JP2007142795A - 圧電振動片の製造方法およびアライメントマーカーの形成方法 - Google Patents

Abstract

【課題】パターンの位置合わせを正確に行える圧電振動片の製造方法およびアライメント
マーカーの形成方法を提供する。
【解決手段】圧電振動片の製造方法は、圧電ウエハ１０をエッチングして複数の圧電基板
１２を形成し、これらの圧電基板１２に電極パターン２４を形成するものである。圧電ウ
エハ１０の表面には、圧電基板１２の形に応じた形状パターン２０ａと、フォトマスク等
の位置合わせ基準となるアライメントマーカー１８の形に応じた開口部２０ｂとを有する
保護膜２０が形成される。そして保護膜２０が形成された圧電ウエハ１０をエッチングし
て圧電基板１２を形成するとともに、圧電ウエハ１０にアライメントマーカー１８を形成
する。
【選択図】図１

Description

本発明は、圧電振動片の製造方法およびアライメントマーカーの形成方法に関するもの
である。

従来、圧電振動片は、例えば次のようにして製造されていた。まず圧電振動片を構成す
る圧電基板が、圧電ウエハをエッチングして形成される。具体的には、最初に圧電ウエハ
表面に金属を成膜した後、この金属上にフォトレジストを塗布する。そしてフォトマスク
を介してフォトレジストを露光した後に現像して、圧電基板の形状に対応したレジストパ
ターンを金属上に形成する。なおフォトマスクには、圧電基板の形状に対応した図形が描
画されている。次に、レジストパターンに覆われていない部分の金属をエッチングし、こ
の金属上のレジストパターンを除去すれば、圧電基板の形状に対応した保護膜が圧電ウエ
ハ上に形成される。そして圧電基板は、このような圧電ウエハをエッチング液に浸漬して
不要な部分をエッチングした後、保護膜を除去して形成される。

次に、圧電振動片は、圧電基板に電極パターンを設けることにより形成される。具体的
には、この電極パターンを形成するために、まず圧電ウエハ表面に電極パターンとなる金
属膜を形成する。この後、金属膜上にフォトレジストを塗布する。そしてフォトマスクを
介してフォトレジストを露光し、これを現像して電極パターンの形状に対応したレジスト
パターンを金属膜上に形成する。なおフォトマスクには、電極パターンの形状に対応した
図形が描画されている。次に、レジストパターンに覆われていない部分の金属膜をエッチ
ングした後、金属膜上のレジストパターンを除去すれば、電極パターンが圧電基板上に形
成される。この後、圧電基板を圧電ウエハから切り離して圧電振動片が形成される。

ところで特許文献１には、圧電基板をエッチングする前に、レジスト膜に加えて複数の
耐蝕膜を圧電基板上に形成し、圧電振動片の製造に必要なパターニングを予め行っておく
ことが開示されている。そして必要なフォトリソグラフィは、全て圧電基板に形成したア
ライメントマークにフォトマスクを位置合わせして行うとしている。
特開２００３−３４７８８５号公報

従来では、圧電ウエハ上に設けられた保護膜やレジストパターンをアライメントマーカ
ーとして用いていた。このため前述した圧電振動片の製造方法では、圧電ウエハから圧電
基板を形成した時に圧電基板形成用の保護膜を全て除去し、その後、電極パターン形成用
のレジストパターンを設けているので、製造工程の途中でアライメントマーカーが無くな
ることとなっていた。そしてアライメントマーカーが一旦無くなると、製造工程の途中で
アライメントマーカーの位置が変わるので、位置ずれが生じてしまう。すなわち前述した
圧電振動片の製造方法では、圧電ウエハから圧電基板を形成するときと、圧電基板に電極
パターンを形成するときのアライメントマーカーの位置が変わってしまうため、電極パタ
ーンの位置が圧電基板に対してずれてしまう虞がある。

そして特許文献１には、アライメントマーカーをどのように形成するのか開示されてい
ない。また圧電振動片は、圧電基板の上面に形成される電極パターンと、下面に形成され
る電極パターンを、圧電基板の側面を介して接続する必要がある。ところが特許文献１に
開示された発明では、圧電基板の側面に電極パターンを引き回すのが困難となる。さらに
特許文献１では、圧電基板をエッチングする前に複数の耐蝕膜を形成しているので、圧電
振動片の製造工程に対して制限が多くなってしまう。
本発明は、パターンの位置合わせを正確に行える圧電振動片の製造方法を提供すること
を目的とする。
また本発明は、フォトリソグラフィーを精度良く行うためのアライメントマーカーの形
成方法を提供することを目的とする。

本発明に係る圧電振動片の製造方法は、圧電ウエハをエッチングして複数の圧電基板を
形成し、前記圧電基板に電極パターンを形成する圧電振動片の製造方法であって、前記圧
電基板の形に応じた形状パターンと、フォトマスク等の位置合わせ基準となるアライメン
トマーカーの形に応じた開口部とを有する保護膜を前記圧電ウエハ上に形成し、前記圧電
ウエハをエッチングして前記圧電基板を形成するとともに、前記圧電ウエハに前記アライ
メントマーカーを形成する、ことを特徴としている。

圧電基板とアライメントマーカーを同時に形成できるので、アライメントマーカーを既
存の製造工程中で形成することができる。またアライメントマーカーは圧電ウエハをエッ
チングして形成されるので、穴状になっている。そしてアライメントマーカーを形成した
後の製造工程において保護膜等を除去しても、アライメントマーカーが消えることが無い
。したがって、圧電振動片の製造途中でアライメントマーカーの位置が変わってしまうこ
とが無く、位置ずれが生じるのを防止できる。さらに保護膜を製造工程に応じて形成でき
るので、圧電振動片の製造工程に対して制限が加わることがない。

また前記アライメントマーカーの形に応じた前記開口部を有する前記保護膜の形成工程
は、前記圧電基板に設けられるメサ構造の段差の形に応じた形状パターンの前記保護膜を
形成する工程とともに行われ、前記圧電ウエハをエッチングしてメサ構造の前記圧電基板
を形成するとともに、前記圧電ウエハに前記アライメントマーカーを形成する、ことを特
徴としている。なおメサ構造の段差は、少なくとも圧電基板の一方の面に設けられる。

メサ構造の段差とアライメントマーカーを同時に形成できるので、アライメントマーカ
ーを既存の製造工程中で形成することができる。またアライメントマーカーは圧電ウエハ
をエッチングして形成されるので、穴状になっている。そしてアライメントマーカーを形
成した後の製造工程において保護膜等を除去しても、アライメントマーカーが消えること
はない。したがって、圧電振動片の製造途中でアライメントマーカーの位置が変わってし
まうことが無く、位置ずれが生じるのを防止できる。さらに保護膜を製造工程に応じて形
成できるので、圧電振動片の製造工程に対して制限が加わることがない。

そして本発明に係る圧電振動片の製造方法は、前記圧電基板に電極パターン用の金属を
成膜するとともに、前記アライメントマーカーの周囲の前記圧電ウエハ上に金属膜を形成
することを特徴としている。水晶等の透明な材料が圧電ウエハに用いられた場合は、圧電
ウエハ表面のアライメントマーカー形状ばかりでなく、圧電ウエハ内部や反対面のアライ
メントマーカー形状も確認できる。このため圧電ウエハの表面を金属膜で覆えば、圧電ウ
エハ内部や反対面のアライメントマーカー形状が確認できなくなり、一方の面のみのアラ
イメントマーカー形状を確認することができる。これにより位置合わせ精度を向上できる
。またアライメントマーカー周囲の圧電ウエハ表面に設けられる金属膜は、電極パターン
用の金属を成膜する工程中で形成できるので、アライメントマーカーを既存の製造工程中
で形成することができる。

また本発明に係るアライメントマーカーの形成方法は、アライメントマーカーの形に応
じた開口部を有する保護膜を圧電ウエハ上に形成し、前記圧電ウエハをエッチングして、
前記圧電ウエハに前記アライメントマーカーを形成することを特徴としている。アライメ
ントマーカーは圧電ウエハをエッチングして形成されるので、穴状になっている。そして
アライメントマーカーを形成した後の製造工程において保護膜等を除去しても、アライメ
ントマーカーが消えることが無い。したがって、複数回数のフォトリソグラフィーを行う
場合でも、アライメントマーカーに位置ずれが生じるのを防止できるので、フォトリソグ
ラフィーを精度良く行うことができる。

以下に、圧電振動片の製造方法およびアライメントマーカーの形成方法についての最良
の実施形態を説明する。まず第１の実施形態に係る圧電振動片の製造方法およびアライメ
ントマーカーの形成方法について説明する。図１は第１の実施形態に係る圧電基板を形成
する工程およびアライメントマーカーを形成する工程の説明図である。なお図１（Ａ）〜
（Ｅ）は、圧電ウエハの一部分を示す断面図である。また図２は圧電基板とアライメント
マーカーが形成された圧電ウエハの概略平面図である。

圧電振動片は、圧電基板１２に電極パターンを設けた構成である。この圧電基板１２は
、圧電ウエハ１０をエッチングすることによって、図２に示されるように圧電ウエハ１０
中に複数形成される。圧電ウエハ１０に形成された各圧電基板１２は、支持部１４によっ
て圧電ウエハ本体１６に接続されている。圧電ウエハ本体１６は、各圧電基板１２が接続
されるフレームであり、アライメントマーカー１８が形成されている。このアライメント
マーカー１８は、圧電基板１２や圧電振動片の製造時において位置合わせの基準として使
用されるものであり、例えばフォトマスクの位置合わせに用いられる。なお圧電ウエハ本
体１６に設けられるアライメントマーカー１８の数は、図２に示されるような２個に限定
されることはない。

そして、このような圧電基板１２の製造方法、圧電振動片の製造方法およびアライメン
トマーカーの形成方法を次に説明する。圧電基板１２を備えた圧電ウエハ１０を形成する
には、まず圧電ウエハ１０の表面（上面および下面）に金属を成膜する。この金属は、エ
ッチング液に対して耐蝕性を有するものであればよい。この後、金属上にフォトレジスト
（不図示）を塗布し、フォトマスクを介してこのフォトレジストを露光する。なお、この
フォトマスクは、圧電基板１２、支持部１４および圧電ウエハ本体１６（圧電基板１２等
）を形成するための図形やアライメントマーカー１８を形成するための図形が描画された
ものである。

そしてフォトレジストを現像して不要な部分を除去した後、フォトレジストから露出し
ている金属をエッチングして、フォトレジストを除去する。これにより、図１（Ａ）に示
される圧電基板１２等の形に応じた形状パターン２０ａと、アライメントマーカー１８の
形に応じた開口部２０ｂとを有する金属（保護膜２０）が圧電ウエハ１０の表面に形成さ
れる。すなわち圧電基板１２等が形成される箇所の圧電ウエハ１０の表面に保護膜２０が
形成され、アライメントマーカー１８が形成される箇所の圧電ウエハ１０表面が保護膜２
０から露出している。なおアライメントマーカー１８の形は、例えば十字型や四角形、三
角形、円形であればよい。

ところで、保護膜２０に設けられる開口部２０ｂの幅を狭くすると、この開口部２０ｂ
に露出している圧電ウエハ１０のエッチング速度が遅くなる。このため圧電ウエハ１０の
上面および下面にアライメントマーカー１８を形成する場合において、上面に形成される
アライメントマーカー１８と下面に形成されるアライメントマーカー１８を貫通させない
ときは、開口部２０ｂの幅を狭く形成すればよい。すなわち圧電ウエハ１０の上面と下面
に形成されるアライメントマーカー１８を貫通させない場合、保護膜２０の開口部２０ｂ
の幅を、貫通させて形成する場合における開口部の幅に比べて狭く形成すればよい。この
保護膜２０に設けられる開口部２０ｂの幅の設定方法は、圧電ウエハ１０の板厚やエッチ
ング時間、製造装置等に依存するため、予め実験や計算等を行うことにより設定される。
すなわちアライメントマーカー１８の形成は、圧電基板１２の形成に付随する加工なので
、圧電基板１２を形成するエッチング条件が基準になっている。そして圧電ウエハ１０の
上面と下面に形成されるアライメントマーカー１８を貫通させない場合における開口部２
０ｂの幅の具体的な一例としては、圧電ウエハ１０の厚さを１００μｍとすると、１０μ
ｍにすればよい。

次に、圧電ウエハ１０をエッチング液に浸漬して保護膜２０が開口している部分をエッ
チングする。これにより保護膜２０から露出している部分の圧電ウエハ１０がエッチング
されて、図１（Ｂ）に示されるように、圧電基板１２等とアライメントマーカー１８が形
成される。またアライメントマーカー１８を形成するための開口部２０ｂの幅は狭く設定
されているので、この部分は、圧電基板１２等の外形を形成するためのエッチング速度に
比べてエッチング速度が遅くなり、いわゆるエッチストップが発生する。これにより圧電
基板１２を形成するためのエッチング量（時間）が多くなっても、アライメントマーカー
１８の形状変化を抑えることができ、圧電ウエハ１０に穴状のアライメントマーカー１８
が形成される。そして圧電基板１２等とアライメントマーカー１８が圧電ウエハ１０に形
成されると、圧電ウエハ１０をエッチング液から出して、保護膜２０を除去する。これに
より圧電基板１２およびアライメントマーカー１８を備えた圧電ウエハ１０が形成され、
この圧電ウエハ１０は図１（Ｃ）に示されるようになる。

図３はアライメントマーカーの説明図である。ＡＴカットされた水晶ウエハ（圧電ウエ
ハ１０）にアライメントマーカー１８を形成する場合、図３（Ａ）に示される形状の開口
部２０ｂを有する保護膜２０を圧電ウエハ１０の表面に設けると、図３（Ｂ）に実線で示
される形状のアライメントマーカー１８が異方性エッチングによって形成される。なお図
３（Ｂ）に二点鎖線で示される形状は、保護膜２０に設けられた開口部２０ｂを示してい
る。図３から分かるように、アライメントマーカー１８はエッチング形成されると、保護
膜２０に設けられた開口部２０ｂよりも大きな形状となる。このため開口部２０ｂの幅を
設定する段階では、エッチング後にアライメントマーカー１８が大きくなることを見越し
て、予め開口部２０ｂの幅を狭くして設定される。なお、これは計算等をすることにより
、アライメントマーカー１８のエッチング前後の大きさ変化を見積もることができる。

そしてアライメントマーカー１８が設けられた圧電ウエハ１０には、圧電振動片の電極
パターンを形成するために金属膜が形成される。この金属膜２２は、図１（Ｄ）に示され
るように、圧電基板１２等の上面、下面および側面に形成されている。このときアライメ
ントマーカー１８の周囲の圧電ウエハ１０表面にも金属膜２２が形成される。

圧電ウエハ１０としてＡＴカットされた水晶が用いられた場合は、アライメントマーカ
ー１８の側面が異方性エッチングによって斜め形成される。そして水晶は透明なので、ア
ライメントマーカー１８を上方から見ると、圧電ウエハ１０上面の設けられたアライメン
トマーカー１８の形状とともに、圧電ウエハ１０の内部や圧電ウエハ１０下面のアライメ
ントマーカー１８の形状も確認でき、これらの区別が難しい。このため圧電ウエハ１０の
上面を金属膜２２で覆えば圧電ウエハ１０の内部が見えなくなり、圧電基板１２上面のア
ライメントマーカー１８の形状のみ確認することができ、より正確な位置合わせが可能に
なる。

この後、金属膜２２上にフォトレジスト（不図示）が塗布されたのち、アライメントマ
ーカー１８を基準にしてフォトマスクの位置を合わせる。なお、このフォトマスクは、電
極パターンを形成するための図形が描画されたものである。そしてフォトマスクを介して
フォトレジストを露光し、現像すると、電極パターンが形成される部分に応じた金属膜２
２の上部にレジストパターンが形成される。次に、レジストパターンに覆われていない部
分の金属膜２２をエッチングした後、レジストパターンを除去すれば、図１（Ｅ）に示さ
れるように、電極パターン２４が各圧電基板１２に形成される。なお電極パターン２４は
、励振電極２４ａ、接続電極２４ｂおよび引き出し電極２４ｃから形成されており、圧電
基板１２の上面および下面のそれぞれに形成されている。励振電極２４ａは、圧電基板１
２の中央部に形成されている。また接続電極２４ｂは、圧電基板１２のある一辺の両端部
に形成されている。そして各端部において、上面および下面に設けられた接続電極２４ｂ
が側面を介して導通している。さらに引き出し電極２４ｃは、励振電極２４ａと接続電極
２４ｂを１対１に導通させている。

次に、圧電基板１２を支持部１４から切り離してチップ化すると、圧電振動片が形成さ
れる。この圧電振動片２６は、図４に一例が示されるように、パッケージ２８に搭載され
て圧電振動子３０（圧電デバイス）を構成することができる。なおパッケージ２８には、
圧電振動片２６とともに、この圧電振動片２６を発振させる回路を実装して、圧電発振器
（圧電デバイス）を構成することもできる。

このような圧電振動片２６の製造方法およびアライメントマーカー１８の形成方法によ
れば、エッチングにより圧電基板１２等の外形を形成するのと同時にアライメントマーカ
ー１８を形成することができるので、アライメントマーカー１８を設けるためだけの工程
を新設する必要がない。また圧電基板１２に電極パターン２４を形成するのと同時にアラ
イメントマーカー１８の周囲の圧電ウエハ１０表面に金属膜２２を形成することができる
ので、アライメントマーカー１８の圧電ウエハ１０表面の周囲のみに金属膜２２を設ける
工程を新設する必要がない。したがってアライメントマーカー１８は、既存の製造工程の
中で形成されることができる。

またアライメントマーカー１８は、圧電ウエハ１０をエッチングして形成されているの
で保護膜２０の除去等によって消えることがなく、前述した圧電振動片２６の製造工程全
てにおいて同じ基準位置を示すことができる。したがって基準位置が変わらないアライメ
ントマーカー１８を用いてフォトマスク等の位置合わせを行えるので、位置合わせ精度を
向上できる。そして電極パターン２４を圧電基板１２に形成するときに、電極パターン２
４の位置ずれが生じる等が起こらなくなり、高精度の圧電振動片２６を製造することがで
きる。

またアライメントマーカー１８は、保護膜２０に設けられる開口部２０ｂの幅や、エッ
チング時間によって形状を制御することができる。すなわち開口部２０ｂの幅を狭くすれ
ば圧電ウエハ１０のエッチング量を小さくすることができる。そしてエッチング時間を短
くすれば圧電ウエハ１０があまりエッチングされず、アライメントマーカー１８の幅が狭
くなり、また深さが浅くなる。これに対し、エッチング時間を長くすれば圧電ウエハ１０
がよりエッチングされて、アライメントマーカー１８の幅が広くなり、また深さが深くな
る。したがってアライメントマーカー１８を形成するときに、保護膜２０に設けられる開
口部２０ｂの幅を規定し、また圧電ウエハ１０のエッチング時間を規定することで、アラ
イメントマーカー１８の形状を制御できるので、アライメント精度を確保することができ
る。すなわちアライメントマーカー１８は、製品である圧電基板１２（圧電振動片２６）
を製造するための条件に基づいて、形状を設定して製造されることができる。さらに異方
性エッチングが生じる場合であっても、エッチング量を固定すれば、設計時点でアライメ
ントマーカー１８の形状変化を見込むことができるため、マスク設計およびプロセス条件
にてアライメント精度を確保することができる。

またアライメントマーカー１８の周囲の圧電ウエハ１０表面に金属膜２２を設けること
で、圧電ウエハ１０表面におけるアライメントマーカー１８の形状のみを得ることができ
る。これにより圧電ウエハ１０が透明な材料であっても、圧電ウエハ１０内部および圧電
ウエハ１０の反対面におけるアライメントマーカー１８の形状が得られなくなり、アライ
メント精度を向上させ正確な位置合わせをすることができる。
また圧電振動片２６の製造工程に対して制限を無くすことができるので、圧電基板１２
の側面に電極パターン２４を引き回すことができる。
なおアライメントマーカー１８は、圧電ウエハ１０の上面および下面のいずれか一方の
みに設けることもできる。

次に、第２の実施形態に係る圧電振動片の製造方法およびアライメントマーカーの形成
方法ついて説明する。第２の実施形態では、メサ構造の圧電振動片の製造方法および、メ
サ構造の段差を形成するときにアライメントマーカーを形成する方法について説明する。
なお第２の実施形態では、第１の実施形態と同様の部分に同番号を付し、その説明を省略
または簡略する。図５は第２の実施形態に係る圧電基板を形成する工程およびアライメン
トマーカーを形成する工程の説明図である。なお図５（Ａ）〜（Ｃ）は、圧電ウエハの一
部分を示す断面図である。

まず圧電ウエハ１０の上面および下面に、圧電基板１２等を形成するための保護膜２０
を形成し、これをエッチング液に浸漬して圧電基板１２等の外形を形成する。次に、図５
（Ａ）に示されるように、圧電基板１２の上面および下面にメサの段差を形成するための
保護膜２０を設ける。すなわちメサの段差の形に応じた形状パターン２０ａを有する保護
膜２０を圧電ウエハ１０の表面に形成する。なおメサの段差を形成する保護膜２０は、圧
電ウエハ１０の少なくとも一方の面に形成されていればよい。また、このとき圧電ウエハ
１０の上面および下面の保護膜２０には、アライメントマーカー１８を形成するための開
口部２０ｂを設けておく。アライメントマーカー１８の形は、例えば十字型や四角形、三
角形、円形であればよい。

そして圧電基板１２にメサの段差を形成するだけなので、圧電基板１２の外形を形成す
る場合（圧電ウエハ１０の上下面を貫通させる場合）に比べてエッチング量が小さい。こ
のためアライメントマーカー１８は、第１の実施形態に比べて大きく形成されることがで
きる。すなわち圧電ウエハ１０にアライメントマーカー１８を形成するために、保護膜２
０に設けられる開口部２０ｂの幅の設定方法は、圧電ウエハ１０の板厚やエッチング時間
、製造装置等に依存するため、予め実験や計算等を行うことにより設定すればよい。そし
て開口部２０ｂの幅の具体的な一例としては、圧電ウエハ１０の厚さを１００μｍとする
と、３０μｍにすればよい。なおアライメントマーカー１８は、圧電ウエハ１０の片面の
みに設けることもできる。

そして、この保護膜２０が設けられた圧電ウエハ１０をエッチング液に浸漬してエッチ
ングすることにより、図５（Ｂ）に示されるように、圧電基板１２にメサの段差３４が形
成されるとともに、圧電ウエハ１０にアライメントマーカー１８が形成される。この後、
保護膜２０を取り除けば、図５（Ｃ）に示されるように、メサ型の圧電基板１２等ととも
に、アライメントマーカー１８が設けられた圧電ウエハ１０が得られる。次に、図１（Ｄ
），（Ｅ）に示したのと同様の工程により、圧電基板１２に電極パターン２４を形成する
。そして圧電基板１２を支持部１４から切り離してチップ化すると、圧電振動片２６が形
成される。

このような圧電振動片２６の製造方法およびアライメントマーカー１８の形成方法によ
れば、圧電基板１２にメサの段差３４を形成するのと同時にアライメントマーカー１８を
形成することができるので、アライメントマーカー１８を設けるためだけの工程を新設す
る必要がない。したがって既存の製造工程内において、アライメントマーカー１８を形成
することができる。また第２の実施形態に係る圧電振動片２６の製造方法およびアライメ
ントマーカー１８の形成方法は、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。

第１の実施形態に係る圧電基板を形成する工程およびアライメントマーカーを形成する工程の説明図である。 圧電基板とアライメントマーカーが形成された圧電ウエハの概略平面図である。 アライメントマーカーの説明図である。 圧電振動子の概略断面図である。 第２の実施形態に係る圧電基板を形成する工程およびアライメントマーカーを形成する工程の説明図である。

符号の説明

１０………圧電ウエハ、１２………圧電基板、１８………アライメントマーカー、２０…
……保護膜、２０ａ………形状パターン、２０ｂ………開口部、２２………金属膜、２４
………電極パターン。

Claims (5)

1. 圧電ウエハをエッチングして複数の圧電基板を形成し、前記圧電基板に電極パターンを
   形成する圧電振動片の製造方法であって、
   前記圧電基板の形に応じた形状パターンと、アライメントマーカーの形に応じた開口部
   とを有する保護膜を前記圧電ウエハ上に形成し、
   前記圧電ウエハをエッチングして前記圧電基板を形成するとともに、前記圧電ウエハに
   前記アライメントマーカーを形成する、
   ことを特徴とする圧電振動片の製造方法。
2. 前記アライメントマーカーの形に応じた前記開口部を有する前記保護膜の形成工程は、
   前記圧電基板に設けられるメサ構造の段差の形に応じた形状パターンの前記保護膜を形成
   する工程とともに行われ、
   前記圧電ウエハをエッチングしてメサ構造の前記圧電基板を形成するとともに、前記圧
   電ウエハに前記アライメントマーカーを形成する、
   ことを特徴とする請求項１に圧電振動片の製造方法。
3. 前記圧電ウエハは、ＡＴカットされた水晶であることを特徴とする請求項１または２に
   記載の圧電振動片の製造方法。
4. 前記圧電基板に電極パターン用の金属を成膜するとともに、前記アライメントマーカー
   の周囲の前記圧電ウエハ上に金属膜を形成することを特徴とする請求項１ないし３のいず
   れかに記載の圧電振動片の製造方法。
5. アライメントマーカーの形に応じた開口部を有する保護膜を圧電ウエハ上に形成し、前
   記圧電ウエハをエッチングして、前記圧電ウエハに前記アライメントマーカーを形成する
   ことを特徴とするアライメントマーカーの形成方法。

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