JP5045892B2 - 圧電振動片及びその製造方法 - Google Patents
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基部と、
前記基部から延びる一対の振動腕と、
それぞれの前記振動腕に形成されている励振電極膜と、
を含み、
それぞれの前記振動腕は、相互に反対を向く平行な第1及び第2の表面と、前記第1及び第2の表面の両側に略垂直に接続される第1及び第2の側面と、を有し、
前記第1及び第2の表面には、それぞれ、前記振動腕の長手方向に延びる溝が形成され、
前記溝は、前記第1の側面と背中合わせに延びる第1の内面と、前記第2の側面と背中合わせに延びる第2の内面と、前記第1及び第2の内面間の底面と、を含み、
前記第1の表面に形成された前記溝の前記第1及び第2の内面は、互いに非平行であり、前記第1及び第2の表面の幅方向の中心を通り、かつ前記第1及び第2の表面に垂直な対称面に対して面対称になっており、
前記第2の表面に形成された前記溝の前記第1及び第2の内面は、互いに非平行であり、前記対称面に対して面対称になっている。本発明によれば、第1及び第2の側面が第1及び第2の表面に対して垂直になっているので振動腕の振動効率が良い。一方、溝の第1及び第2の内面は、傾斜しているので剛性を確保することができ、第1及び第2の表面に対して垂直に形成した場合と比べて、底面とで形成される角に応力が集中しにくいため、振動効率を低下させる要因が少ない。しかも、第1及び第2の内面は、面対称になっているので振動特性が安定する。
(2)この圧電振動片において、
前記底面は、凸曲面になっていてもよい。
(3)この圧電振動片において、
前記溝は、さらに前記第1及び第2の内面の両端を接続する第3及び第4の内面を含み、
前記第1の表面に形成された前記溝の前記第3及び第4の内面は、互いに非平行であり、前記対称面に直交するとともに前記第1及び第2の表面に垂直な第2の対称面について面対称になっており、
前記第2の表面に形成された前記溝の前記第3及び第4の内面は、互いに非平行であり、前記第2の対称面について面対称になっていてもよい。
(4)この圧電振動片において、
前記第1の表面に形成された前記溝の前記第1の内面と、前記第2の表面に形成された前記溝の前記第2の内面とは、前記対称面に対する角度が同じであり、
前記第1の表面に形成された前記溝の前記第2の内面と、前記第2の表面に形成された前記溝の前記第1の内面とは、前記対称面に対する角度が同じであってもよい。
(5)本発明に係る圧電振動片の製造方法は、
(a)圧電体ウエハの相互に反対を向く平行な表面及び裏面を、それぞれ部分的にウェットエッチングレジストで覆ってウェットエッチングによるフルエッチングを行う工程と、
(b)前記(a)工程後に、前記表面及び裏面を、それぞれ部分的にドライエッチングレジストで覆ってドライエッチングによるハーフエッチングを行う工程と、
を含み、
前記ウェットエッチングレジストによる被覆領域は、前記表面及び裏面の一部から、振動腕の第1及び第2の表面を形成するための領域を含み、
前記ドライエッチングレジストからの露出領域は、溝を前記振動腕に形成するための領域を含み、
前記(a)工程で、前記振動腕の、前記第1及び第2の表面の幅方向の両側に接続される第1及び第2の側面が、前記第1及び第2の表面に対して略垂直になるように、前記ウェットエッチングを行い、
前記(b)工程で、前記溝の、前記第1及び第2の側面とそれぞれ背中合わせに延びる第1及び第2の内面が、互いに非平行であって、前記振動腕の幅方向の中心を通り、かつ前記第1及び第2の表面と垂直に交わる対称面について面対称になるように、前記ドライエッチングを行う。本発明によれば、ドライエッチングによって、面対称の第1及び第2の内面を含む溝を形成することができる。
(6)この圧電振動片の製造方法において、
前記ドライエッチングレジストをCrで形成し、
前記溝の底面が凸曲面になるように、前記ドライエッチングを行ってもよい。
(7)この圧電振動片の製造方法において、
前記(b)工程で、前記表面及び裏面にそれぞれ前記ドライエッチングレジストが付着した状態で前記表面に対してハーフエッチングし、その後に、前記表面及び裏面にそれぞれ前記ドライエッチングレジストが付着した状態で前記裏面に対してハーフエッチングしてもよい。
(8)この圧電振動片の製造方法において、
前記(b)工程は、
前記表面に前記ドライエッチングレジストが付着し、前記裏面を覆う第2の保護膜が付着した状態で、前記表面に対してハーフエッチングし、その後、
前記表面の前記ドライエッチングレジスト及び前記裏面の前記第2の保護膜を除去し、その後、
前記裏面に前記ドライエッチングレジストが付着し、前記表面及び前記表面の前記溝を覆う第1の保護膜が付着した状態で、前記裏面に対してハーフエッチングし、その後、
前記裏面の前記ドライエッチングレジスト及び前記表面の前記第1の保護膜を除去することを含んでもよい。
図5(A)〜図6(C)は、本発明の第1の実施の形態に係る圧電振動片の製造方法を説明する図である。本実施の形態では、水晶等からなる圧電体ウエハ10を使用する。圧電体ウエハ10は、相互に反対を向く平行な表面11及び裏面13を有する板材である。
図7(A)〜図7(D)は、本発明の第2の実施の形態に係る圧電振動片の製造方法を説明する図である。本実施の形態では、第1の実施の形態の図5(C)を参照して説明した工程の代わりに、図7(A)に示す工程を行う。すなわち、表面11にドライエッチングレジスト54を形成し、裏面13にはこれを覆うように第2の保護膜56を形成する。第2の保護膜56は裏面13の全面を覆ってもよい。ただし、すでに、図5(A)〜図5(B)に示す工程の後であるため、振動腕18及び基部16が抜き出されている。
Claims (5)
- 基部と、
前記基部から延びる一対の振動腕と、
それぞれの前記振動腕に形成されている励振電極膜と、
を含み、
それぞれの前記振動腕は、相互に反対を向く平行な第1及び第2の表面と、前記第1及び第2の表面の両側に略垂直に接続される第1及び第2の側面と、を有し、
前記第1及び第2の表面には、それぞれ、前記振動腕の長手方向に延びる溝が形成され、
前記溝は、前記第1の側面と背中合わせに延びる第1の内面と、前記第2の側面と背中合わせに延びる第2の内面と、前記第1及び第2の内面間の底面と、を含み、
前記第1の表面に形成された前記溝の前記第1及び第2の内面は、互いに非平行であり、前記第1及び第2の表面の幅方向の中心を通り、かつ前記第1及び第2の表面に垂直な対称面に対して面対称になっており、
前記第2の表面に形成された前記溝の前記第1及び第2の内面は、互いに非平行であり、前記対称面に対して面対称になっており、
前記溝は、さらに前記第1及び第2の内面の両端を接続する第3及び第4の内面を含み、
前記第1の表面に形成された前記溝の前記第3及び第4の内面は、互いに非平行であり、前記対称面に直交するとともに前記第1及び第2の表面に垂直な第2の対称面について面対称になっており、
前記第2の表面に形成された前記溝の前記第3及び第4の内面は、互いに非平行であり、前記第2の対称面について面対称になっている圧電振動片。 - 請求項1に記載された圧電振動片において、
前記底面は、凸曲面になっている圧電振動片。 - 請求項1又は2に記載された圧電振動片において、
前記第1の表面に形成された前記溝の前記第1の内面と、前記第2の表面に形成された前記溝の前記第2の内面とは、前記対称面に対する角度が同じであり、
前記第1の表面に形成された前記溝の前記第2の内面と、前記第2の表面に形成された前記溝の前記第1の内面とは、前記対称面に対する角度が同じである圧電振動片。 - (a)圧電体ウエハの相互に反対を向く平行な表面及び裏面を、それぞれ部分的にウェットエッチングレジストで覆ってウェットエッチングによるフルエッチングを行う工程と、
(b)前記(a)工程後に、前記表面及び裏面を、それぞれ部分的にドライエッチングレジストで覆ってドライエッチングによるハーフエッチングを行う工程と、
を含み、
前記ウェットエッチングレジストによる被覆領域は、前記表面及び裏面の一部から、振動腕の第1及び第2の表面を形成するための領域を含み、
前記ドライエッチングレジストからの露出領域は、溝を前記振動腕に形成するための領域を含み、
前記(a)工程で、前記振動腕の、前記第1及び第2の表面の幅方向の両側に接続される第1及び第2の側面が、前記第1及び第2の表面に対して略垂直になるように、前記ウェットエッチングを行い、
前記(b)工程で、前記溝の、前記第1及び第2の側面とそれぞれ背中合わせに延びる
第1及び第2の内面が、互いに非平行であって、前記振動腕の幅方向の中心を通り、かつ前記第1及び第2の表面と垂直に交わる対称面について面対称になるように、前記ドライエッチングを行い、
前記(b)工程は、
前記表面に前記ドライエッチングレジストが付着し、前記裏面を覆う第2の保護膜が付着した状態で、前記表面に対してハーフエッチングし、その後、
前記表面の前記ドライエッチングレジスト及び前記裏面の前記第2の保護膜を除去し、その後、
前記裏面に前記ドライエッチングレジストが付着し、前記表面及び前記表面の前記溝を覆う第1の保護膜が付着した状態で、前記裏面に対してハーフエッチングし、その後、
前記裏面の前記ドライエッチングレジスト及び前記表面の前記第1の保護膜を除去することを含む圧電振動片の製造方法。 - 請求項4に記載された圧電振動片の製造方法において、
前記ドライエッチングレジストをCrで形成し、
前記溝の底面が凸曲面になるように、前記ドライエッチングを行う圧電振動片の製造方法。
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