JP2006108265A - 基板載置ステージ - Google Patents
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Abstract
【課題】複数の基板を多面取りする大型基板を支持する際に、裁断予定線にピンが重なるようにした基板載置ステージを提供する。
【解決手段】支持プレート上に複数の固定ピン3が取り付けられている。この固定ピン3の平面視での位置は、この基板載置ステージに載置される大型基板の有効エリア外となる外周縁L1に重なる位置に配置され、また大型基板を2面取りする裁断予定線L2に重なる位置にも配置されている。一方、前記支持プレート形成した貫通穴に可動ピン5が挿通され、各可動ピン5は大型基板を更に面取りする裁断予定線L3,L4に重なる位置に配置されている。そして横方向の可動ピン5が支持プレート下方の連結プレートに共通して取り付けられ、シリンダユニットを駆動することで横方向の可動ピン5を同時に昇降動せしめるようにしている。
【選択図】図1
【解決手段】支持プレート上に複数の固定ピン3が取り付けられている。この固定ピン3の平面視での位置は、この基板載置ステージに載置される大型基板の有効エリア外となる外周縁L1に重なる位置に配置され、また大型基板を2面取りする裁断予定線L2に重なる位置にも配置されている。一方、前記支持プレート形成した貫通穴に可動ピン5が挿通され、各可動ピン5は大型基板を更に面取りする裁断予定線L3,L4に重なる位置に配置されている。そして横方向の可動ピン5が支持プレート下方の連結プレートに共通して取り付けられ、シリンダユニットを駆動することで横方向の可動ピン5を同時に昇降動せしめるようにしている。
【選択図】図1
Description
本発明は液晶表示パネル用のガラス基板に各種処理を施す際にガラス基板を載置する基板載置ステージに関する。
ガラス基板を水平にした状態で各種処理を施すには従来から基板載置ステージを用いている。(特許文献1〜3)
従来の基板載置ステージはいずれもステージに厚み方向の貫通穴を複数形成し、これら複数の貫通孔に支持ピンを挿通し、1つのシリンダユニットなどで複数の支持ピンを同時に上昇させて基板を受け取り、そのまま支持ピンを下降せしめることでステージ上面に基板を載置するようにしている。
特開平6−97269号公報
特開平11−111600号公報
特開2001−53133号公報
従来の基板載置ステージはいずれもステージに厚み方向の貫通穴を複数形成し、これら複数の貫通孔に支持ピンを挿通し、1つのシリンダユニットなどで複数の支持ピンを同時に上昇させて基板を受け取り、そのまま支持ピンを下降せしめることでステージ上面に基板を載置するようにしている。
上述した基板載置ステージにあっては、支持ピンが降下した状態でガラス基板の下面は直接ステージ上面に接触する。そのためステージ上面の温度がガラス基板の温度と異なっている場合には、ガラス基板表面に形成した塗膜にムラなどの悪影響が発生する。
上記の問題を解消するには、基板載置ステージにピンを取り付け、このピンの上にガラス基板を載置した状態で、各種処理例えば減圧乾燥処理を行なえばよいのであるが、ピンの上端部がガラス基板下面に当たるため、この部分にピン跡が残ってしまう。
液晶表示パネルの生産効率を高めるには、大きなガラス基板に共通の処理を施した後に、個々の液晶表示パネルの寸法に裁断することになるが、この裁断する部分に沿った部分は有効エリアとしては使用しない無効エリアになっている。この点を利用して上記課題を解決するために本願発明がなされた。
本願発明に係る基板載置ステージは、後工程で複数に裁断される大寸法ガラス基板などの大型基板を載置することを前提とした基板載置ステージであって、ステージ上面に植設された複数の固定ピンと、ステージに形成した厚み方向貫通穴に挿通され昇降動可能とされた複数の可動ピンとを備え、前記固定ピンは平面視で載置する大型基板の有効エリア外の外周縁に重なる位置に配置され、前記可動ピンは平面視で大型基板の裁断予定線に重なる位置に配置された構成とした。
このように構成することで、ガラス基板などの有効エリアにピン跡が残ることがない。
このように構成することで、ガラス基板などの有効エリアにピン跡が残ることがない。
ここで、大型基板を幾つに裁断するかは目的とする液晶パネルなどの大きさによって異なるが、元になる大型基板の寸法は決まっている。したがって、必ず支持しなければならない外周縁(無効エリア)を先ず固定ピンで支持し、一方、裁断予定線は大型基板を幾つに面取りするか或いは面取り形状によって異なるので、この部分については、必要な場合のみ可動ピンを上昇させて可動ピンで支持する。
前記複数の可動ピンは縦方向または横方向に配列されたもの同士を1ユニットとし、ユニットごと1つの昇降機構によって昇降動せしる構成とすることで、機構が簡略化される。
また、前記大型基板は必ず2以上に面取りされるので2面取りする裁断予定線は必ず存在する。そこでこの2面取りの裁断予定線に重なる位置にも固定ピンを配置してもよい。
本発明によれば、ガラス基板などの基板の外周縁及び裁断予定線の部分のみを固定ピン或いは可動ピンで支持するため、ピン跡が残った場合でも何ら不利は生じない。
また、本発明によれば、裁断枚数変更によって裁断予定線の位置が変更されて裁断予定線から可動ピンがずれた場合には、当該可動ピンを後退させ、新たな裁断予定線の位置に重なる可動ピンを突出させて基板を支持することが簡単にできる。
以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。図1は本発明に係る基板載置ステージの平面図、図2は図1のA−A線に沿った要部拡大断面図である。
この基板載置ステージは、例えば大型ガラス基板に塗布したレジスト液などを減圧乾燥せしめる工程で使用される。
この基板載置ステージは、例えば大型ガラス基板に塗布したレジスト液などを減圧乾燥せしめる工程で使用される。
基板載置ステージはベース1上に比較的薄厚の基板載置ステージが取り付けられ、この支持プレート2上に複数の固定ピン3…が取り付けられている。この固定ピン3…の平面視での位置は、この基板載置ステージに載置される大型基板Wの有効エリア外となる外周縁L1に重なる位置に配置され、また大型基板を2面取りする裁断予定線L2に重なる位置にも配置されている。
一方、前記支持プレート2には厚み方向に複数の貫通穴4…が形成され、各貫通穴4に可動ピン5…が挿通されている。各可動ピン5…は大型基板を更に面取りする裁断予定線L3,L4に重なる位置に配置されている。
本実施例では横方向の可動ピン5…が支持プレート2下方の連結プレート6に共通して取り付けられ、この連結プレート6がベース1を貫通するガイドロッド7に取り付けられ、このガイドロッド7をベース1下面に設けたシリンダユニット8を駆動することで横方向の可動ピン5…を同時に昇降動せしめるようにしている。
そして、可動ピン5…はその上限位置で前記固定ピン3…と同一の高さとなり、大型基板Wを水平状態で支持し、一方上限位置から可動ピン5…が若干下降することで、当該可動ピン5…は基板の支持に関与しなくなる。
図3(a)〜(c)は別実施例を示す図1と同様の図であり、(a)に示す実施例は、8面取りの例を示しており、この実施例では固定ピン3…はそのままで、可動ピン5…は大型基板を更に面取りする裁断予定線L5,L6に重なる位置に配置されている。
また(b)に示す実施例は、12面取りの例で、裁断予定線L7,L8,L9に重なる位置に可動ピン5…が配置されているが、固定ピン3…と可動ピン5…の配置数および配置箇所は(a)に示した例と同一である。
更に、(c)に示す実施例は、24面取りの例で、裁断予定線L10,L11,L12,L13,L14に重なる位置に可動ピン5…が配置されている。
1…ベース
2…支持プレート
3…固定ピン
4…貫通穴
5…可動ピン
6…連結プレート
7…ガイドロッド
8…シリンダユニット
L1…外周縁
L2…大型基板を2面取りする裁断予定線
L3〜L14…2面取り以上する際の裁断予定線
W…大型基板
2…支持プレート
3…固定ピン
4…貫通穴
5…可動ピン
6…連結プレート
7…ガイドロッド
8…シリンダユニット
L1…外周縁
L2…大型基板を2面取りする裁断予定線
L3〜L14…2面取り以上する際の裁断予定線
W…大型基板
Claims (3)
- 後工程で複数に裁断される大寸法ガラス基板などの大型基板を載置する基板載置ステージにおいて、この基板載置ステージは、ステージ上面に植設された複数の固定ピンと、ステージに形成した厚み方向貫通穴に挿通され昇降動可能とされた複数の可動ピンとを備え、前記固定ピンは平面視で載置する大型基板の有効エリア外の外周縁に重なる位置に配置され、前記可動ピンは平面視で大型基板の裁断予定線に重なる位置に配置されていることを特徴とする基板載置ステージ。
- 請求項1に記載の基板載置ステージにおいて、前記複数の可動ピンは縦方向または横方向に配列されたもの同士が1つの昇降機構によって昇降動せしめられることを特徴とする基板載置ステージ。
- 請求項1または請求項2に記載の基板載置ステージにおいて、前記大型基板を2面取りする裁断予定線に重なる位置にも固定ピンが配置されていることを特徴とする基板載置ステージ。
Priority Applications (4)
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