JP2016092463A - 圧電デバイス用容器および当該容器を用いた圧電デバイス - Google Patents
圧電デバイス用容器および当該容器を用いた圧電デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016092463A JP2016092463A JP2014220998A JP2014220998A JP2016092463A JP 2016092463 A JP2016092463 A JP 2016092463A JP 2014220998 A JP2014220998 A JP 2014220998A JP 2014220998 A JP2014220998 A JP 2014220998A JP 2016092463 A JP2016092463 A JP 2016092463A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pad
- electrode
- container
- plan
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 70
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 12
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 7
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 5
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- JVPLOXQKFGYFMN-UHFFFAOYSA-N gold tin Chemical compound [Sn].[Au] JVPLOXQKFGYFMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000007500 overflow downdraw method Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920003217 poly(methylsilsesquioxane) Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
−第1の実施形態−
本発明の第1の実施形態を図1乃至8に基づいて説明する。本実施形態における水晶振動子は略直方体状のパッケージ構造からなる表面実装型の音叉型水晶振動子である。本実施形態では前記水晶振動子の平面視における外形寸法は縦1.6mm、横1.0mmとなっている。
2 水晶素子
3a、3b 電極パッド
3a1、3b1 第1パッド
3a2、3b2 第2パッド
4 隙間
5 凹部
101 (凹部)内底面
Claims (3)
- 圧電デバイスに用いられる絶縁性材料から成る容器であって、
前記容器は上方に開口した凹部を備え、
圧電素子と導電接合される2つの電極パッドが前記凹部の内底面に互いに隙間を空けて配され、
前記電極パッドは前記内底面上の第1パッドと、当該第1パッドの上に積層された第2パッドとの2層で構成され、
前記2つの電極パッドのうち一方の電極パッドのみにおいて、前記第2パッドの一部が平面視で前記第1パッドの上面から前記隙間に面する方向にはみ出して形成されていることを特徴とする容器。
- 前記2つの電極パッドのうち一方の電極パッドにおける第1パッドの平面視の面積が、他方の電極パッドにおける第1パッドの平面視の面積よりも大きく、前記他方の電極パッドのみにおいて第2パッドの一部が平面視で第1パッドの上面から前記隙間に面する方向にはみ出して形成されていることを特徴とする請求項1に記載の容器。
- 前記圧電素子に設けられた一対の接続電極の各々に導電性のバンプが形成され、当該バンプと前記容器の2つの電極パッドとが超音波接合されたことを特徴とする請求項1乃至2のいずれか1項に記載の圧電デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014220998A JP6476752B2 (ja) | 2014-10-30 | 2014-10-30 | 圧電デバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014220998A JP6476752B2 (ja) | 2014-10-30 | 2014-10-30 | 圧電デバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016092463A true JP2016092463A (ja) | 2016-05-23 |
JP6476752B2 JP6476752B2 (ja) | 2019-03-06 |
Family
ID=56019726
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014220998A Active JP6476752B2 (ja) | 2014-10-30 | 2014-10-30 | 圧電デバイスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6476752B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018079181A1 (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-03 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイスの周波数調整方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005160007A (ja) * | 2003-10-27 | 2005-06-16 | Kyocera Corp | 圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置 |
JP2006314083A (ja) * | 2005-05-03 | 2006-11-16 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 水晶発振器 |
JP2007180080A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミックパッケージおよびその製造方法 |
JP2007242990A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミックパッケージおよびその製造方法 |
JP2007312124A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動装置及び圧電振動装置の製造方法 |
-
2014
- 2014-10-30 JP JP2014220998A patent/JP6476752B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005160007A (ja) * | 2003-10-27 | 2005-06-16 | Kyocera Corp | 圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置 |
JP2006314083A (ja) * | 2005-05-03 | 2006-11-16 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 水晶発振器 |
JP2007180080A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミックパッケージおよびその製造方法 |
JP2007242990A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミックパッケージおよびその製造方法 |
JP2007312124A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動装置及び圧電振動装置の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018079181A1 (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-03 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイスの周波数調整方法 |
JPWO2018079181A1 (ja) * | 2016-10-31 | 2019-09-12 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイスの周波数調整方法 |
JP2020174393A (ja) * | 2016-10-31 | 2020-10-22 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイスの周波数調整方法 |
TWI724249B (zh) * | 2016-10-31 | 2021-04-11 | 日商大真空股份有限公司 | 壓電振動元件的頻率調整方法 |
US11075611B2 (en) | 2016-10-31 | 2021-07-27 | Daishinku Corporation | Frequency adjustment method for piezoelectric resonator device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6476752B2 (ja) | 2019-03-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9130148B2 (en) | Piezoelectric resonator plate, piezoelectric resonator, method for manufacturing piezoelectric resonator plate, and method for manufacturing piezoelectric resonator | |
JP2007158918A (ja) | 表面実装用の水晶発振器 | |
JP6252209B2 (ja) | 圧電振動片および当該圧電振動片を用いた圧電デバイス | |
JP5146222B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP4548012B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
CN108352820B (zh) | 压电振动器件 | |
JP6295835B2 (ja) | 圧電振動片および当該圧電振動片を用いた圧電デバイス | |
JP5098668B2 (ja) | 表面実装型圧電発振器 | |
JP2009055354A (ja) | 圧電振動デバイス用パッケージ、および圧電振動デバイス | |
JP6476752B2 (ja) | 圧電デバイスの製造方法 | |
JP2018006901A (ja) | 水晶振動板、および水晶振動デバイス | |
US9344057B2 (en) | Tuning-fork type crystal resonator plate | |
JP2010021613A (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP4595913B2 (ja) | 音叉型圧電振動デバイス | |
CN114208027A (zh) | 压电振动板、压电振动器件以及压电振动器件的制造方法 | |
TWI660582B (zh) | 晶體振動片及晶體振動元件 | |
JP2017200065A (ja) | 圧電振動子 | |
WO2020195144A1 (ja) | 水晶振動デバイス | |
JP5369889B2 (ja) | 振動デバイス | |
JP2014192729A (ja) | 圧電振動素子および圧電振動デバイス | |
JP2007073652A (ja) | 圧電振動デバイス | |
TWI817286B (zh) | 壓電振動裝置 | |
JP7342733B2 (ja) | 圧電デバイス | |
JP2017157934A (ja) | 音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた圧電デバイス | |
JP7290062B2 (ja) | 圧電振動デバイス用容器および当該容器を用いた圧電振動デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170516 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180522 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180612 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180807 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6476752 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |