KR20060052002A

KR20060052002A - 기판 설치 스테이지

Info

Publication number: KR20060052002A
Application number: KR1020050092958A
Authority: KR
Inventors: 아츠오 카지마; 신지 타카세; 카즈노부 야마구치; 유키 야마모토
Original assignee: 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤; 다즈모 가부시키가이샤
Priority date: 2004-10-04
Filing date: 2005-10-04
Publication date: 2006-05-19
Also published as: TW200629459A; CN1790660A; CN100481371C; JP2006108265A

Abstract

복수의 기판을 다면취(多面取)하는 대형 기판을 지지할 때에, 재단 예정선에 핀이 중첩되도록 한 기판 설치 스테이지를 제공한다.

지지 플레이트(2) 위에 복수의 고정 핀(3)이 부착되어 있다. 이 고정 핀(3)을 평면에서 본 위치는 이 기판 설치 스테이지에 설치되는 대형 기판(W)의 유효 영역 밖이 되는 외주연(外周緣)(L1)에 중첩되는 위치에 배치되고, 또한 대형 기판을 2면취(面取)하는 재단 예정선(L2)에 중첩되는 위치에도 배치되어 있다. 한편, 상기 지지 플레이트(2)에 형성한 관통 구멍(4)에 가동 핀(5)이 삽입되고, 각 가동 핀(5)은 대형 기판을 면취하는 재단 예정선(L3, L4)에 중첩되는 위치에 배치되어 있다. 그리고 횡 방향의 가동 핀(5)을 지지 플레이트(2) 하방의 연결 플레이트(6)에 공통으로 부착되어, 실린더 유닛(8)을 구동함으로써 횡 방향의 가동 핀(5)을 동시에 승강 운동시키도록 하고 있다.

Description

기판 설치 스테이지{Substrate mounting stage}

도 1은 본 발명에 따른 기판 설치 스테이지의 평면도.

도 2는 도 1의 A-A선을 따라 자른 요부 확대 단면도.

도 3(a) 내지 도 3(c)은 다른 실시예를 나타내는, 도 1과 같은 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 베이스 2 : 지지 플레이트

3 : 고정 핀 4 : 관통 구멍

5 : 가동 핀 6 : 연결 플레이트

7 : 가이드 로드 8 : 실린더 유닛

L1 : 외주연(外周緣) W : 대형 기판

L2 : 대형 기판을 2면취(面取)하는 재단 예정선

L3 ~ L14 : 2면취 이상 시의 재단 예정선

본 발명은 액정 표시 패널용의 유리 기판에 각종 처리를 실시할 때에 유리 기판을 얹는 기판 설치 스테이지에 관한 것이다.

유리 기판을 수평으로 한 상태에서 각종 처리를 실시하기 위해서는 종래부터 기판 설치 스테이지를 이용하고 있다(일본국 공개특허공고 평 6-97269호 공보, 일본국 공개특허공고 평 11-111600호 공보, 일본국 공개특허공고 2001-53133호 공보 참조).

종래의 기판 설치 스테이지는 어느 것도 스테이지에 두께 방향의 관통 구멍을 복수 형성하고, 이들 복수의 관통 구멍에 지지 핀을 관통하고, 하나의 실린더 유닛 등으로 복수의 지지 핀을 동시에 상승시켜 기판을 받아, 그대로 지지 핀을 하강시킴으로써 스테이지 상면에 기판을 얹도록 하고 있다.

상술한 기판 설치 스테이지에서는, 지지 핀이 하강한 상태에서 유리 기판의 하면이 직접 스테이지 상면에 접촉한다. 따라서 스테이지 상면의 온도가 유리 기판의 온도와 다른 경우에는 유리 기판 표면에 형성한 도막(塗膜)에 얼룩 등의 악영향이 발생한다.

상기 문제를 해소하기 위해서는 기판 설치 스테이지에 핀을 부착하여, 이 핀 위에 유리 기판을 얹은 상태에서, 각종 처리, 예를 들면 감압 건조 처리를 행하면 좋지만, 핀의 상단부(上端部)가 유리 기판 하면에 닿기 때문에, 이 부분에 핀 자국이 남게 된다.

액정 표시 패널의 생산 효율을 높이기 위해서는 큰 유리 기판에 공통 처리를 실시한 후에 개개의 액정 표시 패널의 치수로 재단하는 것이 좋지만, 이 재단하는 부분에 따른 부분은 유효 영역으로서 사용하지 않는 무효 영역으로 되어 있다. 이 점을 이용하여 상기 과제를 해결하기 위해서 본원 발명이 이루어졌다.

본원 발명에 관한 기판 설치 스테이지는, 후공정에서 복수로 재단되는 큰 치수 유리 기판 등의 대형 기판을 얹는 것을 전제로 한 기판 설치 스테이지로서, 스테이지 상면에 마련된 복수의 고정 핀과, 스테이지에 형성한 두께 방향 관통 구멍에 삽입되어 상승 운동할 수 있게 된 복수의 가동 핀을 구비하고, 상기 고정 핀은 평면에서 보았을 때, 설치하는 대형 기판의 유효 영역 외의 외주연(外周緣)에 중첩되는 위치에 배치되고, 상기 가동 핀은 평면에서 보았을 때 대형 기판 재단 예정선에 중첩되는 위치에 배치된 구성으로 하였다. 이와 같이 구성함으로써, 유리 기판 등의 유효 영역에 핀 자국이 남아 있는 일이 없다.

여기에서 대형 기판을 몇 개 재단하는가는, 목적으로 하는 액정 패널 등의 크기에 따라 다르지만, 기본이 되는 대형 기판의 치수는 정해져 있다. 따라서, 반드시 지지해야 하는 외주연(무효 영역)을 먼저 고정 핀으로 지지하고, 한편, 재단 예정선은 대형 기판을 몇 개로 면취(面取)하는 것인지 혹은 면취 형상에 따라 다르기 때문에, 이 부분에 대해서는 필요한 경우에만 가동 핀을 상승시켜 가동 핀으로 지지한다.

상기 복수의 가동 핀은 종 방향 또는 횡 방향으로 배열된 것들을 1 유닛으로 하고, 유닛마다 하나의 승강 기구에 의해 승강 운동시키는 구성으로 함으로써, 기구가 간략화된다.

또한 상기 대형 기판은 반드시 2 이상으로 면취되므로, 2면취하는 재단 예정 선은 반드시 존재한다. 따라서, 이 2면취의 재단 예정선에 중첩되는 위치에도 고정 핀을 배치하여도 좋다.

아래에 본 발명의 실시예를 첨부 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은 본 발명에 따른 기판 설치 스테이지의 평면도, 도 2는 도 1의 A-A선을 따라 자른 요부 확대 단면도이다. 이 기판 스테이지는 예를 들면 대형 유리 기판에 도포한 레지스트액 등을 감압 건조시키는 공정에서 사용된다.

기판 설치 스테이지는 베이스(1) 위에 비교적 얇은 두께의 지지 플레이트(2)가 부착되고, 이 지지 플레이트(2) 위에 복수의 고정 핀(3)이 부착되어 있다. 이 고정 핀(3)을 평면에서 본 위치는 이 기판 설치 스테이지에 설치되는 대형 기판(W)의 유효 영역 밖이 되는 외주연(L1)에 중첩되는 위치에 배치되고, 또한 대형 기판을 2면취하는 재단 예정선(L2)에 중첩되는 위치에도 배치되어 있다.

한편, 상기 지지 플레이트(2)에는 두께 방향으로 복수의 관통 구멍(4)이 형성되고, 각 관통 구멍(4)에 가동 핀(5)이 삽입된다. 각 가동 핀(5)은 대형 기판을 면취하는 재단 예정선(L3, L4)에 중첩되는 위치에 배치되어 있다.

본 실시예에서는 횡 방향의 가동 핀(5)이 지지 플레이트(2) 하방의 연결 플레이트(6)에 공통으로 부착되고, 이 연결 플레이트(6)가 베이스(1)를 관통하는 가이드 로드(7)에 부착되고, 이 가이드 로드(7)를 베이스(1) 하면에 마련한 실린더 유닛(8)으로 구동함으로써 횡 방향의 가동 핀(5)을 동시에 승강 운동시키도록 하고 있다.

그리고, 가동 핀(5)은 그 상한 위치에서 상기 고정 핀(3)과 동일한 높이가 되고, 대형 기판(W)을 수평 상태로 지지하고, 한편 상한 위치로부터 가동 핀(5)이 약간 하강함으로써, 이 가동 핀(5)은 기판의 지지에 관여하지 않게 된다.

도 3(a) ~ 도 3(c)는 다른 실시예를 나타내는 도 1과 같은 도면으로, 도 3(a)에 나타내는 실시예는 8면취의 예를 나타내고 있고, 이 실시예에서는 고정 핀(3)은 그대로, 가동 핀(5)은 대형 기판을 면취하는 재단 예정선(L5, L6)에 중첩되는 위치에 배치되어 있다.

또한 도 3(b)에 도시하는 실시예는 12면취의 예로, 재단 예정선(L7, L8, L9)에 중첩되는 위치에 가동 핀(5)이 배치되어 있지만, 고정 핀(3)과 가동 핀(5)의 배치수 및 배치 개소는 도 3(a)에 도시한 예와 동일하다.

또한 도 3(c)에 도시하는 실시예는 24면취의 예로, 재단 예정선(L10, L11, L12, L13, L14)에 중첩되는 가동 핀(5)이 배치되어 있다.

본 발명에 의하면, 유리 기판 등의 기판의 외주연 및 재단 예정선의 부분만을 고정 핀 혹은 가동 핀으로 지지하기 때문에, 핀 자국이 남은 경우에도 어떠한 불이익이 발생하지 않는다.

또한 본 발명에 의하면, 재단 장수 변경에 의해 재단 예정선의 위치가 변경되어 재단 예정선으로부터 가동 핀이 벗어난 경우에는 이 가동 핀을 후퇴시켜, 새로운 재단 예정선의 위치에 중첩되는 가동 핀을 돌출시켜 기판을 간단하게 지지할 수 있다.

Claims

후공정에서 복수로 재단되는 큰 치수의 유리 기판 등의 대형 기판을 얹는 기판 설치 스테이지에 있어서, 이 기판 설치 스테이지는 스테이지 상면에 마련한 복수의 고정 핀과, 스테이지에 형성한 두께 방향 관통 구멍에 삽입되어 승강 운동할 수 있게 된 복수의 가동 핀을 구비하고, 상기 고정 핀은 평면에서 보았을 때, 설치하는 대형 기판의 유효 영역 밖의 외주연(外周緣)에 중첩되는 위치에 배치되고, 상기 가동 핀은 평면에서 보았을 때, 대형 기판의 재단 예정선에 중첩되는 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 설치 스테이지.
제 1 항에 있어서, 상기 복수의 가동 핀은 종(縱) 방향 또는 횡(橫) 방향으로 배열된 것들이 하나의 승강 기구에 의해 승강 운동하는 것을 특징으로 하는 기판 설치 스테이지.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 대형 기판을 2면취하는 재단 예정선에 중첩되는 위치에도 고정핀이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 설치 스테이지.