KR20070064906A

KR20070064906A - 증착용 마스크 장치

Info

Publication number: KR20070064906A
Application number: KR1020050125503A
Authority: KR
Inventors: 강택상; 이경욱; 이대수
Original assignee: 두산디앤디 주식회사
Priority date: 2005-12-19
Filing date: 2005-12-19
Publication date: 2007-06-22
Also published as: KR100767006B1

Abstract

본 발명은 증착용 마스크 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 의한 마스크 장치는 개구부를 구비하는 프레임; 및 패턴이 형성되는 유효면과, 상기 프레임에 고정되는 테두리가 구비되는 마스크;를 포함하여 이루어지되, 상기 마스크의 테두리는 상기 프레임의 최상면보다 낮은 위치에 용접되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면 증착공정을 수행하기 위하여 기판을 마스크에 밀착시킬 때 용접버(welding burr)가 기판에 접촉하는 것을 방지할 수 있다.

따라서 용접버가 기판에 접함으로써 발생할 수 있는 기판의 코팅면의 손상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 기판과 마스크를 더욱 밀착시킬 수 있는 효과가 있다.

마스크. 프레임. 경사부. 곡면부.

Description

증착용 마스크 장치{Mask apparatus for deposition}

도 1a은 종래 증착용 마스크 장치의 편면도를 나타낸 것이다.

도 1b는 도 1a의 A-A선 단면도를 나타낸 것이다.

도 2는 도 1b에 도시된 종래 증착용 마스크 장치를 이용하여 증착공정을 수행하는 사용상태도이다.

도 3은 본 발명에 따른 일실시예의 단면도이다.

도 4 내지 도 6은 본 발명에 따른 다른 실시예의 단면도이다.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**

11,12,13,14: 프레임 a: 수평부

b: 경사부 c: 곡면부

20: 마스크 31: 용접점

31a: 용접버(welding burr)

본 발명은 증착용 마스크 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 용접버(welding burr)가 기판에 접함으로써 발생할 수 있는 기판 코팅면의 손상을 방지할 수 있고, 또한 기판과 마스크를 더욱 밀착시킬 수 있는 증착용 마스크 장치에 관한 것이다.

현재 표시장치의 박막을 증착하는데 사용되는 증착용 마스크 장치는 통상적으로 포토리소그라피법을 적용한 에칭법과 포토리소그라피법과 전기분해법을 이용한 전주법을 이용하여 제작된다. 이러한 증착용 마스크 장치는 증착 대상물 즉, 표시소자가 형성될 기판에 미세 얼라인먼트시키고, 증착 마스크를 통해 증착물을 기판에 제공하여 원하는 형태의 패턴을 기판상에 증착한다. 이러한 증착 마스크는 기본적으로 미세형상 마스크로서, 마스크의 크기와 고정세도에 따라 마스크 제작의 난이도가 높아진다.

통상의 증착용 마스크 장치는 금속박판의 두께가 얇을수록 증착공정 후의 표시장치의 품위가 향상되기 때문에, 증착 마스크의 금속박판의 두께는 얇을 수록 좋다. 하지만 금속박막의 두께가 얇으면, 위치정밀도 및 패턴크기 정밀도가 확보된 경우에도 증착 마스크의 증착공정 또는 증착준비과정 중 증착마스크가 손상되는 경우가 발생한다.

그러므로 통상의 증착용 마스크 장치는 박막 증착장치내에 수용가능한 크기로 제작되며, 증착용 마스크 장치의 위치 정밀도 및 패턴 크기 정밀도 뿐만 아니라 위치결정을 위한 마스크의 얼라인먼트 및 접촉을 위한 기계적 처리 동작 등은 유리기판에 제작되는 표시소자의 품위를 결정하는데 중요한 요소로 작용한다. 이러한 증착용 마스크 장치는 제작과정이 간단하고 제작에 소요되는 시간이 짧고 가격이 저렴한 것이 바람직하다.

도 1a 및 도 1b는 종래 증착용 마스크 장치의 평면도 및 단면도이다. 이를 참조하면, 프레임(100)은 중앙에 개구부(110)가 구비되어 있다. 또한 마스크(200)는 패턴이 형성되는 유효면(210)과, 상기 프레임(100)에 고정되는 테두리(220)로 형성되어 있다. 이와 같이 마스크(200)와 프레임(100)을 각각 형성하고, 상기 프레임(100)의 상면에 마스크(200)를 적재한 다음, 테두리(220)를 용접, 고정하여 증착용 마스크 장치를 제조한다.

도 2는 위와 같이 제조된 종래의 증착용 마스크 장치의 사용상태를 나타낸 것이다. 이를 참조하면, 마스크(200) 위에 기판(S)을 적재하고 밀착시킨 상태에서 기판(S)에 증착공정을 수행한다.

그러나 종래의 증착용 마스크 장치는 도 2에 도시된 바와 같이 용접점(welding point, 300) 상에 용접 버(burr, 300a)가 형성되어 있다. 따라서 기판(S)을 마스크(200)에 밀착시키면 용접버(300a)가 기판(S)에 먼저 접촉하게 되며, 이 상태에서 더욱 밀착시키면 기판(S) 또는 기판에 형성된 박막이 손상된다. 또한 상기 용접버(300a)에 의해 기판(S)과 마스크(200)가 밀착되는 것이 저해되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목 적은 용접버(welding burr)가 기판에 접함으로써 발생할 수 있는 기판의 손상을 방지할 수 있고, 또한 기판과 마스크를 더욱 밀착시킬 수 있는 증착용 마스크 장치를 제공함에 있다.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 마스크 장치는 개구부를 구비하는 프레임; 및 패턴이 형성되는 유효면과, 상기 프레임에 고정되는 테두리가 구비되는 마스크;를 포함하여 이루어지되, 상기 마스크의 테두리는 상기 프레임의 최상면보다 낮은 위치에 용접되는 것을 특징으로 한다.

특히 본 발명의 마스크 장치에 있어서, 상기 프레임의 상면은 상기 개구부와 인접하는 수평부와, 상기 수평부의 단부로부터 외측을 향해 하향하도록 테이퍼진 경사부가 구비되며, 상기 마스크의 테두리는 상기 경사부에 용접되거나, 또한 상기 프레임의 상면은 상기 개구부와 인접하는 수평부와, 상기 수평부의 단부로부터 외측을 향해 하향하는 곡면부가 구비되며, 상기 마스크의 테두리는 상기 곡면부에 용접되는 것이 바람직하다.

또한 상기 마스크의 테두리는 상기 프레임의 외측벽에 용접될 수도 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다.

도 3을 참조하면, 프레임(11)의 상면은 개구부와 인접하는 수평부(a)가 구비 되고, 상기 수평부(a)의 단부로부터 외측을 향해 하향하도록 테이퍼진 경사부(b)가 구비된다.

마스크(20)는 유효면(21)이 개구부에 위치하도록 얼라인하고 상기 수평부(a)와 밀착되도록 인장력을 가한 상태에서 상기 경사부(b)의 다수점에 용접하여 고정한다. 따라서 용접점(31)은 상기 프레임(11)의 최상면(수평부)보다 낮은 위치에 형성됨을 알 수 있다(h₁〉h₂).

도 3을 참조하여 본 실시예의 작용을 설명한다. 상술한 바와 같이 용접점(31)이 프레임(11)의 최상면인 수평부(a)보다 낮은 위치에 형성되도록 마스크(20)가 고정되기 때문에, 마스크(20)상에 기판(S)을 적재하여 밀착시키는 경우에 상기 기판(S)과 용접점(31), 특히 용접버(31a)가 기판(S)에 접촉되지 않는다. 따라서 용접버(31a)가 기판(S)에 손상을 가하는 것이 방지되고, 또한 용접버(31a)의 영향없이 기판(S)과 마스크(20)의 밀착이 가능하다.

도 4를 참조하면, 프레임(12)의 상면 내측에 수평부(a)가 구비되는 것은 도 3에 도시된 실시예와 동일하다, 다만 상기 수평부(a)의 단부로부터 외측을 향해 하향하도록 반경 r을 가지는 곡면부(c)가 구비된다는 차이가 있다.

상기 마스크(20)의 테두리(22)는 상기 수평부(a)와 밀착되도록 인장력을 가한 상태에서 상기 곡면부(c)의 다수점에 용접하여 고정한다. 본 실시예에서도 역시 도 3에 도시된 실시예와 같이 용접점(31)은 상기 프레임(12)의 수평부(a)보다 낮은 위치에 형성된다. 따라서 마스크(20)상에 기판(S)을 적재하여 밀착시킬 때 상기 기 판(S)과 용접점(31), 특히 용접버(31a)가 기판(S)에 접촉되지 않기 때문에 용접버(31a)가 기판(S)에 손상을 가하는 것이 방지되고, 또한 용접버(31a)의 영향없이 기판(S)과 마스크(20)가 밀착될 수 있다.

도 5를 참조하면, 프레임(13)의 상면 내측에 수평부(a)가 구비되고 상기 수평부(a)의 단부로부터 외측을 향해 하향하는 곡면부(c₁,c₂)가 구비되는 것은 도 4에 도시된 실시예와 동일하다. 다만, 상기 곡면부는 반경이 다른 두개의 곡면부(c₁,c₂)로 형성된다. 특히, 본 실시예에서는 상기 수평부(a)에 인접하는 곡면부(c₂)의 반경이 프레임의 상면 외측에 형성되는 곡면부(c₁)의 반경보다 작게 형성되었다(r₁〈r₂). 그러나 이와 반대로 형성하는 것도 가능하다(r₁〉r₂).

도 6을 참조하면, 프레임(14)의 상면 내측에 수평부(a)가 구비되고, 상기 수평부(a)의 단부로부터 외측을 향해 하향하는 곡면부(c)와, 상기 곡면부(c)의 단부로부터 외측을 향해 하향하도록 테이퍼진 경사부(b)가 구비되어 있음을 알 수 있다.

상기 마스크(14)는 상기 수평부(a) 및 곡면부(c)와 밀착되도록 인장력을 가한 상태에서 상기 경사부(b)의 다수점에 용접하여 고정한다.

본 발명에 따른 증착용 마스크 장치는 마스크와 프레임을 고정하기 위한 용접포인트가 프레임의 최상면보다 낮은 위치에 형성되는 것으로 족하다. 따라서 상 술한 실시예에 국한되는 것은 아니며, 예를 들어, 용접포인트가 프레임의 외측벽에 형성될 수도 있고, 또한 프레임의 상면이 내측으로부터 수평부, 곡면부, 경사부의 순으로 형성된 도 6과 달리, 수평부, 경사부, 곡면부의 순으로 형성될 수도 있으며, 기타의 변형도 가능하다.

본 발명에 따르면 증착공정을 수행하기 위하여 기판을 마스크에 밀착시킬 때 용접버(welding burr)가 기판에 접촉되지 않고도 증착할 수 있는 효과가 있다.

Claims

개구부를 구비하는 프레임; 및

패턴이 형성되는 유효면과, 상기 프레임에 고정되는 테두리가 구비되는 마스크;를 포함하여 이루어지되,

상기 마스크의 테두리는 상기 프레임의 최상면보다 낮은 위치에 용접되는 것을 특징으로 하는 마스크 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 프레임의 상면은 상기 개구부와 인접하는 수평부와, 상기 수평부의 단부로부터 외측을 향해 하향하도록 테이퍼진 경사부가 구비되며,

상기 마스크의 테두리는 상기 경사부에 용접되는 것을 특징으로 하는 마스크 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 프레임의 상면은 상기 개구부와 인접하는 수평부와, 상기 수평부의 단부로부터 외측을 향해 하향하는 곡면부가 구비되며,

상기 마스크의 테두리는 상기 곡면부에 용접되는 것을 특징으로 하는 마스크 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 마스크의 테두리는 상기 프레임의 외측벽에 용접되는 것을 특징으로 하는 마스크 장치.