的底基板制造的LCD板的产量。另外，因为可以在相同的底基板200上形成具有不同尺寸的LCD板，所以可以更进一步地提高底基板200的利用率。
图6表示根据本发明的原理的对准标记和划片线的示例性设置。
参照图6，可以通过单个划片线230来分割第一和第二LCD板210a和210b，并且第一和第二LCD板210a和210b可以共用多个对准标记220(这些对准标记220可以形成在底基板200上)。如上所述，这些划片线230限定了构成每一个LCD板210a和210b的最外边缘的底基板200的多个部分。这样，第一和第二LCD板210a和210b实质上在底基板200上彼此接触。因此，可以通过多个薄膜构图工艺(例如，曝光、显影、清洗、光刻、蚀刻等等)和配向膜工艺(例如，涂覆、研磨等)来制造第一和第二LCD板210a和210b。在完成上述制造工艺后，可以在划片工艺过程中彼此分离第一和第二LCD板210a和210b，在该划片工艺中，划片装置的划片轮切割由划片线230所占据的底基板200的多个部分。一旦完成该单次划片工艺，LCD板对210中的第一和第二LCD板210a和210b就彼此完全分离，并且与图1和2所示的LCD板110相比，可以以较少的时间从底基板200分离相同数量的LCD板。因为可以以较少次数的划片工艺将第一和第二LCD板210a和210b从底基板200分离，所以与分离图1和2所示的那些LCD板时所经受的老化速率相比，显著降低了构成划片装置的部件的老化速率。
图7表示根据本发明的原理的底基板的曝光区域的示意图。
通常，很难在单次曝光工艺过程中对整个底基板200进行曝光，以使多个LCD板中的每一个都被一致地曝光。因此，根据本发明的原理，可以将多个LCD板分组为多个LCD板组，每一个LCD板组可以通过掩模单独进行曝光。
如图7所示，可以按照由形成LCD板的底基板200的区域确定的顺序对底基板200上的每一个LCD板进行曝光。例如可以首先曝光区域“S1”，第二曝光区域“S2”，第三曝光区域“S3”，第四曝光区域“S4”，第五曝光区域“S5”，第六曝光区域“S6”。但是应该理解，要曝光的区域的数量、尺寸和设置可以随需要而变化。另外，应该理解对各个区域进行曝光的顺序也可以随需要而变化。
在本发明的一个方面中，可以通过相同的掩模对一LCD板对中的两个LCD板进行曝光。在本发明的另一方面中，可以根据最大的曝光区域来确定在对LCD板进行曝光时所使用的掩模的尺寸。例如，第一到第三曝光区域“S1”到“S3”以及第四到第六曝光区域“S4”到“S6”可以具有不同的尺寸。在本发明的一个方面，第四到第六曝光区域“S4”到“S6”可以比第一到第三曝光区域“S1”到“S3”大。如果在曝光工艺过程中仅使用一个掩模，那么所使用的掩模的尺寸与第四到第六曝光区域“S4”到“S6”相对应，并且当对第一到第三曝光区域“S1”到“S3”进行曝光时，必须屏蔽设置在第四到第六曝光区域“S4”到“S6”上的掩模部分。如果在对第一到第三曝光区域“S1”到“S3”进行曝光时，设置在第四到第六曝光区域“S4”到“S6”上的掩模部分没有被屏蔽，那么就会在第四和第六曝光区域“S4”到“S6”内形成有缺陷的图案。
图8A和8B表示对图7所示的LCD板进行曝光的方法。
参照图8A，可以通过对第一到第三曝光区域“S1”到“S3”执行第一曝光工艺来制造薄膜图案。因此，可以通过掩模中的开口对第一到第三曝光区域“S1”到“S3”进行曝光，其中该开口具有第一掩模区域“M1”。在本发明的一个方面，可以通过设置在掩模的端部的屏蔽装置(例如，叶片“B”)来限定第一掩模区域“M1”。
参照图8B，可以通过对第四到第六曝光区域“S4”到“S6”执行第二曝光工艺来制造薄膜图案。因此，可以通过在第一曝光工艺中所使用的同一掩模中的的开口对第四到第六曝光区域“S4”到“S6”进行曝光，其中由于第四到第六曝光区域“S4”到“S6”的尺寸，使得用于对第四到第六曝光区域“S4”到“S6”进行曝光的开口可以具有大于第一掩模区域“M1”的第二掩模区域“M2”，但是不需要屏蔽装置。一旦对第一到第六曝光区域“S1”到“S6”进行了曝光，就在两个曝光工艺中对整个底基板进行了曝光。
再次参照图8A，因为屏蔽装置和底基板200可能不可控制地相对于彼此移动，所以无法容易地在与屏蔽装置相邻并且处于第一掩模区域“M1”内的边界区域“F”中形成所需的图案。这种不可控制的移动可能导致屏蔽装置被设置在第一到第三曝光区域“S1”到“S3”内，并且阻碍形成所需的薄膜图案。因此，根据本发明的原理，可以通过第一和第二曝光工艺来形成第一到第三曝光区域“S1”到“S3”内的LCD板的所需薄膜图案。另外，与上面关于图3、4和5的描述相似，图8A和8B中的LCD板的设置提高了底基板200的利用率，并且提高了由相同底基板制造的LCD板的产量。另外，可以仅通过一次划片工艺来分割相邻LCD板“LP”，因此可以减少划片的工艺时间和划片轮的损耗。
如上所述，通过在底基板中形成具有不同的尺寸和设置的多个LCD板，可以使底基板的利用率最高。通过提供LCD板对内的LCD板的至少一部分，使得相对于现有技术的LCD板的设置，减少了用于分离LCD板和将LCD板制造成单立的LCD装置的对准标记和划片线的数量以及划片工艺的次数。此外，与最近的现有技术相比，可以减小划片装置的老化速率和LCD板制造时间，可以通过对预定的LCD板执行两次曝光工艺来形成所需的图案。
对于本领域的技术人员显然可以在不脱离本发明的精神和范围的情况下进行各种修改和变化。例如，显然可以将本发明的原理扩展到任何适当的装置(例如，平板显示装置)的制造。因此，本发明旨在涵盖落入附加权利要求及其等同物的范围内的本发明的修改和变化。
本发明要求2003年6月30提交的韩国专利申请2003-43972的优先权，在此通过参考引入其全文。

Claims (4)

1.一种对液晶显示板进行曝光的方法，包括以下步骤：
对具有多个液晶显示板的第一液晶显示板组和该第一液晶显示板组的周边的第一周边区域进行曝光；以及
对具有多个液晶显示板的第二液晶显示板组和与该第一液晶显示板组相邻的该第二液晶显示板组的周边的第二周边区域进行曝光，
其中各液晶显示板组的多个液晶显示板彼此接触，并且其中该第一周边区域与该第二周边区域交迭，并且
其中在对所述第一和第二液晶显示板组进行曝光时，所述第一和第二周边区域的交迭部分被曝光两次，并且其中在对所述第一液晶显示板组进行曝光时，通过屏蔽装置屏蔽所述第二液晶显示板组。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述第二液晶显示板组比所述第一液晶显示板组大。
3.根据权利要求2所述的方法，其中通过同一掩模对所述第一和第二周边区域进行曝光。
4.一种对平板进行曝光的方法，包括以下步骤：
对具有多个平板的第一平板组以及该第一平板组的周边的第一周边区域进行曝光；以及
对具有多个平板的第二平板组以及与该第一平板组相邻的该第二平板组的周边的第二周边区域进行曝光，
其中各组的多个平板彼此接触，并且该第一周边区域与该第二周边区域交迭，并且
其中在对所述第一和第二平板组进行曝光时，所述第一和第二周边区域的交迭部分被曝光两次，并且其中在对所述第一平板组进行曝光时，通过屏蔽装置屏蔽所述第二平板组。
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