JP2014045519A - 圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法 - Google Patents
圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】圧電振動片は、圧電素板12の主面12a,12bに励振電極30を設けるとともに、圧電素板12を片持ち支持する基端18側に励振電極30に導通した電極パターン32を設けたものである。そして圧電振動片は、圧電素板12の外形を形成するときのウエットエッチングによって圧電素板12の一方の主面12a,12bと側面12cとのなす角が鈍角になった入り込み22に、電極パターン32を引き回している。
【選択図】図1
Description
また特許文献2に記載された水晶振動片は片端保持されるようになっており、−X側が自由端となり、+X側が固定端となるようにしている。
なお特許文献2には、水晶片に電極パターンをどのように引き回すかについての記載がない。
このように鈍角の部分に電極パターンを設けているので、電極パターンの断線を防止できる。また圧電振動片は、入り込みが生じた部分に電極パターンを設けているので、励振電極は入り込みが生じていない部分に設けることになる。このため励振電極を設ける部分の圧電素板の形状がエッチングによって変形することを防止できるので、励振電極の形状が変わってしまうことも防止できる。また励振電極を設ける部分に入り込みが生じていないことにより、圧電振動片の剛性を向上できる。
これにより入り込みは、X軸に沿う辺における+X側に形成されるので、励振電極を−X側に、電極パターンを+X側に設けることができる。よって圧電素板の先端側の形状がエッチングによって変形するのを防止できる。
圧電素板の基端側は、エッチングによって減肉できるので、圧電素板を圧電ウエハから折り取る箇所の断面積を小さくできる。よって圧電素板に弱い力をかけるだけで折り取ることができ、また意図している箇所で折り取ることができるので、破断クズの発生を防止でき、残さが発生するのを防止できる。
圧電デバイスは、前述した特長を有するメサ型圧電振動片を搭載しているので、メサ型圧電振動片を凹陥部に入れることができ、またパッケージの壁面と導電性接着剤とが接触してしまうことを防止できる。さらに落下等による衝撃が圧電デバイスに加わったとしても、圧電振動片の先端側に圧電振動片が破損してしまうことを防止できる。よって圧電デバイスの信頼性(耐衝撃性)を向上できる。
これにより導電性接着剤と励振電極との導通を確実に取ることができる。
入り込みが形成された箇所は、ATカット水晶ウエハの厚さよりも細くなっている。このため圧電振動片を水晶ウエハ本体から折り取り易くでき、破断クズの発生も少なくできる。
また図3(A)に示すように、圧電素板12の下方の主面12bには、入り込み22が形成されている。このような切り欠き部48を設けることにより、メサ型圧電振動片10を圧電ウエハ40から折り取り易くしている。
この後、メサ型圧電振動片10を連結部44から折り取ると、図1に示すように個片化されたメサ型圧電振動片10を得る。なおメサ型圧電振動片10は、連結部44に形成された入り込み(溝50)の部分で折り取っている。
このようにメサ型圧電振動片10を搭載したパッケージベース64の上面に蓋体72を接合して、凹陥部66を気密封止している。
[適用例7]前記エッチング工程にて形成される前記連結部は、前記基端部と接続されている箇所の厚さが、当該箇所より前記結晶X軸のプラス方向に位置する部分よりも薄くなっていることを特徴とする適用例6に記載の圧電振動片の製造方法。
[適用例8]前記エッチング工程にて形成される前記連結部は、前記基端部と接続されている箇所の幅が、当該箇所より前記結晶X軸のプラス方向に位置する部分よりも細くなっていることを特徴とする適用例6または7に記載の圧電振動片の製造方法。
なお、主面12a、12cに設けたマウント電極34が第1、第2の電極パターンを構成し、側面12cに設けたマウント電極が第3の電極パターンを構成している。
Claims (6)
- 圧電素板の主面に励振電極を設けるとともに、前記圧電素板を片持ち支持する基端側に前記励振電極に導通した電極パターンを設け、
前記圧電素板の外形を形成するときのウエットエッチングによって、前記圧電素板の一方の主面と側面とのなす角が鈍角になった入り込みを形成してなり、
前記入り込みに前記電極パターンを引き回した、
ことを特徴とする圧電振動片。 - 前記圧電素板は、ATカット水晶素板であり、
前記基端と前記圧電素板の先端とを結ぶ方向は水晶の結晶軸のX軸に沿い、前記基端は、前記先端よりも+X側にある、
ことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片。 - 前記圧電素板を片持ち支持する前記基端側の辺に支持部につながる連結部を設け、前記ウエットエッチングによって前記圧電振動片の前記基端とつながる箇所の前記連結部を細くする入り込みを設けたことを特徴とする請求項1または2に記載の圧電振動片。
- 請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電振動片をパッケージに搭載したことを特徴とする圧電デバイス。
- 前記入り込みに引き回した前記電極パターンに導電性接着剤を設けて、前記圧電振動片と前記パッケージ側とを導通したことを特徴とする請求項4に記載の圧電デバイス。
- ATカット水晶ウエハをウエットエッチングして、水晶結晶軸の+X側を先端とし−X側を基端とする圧電振動片と、前記圧電振動片の前記基端と水晶ウエハ本体とをつなげる連結部とを形成するとともに、前記ウエットエッチングによって前記圧電振動片と前記連結部との間に前記連結部を細くする入り込みを形成し、
前記入り込みが生じた箇所から前記圧電振動片を折り取って個片化する、
ことを特徴とする圧電振動片の製造方法。
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