JP2015050761A - 圧電振動片、圧電デバイス、圧電振動片の製造方法、及び圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】1枚のウエハからとれる圧電振動片の個数を増やし、製造コストが下げられた圧電振動片及び圧電振動片の製造方法を提供する。【解決手段】基部110と、基部上に形成される第1腕部120と、第1腕部上に形成される第2腕部130と、を有し、第1腕部の一方の端が基部及び第2腕部の一方の端に連結されている圧電振動片100の製造方法は、第1保護膜層を形成する第1保護膜層形成工程と、第1腕部を構成する第1シリコン層を形成する第1シリコン層形成工程と、第1圧電体素子140を形成する第1圧電体素子形成工程と、第2保護膜層を形成する第2保護膜層形成工程と、第1腕部を構成する第2シリコン層を形成する第2シリコン層形成工程と、第2圧電体素子150を形成する第2圧電体素子形成工程と、第1保護膜層及び第2保護膜層の全てをエッチングにより除去する保護膜層除去工程と、を有する。【選択図】図1
Description
本発明は、腕部が上下に重なるように形成された圧電振動片、圧電デバイス、圧電振動片の製造方法、及び圧電デバイスの製造方法に関する。
複数の腕部と、腕部の一端が連結される基部と、腕部の一面上に形成される圧電体素子と、を有する音叉型振動子が知られている。圧電体素子は、圧電体膜と圧電体膜を挟むように形成される一対の電極とにより構成される。例えば、特許文献1には、3本及び5本の腕部が形成された音叉型振動子が示されている。このような音叉型振動子では、小型化に伴う温度特性の低下が抑制され、腕部の本数を奇数とし隣接する腕部を互い違いに上下振動させることによりQ値が高められる。
しかし、特許文献1では、圧電振動片の複数の腕部が横方向に並んで形成されるため圧電振動片の平面の面積が大きくなり、1枚のウエハからとれる圧電振動片の個数が少なくなって製造コストが増えるという問題がある。
本発明では、圧電振動片の平面の面積を小さくすることで1枚のウエハからとれる圧電振動片の個数を増やし、製造コストが下げられた圧電振動片、圧電デバイス、圧電振動片の製造方法、及び圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
第1観点の圧電振動片の製造方法は、平面状に形成される基部と、基部上に形成され第1方向に伸びる第1腕部と、第1腕部上に形成され第1方向に伸びる第2腕部と、を有し、第1腕部の一方の端が基部及び第2腕部の一方の端に連結されている圧電振動片の製造方法である。圧電振動片の製造方法では、複数の基部が形成される基板ウエハ上に第1保護膜層を形成する第1保護膜層形成工程と、第1保護膜層上に第1腕部を構成する第1シリコン層を形成する第1シリコン層形成工程と、第1シリコン層上に形成される第1下部電極膜、第1下部電極膜上に形成される第1圧電体膜、及び第1圧電体膜上に形成される第1上部電極膜により構成される第1圧電体素子を形成する第1圧電体素子形成工程と、第1圧電体素子上に第2保護膜層を形成する第2保護膜層形成工程と、第2保護膜層上に、第2腕部を構成する第2シリコン層を形成する第2シリコン層形成工程と、第2シリコン層上に形成される第2下部電極膜、第2下部電極膜上に形成される第2圧電体膜、及び第2圧電体膜上に形成される第2上部電極膜により構成される第2圧電体素子を形成する第2圧電体素子形成工程と、第1保護膜層及び第2保護膜層の全てをエッチングにより除去する保護膜層除去工程と、を有する。
第2観点の圧電振動片の製造方法は、第1観点において、各圧電振動片に形成される第1圧電体素子と第2圧電体素子とが同じ面積、同じ形状に形成され、互いに上下方向に全体が重なるように形成される。
第3観点の圧電振動片の製造方法は、第1観点において、第1腕部が第2腕部よりも第1方向に長く形成される。
第4観点の圧電振動片の製造方法は、第1観点から第3観点において、圧電振動片が基板ウエハに連結部を介して連結された状態で形成され、保護膜層除去工程の後に連結部を折ることにより圧電振動片を基板ウエハから切り離して圧電振動片を個片化する圧電振動片切り離し工程を有する。
第5観点の圧電デバイスの製造方法では、圧電振動片が、基部、第1腕部、及び第2腕部を含んで構成される振動部と、振動部の周囲を囲むように形成される枠部と、振動部と枠部とを連結する連結部と、により構成され、圧電振動片がベース板及びリッド板に挟まれて形成される。また、圧電デバイスの製造方法は、第1観点から第3観点おいて、基板ウエハ上に圧電振動片が形成された後に基板ウエハとベース板が形成されたベース板ウエハとを接合するベース板ウエハ接合工程と、基板ウエハとリッド板が形成されたリッド板ウエハとを接合するリッド板ウエハ接合工程と、基板ウエハ、ベース板ウエハ、及びリッド板ウエハを切断する切断工程と、を有する。
第6観点の圧電振動片は、平面状に形成される基部と、第1方向に伸びるように形成され、一方の端が基部上に固定され、他方の端が固定されていない自由端の第1腕部と、第1方向に伸びるように形成され、一方の端が第1腕部の一方の端上に固定され、他方の端が固定されていない自由端の第2腕部と、第1腕部の一方の面上に形成される第1下部電極膜、第1下部電極膜上に形成される第1圧電体膜、及び第1圧電体膜上に形成される第1上部電極膜により構成される第1圧電体素子と、第2腕部の一方の面上に形成される第2下部電極膜、第2下部電極膜上に形成される第2圧電体膜、及び第2圧電体膜上に形成される第2上部電極膜により構成される第2圧電体素子と、を含んで形成される。
第7観点の圧電振動片は、第6観点において、第1圧電体素子と第2圧電体素子とが同じ面積、同じ形状に形成され、互いに上下方向に全体が重なるように形成される。
第8観点の圧電振動片は、第6観点において、第1腕部が第2腕部よりも第1方向に長く形成される。
第9観点の圧電振動片は、第6観点から第8観点において、基部と、第1腕部と、第2腕部と、第1圧電体素子と、第2圧電体素子と、を含んで形成される振動部と、振動部の周囲を囲むように形成される枠部と、振動部と枠部とを連結する連結部と、を有する。
第10観点の圧電デバイスは、第9観点の圧電振動片と、枠部の一方の面に接合されるベース板と、枠部の他方の面に接合されるリッド板と、を有する。
本発明の圧電振動片及び圧電振動片の製造方法によれば、圧電振動片の平面の面積を小さくすることで1枚のウエハからとれる圧電振動片の個数を増やし、製造コストを下げることができる。
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
(第1実施形態)
<圧電振動片100の構成>
図1(a)は、圧電振動片100の斜視図である。圧電振動片100は、基部110と、一方の端が基部100上に固定される第1腕部120と、一方の端が第1腕部120上に固定される第2腕部130と、第1腕部120上に形成される第1圧電体素子140と、第2腕部130上に形成される第2圧電体素子150と、により形成されている。以下の説明では、第1腕部120及び第2腕部130が伸びる方向をY軸方向、基部110、第1腕部120、及び第2腕部130が重なる方向をZ軸方向、Y軸方向及びZ軸方向に直交する方向をX軸方向とする。
<圧電振動片100の構成>
図1(a)は、圧電振動片100の斜視図である。圧電振動片100は、基部110と、一方の端が基部100上に固定される第1腕部120と、一方の端が第1腕部120上に固定される第2腕部130と、第1腕部120上に形成される第1圧電体素子140と、第2腕部130上に形成される第2圧電体素子150と、により形成されている。以下の説明では、第1腕部120及び第2腕部130が伸びる方向をY軸方向、基部110、第1腕部120、及び第2腕部130が重なる方向をZ軸方向、Y軸方向及びZ軸方向に直交する方向をX軸方向とする。
基部110は、Y軸方向に伸びた平面状に形成されており、基部110の−Z軸側の面には外部電極171及び外部電極172が形成されている。また、第1腕部120は−Y軸側の端が基部110上に固定され、+Y軸側の端が固定されない自由端となっている。第2腕部130は、−Y軸側の端が第1腕部120上に固定され、+Y軸側の端が固定されない自由端となっている。第1腕部120の+Z軸側の面には第1圧電体素子140が形成され、第2腕部130の+Z軸側の面には第2圧電体素子150が形成されており、第1圧電体素子140及び第2圧電体素子150からはそれぞれ一対の電極が引き出され、基部110、第1腕部120、及び第2腕部130を貫通する貫通電極161及び貫通電極162を介して外部電極171(図1(b)参照)及び外部電極172に電気的に接続されている。
図1(b)は、図1(a)のA−A断面図である。第1圧電体素子140は、第1腕部120上に形成される第1下部電極膜141と、第1下部電極膜141上に形成される第1圧電体膜142と、第1圧電体膜142上に形成される第1上部電極膜143と、により構成されている。また、第2圧電体素子150は、第2腕部130上に形成される第2下部電極膜151と、第2下部電極膜151上に形成される第2圧電体膜152と、第2圧電体膜152上に形成される第2上部電極膜153と、により構成されている。圧電振動片100では、第1上部電極膜143と第2下部電極膜151とが貫通電極161を介して電気的に接続され、さらに基板110の−Z軸側の面の−Y軸側に形成される外部電極171に電気的に接続される。また、第1下部電極膜141と第2上部電極膜153とが貫通電極162を介して電気的に接続され、さらに基板110の−Z軸側の面の+Y軸側に形成される外部電極172に電気的に接続される。貫通電極162と外部電極172とは、貫通電極162が基板110の−Z軸側の面に引き出され、さらに基板110の−Z軸側の面を−Y軸側から+Y軸側に引き出されることにより接続される。図1(b)では、後述されるSiN膜184(図3(c)参照)が省略されて示されている。
圧電振動片100は、外部電極171と外部電極172とに交番電圧が印加されることにより、第1腕部120及び第2腕部130がZ軸方向の上下に振動する。第1圧電体素子140と第2圧電体素子150とでは上部電極と下部電極との電位が逆になるため、第1腕部120と第2腕部130との振動方向が逆になる。すなわち、第1腕部120が+Z軸側に振動した場合には第2腕部130が−Z軸方向に振動し、第1腕部120が−Z軸側に振動した場合には第2腕部130が+Z軸方向に振動する。
<圧電振動片100の製造方法>
図2は、圧電振動片100が形成された基板ウエハW110の平面図である。基板ウエハW110には複数の圧電振動片100がX軸方向及びY軸方向に並んで形成されている。各圧電振動片100の周りには貫通溝181が形成されている。また、各圧電振動片100は各圧電振動片100の−Y軸側に形成される連結部182により基板ウエハW110に連結されている。
図2は、圧電振動片100が形成された基板ウエハW110の平面図である。基板ウエハW110には複数の圧電振動片100がX軸方向及びY軸方向に並んで形成されている。各圧電振動片100の周りには貫通溝181が形成されている。また、各圧電振動片100は各圧電振動片100の−Y軸側に形成される連結部182により基板ウエハW110に連結されている。
図3から図8は、圧電振動片100の製造工程が示されたフローチャートである。図3から図7では各ステップの右側に基板ウエハW110の部分断面図が示されている。この部分断面図は、図2のB−B断面を含む断面図である。また、一部のステップでは、ウエハW100の部分断面図と共に、図2の基板ウエハW110の点線190の拡大平面図が示されている。
図3のステップS101では、基板ウエハW110に貫通溝181及び貫通溝183が形成される。図3(a)は、図2のB−B断面の一部に含まれる基板ウエハW110の部分断面図である。図3(b)は、図2の点線190における基板ウエハW110の拡大平面図である。基板ウエハW110は基板110を構成するウエハであり、多結晶シリコンで形成されている。ステップS101ではこの基板ウエハW110に、貫通溝181と、貫通電極161及び貫通電極162を形成するための貫通溝183と、がエッチングにより形成される。
ステップS102では、基板ウエハW110に窒化ケイ素(SiN)膜184が形成される。図3(c)は、SiN膜184が形成された基板ウエハW110の部分断面図である。基板ウエハW110上には様々な膜が形成されるが、これらの膜の形成過程で基板ウエハW110が損傷等を受けないように、基板ウエハW110を覆うようにSiN膜184を形成する。SiN膜184の形成は、例えばSiNを基板ウエハW110にスパッタすることにより成膜する。ステップS102は、SiN膜形成工程である。
ステップS103では、基板ウエハW110に第1保護膜層185が形成される。図3(d)は、第1保護膜層185が形成された基板ウエハW110の部分断面図である。第1保護膜層185は、例えばPSG(Phosphosilicate glass)を基板ウエハW110の+Z軸側の面にスパッタすることにより成膜される。ステップS103は第1保護膜層形成工程である。
ステップS104では、第1保護膜層185がエッチングされる。図3(e)は、第1保護膜層185がエッチングされた基板ウエハW110の部分断面図である。また、図3(f)は、第1保護膜層185がエッチングされた基板ウエハW110の拡大平面図である。ステップS104では、基板ウエハW110の圧電振動片100が形成される領域以外の領域及び圧電振動片100が形成される領域において第1腕部120と基板110とが接触する領域の第1保護膜層185がエッチングされることにより除去される。ステップS104におけるエッチングは、例えば第1保護膜層185の表面にフォトレジスト(不図示)を塗布し、所定のマスク(不図示)を介してフォトレジストを露光及び現像し、フォトレジストから露出した領域の第1保護膜層185をフッ化水素の水溶液であるフッ酸でエッチングすることにより行う。ステップS104は、第1保護膜層エッチング工程である。
図4のステップS105では、第1シリコン層186が形成される。図4(a)は、第1シリコン層186が形成された基板ウエハW110の部分断面図である。第1シリコン層186は、シリコンをLPCVD(low pressure chemical vapor deposition)により基板ウエハW110の+Z軸側の面の全体に成膜することにより形成される。ステップS105は、第1シリコン層形成工程である。
ステップS106では、第1シリコン層186がエッチングされる。図4(b)は、第1シリコン層186がエッチングされた基板ウエハW110の部分断面図である。また、図4(c)は、第1シリコン層186がエッチングされた基板ウエハW110の拡大平面図である。第1シリコン層186は、貫通溝181、貫通溝183、及び基板ウエハW110の圧電振動片100が形成されない領域がエッチングされる。ステップS106のエッチングは、例えば第1シリコン層186の表面にフォトレジストを塗布し、所定のマスクを介してフォトレジストを露光及び現像し、フォトレジストから露出した領域の第1シリコン層186をTMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)等の弱アルカリのエッチング液でエッチングすることにより行う。これにより、第1腕部120が形成される。ステップS106は、第1シリコン層エッチング工程である。
ステップS107では、基板ウエハW110に第1金属膜187が形成される。図4(d)は、第1金属膜187が形成された基板ウエハW110の部分断面図である。第1金属膜187は、例えばモリブデン(Mo)により構成される。また、第1金属膜187は、例えばスパッタリングにより基板ウエハW110の全面に形成される。ステップS107は、第1金属膜形成工程である。
図5のステップS108では、第1金属膜187がエッチングされる。図5(a)は、第1金属膜187がエッチングされた基板ウエハW110の部分断面図である。図5(b)は、第1金属膜187がエッチングされた基板ウエハW110の拡大平面図である。第1金属膜187は、例えば第1金属膜187の表面にフォトレジストを塗布し、所定のマスクを介してフォトレジストを露光及び現像してフォトレジストから露出した領域が、硝酸とリン酸との混合液等によりエッチングされる。これにより、基板ウエハW110に第1下部電極141、外部電極171、172、及び貫通電極161、162の一部が形成される。図5(a)及び図5(b)では、図1(b)に合わせて第1金属膜187のハッチングを変えて表示している。ステップS107は、第1金属膜エッチング工程である。
ステップS109では、圧電体膜188が形成される。図5(c)は、圧電体膜188が形成された基板ウエハW110の部分断面図である。圧電体膜188は、例えばZnO、AlN、PZT、LiNbO3、又はKNbO3により構成される。また、圧電体膜188は、例えばスパッタリングにより基板ウエハW110の+Z軸側の面に形成される。ステップS109は、圧電体膜形成工程である。
ステップS110では、圧電体膜188がエッチングされる。図5(d)は、圧電体膜188がエッチングされた基板ウエハW110の部分断面図である。図5(e)は、圧電体膜188がエッチングされた基板ウエハW110の拡大平面図である。圧電体膜188は、例えば圧電体膜188の表面にフォトレジストを塗布し、所定のマスクを介してフォトレジストを露光及び現像してフォトレジストから露出した領域が、エッチングされる。また、圧電体膜188にAlNが使用される場合には、例えば水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)をエッチング液として用いることができる。これにより、基板ウエハW110に第1圧電体膜142が形成される。ステップS110は圧電体膜エッチング工程である。
図6のステップS111では、第2金属膜189が形成される。図6(a)は、第2金属膜189が形成された基板ウエハW110の部分断面図である。第2金属膜189は、第1金属膜187と同じように、例えばモリブデン(Mo)により構成される。また、第2金属膜189は、スパッタリングにより基板ウエハW110の+Z軸側の面に形成される。ステップS111は、第2金属膜形成工程である。
ステップS112では、第2金属膜189がエッチングされる。図6(b)は、第2金属膜189がエッチングされた基板ウエハW110の部分断面図である。図6(c)は、第2金属膜189がエッチングされた基板ウエハW110の拡大平面図である。第2金属膜189は、例えば第2金属膜189の表面にフォトレジストを塗布し、所定のマスクを介してフォトレジストを露光及び現像してフォトレジストから露出した領域が、硝酸とリン酸との混合液等によりエッチングされる。これにより、基板ウエハW110に第1上部電極143が形成される。ステップS112は、第2金属膜エッチング工程である。また、ステップS107からステップS112は、第1圧電体素子140を形成する第1圧電体素子形成工程である。
ステップS113では、第2保護膜層191が形成される。図6(d)は、第2保護膜層191が形成された基板ウエハW110の部分断面図である。第2保護膜層191は、第1保護膜層形成工程(ステップS103参照)と同様に、PSGを基板ウエハW110の+Z軸側の面にスパッタすることにより成膜される。ステップS113は第2保護膜形成工程である。
ステップS114では、第2保護膜層191がエッチングされる。図6(e)は、第2保護膜層191がエッチングされた基板ウエハW110の部分断面図である。ステップS114におけるエッチングは、例えば第2保護膜層191の表面にフォトレジスト(不図示)を塗布し、所定のマスク(不図示)を介してフォトレジストを露光及び現像し、フォトレジストから露出した領域の第2保護膜層191をフッ化水素の水溶液であるフッ酸でエッチングすることにより行う。ステップS114は、第2保護膜層エッチング工程である。
図7のステップS115では、第2シリコン層192が形成される。図7(a)は、第2シリコン層192が形成された基板ウエハW110の部分断面図である。第2シリコン層192は、シリコンをLPCVDにより基板ウエハW110の+Z軸側の面の全体に成膜することにより形成される。ステップS115は、第2シリコン層形成工程である。
ステップS116では、第2シリコン層192がエッチングされる。図7(b)は、第2シリコン層192がエッチングされた基板ウエハW110の部分断面図である。また、図7(c)は、第2シリコン層192がエッチングされた基板ウエハW110の拡大平面図である。第2シリコン層192は、貫通溝181、貫通溝183、及び圧電振動片100が形成されない基板ウエハW110の領域がエッチングされる。ステップS116のエッチングは、例えば第2シリコン層192の表面にフォトレジストを塗布し、所定のマスクを介してフォトレジストを露光及び現像し、フォトレジストから露出した領域の第2シリコン層192をTMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)等の弱アルカリのエッチング液でエッチングすることにより行う。これにより、第2腕部130が形成される。ステップS116は、第2シリコン層エッチング工程である。
ステップS117では、第2圧電体素子150が形成される。図7(d)は、第2圧電体素子150が形成された基板ウエハW110の部分断面図である。第2圧電体素子150は第1圧電体素子140と同様に、ステップS107からステップS112と同様の工程を経ることにより形成される。ステップS117は、第2圧電体素子形成工程である。
図8のステップS118では、第1保護膜層185及び第2保護膜層191がエッチングにより除去される。図8(a)は、第1保護膜層185及び第2保護膜層191がエッチングされて除去された基板ウエハW110の部分断面図である。第1保護膜層185及び第2保護膜層191の除去は、フッ化水素の水溶液であるフッ酸でエッチングすることにより行う。第1保護膜層185及び第2保護膜層191を構成するPSGはフッ酸で容易にエッチングされるため、圧電振動片100の側面に露出した第1保護膜層185及び第2保護膜層191を介して第1保護膜層185及び第2保護膜層191の全体を容易に除去することができる。ステップS118は、保護膜層除去工程である。
ステップS119では、圧電振動片100が基板ウエハW110から折り取られる。図8(b)は、基板ウエハW110から折り取られた圧電振動片100の断面図である。各圧電振動片100は、連結部182を折ることにより基板ウエハW110から切り離される。これにより、各圧電振動片100が基板ウエハW110から個々に分離される。ステップS119は、圧電振動片切り離し工程である。
従来の圧電振動片では、複数の腕部が平行に並んで形成されるため圧電振動片の平面の面積が大きくなり、1枚のウエハから作製することができる圧電振動片の個数が少なくなる。これに対して圧電振動片100では、圧電振動片の上下方向(Z軸方向)に腕部が並ぶように形成されることで、平面の面積が小さくなるように形成することができる。これにより、1枚のウエハから作製することができる圧電振動片の個数を多くすることができ、製造コストの上昇を抑えることができる。
(第2実施形態)
圧電振動片は、圧電振動片がウエハに連結された状態で圧電振動片にベース板及びリッド板が接合され、圧電デバイスとして形成されても良い。以下に圧電デバイスとして形成された圧電デバイス200について説明する。また、以下の説明では、第1実施形態と同じ部分については第1実施形態と同じ番号を付してその説明を省略する。
圧電振動片は、圧電振動片がウエハに連結された状態で圧電振動片にベース板及びリッド板が接合され、圧電デバイスとして形成されても良い。以下に圧電デバイスとして形成された圧電デバイス200について説明する。また、以下の説明では、第1実施形態と同じ部分については第1実施形態と同じ番号を付してその説明を省略する。
<圧電デバイス200の構成>
図9は、圧電デバイス200の分解斜視図である。圧電デバイス200は、ベース板220と、リッド板210と、圧電振動片230と、により形成されている。圧電振動片230は、振動部231と、枠部232と、連結部233(図10(a)参照)と、により形成されている。振動部231には外部電極が形成されないが、その他の形状は圧電振動片100とほぼ同様の形状に形成される。また、振動部231を囲むように枠部232が形成され、振動部231と枠部232とが連結部233により連結されている。
図9は、圧電デバイス200の分解斜視図である。圧電デバイス200は、ベース板220と、リッド板210と、圧電振動片230と、により形成されている。圧電振動片230は、振動部231と、枠部232と、連結部233(図10(a)参照)と、により形成されている。振動部231には外部電極が形成されないが、その他の形状は圧電振動片100とほぼ同様の形状に形成される。また、振動部231を囲むように枠部232が形成され、振動部231と枠部232とが連結部233により連結されている。
圧電振動片230の−Z軸側の面にはベース板220が配置される。ベース板220の+Z軸側の面には、−Z軸方向に凹んだ凹部221が形成されており、凹部221の周囲には枠部232に接合される接合面222が形成されている。また、ベース板220の四隅の側面にはベース板220の内側に凹むようにキャスタレーション223が形成されている。ベース板220の−Z軸側の面には一対の外部電極224が形成されており、ベース板220の+Z軸側の面のキャスタレーション223の周囲には、キャスタレーション223を介して外部電極224に電気的に接続される接続電極225が形成されている。
圧電振動片230の+Z軸側の面には、リッド板210が配置される。リッド板210の−Z軸側の面には、+Z軸方向に凹んだ凹部211が形成されており、凹部211の周囲には枠部232に接合される接合面212が形成されている。
図10(a)は、圧電振動片230の平面図である。圧電振動片230は、振動部231と振動部231を囲む枠部232との間には圧電振動片230をZ軸方向に貫通する貫通溝234が形成されている。また、振動部231と枠部232とは、振動部231の−Y軸側の辺の両端から−Y軸方向に伸びる連結部233により互いに連結されている。振動部231からは一対の引出電極235が引き出されており、各引出電極235は、連結部233を通り枠部232の−Z軸側の面の+Y軸側の+X軸側、及び−Z軸側の面の−Y軸側の−X軸側にまで引き出されている。
図10(b)は、図9のC−C断面図である。圧電デバイス200は、枠部232の+Y軸側にリッド板210が封止材240を介して接合され、−Y軸側の面にベース板220が封止材240を介して接合されている。振動部231は、圧電振動片100と同様に基部110、第1腕部120、及び第2腕部130を有し、第1腕部120及び第2腕部130にはそれぞれ第1圧電体素子140及び第2圧電体素子150が形成されている。また、枠部232は、基部110と同時に形成される第1枠部232aと、第1枠部232aの+Z軸側に形成され第1腕部120と同時に形成される第2枠部232bと、第2枠部232bの+Z軸側に形成され第2腕部130と同時に形成される第3枠部232cと、により形成される。また、基部110と第1枠部232aとは、基部110と同時に形成される連結部233により連結されている。
<圧電デバイス200の製造方法>
図11は、圧電デバイス200の製造方法を説明したフローチャートである。以下、図11を参照して圧電デバイス200の製造方法を説明する。
図11は、圧電デバイス200の製造方法を説明したフローチャートである。以下、図11を参照して圧電デバイス200の製造方法を説明する。
図11のステップS201では、基板ウエハW230が用意される。基板ウエハW230には複数の圧電振動片230が形成される。基板ウエハW230の作製工程は、図3のステップS101から図8のステップS118とほぼ同じ工程により形成することができる。
図12は、基板ウエハW230の平面図である。基板ウエハW230には、複数の圧電振動片230がX軸方向及びY軸方向に並んで形成されている。また、隣接する圧電振動片230の間には、後述のステップS206でウエハが切断される箇所を示す線であるスクライブライン241が示されている。各圧電振動片230には、振動部231、枠部232、連結部233が形成されており、第1圧電体素子140、第2圧電体素子150、及び引出電極235が形成されている。
ステップS202では、ベース板ウエハW220が用意される。ベース板ウエハW220には複数のベース板220が形成されている。ステップS202は、ベース板ウエハ準備工程である。
図13は、ベース板ウエハW220の平面図である。ベース板ウエハW220には、複数のベース板220が形成されており、各ベース板220はY軸方向及びX軸方向に並んで形成されている。各ベース板220の+Z軸側の面には凹部221が形成されており、凹部221を囲むように接合面222が形成されている。また、互いに隣接するベース板220の間には、スクライブライン241が示されている。さらに、X軸方向に伸びるスクライブライン241とY軸方向に伸びるスクライブライン241との交点には、ベース板ウエハW220をZ軸方向に貫通する貫通孔242が形成されている。貫通孔242は、ベース板ウエハW220がスクライブライン241で切断された後にキャスタレーション223となる。また、貫通孔242の+Z軸側の周囲には接続電極225が形成されており、各ベース板220の−Z軸側の面には外部電極224が形成されており、接続電極225と外部電極224とは貫通孔242を介して互いに電気的に接続されている。
ステップS203では、リッド板ウエハW210が用意される。リッド板ウエハ210には、複数のリッド板210が形成されている。ステップS203は、リッド板ウエハ準備工程である。
図14は、リッド板ウエハW210の平面図である。リッド板ウエハW210には複数のリッド板210が形成されており、各リッド板210の−Z軸側の面には凹部211が形成されている。また、リッド板210はX軸方向及びY軸方向に並んで形成されており、隣接するリッド板210の間にはスクライブライン241が示されている。
ステップS204では、基板ウエハW230とベース板ウエハW220とが互いに接合される。基板ウエハW230とベース板ウエハW220とは互いのスクライブライン241が重なるように封止材240を介して重ねられることにより互いに接合される。ステップS204は、ベース板ウエハ接合工程である。
ステップS205では、基板ウエハW230とリッド板ウエハW210とが互いに接合される。ここで、接合は、互いのスクライブライン241が重なるように封止材240を介して重ねられることにより互いに接合される。ステップS205は、リッド板ウエハ接合工程である。
ステップS206では、基板ウエハW230、ベース板ウエハW220、及びリッド板ウエハW210が切断される。切断は、ウエハのスクライブライン241に沿ってダイシングされることにより行われる。これにより、圧電デバイス200が個々に分割される。ステップS206は、切断工程である。
圧電デバイス200においても、腕部がZ軸方向に並んで形成されることにより振動部231のXY平面の面積を小さく形成することができるため、圧電振動片230のXY平面の面積を小さくすることができる。これにより、一枚のウエハにより多くの圧電振動片230を形成することができるため、圧電デバイスの製造コストを低く抑えることができる。
(第3実施形態)
圧電振動片では、第1腕部の長さが第2腕部よりも長く形成されても良い。以下に、第1腕部の長さが第2腕部の長さより長い圧電振動片300について説明する。また、以下の説明では、第1実施形態と同じ部分については第1実施形態と同じ番号を付してその説明を省略する。
圧電振動片では、第1腕部の長さが第2腕部よりも長く形成されても良い。以下に、第1腕部の長さが第2腕部の長さより長い圧電振動片300について説明する。また、以下の説明では、第1実施形態と同じ部分については第1実施形態と同じ番号を付してその説明を省略する。
<圧電振動片300の構成>
図15(a)は、圧電振動片300の斜視図である。圧電振動片300は、基部110と、第1腕部120と、第2腕部330と、第1腕部120上に形成される第1圧電体素子140と、第2腕部330上に形成される第2圧電体素子350と、により形成されている。第1腕部120の+Z軸側には、第1腕部120よりもY軸方向の長さが短い第2腕部330が形成されている。これにより、第1圧電体素子140の+Y軸側の先端付近では第2腕部330がZ軸方向に重なって形成されていない。
図15(a)は、圧電振動片300の斜視図である。圧電振動片300は、基部110と、第1腕部120と、第2腕部330と、第1腕部120上に形成される第1圧電体素子140と、第2腕部330上に形成される第2圧電体素子350と、により形成されている。第1腕部120の+Z軸側には、第1腕部120よりもY軸方向の長さが短い第2腕部330が形成されている。これにより、第1圧電体素子140の+Y軸側の先端付近では第2腕部330がZ軸方向に重なって形成されていない。
図15(b)は、図15(a)のD−D断面図である。第2圧電体素子350は、第2腕部330の+Z軸側の面に形成される第2下部電極膜351と、第2下部電極膜351の+Z軸側に形成される第2圧電体膜352と、第2圧電体膜352の+Z軸側に形成される第2上部電極膜353と、により形成されている。第1腕部120のY軸方向の長さを長さL1とし、Z軸方向の厚さを厚さT1とする。また、第2腕部330のY軸方向の長さを長さL2とし、Z軸方向の厚さを厚さT2とする。第1腕部120と第2腕部330とは−Y軸側の端が揃えて形成されており、長さL2は長さL1よりも短い。また、厚さT1は厚さT2よりも厚く形成されている。
圧電振動片の周波数は、腕部の厚さに比例し、長さの二乗に反比例する。圧電振動片300では長さL2が長さL1よりも短く形成されているため、これに対応するように厚さT2が厚さT1よりも薄く形成されることにより、第1腕部120と第2腕部330との周波数が等しくなるように調整される。
圧電振動片における周波数の調整は腕部の先端に形成されている圧電体素子の金属膜を除去することにより行われる場合があるが、腕部がZ軸方向に重なるように形成されている場合には第1腕部の周波数調整を行うことが困難になる。一方、圧電振動片300では、第1腕部120に形成される第1圧電体素子140の+Y軸側の端では第2腕部330がZ軸方向に重ならないため、第1圧電体素子140の第1上部電極膜143に対してアルゴンガス等を使用したエッチングを行うことができ、これにより第1腕部120の周波数を調整することができる。すなわち、圧電振動片300では第2上部電極膜353をエッチングして第2腕部330の周波数を調整すること、及び第1上部電極膜143を削って第1腕部120の周波数を調整することの両方を行うことができるため、周波数の調整が容易になる。
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
例えば、周波数調整を行い易いように、第1上部電極及び第2上部電極の表面にスパッタ又は蒸着により金(Au)膜が形成されても良い。金膜を削って周波数の調整を行うことにより、各腕部に形成される各圧電体素子の励振効率を維持した状態で周波数の調整を行うことができる。
また、例えば第1実施形態では、貫通電極162が基部110の−Z軸側の面に突き抜けて形成され、さらに基部110の−Z軸側の面を−Y軸側から+Y軸側に電極が伸びて形成されたが(図1(a)参照)、貫通電極162は、基部110の+Z軸側の面を−Y軸側から+Y軸側に電極が伸びて形成され、基部110の+Y軸側に基部110を貫通する貫通電極が形成されて外部電極172に電気的に接続されても良い。このように基部110の+Z軸側にも電極が形成される場合には、図3のステップS102とステップS103との間で、基板ウエハW110の+Z軸側の面に電極が形成される。
さらに、第2実施形態における基板ウエハ及びベース板ウエハとの接合(図11のステップS204)又は基板ウエハ及びリッド板ウエハの接合(図11のステップS205)は、封止材240により行われるが、このような樹脂接合のみではなく、直接接合又は陽極接合等の接合方法により接合されても良い。
100、230 … 圧電振動片
110 … 基部
120 … 第1腕部
130、330 … 第2腕部
140 … 第1圧電体素子
141 … 第1下部電極膜
142 … 第1圧電体膜
143 … 第1上部電極膜
150、350 … 第2圧電体素子
151、351 … 第2下部電極膜
152、352 … 第2圧電体膜
153、353 … 第2上部電極膜
161、162 … 貫通電極
171、172、224 … 外部電極
181、183、234 … 貫通溝
182、233 … 連結部
184 … SiN膜
185 … 第1保護膜層
186 … 第1シリコン層
187 … 第1金属膜
188 … 圧電体膜
189 … 第2金属膜
191 … 第2保護膜層
192 … 第2シリコン層
200 … 圧電デバイス
210 … リッド板
211、221 … 凹部
212、222 … 接合面
220 … ベース板
223 … キャスタレーション
225 … 接続電極
231 … 振動部
232 … 枠部
232a … 第1枠部
232b … 第2枠部
232c … 第3枠部
235 … 引出電極
240 … 封止材
241 … スクライブライン
242 … 貫通孔
W110、W230 … 基板ウエハ
W210 … リッド板ウエハ
W220 … ベース板ウエハ
110 … 基部
120 … 第1腕部
130、330 … 第2腕部
140 … 第1圧電体素子
141 … 第1下部電極膜
142 … 第1圧電体膜
143 … 第1上部電極膜
150、350 … 第2圧電体素子
151、351 … 第2下部電極膜
152、352 … 第2圧電体膜
153、353 … 第2上部電極膜
161、162 … 貫通電極
171、172、224 … 外部電極
181、183、234 … 貫通溝
182、233 … 連結部
184 … SiN膜
185 … 第1保護膜層
186 … 第1シリコン層
187 … 第1金属膜
188 … 圧電体膜
189 … 第2金属膜
191 … 第2保護膜層
192 … 第2シリコン層
200 … 圧電デバイス
210 … リッド板
211、221 … 凹部
212、222 … 接合面
220 … ベース板
223 … キャスタレーション
225 … 接続電極
231 … 振動部
232 … 枠部
232a … 第1枠部
232b … 第2枠部
232c … 第3枠部
235 … 引出電極
240 … 封止材
241 … スクライブライン
242 … 貫通孔
W110、W230 … 基板ウエハ
W210 … リッド板ウエハ
W220 … ベース板ウエハ
Claims (10)
- 平面状に形成される基部と、前記基部上に形成され第1方向に伸びる第1腕部と、前記第1腕部上に形成され前記第1方向に伸びる第2腕部と、を有し、前記第1腕部の一方の端が前記基部及び前記第2腕部の一方の端に連結されている圧電振動片の製造方法であって、
複数の前記基部が形成される基板ウエハ上に、第1保護膜層を形成する第1保護膜層形成工程と、
前記第1保護膜層上に、前記第1腕部を構成する第1シリコン層を形成する第1シリコン層形成工程と、
前記第1シリコン層上に形成される第1下部電極膜、前記第1下部電極膜上に形成される第1圧電体膜、及び前記第1圧電体膜上に形成される第1上部電極膜により構成される第1圧電体素子を形成する第1圧電体素子形成工程と、
前記第1圧電体素子上に第2保護膜層を形成する第2保護膜層形成工程と、
前記第2保護膜層上に、前記第2腕部を構成する第2シリコン層を形成する第2シリコン層形成工程と、
前記第2シリコン層上に形成される第2下部電極膜、前記第2下部電極膜上に形成される第2圧電体膜、及び前記第2圧電体膜上に形成される第2上部電極膜により構成される第2圧電体素子を形成する第2圧電体素子形成工程と、
前記第1保護膜層及び前記第2保護膜層の全てをエッチングにより除去する保護膜層除去工程と、を有する圧電振動片の製造方法。 - 前記各圧電振動片に形成される前記第1圧電体素子と前記第2圧電体素子とは同じ面積、同じ形状に形成され、互いに上下方向に全体が重なるように形成される請求項1に記載の圧電振動片の製造方法。
- 前記第1腕部は前記第2腕部よりも前記第1方向に長く形成される請求項1に記載の圧電振動片の製造方法。
- 前記圧電振動片は、前記基板ウエハに連結部を介して連結された状態で形成され、
前記保護膜層除去工程の後に前記連結部を折ることにより前記圧電振動片を前記基板ウエハから切り離して前記圧電振動片を個片化する圧電振動片切り離し工程を有する請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の圧電振動片の製造方法。 - 前記圧電振動片が、前記基部、前記第1腕部、及び前記第2腕部を含んで構成される振動部と、前記振動部の周囲を囲むように形成される枠部と、前記振動部と前記枠部とを連結する連結部と、により構成され、前記圧電振動片がベース板及びリッド板に挟まれて形成される圧電デバイスの製造方法であって、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の圧電振動片の製造方法により前記基板ウエハ上に前記圧電振動片が形成された後に、前記基板ウエハと前記ベース板が形成されたベース板ウエハとを接合するベース板ウエハ接合工程と、
前記基板ウエハと前記リッド板が形成されたリッド板ウエハとを接合するリッド板ウエハ接合工程と、
前記基板ウエハ、前記ベース板ウエハ、及び前記リッド板ウエハを切断する切断工程と、を有する圧電デバイスの製造方法。 - 平面状に形成される基部と、
第1方向に伸びるように形成され、一方の端が前記基部上に固定され、他方の端が固定されていない自由端の第1腕部と、
前記第1方向に伸びるように形成され、一方の端が前記第1腕部の前記一方の端上に固定され、他方の端が固定されていない自由端の第2腕部と、
前記第1腕部の一方の面上に形成される第1下部電極膜、前記第1下部電極膜上に形成される第1圧電体膜、及び前記第1圧電体膜上に形成される第1上部電極膜により構成される第1圧電体素子と、
前記第2腕部の一方の面上に形成される第2下部電極膜、前記第2下部電極膜上に形成される第2圧電体膜、及び前記第2圧電体膜上に形成される第2上部電極膜により構成される第2圧電体素子と、を含んで形成される圧電振動片。 - 前記第1圧電体素子と前記第2圧電体素子とは同じ面積、同じ形状に形成され、互いに上下方向に全体が重なるように形成される請求項6に記載の圧電振動片。
- 前記第1腕部は前記第2腕部よりも前記第1方向に長く形成される請求項6に記載の圧電振動片。
- 前記基部と、前記第1腕部と、前記第2腕部と、前記第1圧電体素子と、前記第2圧電体素子と、を含んで形成される振動部と、
前記振動部の周囲を囲むように形成される枠部と、
前記振動部と前記枠部とを連結する連結部と、を有する請求項6から請求項8のいずれか一項に記載の圧電振動片。 - 請求項9に記載の圧電振動片と、
前記枠部の一方の面に接合されるベース板と、
前記枠部の他方の面に接合されるリッド板と、を有する圧電デバイス。
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---|---|---|---|---|
JP2018170343A (ja) * | 2017-03-29 | 2018-11-01 | ローム株式会社 | 圧電素子およびその製造方法 |
CN110739390A (zh) * | 2019-10-24 | 2020-01-31 | 中芯集成电路制造(绍兴)有限公司 | 温度补偿型表面声波滤波器件及其制造方法 |
-
2013
- 2013-09-05 JP JP2013183591A patent/JP2015050761A/ja active Pending
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