JP2008178021A - 音叉型圧電振動片及びその集合体並びに音叉型圧電振動片の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】枠体16に基部22が連結され、基部22から一対の振動腕24が延びる。音叉型圧電振動片20上には電極40が形成され、電極40に電気的に接続するように配線54が形成されている。枠体16と基部22との連結部28には、第1及び第2の面12,14に括れた形状が表れるように対向方向に一対の切り込み34が形成されている。連結部28は、第1の面12において平坦である。第2の面14には、一対の切り込み間34で一対の切り込み34に連続する溝36が形成されている。配線54は、第1の面12で、連結部28上に形成された部分と、枠体16上に形成された部分と、が連続するように形成されてなる。
【選択図】図3
Description
相互に反対を向く第1及び第2の面の間隔を厚みとし、枠体と、前記枠体に連結された基部及び前記基部から延びる一対の振動腕をそれぞれが有する複数の音叉型圧電振動片と、が一体的に形成されてなる圧電体と、
それぞれの前記音叉型圧電振動片上に形成された電極と、
前記電極に電気的に接続するように前記圧電体上に形成された配線と、
を有し、
前記枠体と前記基部との連結部には、前記第1及び第2の面に括れた形状が表れるように対向方向に一対の切り込みが形成され、
前記連結部は、前記第1の面において平坦であり、
前記第2の面には、前記一対の切り込み間で前記一対の切り込みに連続する溝が形成され、
前記配線は、前記第1の面で、前記連結部上に形成された部分と、前記枠体上に形成された部分と、が連続するように形成されてなる。本発明によれば、電極に電気的に接続された配線が枠体まで延長されているので、基部が小さくても枠体上で音叉型圧電振動片の特性の測定を行うことができる。また、配線を枠体まで延長するので、実際の製品の配線抵抗に近づけることができる。さらに、枠体と基部との連結部に切り込みが形成され、かつ、第2の面に溝が形成されているので、切り込み及び溝に沿って、音叉型圧電振動片の折り取りを適正に行うことができる。
(2)この音叉型圧電振動片集合体において、
前記溝はV溝であってもよい。
(3)この音叉型圧電振動片集合体において、
それぞれの前記切り込みは、前記第1又は第2の面にV字状に表れるように形成されていてもよい。
(4)この音叉型圧電振動片集合体において、
前記第1及び第2の面において、前記一対の振動腕にはそれぞれ長手方向に長溝が形成されていてもよい。
(5)この音叉型圧電振動片集合体において、
前記基部には、前記第1及び第2の面に凹状に表れる凹みが形成され、前記凹部の内側に前記枠体との前記連結部が位置してもよい。
(6)この音叉型圧電振動片集合体において、
それぞれの前記音叉型圧電振動片は、一対の支持腕をさらに含み、
前記一対の支持腕は、前記基部から前記一対の振動腕の延びる方向とは交差方向であってそれぞれ相互に反対方向に延び、前記一対の振動腕の延びる方向に屈曲してさらに延びてもよい。
(7)この音叉型圧電振動片集合体において、
前記枠体と前記基部との前記連結部に形成されている前記一対の切り込みを一対の第1の切り込みとして、
前記基部には、前記第1及び第2の面に括れた形状が表れるように、相互に対向方向に一対の第2の切り込みが形成され、
一方の前記第1の切り込みと一方の前記第2の切り込みの間に、一方の前記支持腕が配置されていてもよい。
(8)本発明に係る音叉型圧電振動片の製造方法は、
(a)相互に反対を向く第1及び第2の面の間隔を厚みとし、枠体と、前記枠体に連結された基部及び前記基部から延びる一対の振動腕をそれぞれが有する複数の音叉型圧電振動片と、が一体的に形成されてなる圧電体を用意し、
(b)それぞれの前記音叉型圧電振動片の特性を測定し、その後、
(c)それぞれの前記音叉型圧電振動片を前記枠体から折り取る、
ことを含み、
それぞれの前記音叉型圧電振動片上には電極が形成され、
前記電極に電気的に接続するように前記圧電体上に配線が形成され、
前記枠体と前記基部との連結部には、前記第1及び第2の面に括れた形状が表れるように対向方向に一対の切り込みが形成され、
前記連結部は、前記第1の面において平坦であり、
前記第2の面には、前記一対の切り込み間で前記一対の切り込みに連続する溝が形成され、
前記配線は、前記第1の面で、前記連結部上に形成された部分と、前記枠体上に形成された部分と、が連続するように形成され、
前記(b)工程で、前記第1の面上であって前記枠体上で、前記配線にプローブを接触させて前記特性の測定を行う。本発明によれば、電極に電気的に接続された配線が枠体まで延長されているので、基部が小さくても枠体上で音叉型圧電振動片の特性の測定を行うことができる。また、配線を枠体まで延長するので、実際の製品の配線抵抗に近づけることができる。さらに、枠体と基部との連結部に切り込みが形成され、かつ、第2の面に溝が形成されているので、切り込み及び溝に沿って、音叉型圧電振動片の折り取りを適正に行うことができる。
(9)この音叉型圧電振動片の製造方法において、
前記(b)工程後で前記(c)工程前に、前記振動腕に錘となる薄膜を形成することをさらに含んでもよい。
(10)この音叉型圧電振動片の製造方法において、
前記(a)工程で、エッチングによって、前記一対の切り込み及び前記溝を同時又は連続的に形成してもよい。
(11)この音叉型圧電振動片の製造方法において、
前記(a)工程で、前記第1及び第2の面において、前記一対の振動腕のそれぞれに長手方向に長溝を、エッチングによって、前記一対の切り込み及び前記溝と同時又は連続的に形成してもよい。
(12)この音叉型圧電振動片の製造方法において、
前記溝としてV溝を形成してもよい。
(13)この音叉型圧電振動片の製造方法において、
それぞれの前記切り込みを、前記第1又は第2の面にV字状に表れるように形成してもよい。
(14)本発明に係る音叉型圧電振動片は、
音叉型圧電振動片集合体から折り取られてなる音叉型圧電振動片であって、
前記音叉型圧電振動片集合体は、
相互に反対を向く第1及び第2の面の間隔を厚みとし、枠体と、前記枠体に連結された基部及び前記基部から延びる一対の振動腕をそれぞれが有する複数の前記音叉型圧電振動片と、が一体的に形成されてなる圧電体と、
それぞれの前記音叉型圧電振動片上に形成された電極と、
前記電極に電気的に接続するように前記圧電体上に形成された配線と、
を有し、
前記枠体と前記基部との連結部には、前記第1及び第2の面に括れた形状が表れるように対向方向に一対の切り込みが形成され、
前記連結部は、前記第1の面において平坦であり、
前記第2の面には、前記一対の切り込み間で前記一対の切り込みに連続する溝が形成され、
前記配線は、前記第1の面で、前記連結部上に形成された部分と、前記枠体上に形成された部分と、が連続するように形成されてなり、
前記連結部で、前記一対の切り込み及び前記溝に沿って、前記枠体から折り取られてなる。本発明によれば、電極に電気的に接続された配線が枠体まで延長されているので、基部が小さくても枠体上で音叉型圧電振動片の特性の測定を行うことができる。また、配線を枠体まで延長するので、実際の製品の配線抵抗に近づけることができる。さらに、枠体と基部との連結部に切り込みが形成され、かつ、第2の面に溝が形成されているので、切り込み及び溝に沿って、音叉型圧電振動片の折り取りを適正に行うことができる。
Claims (14)
- 相互に反対を向く第1及び第2の面の間隔を厚みとし、枠体と、前記枠体に連結された基部及び前記基部から延びる一対の振動腕をそれぞれが有する複数の音叉型圧電振動片と、が一体的に形成されてなる圧電体と、
それぞれの前記音叉型圧電振動片上に形成された電極と、
前記電極に電気的に接続するように前記圧電体上に形成された配線と、
を有し、
前記枠体と前記基部との連結部には、前記第1及び第2の面に括れた形状が表れるように対向方向に一対の切り込みが形成され、
前記連結部は、前記第1の面において平坦であり、
前記第2の面には、前記一対の切り込み間で前記一対の切り込みに連続する溝が形成され、
前記配線は、前記第1の面で、前記連結部上に形成された部分と、前記枠体上に形成された部分と、が連続するように形成されてなる音叉型圧電振動片集合体。 - 請求項1に記載された音叉型圧電振動片集合体において、
前記溝はV溝である音叉型圧電振動片集合体。 - 請求項1又は2に記載された音叉型圧電振動片集合体において、
それぞれの前記切り込みは、前記第1又は第2の面にV字状に表れるように形成されてなる音叉型圧電振動片集合体。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載された音叉型圧電振動片集合体において、
前記第1及び第2の面において、前記一対の振動腕にはそれぞれ長手方向に長溝が形成されてなる音叉型圧電振動片集合体。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載された音叉型圧電振動片集合体において、
前記基部には、前記第1及び第2の面に凹状に表れる凹みが形成され、前記凹部の内側に前記枠体との前記連結部が位置する音叉型圧電振動片集合体。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載された音叉型圧電振動片集合体において、
それぞれの前記音叉型圧電振動片は、一対の支持腕をさらに含み、
前記一対の支持腕は、前記基部から前記一対の振動腕の延びる方向とは交差方向であってそれぞれ相互に反対方向に延び、前記一対の振動腕の延びる方向に屈曲してさらに延びる音叉型圧電振動片集合体。 - 請求項6に記載された音叉型圧電振動片集合体において、
前記枠体と前記基部との前記連結部に形成されている前記一対の切り込みを一対の第1の切り込みとして、
前記基部には、前記第1及び第2の面に括れた形状が表れるように、相互に対向方向に一対の第2の切り込みが形成され、
一方の前記第1の切り込みと一方の前記第2の切り込みの間に、一方の前記支持腕が配置されている音叉型圧電振動片集合体。 - (a)相互に反対を向く第1及び第2の面の間隔を厚みとし、枠体と、前記枠体に連結された基部及び前記基部から延びる一対の振動腕をそれぞれが有する複数の音叉型圧電振動片と、が一体的に形成されてなる圧電体を用意し、
(b)それぞれの前記音叉型圧電振動片の特性を測定し、その後、
(c)それぞれの前記音叉型圧電振動片を前記枠体から折り取る、
ことを含み、
それぞれの前記音叉型圧電振動片上には電極が形成され、
前記電極に電気的に接続するように前記圧電体上に配線が形成され、
前記枠体と前記基部との連結部には、前記第1及び第2の面に括れた形状が表れるように対向方向に一対の切り込みが形成され、
前記連結部は、前記第1の面において平坦であり、
前記第2の面には、前記一対の切り込み間で前記一対の切り込みに連続する溝が形成され、
前記配線は、前記第1の面で、前記連結部上に形成された部分と、前記枠体上に形成された部分と、が連続するように形成され、
前記(b)工程で、前記第1の面上であって前記枠体上で、前記配線にプローブを接触させて前記特性の測定を行う音叉型圧電振動片の製造方法。 - 請求項8に記載された音叉型圧電振動片の製造方法において、
前記(b)工程後で前記(c)工程前に、前記振動腕に錘となる薄膜を形成することをさらに含む音叉型圧電振動片の製造方法。 - 請求項8又は9に記載された音叉型圧電振動片の製造方法において、
前記(a)工程で、エッチングによって、前記一対の切り込み及び前記溝を同時又は連続的に形成する音叉型圧電振動片の製造方法。 - 請求項10に記載された音叉型圧電振動片の製造方法において、
前記(a)工程で、前記第1及び第2の面において、前記一対の振動腕のそれぞれに長手方向に長溝を、エッチングによって、前記一対の切り込み及び前記溝と同時又は連続的に形成する音叉型圧電振動片の製造方法。 - 請求項8から11のいずれか1項に記載された音叉型圧電振動片の製造方法において、
前記溝としてV溝を形成する音叉型圧電振動片の製造方法。 - 請求項8から12のいずれか1項に記載された音叉型圧電振動片の製造方法において、
それぞれの前記切り込みを、前記第1又は第2の面にV字状に表れるように形成する音叉型圧電振動片の製造方法。 - 音叉型圧電振動片集合体から折り取られてなる音叉型圧電振動片であって、
前記音叉型圧電振動片集合体は、
相互に反対を向く第1及び第2の面の間隔を厚みとし、枠体と、前記枠体に連結された基部及び前記基部から延びる一対の振動腕をそれぞれが有する複数の前記音叉型圧電振動片と、が一体的に形成されてなる圧電体と、
それぞれの前記音叉型圧電振動片上に形成された電極と、
前記電極に電気的に接続するように前記圧電体上に形成された配線と、
を有し、
前記枠体と前記基部との連結部には、前記第1及び第2の面に括れた形状が表れるように対向方向に一対の切り込みが形成され、
前記連結部は、前記第1の面において平坦であり、
前記第2の面には、前記一対の切り込み間で前記一対の切り込みに連続する溝が形成され、
前記配線は、前記第1の面で、前記連結部上に形成された部分と、前記枠体上に形成された部分と、が連続するように形成されてなり、
前記連結部で、前記一対の切り込み及び前記溝に沿って、前記枠体から折り取られてなる音叉型圧電振動片。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010087842A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動片用の折り取り冶具、折り取り装置、不良品折り取りシステム |
JP2010258790A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Goto Seiko:Kk | 水晶片の折り取り移載装置 |
US7986077B2 (en) * | 2004-02-10 | 2011-07-26 | Citizen Holdings Co., Ltd. | Tuning fork type quartz piece and oscillator comprising such tuning fork type quartz piece |
JP2011166325A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Seiko Epson Corp | 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス |
CN102170275A (zh) * | 2010-02-25 | 2011-08-31 | 精工爱普生株式会社 | 振动片、振子、振荡器以及电子设备 |
CN102195602A (zh) * | 2010-02-01 | 2011-09-21 | 精工爱普生株式会社 | 振动片基板及音叉型振动片 |
JP2014003713A (ja) * | 2013-09-26 | 2014-01-09 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子及び発振器 |
JP2014030276A (ja) * | 2013-11-14 | 2014-02-13 | Seiko Epson Corp | 電子機器 |
JP2014042242A (ja) * | 2013-08-21 | 2014-03-06 | Seiko Epson Corp | 双音叉型圧電振動片 |
JP2015095834A (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-18 | 株式会社大真空 | 圧電ウェハ及び圧電振動片 |
WO2015072056A1 (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-21 | 株式会社大真空 | 圧電ウェハ、圧電振動片、及び圧電振動子 |
JP2017085293A (ja) * | 2015-10-26 | 2017-05-18 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片及び圧電振動子 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5492087A (en) * | 1977-12-29 | 1979-07-20 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Manufacture of thin-cauge crystal oscillator |
JPS58157211A (ja) * | 1982-03-13 | 1983-09-19 | Kinseki Kk | 圧電振動板の製造方法 |
JP2002164759A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Daishinku Corp | 音叉型振動子の周波数調整装置及び周波数調整方法並びにその方法によって周波数調整された音叉型振動子 |
JP2003198303A (ja) * | 2001-10-16 | 2003-07-11 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片及びその加工方法 |
WO2004100365A1 (ja) * | 2003-03-28 | 2004-11-18 | Daishinku Corporation | 音叉型振動子の周波数調整方法並びにその方法によって周波数調整された音叉型振動子 |
-
2007
- 2007-01-22 JP JP2007011703A patent/JP5071623B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5492087A (en) * | 1977-12-29 | 1979-07-20 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Manufacture of thin-cauge crystal oscillator |
JPS58157211A (ja) * | 1982-03-13 | 1983-09-19 | Kinseki Kk | 圧電振動板の製造方法 |
JP2002164759A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Daishinku Corp | 音叉型振動子の周波数調整装置及び周波数調整方法並びにその方法によって周波数調整された音叉型振動子 |
JP2003198303A (ja) * | 2001-10-16 | 2003-07-11 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片及びその加工方法 |
WO2004100365A1 (ja) * | 2003-03-28 | 2004-11-18 | Daishinku Corporation | 音叉型振動子の周波数調整方法並びにその方法によって周波数調整された音叉型振動子 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7986077B2 (en) * | 2004-02-10 | 2011-07-26 | Citizen Holdings Co., Ltd. | Tuning fork type quartz piece and oscillator comprising such tuning fork type quartz piece |
JP2010087842A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動片用の折り取り冶具、折り取り装置、不良品折り取りシステム |
JP2010258790A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Goto Seiko:Kk | 水晶片の折り取り移載装置 |
CN102195602A (zh) * | 2010-02-01 | 2011-09-21 | 精工爱普生株式会社 | 振动片基板及音叉型振动片 |
TWI422150B (zh) * | 2010-02-01 | 2014-01-01 | Seiko Epson Corp | 振動片基板及振動片 |
US8674590B2 (en) | 2010-02-01 | 2014-03-18 | Seiko Epson Corporation | Vibrating piece substrate and tuning-fork vibrating piece |
JP2011166325A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Seiko Epson Corp | 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス |
CN102170275A (zh) * | 2010-02-25 | 2011-08-31 | 精工爱普生株式会社 | 振动片、振子、振荡器以及电子设备 |
US9252349B2 (en) | 2010-02-25 | 2016-02-02 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device |
EP2363954A3 (en) * | 2010-02-25 | 2014-11-26 | Seiko Epson Corporation | Resonator element of the tuning fork type, oscillator and electronic device |
JP2014042242A (ja) * | 2013-08-21 | 2014-03-06 | Seiko Epson Corp | 双音叉型圧電振動片 |
JP2014003713A (ja) * | 2013-09-26 | 2014-01-09 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子及び発振器 |
JP2015095834A (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-18 | 株式会社大真空 | 圧電ウェハ及び圧電振動片 |
WO2015072056A1 (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-21 | 株式会社大真空 | 圧電ウェハ、圧電振動片、及び圧電振動子 |
US10211807B2 (en) | 2013-11-13 | 2019-02-19 | Daishinku Corporation | Piezoelectric wafer, piezoelectric vibration piece, and piezoelectric vibrator |
JP2014030276A (ja) * | 2013-11-14 | 2014-02-13 | Seiko Epson Corp | 電子機器 |
JP2017085293A (ja) * | 2015-10-26 | 2017-05-18 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片及び圧電振動子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5071623B2 (ja) | 2012-11-14 |
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