JP6476752B2 - 圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
−第1の実施形態−
本発明の第1の実施形態を図1乃至8に基づいて説明する。本実施形態における水晶振動子は略直方体状のパッケージ構造からなる表面実装型の音叉型水晶振動子である。本実施形態では前記水晶振動子の平面視における外形寸法は縦1.6mm、横1.0mmとなっている。
2 水晶素子
3a、3b 電極パッド
3a1、3b1 第1パッド
3a2、3b2 第2パッド
4 隙間
5 凹部
101 (凹部)内底面
Claims (2)
- 圧電デバイスの製造方法であって、
前記圧電デバイスに用いられる絶縁性材料から成る容器は、上方に開口した凹部を備え、
圧電素子と導電接合される2つの電極パッドが前記凹部の内底面に互いに隙間を空けて配され、前記電極パッドは前記内底面上の第1パッドと、当該第1パッドの上に積層された第2パッドとの2層で構成され、
前記2つの電極パッドのうち一方の電極パッドのみにおいて、前記第2パッドの一部が平面視で前記第1パッドの上面から前記隙間に面する方向にはみ出してなり、前記第2パッド形成のためのスキージ時のメタライズの量をコントロールすることによって、第2パッドの前記はみ出した部分の上面の平坦度の低下が抑制された容器を形成する容器形成工程と、
前記圧電素子に設けられた一対の接続電極の各々に導電性のバンプを形成するバンプ形成工程と、
前記バンプと前記容器の2つの電極パッドとを超音波接合する接合工程を備える圧電デバイスの製造方法。 - 前記容器形成工程において、前記2つの電極パッドのうち一方の電極パッドにおける第1パッドの平面視の面積が、他方の電極パッドにおける第1パッドの平面視の面積よりも大きく、前記他方の電極パッドのみにおいて第2パッドの一部が平面視で第1パッドの上面から前記隙間に面する方向にはみ出して形成されることを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイスの製造方法。
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