CN110629160A - 掩膜板组件 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种掩膜板组件，属于显示技术领域，其可至少部分解决现有的掩膜板组件的使用过程中由于需要多次对位而造成掩膜板组件或者玻璃基板损坏的问题。本发明的一种掩膜板组件，其包括：框架，包括开口部分以及围绕开口部分的边框部分，边框部分上设置至少一个第一对位孔；支撑掩膜板，位于框架的一侧，支撑掩膜板包括与开口部分对应的有效开口区域、至少一个对位区域，对位区域中具有与第一对位孔对应的第二对位孔。

Description

掩膜板组件

技术领域

本发明属于显示技术领域，具体涉及一种掩膜板组件。

背景技术

在显示面板的制作过程中，通过掩膜板组件的设置将蒸镀材料准确的蒸镀至玻璃基板的特定位置，以形成各种显示结构，如像素结构等。然而，如图1所示，现有的一种掩膜板组件(即遮挡掩膜板)，包括框架1、支撑掩膜板2以及对位掩膜条3三部分。其中，支撑掩膜板2用于支撑玻璃基板(图中未示处)；对位掩膜条3上具有与框架1上的对位孔对应的对位孔31，用于与玻璃基板对位。具体的，首先将支撑掩膜板2固定在框架上，再将对位掩膜条3固定在框架设置有对为孔的位置，以形成最终的掩膜板组件。

然而，现有技术的掩膜板组件的工作过程中，需要多次对位，如对位掩膜条3分别与框架1、支撑掩膜板2、玻璃基板的对位，而多次对位会造成对位掩膜条3折伤或者玻璃基板的划伤，不仅增加制作成本，而且可能造成蒸镀设备的损坏等。

发明内容

本发明至少部分解决现有的掩膜板组件的使用过程中由于需要多次对位而造成掩膜板组件或者玻璃基板损坏的问题，提供一种不需要多次对位的掩膜板组件。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种掩膜板组件，包括：

框架，包括开口部分以及围绕所述开口部分的边框部分，所述边框部分上设置至少一个第一对位孔；

支撑掩膜板，位于所述框架的一侧，所述支撑掩膜板包括与所述开口部分对应的有效开口区域、至少一个对位区域，所述对位区域中具有与所述第一对位孔对应的第二对位孔。

进一步优选的是，所述边框部分包括：与所述支撑掩膜板的对位区域对应的第一安装槽，所述第一对位孔设置在所述第一安装槽的底面，所述支撑掩膜板的对位区域固定在所述第一安装槽中。

进一步优选的是，所述对位区域的数量为两个，两个所述对位区域在平行于第一方向的方向上相对设置。

进一步优选的是，每个所述对位区域的所述第二对位孔的数量为两个，每个所述对位区域的两个第二对位孔在平行于所述第二方向的方向上相对设置，所述第二方向与所述第一方向垂直，且所述第一方向和所述第二方向均与所述支撑掩膜板所在的平面平行。

进一步优选的是，所述支撑掩膜板的边缘设有多个安装区域；所述边框部分还包括：与所述安装区域对应的第二安装槽，所述安装区域固定在所述第二安装槽中。

进一步优选的是，所述安装区域呈条状，每个所述安装区域分别与其所对应的所述支撑掩膜板的边缘垂直。

进一步优选的是，所述支撑掩膜板还包括：位于所述对位区域的至少一个第一测试孔；所述框架还包括：与所述第一测试孔一一对应的第二测试孔。

进一步优选的是，每个所述对位区域的第一测试孔的数量为两个。

进一步优选的是，所述框架为矩形框架，所述开口部分为矩形的开口。

进一步优选的是，所述框架还包括：支撑部分，设置于所述边框部分背向所述支撑掩膜板的一侧，与所述边框部分远离所述开口部分的位置固定连接，用于支撑所述边框部分。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1为现有的掩膜板组件的俯视结构图；

图2为本发明的实施例的一种掩膜板组件的框架的俯视结构图；

图3为本发明的实施例的一种掩膜板组件的支撑掩膜板的俯视结构图；

图4为本发明的实施例的一种掩膜板组件的俯视结构图；

图5为图4中的A-A处的截面图；

图6为图4中的B-B处的截面图；

图7为图4中的C-C处的截面图；

其中，附图标记为：1、框架；11、开口部分；12、边框部分；121、第一对位孔；122、第一安装槽；123、第二安装槽；124、第二测试孔；13、支撑部分；14、夹持槽；2、支撑掩膜板；21、有效开口区域；22、对位区域；221、第二对位孔；222、第一测试孔；23、安装区域；3、对位掩膜条；31、对位孔。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细描述。

以下将参照附图更详细地描述本发明。在各个附图中，相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，在图中可能未示出某些公知的部分。

在下文中描述了本发明的许多特定的细节，例如部件的结构、材料、尺寸、处理工艺和技术，以便更清楚地理解本发明。但正如本领域的技术人员能够理解的那样，可以不按照这些特定的细节来实现本发明。

实施例1：

如图2至图7所示，本实施例提供一种掩膜板组件，包括：

框架1，包括开口部分11以及围绕开口部分11的边框部分12，边框部分12上设置至少一个第一对位孔121；

支撑掩膜板2，位于框架1的一侧，支撑掩膜板2包括与开口部分11对应的有效开口区域21、至少一个对位区域22，对位区域22中具有与第一对位孔121对应的第二对位孔221。

具体的，在蒸镀过程中，框架1的底面支撑于蒸镀载台上，即框架1的边框部分12的底面支撑于蒸镀载台上，框架1的开口部分11可使蒸镀材料通过。支撑掩膜板2设置于框架1的上面(即形成遮挡掩膜板)，待蒸镀的玻璃基板设置于支撑掩膜板2的上面，这样蒸镀材料，经过框架1的开口部分11后，再经过支撑掩膜板2最终到达玻璃基板上，以形成特定的图案。

其中，框架1的第一对位孔121与支撑掩膜板2的第二对位孔221一一对应，以使框架1和支撑掩膜板2对位；而支撑掩膜板2的第二对位孔221与位于玻璃基板上的对位孔一一对应，以使玻璃基板通过支撑掩膜板2与框架1对位，从而保证蒸镀图案的位置准确性。

需要说明的是，由于框架1厚度比较大，如20～30mm，因此框架1的精度比较低，若直接通过框架1的第一对位孔121与玻璃基板上的对位孔对位可能会造成对位不准确；而支撑掩膜板2厚度比较薄，如20～50um，从而支撑掩膜板2的精度高，若通过支撑掩膜板2的第二对位孔221与玻璃基板的对为孔对位，则可以保证框架1与玻璃基板的对位准确，从而保证蒸镀图案的位置准确性。

此外，框架1可由铟瓦或镍铁合金材料形成；支撑掩膜板2可由铟瓦或镍铁合金材料形成。第一对位孔121的直径略大于第二对位孔221的直径。

本实施例的掩膜板组件中，支撑掩膜板2包括用于对位的对位区域22(即将现有技术的支撑掩膜板和对位掩膜条合为一体)，与现有技术(现有的支撑掩膜板2没有对位区域22，即不具有对位作用，需要通过另外的对位掩膜条使玻璃基板与框架1进行对位)相比，本实施例的掩膜板组件在对位的过程中，减少了对位次数，例如减少到了对位掩膜条与支撑掩膜板2的对位、对位掩膜条与玻璃基板的对位等，从而可避免由于对位次数多而造成的支撑掩膜板2的损坏、玻璃基板的划伤等，不仅可以可降低蒸镀过程的成本，而且避免玻璃基板划伤后的碎片对蒸镀设备的损坏。此外，本实施例的掩膜板组件将现有技术的支撑掩膜板和对位掩膜条一体成型，以形成新的支撑掩膜板2，可以不用额外购买对位掩膜条，减少成本；且在形成掩膜板组件的过程中，减少了将对位掩膜条焊接在框架1的步骤，提高了工作效率。

优选的，边框部分12包括：与支撑掩膜板2的对位区域22对应的第一安装槽122，第一对位孔121设置在第一安装槽122的底面，支撑掩膜板2的对位区域22固定在第一安装槽122中。

具体的，第一安装槽122与支撑掩膜板2的对位区域22对应可以表示第一安装槽122的形状与支撑掩膜板2的形状对应，进一步的，第一安装槽122与支撑掩膜板2的对位区域22对应同时还可以表示第一安装槽122的数量与支撑掩膜板2的数量是相同的，且第一安装槽122与对位区域22一一对应。

支撑掩膜板2的对位区域22固定在对应的第一安装槽122中，也就是说通过将支撑掩膜板2的对位区域22设置在对应的第一安装槽122中，且将对位区域22的底面与第一安装槽122的槽底固定连接(如焊接等)，以使支撑掩膜板2固定在边框上。同时，这样的固定不会影响支撑掩膜板2的有效开口区域21与框架1的开口部分11的对应。其中，如图2所示，支撑掩膜板2的有效开口区域21中设置有多个开口，每一个开口可对应一个显示基板的结构。

进一步的，若支撑掩膜板2的厚度与第一安装槽122的深度一样，这样可以支撑掩膜板2和框架1的上表面在同一平面，即保证支撑掩膜板2和框架1的上表面的平整性，从而当玻璃基板设置在支撑掩膜板2上时，玻璃基板相对于框架1更平整，进一步保证在玻璃基板上蒸镀图案的准确性。

通过将对位区域22固定在第一安装槽122中形成的支撑掩膜板2与框架1的固定，不仅使得支撑掩膜板2和框架1之间的固定稳定，而且通过撑掩膜板和框架1的上表面的平整进一步保证玻璃基板上蒸镀图案的准确性。

优选的，框架1为矩形框架，开口部分11为矩形的开口。

需要说明的是，框架1的形状不限于是矩形，也可以是其他实际所需要的形状；开口部分11的形状不限于矩形，也可以是其他实际所需要的形状，此处不一一阐述。以下以框架1为矩形框架，开口部分11为矩形的开口来进行说明。

优选的，对位区域22的数量为两个，两个对位区域22在平行于第一方向(如图2中的x方向)的方向上相对设置。

其中，由于对位区域22与框架1的边框部分12的第一安装槽122对应，支撑掩膜板2的有效开口区域21与框架1的开口部分11对应，且框架1的边框部分12围绕所开口部分11，故两个对位区域22分布于有效开口区域21的两侧，如图2所示。

需要说明的是，对位区域22也可以是其他适合的分布形式。

优选的，每个对位区域22的第二对位孔221的数量为两个，每个对位区域22的两个第二对位孔221在平行于第二方向的方向(如图2中的y方向)上相对设置，第二方向与第一方向垂直，且第一方向和第二方向均与支撑掩膜板2所在的平面平行。

其中，如图2所示，每个对位区域22的两个第二对位孔221分别设置于靠近对位区域22沿第二方向的两个边缘的位置，相应的位于框架1的第一对位孔121的数量为四个，其分布的形式与第二对位孔221相似。一般情况下，蒸镀的玻璃基板的也具有相应分部的四个对位孔，在将玻璃基板设置在支撑掩膜板2上的过程中，通过玻璃基板的对位孔与支撑掩膜板2的第二对位孔221的对位，以准确的将玻璃基板设置在正确的位置。

需要说明的是，支撑掩膜板2的第二对位孔221分布形式也可以是其他合适的分布形式，只需分别与框架1上的第一对位孔121、玻璃基板的对为孔对应即可。

优选的，支撑掩膜板2的边缘设有多个安装区域23；

边框部分12还包括：与安装区域23对应的第二安装槽123，安装区域23固定在第二安装槽123中。

具体的，第二安装槽123与支撑掩膜板2的安装区域23对应可以表示第二安装槽123的形状与支撑掩膜板2的形状对应，进一步的，第二安装槽123与支撑掩膜板2的对位区域22对应同时还可以表示第二安装槽123的数量与支撑掩膜板2的数量是相同的，且第二安装槽123与安装区域23一一对应，即第二安装槽123的数量也是多个。

其中，支撑掩膜板2的安装区域23与框架1的第二安装槽123的对应主要是用于实现支撑掩膜板2与框架1的对位。多个安装区域23分别与多个第二安装槽123可进一步实现支撑掩膜板2与框架1的准确对位。

优选的，安装区域23呈条状，每个安装区域23分别与其所对应的支撑掩膜板2的边缘垂直。

其中，如图2所述，平行第一方向的安装区域23位于紧邻对位区域22的边缘，平行第二方向的安装区域23位于紧邻有效开口区域21的边缘。同时，框架1上的多个第二安装槽123的位置与安装区域23的位置对应。

需要说明的是，安装区域23的第二对位孔221分布形式也可以是其他合适的分布形式，只需与框架1上的第二安装槽123对应即可。

优选的，支撑掩膜板2还包括：位于对位区域22的至少一个第一测试孔222；

框架1还包括：与第一测试孔222一一对应的第二测试孔124。

具体的，第一测试孔222和第二测试孔124的设置是为了检测在蒸镀过程中蒸镀材料是否能够到达玻璃基板上预定的位置，以保证蒸镀产品的良率。

优选的，每个对位区域22的第一测试孔222的数量为两个，如图2所示。

优选的，框架1还包括：支撑部分13，设置于边框部分12背向支撑掩膜板2的一侧，与边框部分12远离开口部分11的位置固定连接，用于支撑边框部分12。

其中，如图5所示，支撑部分13可位于蒸镀台(图中未示出)上，即支撑部分13的下表面可直接与蒸镀台接触。

为了将位于玻璃基板下面的蒸镀材料蒸镀至玻璃基板的下表面，需要通过框架1将玻璃基板支撑在蒸镀台上，使得玻璃基板的下表面与蒸镀台具有一定的距离，保证蒸镀的均匀性。

需要说明的是，框架1还包括用于设置夹持玻璃基板的夹持工具的夹持槽14。

具体的，蒸镀后的玻璃基板可用于显示装置中，例如可用于液晶显示面板、有机发光二极管(OLED)显示面板、电子纸、手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件中。

应当说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

依照本发明的实施例如上文所述，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本发明以及在本发明基础上的修改使用。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (10)

1.一种掩膜板组件，其特征在于，包括：

框架，包括开口部分以及围绕所述开口部分的边框部分，所述边框部分上设置至少一个第一对位孔；

支撑掩膜板，位于所述框架的一侧，所述支撑掩膜板包括与所述开口部分对应的有效开口区域、至少一个对位区域，所述对位区域中具有与所述第一对位孔对应的第二对位孔。

2.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，所述边框部分包括：与所述支撑掩膜板的对位区域对应的第一安装槽，所述第一对位孔设置在所述第一安装槽的底面，所述支撑掩膜板的对位区域固定在所述第一安装槽中。

3.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，所述对位区域的数量为两个，两个所述对位区域在平行于第一方向的方向上相对设置。

4.根据权利要求3所述的掩膜板组件，其特征在于，每个所述对位区域的所述第二对位孔的数量为两个，每个所述对位区域的两个第二对位孔在平行于所述第二方向的方向上相对设置，所述第二方向与所述第一方向垂直，且所述第一方向和所述第二方向均与所述支撑掩膜板所在的平面平行。

5.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，所述支撑掩膜板的边缘设有多个安装区域；

所述边框部分还包括：与所述安装区域对应的第二安装槽，所述安装区域固定在所述第二安装槽中。

6.根据权利要求5所述的掩膜板组件，其特征在于，所述安装区域呈条状，每个所述安装区域分别与其所对应的所述支撑掩膜板的边缘垂直。

7.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，所述支撑掩膜板还包括：位于所述对位区域的至少一个第一测试孔；

所述框架还包括：与所述第一测试孔一一对应的第二测试孔。

8.根据权利要求7所述的掩膜板组件，其特征在于，每个所述对位区域的第一测试孔的数量为两个。

9.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，所述框架为矩形框架，所述开口部分为矩形的开口。

10.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，所述框架还包括：支撑部分，设置于所述边框部分背向所述支撑掩膜板的一侧，与所述边框部分远离所述开口部分的位置固定连接，用于支撑所述边框部分。